KR20040103198A - 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의제조 방법 - Google Patents

무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040103198A
KR20040103198A KR1020030035127A KR20030035127A KR20040103198A KR 20040103198 A KR20040103198 A KR 20040103198A KR 1020030035127 A KR1020030035127 A KR 1020030035127A KR 20030035127 A KR20030035127 A KR 20030035127A KR 20040103198 A KR20040103198 A KR 20040103198A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrolyte membrane
polymer electrolyte
thin film
fuel cell
inorganic thin
Prior art date
Application number
KR1020030035127A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100509298B1 (ko
Inventor
하흥용
곽순종
김대진
심준호
오인환
홍성안
임태훈
남석우
Original Assignee
한국과학기술연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국과학기술연구원 filed Critical 한국과학기술연구원
Priority to KR10-2003-0035127A priority Critical patent/KR100509298B1/ko
Priority to US10/751,138 priority patent/US7790220B2/en
Publication of KR20040103198A publication Critical patent/KR20040103198A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100509298B1 publication Critical patent/KR100509298B1/ko
Priority to US11/796,469 priority patent/US20070231655A1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/20Manufacture of shaped structures of ion-exchange resins
    • C08J5/22Films, membranes or diaphragms
    • C08J5/2287After-treatment
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/86Inert electrodes with catalytic activity, e.g. for fuel cells
    • H01M4/88Processes of manufacture
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/86Inert electrodes with catalytic activity, e.g. for fuel cells
    • H01M4/88Processes of manufacture
    • H01M4/8803Supports for the deposition of the catalytic active composition
    • H01M4/881Electrolytic membranes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/02Details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/04Auxiliary arrangements, e.g. for control of pressure or for circulation of fluids
    • H01M8/04082Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration
    • H01M8/04197Preventing means for fuel crossover
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/102Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer
    • H01M8/1023Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer having only carbon, e.g. polyarylenes, polystyrenes or polybutadiene-styrenes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/102Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer
    • H01M8/1025Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer having only carbon and oxygen, e.g. polyethers, sulfonated polyetheretherketones [S-PEEK], sulfonated polysaccharides, sulfonated celluloses or sulfonated polyesters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/102Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer
    • H01M8/103Polymeric electrolyte materials characterised by the chemical structure of the main chain of the ion-conducting polymer having nitrogen, e.g. sulfonated polybenzimidazoles [S-PBI], polybenzimidazoles with phosphoric acid, sulfonated polyamides [S-PA] or sulfonated polyphosphazenes [S-PPh]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/1039Polymeric electrolyte materials halogenated, e.g. sulfonated polyvinylidene fluorides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/1041Polymer electrolyte composites, mixtures or blends
    • H01M8/1055Inorganic layers on the polymer electrolytes, e.g. inorganic coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/1016Fuel cells with solid electrolytes characterised by the electrolyte material
    • H01M8/1018Polymeric electrolyte materials
    • H01M8/1069Polymeric electrolyte materials characterised by the manufacturing processes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2327/00Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers
    • C08J2327/02Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
    • C08J2327/12Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
    • C08J2327/18Homopolymers or copolymers of tetrafluoroethylene
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M2300/00Electrolytes
    • H01M2300/0088Composites
    • H01M2300/0094Composites in the form of layered products, e.g. coatings
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)

Abstract

본 발명은 연료전지에 사용되는 고분자 전해질막의 메탄올 크로스오버 현상을 줄이고, 전지의 성능을 향상시키기 위해 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 방법 또는 리액티브 스퍼터링(Reactive Sputtering) 방법으로 고분자 전해질막 표면에 무기질 박막을 코팅하는 복합 고분자 전해질막의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법은 플라즈마 화학기상 증착법 또는 리액티브 스퍼터링법을 이용하여 상용의 연료전지용 고분자 전해질막의 표면에 무기질 박막을 코팅하여 복합막을 얻는 것을 특징으로 한다. 이 때, 무기질 박막을 형성시키는데 사용되는 무기질은 실리콘 옥사이드(SiO2), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrO2), 지르코늄 포스페이트(Zr(HPO4)2), 제올라이트, 실리카라이트 및 알루미늄 옥사이드(Al2O3)로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택된다.
본 발명은 PECVD 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치를 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막에 무기질 박막을 코팅함으로써, 고분자 전해질막의 이온 전도도를 크게 감소시키지 않으면서 메탄올 크로스오버를 상당히 감소시키며, 연료전지에 적용하였을 때 높은 전지 성능을 구현할 수 있다.

Description

무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법{Method to manufacture composite polymer electrolyte membranes coated with inorganic thin films for fuel cells}
본 발명은 연료전지에 사용되는 고분자 전해질막의 제조 방법 및 이 전해질막의 응용에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 플라즈마 화학기상 증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; 이하 'PECVD법') 또는 리액티브 스퍼터링법(Reactive Sputtering)을 이용하여 상용의 연료전지용 고분자 전해질막의 표면에 무기질 박막을 코팅함으로써, 이온 전도도는 크게 감소시키지 않으면서 메탄올 투과도를 크게 줄여, 기존의 나피온 개질막이나 다른 합성 고분자 전해질막들보다 더 낮은 메탄올 투과도를 보이고, 궁극적으로 메탄올 연료전지의 성능을 향상시키는, 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법 및 이 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 상기 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한 전해질막-전극 접합체(membrane-electrode assembly, 이하 'MEA')와 연료전지, 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
직접 메탄올 연료전지(Direct Methanol Fuel Cell, 이하 DMFC)는, 수소를 사용하는 고분자 전해질 연료전지와 동일한 구조 및 작동원리를 갖고 있으나, 연료로서 수소 대신 메탄올을 직접 애노드(anode)에 공급하여 사용하는 형태이다. 따라서, 직접 메탄올 연료전지는 연료공급 체계가 단순하고 전체 장치가 간단하여 소형화가 가능하다. 이외에도, 직접 메탄올 연료전지는 사용되는 메탄올과 물의 액체 연료가 냉각수의 기능도 하고, 장치의 무게가 작고 가벼우며, 작동 온도가 기존의 연료전지보다 매우 낮고, 연료 보충이 용이하여 장시간 사용이 가능하다는 장점이 있다.
그러나, 직접 메탄올 연료전지는 메탄올 산화에 따른 낮은 전극 활성, 반응생성물인 일산화탄소에 의한 백금 촉매의 피독, 및 고분자 전해질 연료전지에 비해 낮은 전력 밀도 등의 단점이 있다. 또한, 직접 메탄올 연료전지는 과다한 백금 촉매 사용량, 장기 성능 저하, 및 직접 메탄올 연료전지에 있어서 가장 큰 문제점인 메탄올 크로스오버에 따른 성능 감소 등의 문제점이 있다.
직접 메탄올 연료전지는 소형 배터리와 같은 용량의 제한이나 충전시간에 따른 불편함을 해소시킬 수 있어서 휴대폰이나 PDA, 노트북 PC와 같은 휴대용 전원으로의 사용 가능성이 매우 높다. 나아가, 직접 메탄올 연료전지는 그 성능이 더욱 향상된다면, 자동차용 전원으로서도 사용할 수 있다.
이러한 직접 메탄올 연료전지에서 전해질막은 애노드와 캐소드 사이에서 수소이온의 전달체 역할을 하는 동시에 메탄올과 산소의 접촉을 막는 역할도 한다. 따라서, 연료전지용 고분자 전해질막은 수소이온 전도성은 높으면서, 전자의 전도성은 낮아야 한다. 또한, 연료전지용 고분자 전해질막은 이온의 이동에 비하여 메탄올이나 물의 이동이 적어야 하며, 기계적, 열적 및 화학적 안정성이 높아야 한다.
그러나, 일반적으로 사용되는 듀퐁사(DuPont)의 나피온막 (Nafion membrane)이나 다른 상용막들은 이온 전도도가 우수하긴 하나, 메탄올이 산화극에서 환원극으로 투과하여 넘어가는 문제점이 있다. 이렇게 크로스오버된 메탄올은 환원극에서 산화되어 백금 촉매를 피독시키고 혼합전위를 발생시켜 결국 전체 전위를 떨어뜨려 셀 성능을 감소시키게 된다.
상기와 같은 직접 메탄올 연료전지에서의 메탄올 크로스오버 문제를 해결하기 위해 여러 가지 연구가 진행되어 왔다. 이러한 연구 방향을 크게 두 가지로 나눌 수 있는데, 첫째는 새로운 합성 고분자 전해질막을 개발하는 것이고, 둘째는 기존의 상업용 전해질막을 개질하는 것이다.
먼저 합성 고분자 전해질막을 개발한 예로서, 미국 특허 제6,503,378호는 산성 작용기와 양이온 작용기가 결합된 친수성 영역과 소수성의 탄화수소 영역을 공유결합으로 형성시켜 열적, 화학적, 기계적 물성이 우수한 연료전지용 고분자 전해질막을 제조하였다. 그러나, 이 방법은 메탄올 크로스오버를 줄이지 못한 단점이 있다.
대한민국 특허출원 공개번호 제2003-0004065호에서는 트리플루오로스티렌과 치환된 비닐 화합물을 기초로 한 부분불소화된 공중합체 및 이로부터 형성된 이온 전도성 고분자 전해질막을 제조하였다. 이 방법은 저렴한 가격으로 전해질막의 제조가 가능하고, 전해질막의 기계적 물성이 우수하며, 팽윤(swelling) 정도를 종래의 경우에 비해 줄일 수 있다고 보고하고 있으나, 역시 메탄올 투과도를 줄인 결과는 제시하지 못하고 있다.
대한민국 특허출원 공개번호 제2002-0074582호에서는 고분자 매트릭스내에 퍼플루오리네이트 이오노머를 첨가하여 혼합 고분자 용액을 제조한 후 캐스팅법으로 고분자막을 제조하고 양면에 플루오리네이티드 이오노머를 코팅하여 복합막을 제조하였다. 이 방법은 기존의 나피온보다 낮은 제조비용으로 복합막의 제조가 가능하고, 성능 특성이 우수하다고 기재하고 있으나, 복합막의 기계적 물성이 떨어지고, 제조공정이 복잡하다는 단점이 있다.
두 번째로 나피온 고분자 전해질막을 개질한 예로서, 나피온 115와 실리콘 에톡사이드(TEOS)를 사용하여 졸-겔 공정으로 나피온/실리콘 복합막을 제조한 방법이 있는데[D. H. Jung, S. Y. Cho, D. H. Peck, D. R. Shin and J. S. Kim, Journal of Power Sources, 4683 1-5 (2002)], 이 경우 실리콘 산화물의 함량이 증가할수록 메탄올 투과도가 감소함을 확인하였다. 또한, 상기 방법에 의한 막을 사용한 셀은 120℃, 0.5V에서 650mA/㎠의 전류밀도를 보여 상용막보다 높은 성능을 나타냈다고 보고하고 있다. 그러나, 이 방법에 의할 경우 이온 전도도가 나피온 보다 감소하게 되고, 실리콘 함량이 12% 이상 증가할 때는 오히려 성능이 감소하는 단점을 가지고 있다.
나피온 막에 스크린 프린팅법으로 폴리벤지이미다졸층을 형성시킴으로써, 40~60% 낮은 메탄올 투과도를 보이고, 셀 성능이 46% 향상된 복합고분자 전해질막이 제조되었는데[L. J. Hobson, Y. Nakano, H. Ozu and S. Hayase, Journal of Power Sources, 104, 1(2002)], 이 경우 이온 전도도가 나피온에 비하여 약 50% 감소하는 단점이 있다.
또한, 나피온 막을 35kV의 가속전압에서 9.2μC/㎠의 전자빔에 노출시켜 표면처리함으로써, 셀 성능이 51% 향상된 개질막이 제조되었으나[L. J. Hobson, H. Ozu, M. Yamaguchi, and Hayase, Journal of The Electrochemical Society, 148, 10 (2001)], 이 개질막은 메탄올 크로스오버를 나피온에 비하여 거의 줄이지 못하고, 표면에 달려 있던 술폰기가 상당히 제거되어 버리는 단점이 있다.
따라서, 기존의 연료전지용 고분자 전해질막들의 단점을 보완하고, 메탄올 크로스오버를 더욱 줄여 연료전지의 성능을 높일 수 있는, 새로운 연료전지용 고분자 전해질막 제조 방법이 요구된다.
본 발명은 상기의 고분자 전해질막들의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, PECVD법 또는 리액티브 스퍼터링법을 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막의 표면에 무기질 박막을 코팅함으로써, 이온 전도도는 크게 감소시키지 않으면서 메탄올 투과도를 크게 줄여 기존의 나피온 개질막이나 다른 합성 고분자 전해질막들보다 더 낮은 메탄올 투과도를 보이고, 궁극적으로 메탄올 연료전지의 성능을 향상시키는, 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법 및 이 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한 전해질막-전극 접합체 (membrane- electrode assembly, 이하 'MEA')와 연료전지, 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명에 따라 연료전지용 고분자 전해질막에 무기질 박막을 코팅하는 데 사용되는 플라즈마 화학기상 증착(PECVD) 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예 3에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막 표면의 전자주사현미경(SEM) 사진이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1 내지 실시예 5에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막과 기존 고분자 전해질막의 특성 인자를 비교한 그래프이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법은, 플라즈마 화학기상 증착법 또는 리액티브 스퍼터링법을 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막의 표면에 무기질 박막을 코팅하여 복합막을 얻는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 무기질 박막을 구성하는 무기질은 실리콘 옥사이드(SiO2), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrO2), 지르코늄 포스페이트(Zr(HPO4)2), 제올라이트, 실리카라이트 및 알루미늄 옥사이드(Al2O3)로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 연료전지용 고분자 전해질막은 과불소화술폰산 계통인 나피온막(듀퐁사), 다우막(다우케미컬사), 플레미온막(아사히그라스사), 아씨플렉스막(아사히케미컬사), 밤막(발라드사) 또는 고어막(고어사); 탄화수소계열의 수소이온전도성 고분자인 술폰화 폴리술폰, 술폰화 폴리에틸렌, 술폰화 폴리프로필렌, 술폰화 폴리스티렌, 술폰화 폴리페놀포름알데하이드, 폴리스티렌 다이비닐벤젠 술폰산, 술폰화 폴리벤지이미다졸, 술폰화 폴리아미드 또는 술폰화 폴리에테르-에테르 케톤으로 제조된 전해질막; 또는 플루오르계열의 수소이온전도성 고분자인 술폰화 폴리비닐리덴 플루오라이드, 술폰화 폴리테트라플루오르에틸렌 또는 플루오르화 에틸렌 프로필렌으로부터 제조된 전해질막인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착시 단량체로서 알루미늄, 티타늄, 실리콘, 또는 지르코늄이 포함된 유기금속화합물로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 반응물을, 산소, 질소, 수소, 수증기, 및 알곤 기체로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 기체와 함께 사용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 유기금속화합물은 트리메틸디실록산(TMDSO), 헥사메틸 디실록산(hexamethyl disiloxane, HMDSO), 헥사메틸디실란, 테트라에틸 오르토실리케이트(tetraethyl orthosilicate, TEOS), 테트라메틸 오르소실리케이트(tetramethyl orthosilicate), 테트라부틸 오르소실리케이트(tetrabuthyl orthosilicate), 테트라아이소프로필 오르소실리케이트 (tetraisopropyl orthosilicate), 알루미늄 메톡사이드, 알루미늄 에톡사이드, 알루미늄 부톡사이드, 알루미늄 이소프로폭사이드, 타이타늄에톡사이드, 타이타늄메톡사이드, 타이타늄부톡사이드, 타이타늄이소프로폭사이드, 지르코늄에톡사이드, 및 지르코늄부톡사이드로 구성되는 군으로부터 1이상 선택되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 리액티브 스퍼터링시 순도 99% 이상의 순도를 갖는 Si, SiO2, SiNH, Al, Zr, 또는 Ti 금속 타겟을 사용하고, 초기 진공도를 1.0×10-3torr 내지 1.0×10-6torr 범위의 고진공으로 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 리액티브 스퍼터링시 타겟 표면의 산화층 형성을 막기 위하여, 99.9% 이상의 알곤 가스를 도입하여 타겟표면을 스퍼터링하여 깨끗하게 한 후 무기막을 증착하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 마이크로파 출력의 범위는 10와트 내지 500와트인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 반응기내 압력 범위는 1.0 내지 1000밀리토르인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 알곤 전처리 전자파 출력의 범위는 10와트 내지 500와트인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 알곤 전처리 압력 범위가 1.0 내지 500밀리토르인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 반응기내 반응기체 압력의 범위가 10 내지 500밀리토르인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 전극간 거리는 1 내지 30센티미터인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 상기 무기질 박막의 두께는 1.0 내지 500 나노미터인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법에 있어서, 연료전지 제조시 전극과의 접촉성을 증가시키기 위해, 상기 무기질 박막의 코팅 후, 상용 고분자 전해질막의 이오노머 용액을 물과 이소프로필 알코올 용매에 섞어 복합막 표면에 코팅시키는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막은, 상기에 기재된 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 전해질막-전극 접합체는 상기에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한다.
본 발명에 의한 전해질막-전극 접합체의 제조 방법은, 상기에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막에 전극용 촉매혼합물을 직접 코팅하는 공정을 거치는 것을 특징으로 한다. 상기 전극 촉매의 직접 코팅은 전해질막과 전극과의 접촉저항을 줄이기 위한 것으로서, 전극은 촉매와 수소이온전도성 물질로 구성된다.
본 발명에 의한 연료전지는 상기에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한다.
플라즈마 화학기상 증착은 기체 및 유기화합물의 증기들이 저압 상태에서 플라즈마로 전환될 때 고분자 물질이 생성되면서 기판의 표면에 박막의 형태로 코팅되는 현상을 이용하는 기술이다. 고분자 중합 반응이 진공에 가까운 상태에서 진행되면, 합성된 고분자는 주위에 있는 고체들의 표면에서 박막으로 성장한다. 따라서, PECVD는 박막 제조 및 고체의 표면 개질에 적합한 기술이다. PECVD의 장점에는 아래와 같은 것들이 있다.
① 흠이 없이 균일하게 코팅할 수 있다.
② 단량체가 반응기들을 가지고 있지 않더라도 중합시킬 수 있으므로 선택할 수 있는 코팅 소재의 폭이 넓다.
③ 진공에서 안정한 물질이면 어떠한 물질에도 코팅할 수 있다.
④ 코팅된 박막의 접착력이 우수하다.
⑤ 건식 방법이므로 용매에 의한 환경오염이 없다
⑥ 코팅 소재와 에너지의 소비량이 적어 경제적이다.
PECVD에 의한 박막은 일반적으로 매우 높은 가교결합 및 치밀한 구조를 갖고 있고 내용제성, 열적 안정성 등이 우수한 기계적 물성을 갖고 있으며, 제조된 박막은 핀홀(pinhole)이 없는 균일한 박막으로서 기체와 액체에 대한 우수한 차단 특성을 갖는 것으로 알려져 있다. 또한 이들 박막이 기질에 대한 접착성도 우수하기 때문에 기질의 보호용 재료로 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명에서 사용된 PECVD 장치의 개략도이다.
도 1의 PECVD 장치에 있어서, 플라즈마의 발생을 위한 주파수 13.56 MHz의 라디오파 발생기와 여기에 연결된 임피던스 정합장치를 통하여 반응기 상부의 알루미늄 전극으로 전력을 공급하였다. 반응물인 단량체의 공급 속도는 미세 유량 조절 밸브에 의해 조절되었으며 상부전극 부분으로부터 기체분사 방식에 의해 유입되었다. 개질하고자 하는 고분자 전해질막 (예, 나피온막)은 반응기안의 하부 전극 중간에 고정시켰다. 반응기의 초기 내부 압력은 1 내지 2 mTorr 이하로 감압하였다. 단량체의 유량이 일정해지면 13.56 MHz 라디오 주파수 발진기를 사용하여 원하는 방전출력에서 소정의 시간 동안 플라즈마 처리를 하였다.
리액티브 스퍼터링에 의한 화합물 박막 형성은, 산화물이나 질화물 타겟을 직접 스퍼터링하는 것보다 제조공정, 순도 및 가격면에서 유리하다. 그 이유는 타겟으로부터 튀어 나온 기체상태의 원자는 매우 불안정한 상태이기 때문에 반응성 기체와 쉽게 반응하여 기판 위에 빠르게 박막을 형성시키기 때문이다. 리액티브 스퍼터링 도중에 기판온도를 올려주면 화합물 형성속도가 빨라져 성막속도를 증가시킬 수 있다.
본 발명의 리액티브 스퍼터링 공정에 의한 산화물 박막형성은 실리콘, 지르코늄, 알루미늄, 타이타늄 등의 금속 타겟을 사용하고, 스퍼터링 반응기 내에 산소 또는 수증기 등을 질소 또는 알곤 기체와 함께 넣어줌으로써 금속산화물의 박막이 형성되도록 한다.
본 발명에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 사용하여 직접 메탄올 연료전지를 제작할 때 상기 복합막과 전극과의 접촉저항을 줄이기 위해 상용 전해질막의 이오노머 용액을 증류수와 이소프로필알코올(IPA)에 일정 비율로 섞어 잘 교반하여 균일한 용액을 만든 후 복합막 표면에 뿌려준다.
연료전지용 고분자 전해질 복합막의 한쪽면에는 애노드용 백금-루테늄 촉매를 코팅시키고, 그 반대편에는 캐소드용 백금 촉매를 코팅하여 MEA를 제조한다. 이때 애노드와 캐소드의 촉매 담지량은 금속기준으로 각각 0.1 내지 10mg/㎠이 되도록 한다.
상기의 방법으로 제조된 MEA의 양쪽에 각각 지지체로 탄소천 또는 탄소종이를 대고 조립하여 단위전지를 제작한다.
본 발명의 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예의 설명을 고찰함으로써 더욱 명확하게 될 것이다. 다음의 실시예는 본 발명에 따른 연료전지용 고분자 전해질막의 제조방법 및 이렇게 제조된 고분자 전해질막의 성능을 측정한 예를 보여주는 것으로서, 본 발명은 이러한 실시예에 의해 그 범위가 제한 받지 않는다.
<실시예 1>
실리콘에톡사이드(알드리치 제품)를 반응물로 사용한 PECVD법을 이용하여 나피온 115 막 (듀퐁사) 표면에 실리카를 10 나노미터 두께로 코팅하여 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 제조하였다. 이렇게 제조된 연료전지용 고분자 전해질막의 이온 전도도는 0.091S/cm이었고, 메탄올 투과도는 1.68×10-6㎠/sec 이었다(하기 표 1 및 2 참조).
<실시예 2>
실리콘에톡사이드(알드리치 제품)를 반응물로 사용한 PECVD법을 이용하여 나피온 115 막 표면에 실리카를 30 나노미터 두께로 코팅하여 무기질 박막이 코팅된연료전지용 고분자 전해질막을 제조하였다. 이렇게 제조된 연료전지용 고분자 전해질막의 이온 전도도는 0.075S/cm이었고, 메탄올 투과도는 8.25×10-7㎠/sec 이었다(하기 표 1 및 2 참조).
<실시예 3>
실리콘메톡사이드(알드리치 제품)를 반응물로 사용한 PECVD법을 이용하여 나피온 115막 표면에 실리카를 50 나노미터 두께로 코팅하여 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막을 제조하였다. 이렇게 제조된 연료전지용 고분자 전해질막의 이온 전도도는 0.076S/cm이었고, 메탄올 투과도는 9.09×10-7㎠/sec 이었다(하기 표 1 및 2 참조).
<실시예 4>
알루미늄-세컨더리-부톡사이드(알드리치 제품)를 반응물로 사용한 PECVD법을 이용하여 나피온115 막 표면에 알루미나를 70 나노미터 두께로 코팅하여 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 제조하였다. 이렇게 제조된 연료전지용 고분자 전해질막의 이온 전도도는 0.071S/cm이었고, 메탄올 투과도는 7.37×10-7㎠/sec 이었다(하기 표 1 및 2 참조).
<실시예 5>
타이타늄이소프로폭사이드(알드리치 제품)를 반응물로 사용한 PECVD법을 이용하여 나피온 115 표면에 타이타늄을 70 나노미터 두께로 코팅하여 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 제조하였다. 이렇게 제조된 연료전지용고분자 전해질막의 이온 전도도는 0.072S/cm이었고 메탄올 투과도는 8.13×10-7㎠/sec 이었다(하기 표 1 및 2 참조).
도 2는 PECVD 장치를 이용하여 나피온 115 표면에 실리카를 50 나노미터 두께로 코팅하여 전자주사현미경 (SEM)으로 관찰한 사진이다. 도 2에서 보는 바와 같이 실리카가 나피온 115막 표면에 고르게 코팅되어 있음을 확인할 수 있다.
상기 실시예 1 내지 실시예 5에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막과 기존의 고분자 전해질막의 이온 전도도를 하기 표 1에 정리하였다.
저항(Ω) 이온 전도도(S/cm)
나피온 115 692.70 0.098
실시예 1 704.09 0.091
실시예 2 995.66 0.075
실시예 3 975.56 0.076
실시예 4 942.10 0.071
실시예 5 943.16 0.072
또한, 상기 실시예 1 내지 실시예 5에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막과 기존의 고분자 전해질막의 메탄올 투과도를 하기 표 2에 정리하였다.
기울기 메탄올 투과도(㎠/sec)
나피온 115 0.19112 2.77×10-6
실시예 1 0.11898 1.68×10-6
실시예 2 0.05807 8.25×10-7
실시예 3 0.06399 9.09×10-7
실시예 4 0.04737 7.37×10-7
실시예 5 0.06309 8.13×10-7
상기 표 1에서 보는 바와 같이, PECVD법을 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막에 실리카 박막을 코팅한 실시예 2 내지 실시예 3의 경우, 이온 전도도가 나피온에 비하여 약 20% 감소됨을 알 수 있다.
그러나, 상기 표 2에서 보는 바와 같이, 실시예 2 내지 실시예 3의 메탄올 투과도는 나피온에 비하여 약 70% 감소되었다.
결국 표 1 및 2에서 보는 바와 같이 본 발명의 실시예에 따라 PECVD법을 이용하여 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막을 제조하였을 경우, 기존의 상용 나피온막에 비하여 이온 전도도는 크게 감소시키지 않으면서, 메탄올의 투과도는 약 70% 정도로 상당히 감소시킴을 확인할 수 있다.
<실시예 6>
연료전지용 고분자 전해질막의 특성을 나타내기 위해, 하기 수학식 1에 나타낸 것처럼 이온 전도도와 메탄올 투과도의 비로 표현되는 특성인자(Characteristic Factor)를 사용하였다
상기 수학식 1로부터 실시예 1 내지 실시예 5 및 기존의 나피온에 대한 특성인자를 구하였으며, 그 결과를 도 3에 나타내었다.
도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따라 실리콘 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막의 특성인자가 나피온 전해질막에 비해 약 2~3배 더 우수한 것을 알 수 있다.
즉, 상기 결과로부터 기존의 상용 나피온 전해질막보다 본 발명에 따라 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막의 특성이 훨씬 향상되었음을 확인할 수 있다.
<실시예 7: 이오노모 용액 복합 코팅>
PECVD 장치를 이용하여 실리카 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막의 전극과 접촉성을 향상시키기 위해, 5wt% 나피온 용액(듀퐁사)을 막의 표면에 뿌려, 건조무게로 2mg/cm2만큼의 나피온 물질을 코팅시켰다.
<실험예 1: 연료전지 성능 측정>
본 발명의 실시예에 따라 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막을 사용하여 직접 메탄올 연료전지를 제작하고, 전지의 성능을 측정하였다. 직접 메탄올 연료전지의 성능 측정은 수동형 메탄올 공급 및 공기호흡형의 조건에서 이루어졌으며, 산화극에는 4.5M 메탄올 용액이 사용되었고, 환원극은 대기중에 노출시켜 산소가 자연적으로 확산되어 공급되도록 하였다.
연료전지의 성능 측정 결과, 본 발명에 따라 실리콘 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막을 이용하여 제작된 연료전지가 기존의 상용 나피온 전해질막을 사용한 전지보다 30~40% 더 높은 성능을 보였다.
이는 본 발명에 따라 제조된, 실리콘 박막이 코팅된 연료전지용 고분자 전해질막이 기존의 상용 나피온 전해질막보다 이온 전도도는 비슷하게 유지하면서, 메탄올 투과도는 낮추어 연료전지의 성능을 향상시켰기 때문이다.
본 발명은 PECVD법 또는 리액티브 스퍼터링법을 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막에 무기질 박막을 코팅함으로써, 기존의 상용 고분자 전해질막과 비교했을 때 이온 전도도는 크게 감소시키지 않으나, 메탄올 투과도를 크게 감소시키므로써, 직접메탄올 연료전지의 성능을 향상시키고, 수명을 연장시키는 효과를 얻을 수 있다. 또한, PECVD 또는 스퍼터링법은 전해질막을 대량으로 개질하는 데 매우 유리한 방법으로서, 값싸고 효과적으로 메탄올 저투과성 복합 전해질막을 제조할 수 있다.

Claims (19)

  1. 플라즈마 화학기상 증착법 또는 리액티브 스퍼터링법을 이용하여 연료전지용 고분자 전해질막의 표면에 무기질 박막을 코팅하여 복합막을 얻는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 무기질 박막을 구성하는 무기질은 실리콘 옥사이드(SiO2), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrO2), 지르코늄 포스페이트(Zr(HPO4)2), 제올라이트, 실리카라이트 및 알루미늄 옥사이드(Al2O3)로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 것을 특징으로 하는, 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연료전지용 고분자 전해질막은 과불소화술폰산 계통인 나피온막, 다우막, 플레미온막, 아씨플렉스막, 밤막 또는 고어막; 탄화수소계열의 수소이온전도성 고분자인 술폰화 폴리술폰, 술폰화 폴리에틸렌, 술폰화 폴리프로필렌, 술폰화 폴리스티렌, 술폰화 폴리페놀포름알데하이드, 폴리스티렌 다이비닐벤젠 술폰산, 술폰화 폴리벤지이미다졸, 술폰화 폴리아미드 또는 술폰화 폴리에테르-에테르 케톤으로 제조된 전해질막; 또는 플루오르계열의 수소이온전도성 고분자인 술폰화 폴리비닐리덴 플루오라이드, 술폰화 폴리테트라플루오르에틸렌 또는 플루오르화 에틸렌 프로필렌으로부터 제조된 전해질막인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착시 단량체로서 알루미늄, 티타늄, 실리콘, 또는 지르코늄이 포함된 유기금속화합물로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 반응물을, 산소, 질소, 수소, 수증기, 및 알곤 기체로 구성되는 군으로부터 1 이상 선택되는 기체와 함께 사용하는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  5. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 유기금속화합물은 트리메틸디실록산(TMDSO), 헥사메틸 디실록산(hexamethyl disiloxane, HMDSO), 헥사메틸디실란, 테트라에틸 오르토실리케이트(tetraethyl orthosilicate, TEOS), 테트라메틸 오르소실리케이트(tetramethyl orthosilicate), 테트라부틸 오르소실리케이트(tetrabuthyl orthosilicate), 테트라아이소프로필 오르소실리케이트 (tetraisopropyl orthosilicate), 알루미늄 메톡사이드, 알루미늄 에톡사이드, 알루미늄 부톡사이드, 알루미늄 이소프로폭사이드, 타이타늄에톡사이드, 타이타늄메톡사이드, 타이타늄부톡사이드, 타이타늄이소프로폭사이드, 지르코늄에톡사이드, 및 지르코늄부톡사이드로 구성되는 군으로부터 1이상 선택되는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 리액티브 스퍼터링시 순도 99% 이상의 순도를 갖는 Si, SiO2, SiNH, Al, Zr, 또는 Ti 금속 타겟을 사용하고, 초기 진공도를 1.0×10-3torr 내지 1.0×10-6torr 범위의 고진공으로 유지하는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 리액티브 스퍼터링시 타겟 표면의 산화층 형성을 막기 위하여, 99.9% 이상의 알곤 가스를 도입하여 타겟표면을 스퍼터링하여 깨끗하게 한 후 무기막을 증착하는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 마이크로파 출력의 범위는 10와트 내지 500와트인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 반응기내 압력 범위는 1.0 내지 1000밀리토르인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치 또는 리액티브 스퍼터링 장치의 알곤 전처리 전자파 출력의 범위는 10와트 내지 500와트인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  11. 제1항 또는 제10항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 알곤 전처리 압력 범위가 1.0 내지 500밀리토르인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 반응기내 반응기체 압력의 범위가 10 밀리토르 내지 500밀리토르인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 화학기상 증착 장치의 전극간 거리는 1 내지 30센티미터인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 무기질 박막의 두께는 1.0 내지 500 나노미터인 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  15. 제1항에 있어서,
    연료전지 제조시 전극과의 접촉성을 증가시키기 위해, 상기 무기질 박막의 코팅 후, 상용 고분자 전해질막의 이오노머 용액을 물과 이소프로필 알코올 용매에 섞어 복합막 표면에 코팅시키는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법.
  16. 제1항 내지 제15항에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막.
  17. 제1항 내지 제15항에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한 전해질막-전극 접합체.
  18. 제1항 내지 제15항에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막에 전극의 촉매를 직접 코팅하는 공정을 거치는 것을 특징으로 하는 전해질막-전극 접합체의 제조 방법.
  19. 제1항 내지 제15항에 기재된 방법에 의해 제조된 무기질 박막이 코팅된 연료전지용 복합고분자 전해질막을 채용한 연료전지.
KR10-2003-0035127A 2003-05-31 2003-05-31 무기질 박막이 코팅된 직접메탄올 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법 KR100509298B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0035127A KR100509298B1 (ko) 2003-05-31 2003-05-31 무기질 박막이 코팅된 직접메탄올 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법
US10/751,138 US7790220B2 (en) 2003-05-31 2003-12-30 Method to manufacture composite polymer electrolyte membranes coated with inorganic thin films for fuel cells
US11/796,469 US20070231655A1 (en) 2003-05-31 2007-04-27 Method to manufacture composite polymer electrolyte membranes coated with inorganic thin films for fuel cells

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0035127A KR100509298B1 (ko) 2003-05-31 2003-05-31 무기질 박막이 코팅된 직접메탄올 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040103198A true KR20040103198A (ko) 2004-12-08
KR100509298B1 KR100509298B1 (ko) 2005-08-22

Family

ID=33448323

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0035127A KR100509298B1 (ko) 2003-05-31 2003-05-31 무기질 박막이 코팅된 직접메탄올 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7790220B2 (ko)
KR (1) KR100509298B1 (ko)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670340B1 (ko) * 2005-05-25 2007-01-16 삼성에스디아이 주식회사 수소 이온 전도성 티타네이트, 이를 포함한 고분자 나노복합막 및 이를 채용한 연료 전지
KR100683790B1 (ko) * 2005-07-12 2007-02-15 삼성에스디아이 주식회사 무기 전도체를 이용한 수소이온 전도성 복합막 및 그의제조방법
KR100786841B1 (ko) * 2007-01-11 2007-12-20 삼성에스디아이 주식회사 연료 전지용 고분자 전해질 막 및 이를 포함하는 막-전극어셈블리 및 이를 포함하는 연료 전지 시스템
KR100803671B1 (ko) * 2006-06-08 2008-02-19 한국과학기술연구원 연료전지용 막 전극 접합체, 그 제조 방법 및 상기 막 전극접합체를 이용한 연료전지
KR100953613B1 (ko) * 2005-09-28 2010-04-20 삼성에스디아이 주식회사 연료 전지용 막-전극 어셈블리, 이의 제조방법 및 이를포함하는 연료 전지 시스템
KR100980997B1 (ko) * 2007-08-24 2010-09-07 현대자동차주식회사 고온 연료전지용 고분자 전해질막 및 이를 포함하는고분자 전해질 연료전지
KR101119670B1 (ko) * 2009-04-22 2012-03-16 조선대학교산학협력단 광학 특성을 개선한 지르코니아 박막의 증착방법
US9008408B2 (en) 2009-02-05 2015-04-14 D.I.R. Technologies (Detection Ir) Ltd. Method and system for determining the quality of pharmaceutical products
WO2017090860A1 (ko) * 2015-11-26 2017-06-01 주식회사 엘지화학 고분자 전해질막, 이를 포함하는 막 전극 접합체 및 상기 막 전극 접합체를 포함하는 연료 전지
US10367219B2 (en) 2015-11-26 2019-07-30 Lg Chem, Ltd. Polymer electrolyte membrane, membrane electrode assembly comprising same, and fuel cell comprising membrane electrode assembly
CN112993259A (zh) * 2021-05-12 2021-06-18 蜂巢能源科技有限公司 包覆型三元正极材料、其制备方法和锂离子电池
KR20210148910A (ko) * 2020-06-01 2021-12-08 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단 수전해용 다층복합분리막 및 이의 제조 방법

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070001143A (ko) * 2004-02-19 2007-01-03 조지아 테크 리서치 코오포레이션 마이크로 연료전지 및 제작 방법
US20050227135A1 (en) * 2004-04-12 2005-10-13 Elena Chalkova Composite membrane for fuel cell and fuel cells incorporating said membranes
EP1771902A4 (en) * 2004-06-30 2009-09-16 Georgia Tech Res Inst MICROSTRUCTURES AND METHODS OF MAKING
KR100637169B1 (ko) * 2004-08-30 2006-10-20 삼성에스디아이 주식회사 복합전해질막
US8182884B2 (en) * 2005-02-28 2012-05-22 GM Global Technology Operations LLC Process for application of a hydrophilic coating to fuel cell bipolar plates
WO2007021679A2 (en) * 2005-08-12 2007-02-22 General Motors Global Technology Operations, Inc. Hydrophilic coating for fuel cell bipolar plate and methods of making the same
JP2009505354A (ja) * 2005-08-12 2009-02-05 ジーエム・グローバル・テクノロジー・オペレーションズ・インコーポレーテッド 燃料電池バイポーラプレートに親水性の被覆を適用する方法
EP1793437A3 (de) * 2005-09-09 2009-04-22 Institut für Energie- und Umwelttechnik e.V. (IUTA) - Institut an der Universität Duisburg - Essen Elektrolyt, Elektrode und Katalysatorelektrode zur Verwendung in einer Brennstoffzelle
GB0519362D0 (en) * 2005-09-23 2005-11-02 Johnson Matthey Plc Process for preparing a composite membrane
JP2009524178A (ja) * 2005-12-12 2009-06-25 ジョージア テク リサーチ コーポレイション 多孔質フリット系複合陽子交換膜を有する燃料電池
JP2007239737A (ja) * 2006-02-13 2007-09-20 Nidec Sankyo Corp ミキシングポンプ装置および燃料電池
US7585356B2 (en) * 2006-05-01 2009-09-08 Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. Hydrothermally-stable silica-based composite membranes for hydrogen separation
KR100808597B1 (ko) * 2006-10-31 2008-02-29 주식회사 하이닉스반도체 Mim 캐패시터 형성방법
FR2908558B1 (fr) * 2006-11-13 2008-12-19 Commissariat Energie Atomique Materiau d'electrolyte silicie pour pile a combustible, procede pour sa realisation et pile a combustible mettant en oeuvre un tel materiau.
MX345403B (es) 2009-05-13 2017-01-30 Sio2 Medical Products Inc Revestimiento por pecvd utilizando un precursor organosilícico.
US7985188B2 (en) 2009-05-13 2011-07-26 Cv Holdings Llc Vessel, coating, inspection and processing apparatus
CN102459693B (zh) * 2009-05-13 2015-11-25 Sio2医药产品公司 使用有机硅前体的pecvd涂层
SG176008A1 (en) * 2009-05-13 2011-12-29 Cv Holdings Llc Pecvd coating using an organosilicon precursor
AU2010249033B2 (en) * 2009-05-13 2016-07-28 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coating using an organosilicon precursor
US8735013B1 (en) 2009-05-24 2014-05-27 Hrl Laboratories, Llc Methods for fabricating inorganic proton-conducting coatings for fuel-cell membranes
KR101064986B1 (ko) * 2009-06-04 2011-09-15 강원대학교산학협력단 세라믹 다공성 지지체, 그를 이용한 강화 복합 전해질 막 및 그를 구비한 막-전극 어셈블리
US9458536B2 (en) 2009-07-02 2016-10-04 Sio2 Medical Products, Inc. PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles
US9469554B2 (en) * 2009-07-29 2016-10-18 General Electric Company Bipolar electrode and supercapacitor desalination device, and methods of manufacture
FR2951714B1 (fr) * 2009-10-27 2013-05-24 Electricite De France Dispositif electrochimique a electrolyte solide conducteur d'ions alcalins et a electrolyte aqueux
US11624115B2 (en) 2010-05-12 2023-04-11 Sio2 Medical Products, Inc. Syringe with PECVD lubrication
GB201013526D0 (en) 2010-08-12 2010-09-29 Univ Manchester Membrane electrode assembly
US9878101B2 (en) 2010-11-12 2018-01-30 Sio2 Medical Products, Inc. Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods
US20130244003A1 (en) * 2010-11-26 2013-09-19 Research & Business Foundation Sungkyunkwan University Organic/inorganic hybrid hierarchical structure and method for manufacturing superhydrophobic or superhydrophilic surface using same
KR101344686B1 (ko) * 2011-03-18 2013-12-26 한국과학기술연구원 술폰화도가 상이한 고분자의 블렌드를 포함하는 연료전지 전해질막 및 이를 포함하는 막-전극 접합체 및 연료전지
US9272095B2 (en) 2011-04-01 2016-03-01 Sio2 Medical Products, Inc. Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods
US11116695B2 (en) 2011-11-11 2021-09-14 Sio2 Medical Products, Inc. Blood sample collection tube
EP2776603B1 (en) 2011-11-11 2019-03-06 SiO2 Medical Products, Inc. PASSIVATION, pH PROTECTIVE OR LUBRICITY COATING FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE, COATING PROCESS AND APPARATUS
TWI455756B (zh) * 2011-12-02 2014-10-11 Ind Tech Res Inst 複合式多孔性材料、製備方法以及於能量儲存設備之應用
CA2887352A1 (en) 2012-05-09 2013-11-14 Sio2 Medical Products, Inc. Saccharide protective coating for pharmaceutical package
EP2914762B1 (en) 2012-11-01 2020-05-13 SiO2 Medical Products, Inc. Coating inspection method
US9903782B2 (en) 2012-11-16 2018-02-27 Sio2 Medical Products, Inc. Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics
WO2014085348A2 (en) 2012-11-30 2014-06-05 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of pecvd deposition on medical syringes, cartridges, and the like
US9764093B2 (en) 2012-11-30 2017-09-19 Sio2 Medical Products, Inc. Controlling the uniformity of PECVD deposition
US9662450B2 (en) 2013-03-01 2017-05-30 Sio2 Medical Products, Inc. Plasma or CVD pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus
KR102472240B1 (ko) 2013-03-11 2022-11-30 에스아이오2 메디컬 프로덕츠, 인크. 코팅된 패키징
US9937099B2 (en) 2013-03-11 2018-04-10 Sio2 Medical Products, Inc. Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate
WO2014144926A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Sio2 Medical Products, Inc. Coating method
US11066745B2 (en) 2014-03-28 2021-07-20 Sio2 Medical Products, Inc. Antistatic coatings for plastic vessels
FI126227B (en) * 2014-08-28 2016-08-31 Kemira Oyj Electrolyte membrane for use in an electrochemical cell
US11077233B2 (en) 2015-08-18 2021-08-03 Sio2 Medical Products, Inc. Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate
CN108417817A (zh) * 2018-01-31 2018-08-17 华南理工大学 一种具有优异循环稳定性的Si1-xMx复合薄膜负极的制备方法
CN109524656A (zh) * 2018-11-26 2019-03-26 天津师范大学 一种锂离子电池氧化钛/氧化硅负极材料的制备方法
KR20220105676A (ko) * 2019-12-05 2022-07-27 비.지. 네게브 테크놀로지즈 앤드 애플리케이션스 리미티드, 엣 벤-구리온 유니버시티 향상된 1가 선택도를 갖는 양이온 교환 멤브레인, 그것의 제조, 및 전기투석에서의 그것의 용도
US11936028B1 (en) * 2020-07-13 2024-03-19 Ampcera Inc. Systems and methods for heating electrochemical systems

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4250013A (en) * 1979-02-23 1981-02-10 Ppg Industries, Inc. Method of depositing a catalyst to form a solid polymer electrolyte membrane
JPH05258756A (ja) 1992-03-02 1993-10-08 Honda Motor Co Ltd 燃料電池用電解質膜の表面処理方法
US5271972A (en) * 1992-08-17 1993-12-21 Applied Materials, Inc. Method for depositing ozone/TEOS silicon oxide films of reduced surface sensitivity
US5789071A (en) * 1992-11-09 1998-08-04 Northwestern University Multilayer oxide coatings
US5670224A (en) * 1992-11-13 1997-09-23 Energy Conversion Devices, Inc. Modified silicon oxide barrier coatings produced by microwave CVD deposition on polymeric substrates
JPH06196178A (ja) 1992-12-22 1994-07-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 固体電解質型燃料電池の製造方法
US5332783A (en) * 1993-07-12 1994-07-26 Shell Oil Company Compatible blends of epoxy resins and epoxidized polydienes
US5439736A (en) * 1994-01-21 1995-08-08 Neomecs Incorporated Gas plasma polymerized permselective membrane
US5558957A (en) * 1994-10-26 1996-09-24 International Business Machines Corporation Method for making a thin flexible primary battery for microelectronics applications
JP3262708B2 (ja) * 1996-03-26 2002-03-04 日本電信電話株式会社 複合高分子電解質膜
US5879828A (en) * 1997-10-10 1999-03-09 Minnesota Mining And Manufacturing Company Membrane electrode assembly
DE19837669A1 (de) * 1998-08-20 2000-03-09 Degussa Katalysatorschicht für Polymer-Elektrolyt-Brennstoffzellen
JP3427003B2 (ja) * 1999-03-31 2003-07-14 株式会社東芝 燃料電池
US6368975B1 (en) * 1999-07-07 2002-04-09 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring a process by employing principal component analysis
US6523699B1 (en) * 1999-09-20 2003-02-25 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Sulfonic acid group-containing polyvinyl alcohol, solid polymer electrolyte, composite polymer membrane, method for producing the same and electrode
US6555619B1 (en) * 2000-06-29 2003-04-29 The University Of Akron Physically crosslinked amphiphilic networks, methods of preparation, and uses thereof
KR100370399B1 (ko) 2000-06-30 2003-01-29 삼성전자 주식회사 트리플루오로스티렌과 치환된 비닐 화합물을 기초로 한부분불소화된 공중합체 및 이로부터 형성된 이온 전도성고분자막
US20020114958A1 (en) * 2000-11-27 2002-08-22 Toray Industries, Inc. Method of coating zeolite crystals, substrate containing zeolite crystals, method of manufacturing zeolite membrane, method of processing zeolite membrane, zeolite membrane, aluminum electrolytic capacitor, degassing membrane and separation method
DE10112086A1 (de) * 2001-03-12 2002-09-26 Putzmeister Ag Verteilervorrichtung für Dickstoffe
KR100397954B1 (ko) 2001-03-20 2003-09-13 한국과학기술원 연료전지용 고분자 전해질막 제조방법
US7081317B2 (en) 2001-03-29 2006-07-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Polymer electrolyte thin film fuel cell and method of operating the same
US6503378B1 (en) 2001-04-23 2003-01-07 Motorola, Inc. Polymer electrolyte membrane and method of fabrication
US6689501B2 (en) * 2001-05-25 2004-02-10 Ballard Power Systems Inc. Composite ion exchange membrane for use in a fuel cell
US6893763B2 (en) * 2002-04-16 2005-05-17 Gas Technology Institute Composite polymer electrolyte membrane for polymer electrolyte membrane fuel cells

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100670340B1 (ko) * 2005-05-25 2007-01-16 삼성에스디아이 주식회사 수소 이온 전도성 티타네이트, 이를 포함한 고분자 나노복합막 및 이를 채용한 연료 전지
KR100683790B1 (ko) * 2005-07-12 2007-02-15 삼성에스디아이 주식회사 무기 전도체를 이용한 수소이온 전도성 복합막 및 그의제조방법
KR100953613B1 (ko) * 2005-09-28 2010-04-20 삼성에스디아이 주식회사 연료 전지용 막-전극 어셈블리, 이의 제조방법 및 이를포함하는 연료 전지 시스템
US8029940B2 (en) 2006-06-08 2011-10-04 Korea Institute Of Science And Technology MEA for fuel cell, method for preparing the same and fuel cell using the MEA
KR100803671B1 (ko) * 2006-06-08 2008-02-19 한국과학기술연구원 연료전지용 막 전극 접합체, 그 제조 방법 및 상기 막 전극접합체를 이용한 연료전지
KR100786841B1 (ko) * 2007-01-11 2007-12-20 삼성에스디아이 주식회사 연료 전지용 고분자 전해질 막 및 이를 포함하는 막-전극어셈블리 및 이를 포함하는 연료 전지 시스템
KR100980997B1 (ko) * 2007-08-24 2010-09-07 현대자동차주식회사 고온 연료전지용 고분자 전해질막 및 이를 포함하는고분자 전해질 연료전지
US9008408B2 (en) 2009-02-05 2015-04-14 D.I.R. Technologies (Detection Ir) Ltd. Method and system for determining the quality of pharmaceutical products
KR101119670B1 (ko) * 2009-04-22 2012-03-16 조선대학교산학협력단 광학 특성을 개선한 지르코니아 박막의 증착방법
WO2017090860A1 (ko) * 2015-11-26 2017-06-01 주식회사 엘지화학 고분자 전해질막, 이를 포함하는 막 전극 접합체 및 상기 막 전극 접합체를 포함하는 연료 전지
US10367219B2 (en) 2015-11-26 2019-07-30 Lg Chem, Ltd. Polymer electrolyte membrane, membrane electrode assembly comprising same, and fuel cell comprising membrane electrode assembly
KR20210148910A (ko) * 2020-06-01 2021-12-08 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단 수전해용 다층복합분리막 및 이의 제조 방법
CN112993259A (zh) * 2021-05-12 2021-06-18 蜂巢能源科技有限公司 包覆型三元正极材料、其制备方法和锂离子电池
CN112993259B (zh) * 2021-05-12 2021-08-06 蜂巢能源科技有限公司 包覆型三元正极材料、其制备方法和锂离子电池

Also Published As

Publication number Publication date
US20070231655A1 (en) 2007-10-04
US20040241520A1 (en) 2004-12-02
KR100509298B1 (ko) 2005-08-22
US7790220B2 (en) 2010-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100509298B1 (ko) 무기질 박막이 코팅된 직접메탄올 연료전지용 복합고분자 전해질막의 제조 방법
Park et al. Fabrication of catalyst-coated membrane-electrode assemblies by doctor blade method and their performance in fuel cells
KR100343209B1 (ko) 강화제가 부가된 복합 이온 전도성 고분자막 및 이를채용하고 있는 연료전지
CN100580983C (zh) 固态聚合物燃料电池的疏水性催化剂层及其制造方法、固态聚合物燃料电池及其制造方法
US20060115711A1 (en) Electrode for fuel cell, fuel cell comprising the same, and method for preparing the same
US7871736B2 (en) Polymer membrane for fuel cell, method of preparing same, and membrane-electrode assembly for fuel cell comprising same
US6713207B2 (en) Membrane electrode assembly, and solid polymer fuel cell using the assembly
US8071161B2 (en) DLI-MOCVD process for making electrodes for electrochemical reactors
US7588850B2 (en) Polymer membrane for a fuel cell, a method of preparing the same, and a membrane-electrode assembly fuel cell system comprising the same
JP2006012832A (ja) 燃料電池用電極,これを含む燃料電池用膜−電極アセンブリと燃料電池,及び燃料電池用電極の製造方法
Kim et al. Nano-silica layered composite membranes prepared by PECVD for direct methanol fuel cells
JPWO2003023883A1 (ja) 燃料電池用の電極触媒層
US20100107404A1 (en) Method of producing fuel cell catalyst layer
JP4354937B2 (ja) 複合電解質膜およびその製造方法,燃料電池
KR20120127548A (ko) 전기방사에 의해 제조된 흡습 산화물-고분자 복합 전해질 막, 이를 포함하는 막 전극 접합체 및 이의 제조방법
US20060014073A1 (en) Electrode for fuel cell, fuel cell comprising the same and method for making an electrode
EP1359634B1 (en) Composite membrane
KR20050121938A (ko) 연료전지용 막-전극 접합체 및 그 제조방법
US20040209965A1 (en) Process for preparing a solid polymer electrolyte membrane
KR20010092802A (ko) 연료전지용 전해질막-전극 어셈블리의 제조 방법
WO2007034233A1 (en) Process for preparing a composite membrane
JP5625245B2 (ja) 触媒層転写フィルム
KR102531113B1 (ko) 막 전극 접합체 및 이를 포함하는 연료전지
Yang et al. Preparation of the PVA/TiO2 nanocomposite polymer membranes by a sol-gel process for alkaline DMFC
Wang et al. Electrohydrodynamic atomization deposition of fuel cell catalyst-coated membrane with structure and material gradient variation

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110801

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120808

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee