KR20040076791A - 액정 기판 관리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

액정 기판 관리 장치는 액정 검사 장치로부터 얻어진 결함 정보와 액정 리페어(repair) 장치로부터 얻어진 리페어 정보와 이미지 정보를 기록하기 위한 데이터베이스(database)를 가지는 데이터 관리 부분을 포함한다. 데이터 관리 부분은 결함의 재확인 및/또는 결함 정보를 기반으로 하는 기판 및/또는 패널의 재판단을 수행하고, 이미지 정보와 리페어 정보를 데이터베이스에 기록한다.

Description

액정 기판 관리 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANAGING LIQUID CRYSTAL SUBSTRATE}
본 발명은 액정 디스플레이 또는 유기 EL 디스플레이를 사용하여 액정 기판을 관리하는 장치 및 방법에 관한 것이고, 특히 액정 기판들의 생산 라인 상의 액정 기판의 관리에 관한 것이다.
다양한 처리들을 포함하는 생산 라인에서, 액정 기판은 액정 검사 장치로 결함들을 검사하고, 액정 검사 장치에 의해 검출된 결함 정보를 기반으로 액정 리페어 장치에 의해 리페어(repair)된다. 생산 라인 상에, 액정 기판은 유리 기판 상에다수의 패널들을 제공하고, 각 패널은 다수의 TFT 배열들로 형성되어 있다.
액정 검사 장치는 결함들, 예를 들어, 게이트-소스 단락 회로, 점 결함 또는 단선(disconnection)에 대하여 다수의 TFT 배열들의 각각에 제공되는 게이트 또는 소스를 검사함에 의해 결함들에 대하여 액정 기판을 검사하고, 그에 의해, 각 패널 또는 기판이 결함이 있는지 없는지를 판단하게 된다. 액정 리페어 장치는 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보를 기반으로 액정의 결함을 리페어한다.
결함 정보는 액정 검사 장치 및 액정 리페어 장치 사이에서 간단히 교환된다. 그러나, 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보가 액정 리페어 장치에 어떻게 반영되는지, 또는 어떤 결함들이 액정 기판의 생산 라인에서 발생하는지에 대하여, 액정 기판이 관리되지 않는다.
게다가, 기판 상에 정렬된 패널들의 수와 그 배열과 각 패널상의 픽셀의 크기를 포함하는 레시피들은 각 액정 기판에 설정되어 있다. 액정 검사 장치 또는 액정 리페어 장치는 레시피 정보를 기반으로 액정 기판을 검사하거나 리페어하는 데에 필요하다. 종래의 기술에서, 이 레시피 정보는 액정 검사 장치 또는 액정 리페어 장치 각각에 대하여 관리되고, 그에 의해 각 장치는 모든 레시피 정보를 위한 설정들(settings)을 작성하도록 요구된다.
액정 기판의 종래 기술 관리에서, 각 처리 장치에 의해 얻어진 정보 또는 레시피 정보는 검사 처리 및 리페어 처리를 포함하는 생산 라인 상에서 개별적인 장치에 의해 관리된다. 그러므로, 액정 기판 관리 장치가 결함의 확인, 또는 기판 또는 패널이 결함이 있는지 아닌지의 판단을 수회 수행할 때에, 이전의 처리의 판단과 비교하여 재판단하기는 어렵다. 게다가, 판단의 정확성은 각 장치의 정확성에 의존하기 때문에, 액정 기판 관리 장치는 각 장치의 판단 정확성이 증강되지 않는다면 더 높은 판단 정확성을 기대하기 어렵다.
또한, 결함 정보와 레시피 정보 같은 각 장치에 공통적인 정보가 액정 검사 장치 및 액정 리페어 장치 각각에 의해 관리되기 때문에, 정보 관리에서 비효율적이고, 액정 기판 관리에서 결함들의 트렌드(trend) 정보를 관리하는 것이 어렵다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 결함의 재확인 및 패널 또는 기판의 재판단을 실행할 수 있는 액정 기판을 관리하는 장치 및 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 액정 기판에서 판단의 정확성을 증강시키는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 결함의 트렌드 정보를 관리하고 중점적으로 레시피 정보를 관리하는 것이다.
본 발명은 데이터베이스(database)와 같은 공통적인 기록 부분에서 액정 검사 장치로부터 얻어진 결함 정보와 액정 리페어 장치로부터 얻어진 이미지 정보를 기록함에 의해 결함의 재확인과 패널 또는 기판의 재판단을 실행할 수 있는 액정 기판 관리 장치를 제공하는 것이고, 그에 의해 액정 기판의 판단 정확성이 증강되고 결함의 트렌드 정보가 관리되어질 수 있다.
그러므로, 본 발명의 액정 기판 관리 장치는 액정 검사 장치로부터 얻어진 결함 정보 및 액정 리페어 장치로부터 얻어진 이미지 정보와 리페어 정보를 기록하기 위한 데이터베이스를 가지는 데이터 관리 부분을 포함한다.
액정 검사 장치는 얻어진 결함 정보로 결함을 확인하고, 패널 또는 기판이 결함이 있는지의 여부와, 그 결함을 기반으로 리페어의 가능성을 판단한다. 액정 리페어 장치는 이 결함 정보를 기반으로 액정 기판을 리페어한다.
데이터 관리 부분은 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보, 및 데이터베이스에서 액정 리페어 장치에 의해 얻어진 이미지 정보와 리페어 정보를 기록한다. 데이터베이스에 기록된 결함 정보, 이미지 정보 및 리페어 정보를 사용하여, 결함의 재확인 및 패널 또는 기판의 재판단이 액정 검사에 의해 얻어진 결함의 확인과 패널 또는 기판의 판단을 위해 실행된다. 재판단을 실행함에 의해, 다수의 판단 처리들과 동일한 결함에 대해 수행되고, 그에 의해 액정 기판에서 판단 정확성이 증강된다.
또한, 데이터베이스는 다수의 액정 기판들에 대해 결함 정보, 이미지 정보 및 리페어 정보를 저장하고, 이로써 결함 정보, 이미지 정보 및 리페어 정보에 대한 통계적인 처리와 같은 정보 처리를 실행함에 의해 트렌드 정보가 얻어진다.
게다가, 데이터 관리 부분은 기판 및 패널의 명세(specification)들을 정의하는 레시피 정보를 포함하고, 이로써 레시피 정보가 자유롭게 편집되고 중점적으로 관리된다. 레시피 데이터를 중점적으로 관리함에 의해, 각 장치는 개별적으로 레시피 정보를 저장하고 관리하기 위한 처리가 불필요하게될 수 있다.
데이터 관리 부분은 그에 연결된 단말기와 정보를 교환하고, 또, 레시피 정보가 단말기에서 편집되고, 데이터베이스에 다시 기록되고 저장된다.
도 1은 본 발명에 따른 액정 기판 관리 장치를 설명하는 개략도;
도 2A 및 2B는 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보 및 액정 리페어 장치에 의해 얻어진 리페어 정보를 설명하는 다이어그램들;
도 3은 데이터 관리 부분에 저장된 결함 정보 및 이미지 정보의 디스플레이 예시 도면; 및
도 4A에서 4C는 액정 기판의 레시피 정보를 설명하는 도면들이다.
본 발명의 바람직한 실시예들은 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 액정 기판 관리 장치를 설명하는 개략도이다.
액정 기판(2)의 생산 라인에서, 제조 처리들에 대응하는 다양한 처리 유닛들을 가진 액정 기판 제조 장치(3), 그 형성된 액정 기판(2)을 위한 결함 검사를 실행하기 위한 액정 검사 장치(4), 및 결함의 검사 결과를 기반으로 액정 기판(2)을 리페어링하기 위한 액정 리페어 장치(5)를 제공한다. 본 발명의 액정 기판 관리 장치(1)는, 액정 검사 장치(4) 또는 액정 리페어 장치(5)에 의해 얻어진 정보가 데이터 관리 부분(6)에 제공되는 데이터베이스(6a)안으로 입력되는, 데이터 관리부분(6)을 포함한다.
액정 기판 제조 장치(3)는 유리 기판과 같은 기판(2) 상의 패널(2b)에 TFT 배열을 형성함으로써 액정 기판(2)을 제조한다.
액정 검사 장치(4)는 결함 정보를 얻기 위해 생산 라인 상의 액정 기판 제조 장치(3)에 의해 생산되는 액정 기판(2)의 결함을 검사한다. 결함 정보는 예를 들면, 결함 위치, 단락 회로 또는 단선과 같은 결함 상태, 라인, 점, 래스터(raster) 결함 형태, 패널 또는 기판이 결함이 있는지의 여부 및 재생가능함과 같은 판단 결과를 포함하는 다양한 종류의 정보를 포함할 수 있다. 각 액정 기판(2)의 제조 처리를 나타내는 로트(lot) ID와 각 기판을 나타내는 기판 ID, 각 액정 기판(2)의 명세들을 나타내는 레시피 정보, 파형 데이터(예컨대, 20-점 데이터)와 같은 ID 정보와 함께, 액정 검사 장치(4)에 의해 결함 검사시 얻어진 결함 정보가 데이터 관리부분(6)으로 보내지고, 데이터베이스(6a) 안에 기록되고 저장된다.
게다가, 결함 정보는 액정 검사 장치(6)부터 상위-레벨 시스템(8)으로 전달되고, 그 상위 레벨에 있는 시스템은 액정 기판을 위한 생산 관리를 위한 상위 레벨에서의 시스템이다. 다양한 종류의 정보는 생산 라인 상에서 설치되는 액정 기판 장치(3)의 다양한 처리 유닛들로부터 이 상위-레벨 시스템(8)으로 전달된다. 사용자는 각 액정 기판의 결함 정보를 지시하도록 상위-레벨 시스템(8)으로의 액세스를 실행한다.
액정 리페어 장치(5)는 액정 검사 장치(4)에 의해 얻어진 결함 정보 또는 상위-레벨 시스템(8)으로부터의 다른 다양한 정보를 받아들이고, 결함 정보에 기초한 결함 부분을 리페어한다. 이 때에, 결함 정보가 그 결함 정보에 의해 표시된 결함 위치 또는 결함 종류를 에러있게 만드는 에러를 포함하는 경우, 액정 리페어 장치(5)는 결함 정보를 보정한다.
액정 리페어 장치(5)는 데이터 관리 부분(6)에서 결함이 리페어된 정보 또는 보정된 결함 정보를 포함하는 리페어 정보를 전달하고, 액정 기판(2)의 이미지 정보를 얻고 데이터 관리 부분(6)으로 그 정보들을 전달한다. 데이터 관리 부분(6)은 결함 리페어된 정보와 보정된 결함 정보를 포함하는 리페어 정보, 및 액정 리페어 장치(5)로부터 전달된 이미지 정보를 받아들이고, 데이터베이스(6a) 안에 그 정보들을 기록하고 저장한다. 액정 리페어 장치(5)는 결함 리페어된 정보와 보정된 결함 정보를 포함하는 리페어 정보를 상위-레벨 시스템(8)으로 전달한다.
따라서, 데이터 관리 부분(6)은 데이터베이스(6a)안에, 액정 리페어 장치(5)로부터 보내진 리페어 정보와 이미지 정보뿐만 아니라, 액정 검사 장치(4)로부터 보내진 결함 정보, 레시피 정보 및 파형 데이터를 기록하고 저장한다.
데이터 관리 부분(6)은 데이터베이스(6a) 안에 다양한 종류의 정보와 데이터의 저장을 관리하고, 결함의 재확인과 패널 또는 기판의 재판단, 및 정보와 데이터의 보정 또는 편집을 수행한다.
결함의 재확인은 액정 검사 장치로부터 얻어진 결함 정보와 액정 리페어 장치로부터 얻어진 리페어 정보 사이를 비교함에 의해 다시 결함 위치와 결함 종류를 확인하는 것을 수반한다. 재확인에서, 리페어 정보가 보정된 위치 데이터 또는 보정된 결함 종류 정보를 포함한다면, 제 1 결함 정보가 보정되고 업데이트된다.
기판 또는 패널의 재판단은 액정 리페어 장치로부터 얻어진 리페어 정보를 기반으로 기판 또는 패널에 결함이 있는지의 여부를 다시 판단하는 것을 포함한다. 결함 판단의 정확성은 액정 검사 장치로부터 얻어지는 재판단 결과 및 판단 결과를 포함하는 판단의 2개 결과들을 사용하여 증강된다.
데이터의 보정은 액정 리페어 장치(5)로부터 전달되는 보정된 결함 정보를 기반으로 액정 검사 장치(4)로부터 전달되고 저장된 결함 정보를 보정함에 의해 실행된다. 예를 들어, 결함 위치, 단락 회로 또는 단선과 같은 결함 상태 및 액정 검사 장치(4)로부터 보내지는 라인, 점 또는 래스터 결함 형태가 액정 리페어 장치(5)로부터 보내진 리페어 정보의 것들과 다르다면, 데이터 관리 부분(6)은 리페어 정보를 기반으로 저장된 결함 정보를 보정하고, 데이터베이스(6a) 안에 보정된 결함 정보를 저장한다. 보정된 결함 정보는 또한 상위-레벨 시스템(8)으로 전달된다.
데이터의 편집은 결함 리페어된 정보를 기반으로 액정 검사 장치(4)로 전달되고 저장되는 결함 정보, 보정된 결함 정보 및 액정 리페어 장치(5)로부터 전달되는 이미지 정보를 편집하는 것을 포함한다. 이 편집에서, 액정 리페어 장치로부터 전달된 결함 리페어된 정보, 보정된 결함 정보 및 이미지 정보는 단말기(7)상에 디스플레이되어질 수 있음에 의해, 결함의 종류와 판단 결과와 같은 결함 정보가 단말기(7) 상에서 편집될 수 있다.
데이터 관리 부분(6)은 액정 검사 장치(4)로부터 전달되고 저장되는 액정 기판의 레시피 정보를 액정 리페어 장치(5)로 보내고, 액정 리페어 장치(5)는 이 레시피 정보를 기반으로 액정 기판을 리페어한다.
데이터 관리 부분(6)은 이 레시피 정보를 편집할 수 있다. 이 레시피 정보를 편집하는 것은 단말기(7)상에서 편집 스크린을 디스플레이함으로서 실행될 수 있고, 편집된 레시피 정보는 데이터베이스(6a) 안에 저장될 수 있다.
도 2에 따라, 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보 및 액정 리페어 장치에 의해 얻어진 리페어 정보는 아래에서 설명되어질 것이다. 도 2에서 나타낸 것과 같은 예에서, 액정 기판(2)은 기판(2a) 상에 4개의 패널들(2b1에서 2b4)이 제공되지만, 패널들의 갯수는 4개로 제한되지 않고 임의로 설정되어질 수 있다.
도 2A는 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보를 설명하는 다이어그램이다. 패널들(2b1~2b4)에서, 예를 들어, 패널(2b1)의 결함(10A)은 패널 상의 게이트 라인 또는 소스 라인을 따라 나타내는 라인 결함의 예이고, 패널(2b3)의 결함(10B)은 각 픽셀에서 나타나는 점 결함의 예이고, 패널(2b4)의 결함(10C)은 다수의 픽셀들의 집합으로서 나타나는 래스터 결함의 예이다.
액정 검사 장치는 각 결함(10A에서 10C)을 검출하고, 결함 위치, 결함 종류 및 검사 결과를 얻는다. 결함 종류는 예를 들어, 단락 회로 또는 단선과 같은 결함 상태, 또는 라인, 점, 래스터 결함 형태일 것이다. 게다가, 검사 결과는 결함의 정도와 결함들의 수에 따라 패널 또는 기판이 결함이 없는 것인지(OK) 있는 것인지(NG), 또는 리페어의 가능성일 것이다. 예를 들어, 패널에서 결함의 정도가 액정 리페어 장치에 의해 리페어된다면, 패널은 리페어될 수 있다고 판단된다. 또, 기판 상의 결함있는 패널들의 수가 결함이 없는 패널들의 수보다 더 많다면, 기판은 결함이 있다고 판단된다. 패널과 기판을 위한 판단 기준들은 사용자에 의해 임의로 결정되어질 수 있다.
도 2B는 액정 리페어 장치에 의해 얻어진 이미지 정보와 리페어 정보를 나타내는 다이어그램이다. 여기서, 액정 리페어 장치는 도 2A에서 나타낸 것처럼 액정 기판을 리페어한다고 가정되고, 패널(2b3)상의 결함(10B)의 위치는 도 2A의 위치와 다르다.
액정 리페어 장치는 액정 검사 장치에 의해 얻어진 결함 정보에 기반한 패널(2b1)의 결함(10A), 패널(2b3)의 결함(10B), 패널(2b4)의 결함(10C)을 리페어한다. 도 2B에서, 리페어된 결함은 점선에 의해 나타내어진다. 리페어할 때, 결함 위치 또는 결함 종류는 결함 정보와 다를 수 있다. 이 경우, 결함 위치 또는 결함 종류가 보정된 결함 정보를 생성하도록 보정될 수 있다.
액정 리페어 장치는 결함을 리페어한 후 액정 기판의 이미지 정보를 얻고, 얻어진 이미지 정보를 결함 리페어된 정보 및 보정된 결함 정보와 함께, 데이터 관리 부분으로 전달한다.
도 3은 데이터 부분에 저장된 결함 정보와 이미지 정보의 디스플레이 예시이다. 단말기(7)는 데이터 관리 부분(6)의 데이터베이스(6a) 안에 저장된 결함 정보와 이미지 정보를 판독하고 디스플레이 스크린 상에 그 정보들을 디스플레이한다. 도 3에서 나타낸 것과 같은 디스플레이 예에서, 결함 종류, 결함 내용 및 결함 위치뿐만 아니라 패널 판단과 기판 판단의 결과들이 결함 정보를 기반으로 디스플레이된다. 더욱이, 액정 리페어 장치에 의해 얻어진 이미지 정보와 액정 검사 장치에 의해 얻어진 20-점 파형 데이터가 디스플레이될 수 있다. 더욱이, 결함 분포된 상태는 결함 정보에 기반한 맵(map)으로써 디스플레이될 수 있다. 도 3은 단지 하나의 디스플레이 예를 나타내지만, 다양한 통계적인 처리 결과들이 데이터 관리 부분 상에서 결함 정보를 사용하여 디스플레이될 수 있다.
20-점 파형 데이터는 액정 검사 장치에 의해 얻어진 측정 신호의 파형 데이터이고, 데이터 점들의 수는 20개로 제한되지 않고 임의로 정해질 수 있다.
데이터 관리 부분(6)은 데이터베이스(6a) 안에 저장되는 결함 정보나 이미지 정보, 또는 결함 정보에 기반하여 다양한 통계적 처리들을 수행함으로써 얻어진 처리 결과를 디스플레이하고, 위에서 설명된 바와 같이 액정 기판의 레시피 정보를 설정하거나 업데이트한다. 통계적 처리들이 결함 정보를 기반으로 수행되는 경우, 각 기판에 대해 설정되는 로트(lot) ID 또는 기판 ID가 참조되어질 수 있고, 액정기판의 생산 처리 동안에 로트와 같은 결함의 트렌드 정보, 또는 각 생산 처리에서 결함 발생 주파수나 결함 종류가 얻어질 수 있다.
도 4에 따라, 액정 기판의 레시피 정보를 설정하고 업데이트하는 것이 설명되어질 것이다. 레시피 정보는 기판의 크기, 기판 상에 설정된 중심 위치와 정렬 위치, 기판 상에 설정된 패널들의 수와 정렬, 각 패널의 픽셀들의 수, 각 패널의 픽셀의 수와 픽셀 피치(pitch)를 포함하고, 각 액정 기판에 대해 설정될 수 있다.
도 4A는 기판의 크기, 기판 상에 설정된 중심 위치 및 정렬 위치를 나타낸다. 기판(2a)의 크기는 X와 Y 방향들로 크기들을 정함으로써 실행된다. 게다가, C는 기판의 중심 위치를 나타내고, A1에서 A4는 기판을 정렬하도록 하는 정렬 위치들을 나타낸다.
도 4B는 기판(2a) 상에 형성된 패널들의 배열을 나타내고, 패널들의 총 수와 패널들의 정렬은 가로 방향의 패널들의 갯수와 세로 방향의 패널들의 갯수를 설정함에 의해 결정된다.
또한, 도 4C는 각 패널(2b)를 위해 제공되는 픽셀들의 배열을 나타내고, 픽셀들의 총 갯수와 픽셀들의 정렬은 가로 방향의 픽셀들의 갯수와 세로 방향의 픽셀들의 갯수를 설정함에 의해 결정된다.
데이터 관리 부분(6)은 단말기(7) 상에서 스크린을 편집함으로써 레시피 정보를 설정하거나 업데이트한다. 레시피 정보는 기판 ID를 기반으로 업데이트된다.
그에 의해, 레시피 정보는 데이터 관리 부분(6)에 의해 중심적으로 관리된다. 레시피 정보의 중앙 관리로 인해, 액정 기판의 생산 라인 상의 각 장치는 기판ID를 기반으로, 데이터 관리 부분(6)으로부터 동일 기판에 설정된 레시피 정보를 추출한다.
위에서 설명한 것처럼, 본 발명에서, 결함의 재확인과 패널 또는 기판의 재판단이 실행될 수 있다. 더욱이, 액정 기판에서 판단 정확성이 증강되고, 결함의 트렌드 정보가 관리된다. 게다가, 레시피 정보가 중앙적으로 관리된다.

Claims (3)

  1. 액정 기판을 관리하는 장치에 있어서:
    액정 검사 장치로부터 얻어진 결함 정보, 액정 리페어 장치로부터 얻어진 결함 리페어된 정보를 포함하는 이미지 정보 및 리페어 정보를 기록하기 위한 데이터베이스를 가지는 데이터 관리 부분을 포함하고,
    상기 데이터 관리 부분은 결함의 재확인과, 상기 데이터베이스 안에 기록된 상기 결함 정보, 상기 이미지 정보 및 상기 리페어 정보를 기반으로 패널과 기판 중 적어도 하나의 재판단을 수행하는, 액정 기판 관리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터 관리 부분은 상기 데이터베이스 안에 상기 패널과 기판의 명세(specification)들을 정의하는 레시피 정보를 저장하고, 상기 레시피 정보는 자유롭게 편집되는, 액정 기판 관리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 데이터 관리 부분은 상기 데이터 관리 부분과 연결되는 단말기와의 정보의 교환에 의해 상기 레시피 정보를 편집하는, 액정 기판 관리 장치.
KR1020040012515A 2003-02-25 2004-02-25 액정 기판 관리 장치 및 방법 KR100742226B1 (ko)

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