KR20050052983A - 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 감기지 않은 긴 막이 처리 테이블의 X 또는 Y축선에 대하여 기울어지더라도, 처리 정확성을 향상시키기 위한 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는, 가이드 베이스들(11)에 구멍이 나 있는 홀들(22a 내지 22d)이 포지셔닝 베이스들(12a, 12b)상에 배치된 4개의 핀들(23a 내지 23d)과 맞물리고; 홀(22a)과 핀(23a) 사이에는 실질적으로 갭이 없지만, 홀들(22b 내지 22d)은 핀들(23b 내지 23d)과 느슨하게 설치되며; 그 축선이 X축선 방향에 있는 2개의 기준 홀들은 작업물(W)로 구멍이 뚫린 구조를 가지며, 상기 작업물(W)은 가이드 베이스(11)에 의해 지지되는 베이스들을 클램핑하도록 고정되고, 작업물(W)에 구멍이 난 기준 홀들 중의 하나가 디자인에 따라 그 기준 위치에 놓여진 후에, 포지셔닝 베이스(12a)가 이동되고, 가이드 베이스들(11)이 핀(23a) 주위를 회전하며, 작업물(W)의 축선이 X축선에 수직하게 위치된다.

Description

기판 처리 장치 {SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 시트형상의 작업물을 운반하고 사전 설정된 길이마다 이를 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

JP-A-2000-246479호에 개시된 바와 같이, 롤에 감겨진 긴 조각의 막의 일부를 처리 테이블상에 클램핑시키고, 처리 테이블과 드릴링 공구 사이에서 수평 XY방향으로 상대 이동에 의하여 이것에 필요한 처리를 수행한 후, 긴 막의 처리된 부분의 길이만 감아 올리고 아직 처리되지 않은 다음 부분을 처리하는 단계를 반복하는 레이저 드릴링 기계가 있다.

긴 막이 막의 공급 방향에 수직한 가로 방향으로 변위되지 않으면, 상술된 기계가 정확한 홀-포지셔닝을 달성할 수 있다.

그러나, 롤과 롤을 유지하는 지지체 사이에는 갭이 있다. 또한, 긴 막은 항상 롤 축선에 수직으로 감기지 않는다. 따라서, 감기지 않은 긴 막의 방향은 처리 테이블의 X 또는 Y 축선에 대하여 기울어질 수 있으며, 이는 홀 포지셔닝의 정확성을 저하시킨다.

본 발명의 목적은, 상술된 관련 기술에서의 문제점을 해결하고, 감기지 않은 긴 막의 축선이 처리 테이블의 X 또는 Y 축선에 대하여 기울어져 있더라도, 처리 정확성을 개선시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.

상술된 목적을 달성하기 위하여,

수직 방향으로 작업물을 지지하는 한 쌍의 작업물 지지수단, 작업물 지지수단으로 작업물을 클램핑하는 클램핑 수단, 작업물의 세로 방향으로 작업물 지지수단을 이동시키기 위한 제1이동 수단, 작업물 지지 수단을 안내하는 한 쌍의 가이드 수단, 이들 가이드 수단을 지지하는 한 쌍의 가이드 지지수단 및 작업물의 세로 방향에 수직한 방향으로 가이드 지지수단을 이동시키기 위한 한 쌍의 제2이동 수단을 포함하는, 시트형상의 작업물을 처리하면서 이를 운반하기 위한 기판 처리 장치가 제공되며,

2개의 핀들 또는 홀들이 각각의 가이드 수단상에 또는 그 안에 배치되고, 핀들 또는 홀들과 맞물리는 홀들 또는 핀들이 각각의 가이드 지지수단상에 또는 그 안에 배치되어, 가이드 수단 및 가이드 지지수단을 그리드 형태로 결합시키고, 4개의 교차점(junction)에서 홀들 및 핀들이 그들 사이에 실질적으로 갭이 없이 고정된다.

작업물(W)을 세팅할 때를 제외하고, 처리에 앞서 작업물(W)의 어떤 기울기도 보정되기 때문에, 작업물의 전체 처리 영역에 걸쳐 처리 정확성이 향상될 수 있다.

본 발명의 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 후술된다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 전체적으로 나타내는 개략도이다.

기둥 베이스(3)는 베이스(1)에 고정된다. 기둥(2)은 X축선 방향으로 기둥 베이스(3)에 걸쳐 이동할 수 있다. 메인 샤프트(6) 및 카메라(7)는 Y축선 방향으로 기둥(2)에 걸쳐 이동할 수 있는 슬라이드 베이스(5)에 의해 유지된다.

테이블(4)은 베이스(1)에 고정된다. 후술되는 감겨진 시트형상의 작업물은 기둥 베이스(3)에 배치된 윈도우(3a)를 통하여 테이블(4)에 공급된다.

다음으로, 작업물에 대한 운반 섹션이 후술된다.

도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 테이블 주위의 일부를 나타내는 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ 라인을 따라 취해진 단면도이며, 도 4는 테이블이 제거된, 도 2의 테이블 주위의 일부를 나타내는 평면도이다.

테이블(4)의 양쪽 측면에, 한 쌍의 클램프 베이스들(16a) 및 한 쌍의 클램프 베이스들(16b)이 Y축선 방향으로 배치된다. 클램프 베이스들(16a, 16b)은 선형 가이드 장치(13)와 함께 한 쌍의 가이드 베이스(11)상에서 독립적으로 이동할 수 있다. 부수적으로, 도 2에 도시된 위치들은 클램프 베이스(16a, 16b)에 대한 대기 위치들이다.

2세트의 모터(10a) 및 볼 스크루(20a)는 각각 클램프 베이스들(16a)을 Y축선 방향으로 이동시킨다. 2세트의 모터(10b) 및 볼 스크루(20b)는 각각 클램프 베이스들(16b)을 Y축선 방향으로 이동시킨다.

1개의 클램퍼(21)가 클램프 베이스들(16a) 중의 하나의 크랭크상에 지지되고, 2개의 클램퍼들(21)이 클램프 베이스들(16b) 중의 하나의 크랭크에 의하여 지지된다. 클램퍼들(21)은 실린더들(15)에 의하여 수직으로 이동될 수 있다. 클램프 베이스들(16a, 16b)의 최상면은 테이블(4)의 최상면과 같은 높이 또는 약간 더 높은 위치에 있다.

가이드 베이스들(11)은 한 쌍의 포지셔닝 베이스(12a, 12b)상에 장착된다. 가이드 베이스들(11)은 가이드 베이스들(11)에 구멍이 나 있는 설치 홀들(22a 내지 22d)에 의하여 포지셔닝 베이스들(12a, 12b)에 고정된 4개의 핀(23a 내지 23d)상에 위치된다. 홀(22a)과 핀(23a) 사이에는 실질적으로 갭이 없지만, 홀들(22b 내지 22d)은 핀들(23b 내지 23d)의 직경보다 약간 크다(예를 들어, 직경이 0.5mm이상).

포지셔닝 베이스들(12a 내지 12b)은 선형 가이드 장치들(24)과 X축선 방향으로 베이스(1)에 걸쳐 독립적으로 이동할 수 있다. 모터(8a) 및 볼 스크루(25a)는 포지셔닝 베이스(12a)를 X축선 방향으로 이동시킨다. 모터(8b) 및 볼 스크루(25b)는 포지셔닝 베이스(12b)를 X축선 방향으로 이동시킨다.

다음은, 본 발명의 실시예의 작동이 기술된다.

도 5a 내지 도 5f는 작업물(W)이 위치되는 방법을 예시하고, 도 6a 및 도 6b는 가이드 베이스들(11)이 위치되는 방법을 예시한다.

부가적으로, 가이드 베이스들(11)은 미리 Y축선에 평행하게 설정되고, 클램프 베이스들(16a, 16b)은 그들의 각 대기 위치에 놓여진다.

(1) 작업물(W)의 축선은 처리 영역의 중심에 위치되고 Y축선에 평행하며, 작업물(W)은 클램퍼(21)와 함께 클램프 베이스들(16a, 16b)에 고정된다.

(2) 이러한 상태로, 2개의 기준 홀들(P, Q)이 작업물(W)을 관통한다(도 5a참조). 기준 홀들(P, Q)의 중심 사이의 직선(M)은 X축선에 평행하다.

(3) 모터(10a, 10b)가 작동되고, 다음 작업부가 처리 영역에 위치된다(도 5b참조).

(4) 클램프 베이스들(16a)의 클램퍼(21)가 해방되고 그 대기 위치로 복귀된다. 작업물(W)이 기울어져 있으면, 클램프 베이스들(16a)로부터 클램퍼(21)의 제거가 클램프 베이스들(16b)의 클램퍼(21) 주위에서 작업물을 회전시킨다(예시된 경우에는, 우측으로부터 위쪽으로 회전된다, 도 5c 참조).

(5) 클램프 베이스들(16a)의 클램퍼(21)는 하강 및 고정된다. 따라서, 작업물(W)의 축선이 기울어진 상태로 클램프 베이스들(16a)에 의해 클램핑된다(도 5d 참조).

(6) 클램프 베이스들(16b)의 클램퍼(21)가 해제되고 그 대기 위치로 복귀된다.

(7) 클램프 베이스들(16b)의 클램퍼(21)가 하향 및 고정된다(도 5e 참조).

이제, 메인 샤프트(6)에 관계된 작업물(W)에서 처리될 새로운 부분을 위치키시는 작업이 완료된다. 그러나, 기준 홀(P)의 위치는 디자인에 따른 처리 기준 위치로부터 시프트되고, 선(M)은 X축선에 대하여 기울어진다.

이러한 편향(deviation)을 보상하기 위하여, 작업물(W)의 위치가 다음과 같이 보정된다.

(8) 모터들(8a, 8b, 10a, 10b)은 카메라(7)에 의하여 기준 홀(P)의 위치를 참조하여 작동되고, 기준 홀(P)은 디자인에 따라 그 처리 기준 위치에 놓여진다. 따라서, 이러한 단계에서, 클램프 베이스들(16a, 16b)은 평행 관계를 유지하도록 이동된다(도 6a참조).

(9) 모터(8b)가 정지중인 상태에서 모터(8a)가 작동되고, 기준 홀(Q)은 디자인에 따라 그 처리 기준 위치에 놓여진다(도 6b참조). 따라서, 도 5f에 도시된 바와 같이, 선(M)이 X축선에 평행하게 되고, 작업물(W)의 축선이 Y축선에 평행하게 된다.

(10) 이러한 상태로, 기준 홀들(P, Q)이 작업물(W)을 관통한다(도 5a참조).

(11) 작업물(W)이 처리된다.

그 후, 작업물(W)의 처리가 완료될 때까지, (3) 내지 (11)의 과정이 반복된다.

또한, 본 실시예에서는, 홀들(22b 내지 22d)과 핀들(23b 내지 23d) 사이의 갭이 홀(22a)과 핀(23a) 사이의 갭보다 크지만, 홀들(22b 내지 22d)과 핀들(23b 내지 23d) 사이의 갭이 홀(22a)과 핀(23a) 사이의 갭보다 작거나 같을 수도 있다. 이 경우에는, 클램프 베이스들(16a, 16b)이 탄성적으로 변형되고 꼬이게 되지만, 이것은 보정량이 작기 때문에 실제 사용시에는 문제가 되지 않는다.

본 발명에 따르면, 상술된 관련 기술에서의 문제점을 해결하고, 감기지 않은 긴 막의 축선이 처리 테이블의 X 또는 Y 축선에 대하여 기울어져 있더라도, 처리 정확성을 개선시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 장치를 전체적으로 나타내는 개략도;

도 2는 본 발명에 따른 기판 처리 장치의 테이블 주위의 일부를 나타내는 평면도;

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ라인을 따라 취해진 단면도;

도 4는 테이블이 제거된, 도 2의 테이블 주위의 일부를 나타내는 평면도;

도 5a 내지 도 5f는 본 발명에 따라 작업물(W)이 위치되는 방법을 예시하는 도면;

도 6a 내지 도 6b는 본 발명에 따라 가이드 베이스(11)가 위치되는 방법을 예시하는 도면.

Claims (2)

1. 시트형상의 작업물(W)을 처리하면서 이를 운반하기 위한 기판 처리 장치에 있어서,

   수직 방향으로 상기 작업물(W)을 지지하는 작업물 지지수단(16a, 16b);

   상기 작업물 지지수단(16a, 16b)상으로 상기 작업물(W)을 클램핑하는 클램핑 수단(15, 21);

   상기 작업물의 운반 방향으로 상기 작업물 지지수단(16a, 16b)을 이동시키기 위한 제1이동 수단(10a, 10b, 20a, 20b);

   상기 작업물 지지 수단(16a, 16b)을 안내하는 가이드 수단(11, 13);

   이들 가이드 수단(11, 13)을 지지하는 가이드 지지수단(12a, 12b); 및

   상기 작업물의 운반 방향에 수직한 방향으로 상기 가이드 지지수단(12a, 12b)을 이동시키기 위한 제2이동 수단(8a, 8b, 25a, 25b)을 포함하고,

   2개의 핀들(23a 내지 23d) 또는 홀들(22a 내지 22d)이 각각의 상기 가이드 수단(11, 13)상에 또는 그 안에 배치되고, 상기 핀들(23a 내지 23d) 또는 홀들(22a 내지 22d)과 맞물리는 홀들(22a 내지 22d) 또는 핀들(23a 내지 23d)이 상기 각각의 가이드 지지수단(12a, 12b)상에 또는 그 안에 배치되어, 상기 가이드 수단(11, 13) 및 가이드 지지수단(12a, 12b)을 그리드 형태로 결합시키고, 4개의 교차점(junction)에서 상기 홀들 및 핀들이 그들 사이에 실질적으로 갭이 없이 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 4개의 교차점 중의 하나에서 상기 홀들(22a 내지 22d) 및 상기 핀들(23a 내지 23d)의 설치는 그들 사이에 실질적으로 갭이 없이 이루어지며, 나머지 3개의 교차점에서의 설치는 보다 큰 갭들을 허용하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.