KR20040073435A - 가요성 평면재로서 회로기판을 운반하는 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회로기판(12)을 처리장치(11)로 운반하는 운반장치에 관한 것이다. 상기 운반장치는 상기 회로기판(12)을 롤러 쌍(20, 21) 사이로 안내한다. 상기 롤러 쌍(20, 21)은 롤러트랙(17, 18)에 배치되고, 좁게 한정된 경계영역(16)에서 상기 회로기판(12)의 가장자리에 평행하게 주행한다. 상기 롤러는 운반방향(14) 또는 수직선(35)에 대한 각(α)으로 배치된 축(22) 및 회전축(23)을 구비하여 횡방향으로 상기 회로기판(12)에 장력을 가하여 상기 회로기판(12)을 경화한다. 따라서, 예를 들어, 직류전기요법(galvanisation), 식각, 세정 등과 같은 처리장치로의 운반은 상기 회로기판(12)의 사용가능영역(15)에 접촉하지 않고 수행될 수 있다.

Description

가요성 평면재로서 회로기판을 운반하는 장치{Device for the transport of flexible planar material, in particular circuit boards}

일반적으로, 전자부품 등을 배치하기 위한 전기회로의 회로기판은 전기절연기판으로 이루어지고, 도체 트랙이 광학적, 화학적 또는 전기화학적 방법에 의해 상기 전기절연 기판위에 장착된다. 이러한 장착과정은 포토레지스트 현상, 식각, 마찰 등과 같이 상기 회로기판을 대개 유체 처리수단을 사용하여 처리하는 처리장치에서 수행된다. 이때, 상기 기판은 부분적으로 매우 얇고, 부분적으로 5μm 두께의 도포에 의해 25μm 두께를 가진다. 따라서, 상기 기판은 가요성 물질로 이루어지므로 거의 잎 또는 박편 형태이다.

상기 평면재는 처리방식에 따라 상이하게 상기 처리장치로 운반되며, 바람직하게는 롤러 쌍 사이에 배치된다(DE 196 28 784 A). 이때, 상기 평면재는 경계영역에서 예를 들어, 직류전기장치인 전기접촉롤러에 의해 접촉된다.

상기 롤러 쌍을 사용하여 다수의 처리과정에 불리한 줄무늬 모양의 덮개가형성되지 못하도록 릴 디스크(reel disc) 형태로 형성된 장치가 이미 개시되어 있다(DE 197 48 337 A 참조).

또한, 진공가동된 릴(reel)을 사용하여 "걸리면서" 일측으로만 처리되는 회로기판을 운반하는 기술이 이미 개시되어 있다(DE 195 09 313).

또한, 경계영역을 확장측면에서 서로 떨어져 안내되는 흡입 릴로 안내하는 처리장치에 의해 회로기판을 안내하는 기술이 DE 43 39 263 A1에 개시되어 있다. 따라서, 상기 회로기판의 중간영역을 실질적으로 접촉없이 안내할 수 있지만, 상기 릴에 의해 요구된 경계영역은 매우 넓어서 대개 수용되지 않는다. 또한, 습식처리시, 특히 공격성 화학제를 사용할 경우, 액체가 최종적으로 흡입장치에 침투되는 문제가 발생한다.

본 발명은 가요성 플레이트 또는 잎 모양의 평면재(planar material), 특히, 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치에 관한 것으로, 이때 상기 평면재는 경계영역에서 포착된다.

도 1은 본 발명에 따른 운반장치를 구비한 처리장치의 사시도,

도 2는 도 1의 II-II선에 따른 단면도,

도 3은 운반장치의 또다른 폭 조정을 나타내는 도 2의 단면도,

도 4는 도 1의 IV-IV선에 따른 도면,

도 5는 롤러의 각 조정을 개략적으로 도시하며,

도 6은 또다른 조정부를 구비한 도 2의 우측 절반에 해당하는 상세도,

도 7은 또다른 운반 폭의 조정을 도시하는 도 5의 상세도이며,

도 8은 아치형 운반트랙을 구비한 장치를 개략적으로 도시하는 횡단면도이다.

본 발명은 가요성 평면재로서 회로기판을 운반하는 장치를 제공함으로써, 상기 평면재를 접촉없이, 사용가능영역의 제한없이 처리장치를 사용하여 운반할 수 있게 하는 데에 목적이 있다.

상기 목적은 특허청구범위 1항의 특징에 의해 달성된다. 서로 포개어지거나 상기 평면재 위로 압박된 롤러 쌍이 롤러트랙에 배치된다. 상기 롤러 쌍은 운반방향에 평행하게 진행되는 상기 평면재의 외부 가장자리 위로 주행하며 사용가능한 중간영역을 거의 방해하지 않는다. 상기 영역은, 외부로 향한 소정의 상대이동을 위해 상기 롤러의 접촉면과 상기 평면재의 표면 사이로 안내되는 외부로 작용하는 인장응력에 의해 강력하게 요구되며, 이러한 평면은 상기 회로기판에서는 전혀 중요하지 않다. 상기 항상 외부로 향한 롤러, 즉, 상기 운반방향에 대해 횡방향인 운반부품의 주행방향에서도 상기 롤러트랙은 좁은 평행선으로 제한된다. 따라서, 상기 롤러 각각은 외부로 상기 표면재를 따라 진행되는 장력을 발생한다.

상기 운반방향에 대해 상기 롤러를 조정하는 각은 매우 작을 수 있으며 직선의 작은 부분영역에서 작은 각이고, 바람직하게는 0.5°이다.

본 발명에 따르면, 상기 평면재, 특히, 상기 회로기판을 접촉없이 상기 처리장치로 안내할 수 있다. 이때, 감광성 표면, 예를 들어, 습식 포토레지스트는, 종래기술에서와 같이, 처리할 표면 위로 주행하는 롤러에 의해 손상될 우려는 없다.

약간 경화된 표면재에, 예를 들어, 상부로 향한 아치형 또는 둥글게 휜 형상이 형성되도록 소정의 압력이 가해질 수 있다. 또한, 상기 접촉면에서는 소정의 각으로 상기 평면재가 상기 평면재의 평면으로 포착 및 안내되어 가장자리가 쉽게 상부로 향하게 된다. 상기 실시예에 따르면, 특히 액체가 잘 통과될 수 있도록, 처리속도가 감소될 수 있는 "요철"이 표면에 형성되지 않는다.

이와 관련하여, DE 195 24 562에 개시된 "아치 형상의 운반"을 언급할 수 있으며, 이 선행기술은 물론 또다른 특징과 수단을 구비한다.

본 발명에 따른 장치에 있어서, 상기 운반장치는 평면재의 서로 다른 폭에 따라 적절하게 사용될 수 있다. 또한, 상기 롤러트랙의 간격을 서로 조정하는 간격조정부가 구비된다. 상기 간격조정부는 동시에 구동되는 것이 바람직하며, 동시에 대립되어 서로 조정될 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 하부 특허청구범위에서 기술된다.

본 발명에 따른 실시예에 있어서, 회로기판의 운반장치는 상기 기판을 롤러 쌍 사이에 안내한다. 상기 롤러 쌍은 롤러 트랙에 배치되고, 좁게 한정된 경계영역에서 상기 회로기판의 가장자리에 평행하게 안내된다. 상기 롤러는 운반방향 또는 수직선에 대한 각으로 배치된 축 및 회전축을 구비하여 횡방향으로 작용하는 장력을 상기 회로기판에 가하여 상기 회로기판을 경화한다. 따라서, 직류전기요법(galvanisation), 식각, 세정 등과 같은 처리장치로의 운반은 상기 회로기판의 사용영역에 접촉하지 않고 수행될 수 있다.

특허청구범위 외에도 상세한 설명 및 도면으로부터 추론되는 또다른 특징은, 자체로서의 상기 개개의 특징 또는 하위조합 형태의 다수의 특징은 본 발명의 실시예에서 그리고 또다른 영역에서 실현되며, 여기서 보호를 청구하는 보호가능한 실시예를 위해 도시되는 것이 바람직하다. 개개의 패러그래프 및 중간 표제로 본원을 하위분할하는 것은 보편타당성 측면에서 상기 언급한 설명을 제한하지 않는다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명부 및 첨부된 도면을 참조로 하여 설명한다.

도 1은 회로기판(12)의 처리장치(11)를 도시한다. 상기 처리장치(11)는 실질적으로 처리영역(13)에서 처리매질, 예를 들어, 액체가 상기 회로기판(12) 위로 작용하는 용기를 구비한다. 또한, 상기 처리장치(11)에는 도시되지 않은 분사노즐, 흡입기, 및 이와 유사한 것이 배치될 수 있다.

섬유강화된 플라스틱 또는 이와 유사한 물질과 같이, 실질적으로 잎 모양의 평면재로 이루어진 상기 회로기판(12)은 상기 처리장치(11)에 의해 수평의 운반방향(14)으로 안내된다. 이때, 상기 회로기판(12)은 일반적으로 유입구 및 유출구에 의해 안내된다. 상기 도시된 처리장치(11)는 운반방향에서 볼 때 매우 짧다. 이러한 종류의 다수의 장치는 실질적으로 더 길다.

상기 얇은 가요성 회로기판(12)은 도체 트랙 위에 형성되는 사용가능영역(15), 및 일반적으로 상기 도체트랙 또는 또다른 작동부재가 구비되지 않은 양측 가장자리에 상기 운반방향에 평행으로 진행되는 경계영역(16)을 구비한다. 상기 경계영역(16)에서는, 상기 운반수단(19)에 속하고 상기 도체트랙을 운반방향으로 상기 처리장치(11)로 운반하기 위해 구비되는 롤러트랙(17, 18)이 상기 회로기판(12)에서 시작된다.

상기 롤러트랙(17, 18)은 상부 롤러(20)와 하부 롤러(21)로 이루어진 롤러 쌍(도 2 내지 도 4 참조)을 구비한다. 상기 롤러 쌍은 대개 가요성 플라스틱으로 이루어지며, 상기 가요성 플라스틱은 상기 사용된 화학제에 대해 저항하며, 양호한 마찰 단부를 구비한 주행면 또는 접촉면이 상기 회로기판(12)에서 시작된다. 상기 롤러는 항상 운반방향으로 연속적으로 서로 상대적으로 짧은 간격을 두고 배치됨으로써 상기 축(22)은 상기 롤러 직경의 1.2배와 2배 사이의 간격을 구비한다.

상기 롤러 각각은 회전축(shaft)(23)에 의해 지지되며, 상기 회전축(23)은 두 개로 분할되고 슬라이딩 시트(sliding seat)에 의해 종방향으로 가변될 수 있다. 도 1 내지 도 3은 상기 롤러(20, 21)가 항상 두 개의 직각으로 중첩되고 서로 평행하게 진행되는 회전축(23, 24) 위에서 자유로이 돌출하는 회전축 말단에 배치되는 것을 도시한다. 상기 회전축(23, 24)은 베어링 트래버스(25)에 배치된다. 이때, 상기 상부 회전축(23)은 상기 롤러(20)에 의해 수직으로 밀어 움직여질 수 있으며 반동 스프링(26)의 힘에 저항한다. 상기 반동 스프링(26)은 상기 롤러(20, 21)의 접촉면과 상기 회로기판(12)의 양측 표면 사이에 접촉압력을 가한다.

상기 롤러에 대립하는 신축식 회전축(23, 24)의 말단은 마찬가지로 베어링 트래버스(27)에 배치되고, 상기 베어링 트래버스(27)로부터 자유로이 돌출하는 회전축 말단에 동기식 기어(28)를 구비한다. 상기 동기식 기어(28)는 상기 축방향의 회전축과 롤러가 반대방향으로 동시구동하도록 보장한다. 또한, 상기 하부 회전축(24)에는 구동 원추바퀴(30)와 함께 작용하는 원추바퀴(29)가 안착되어 동기구동축(31) 위에 배치된다. 상기 각각의 회전축 쌍(23, 24) 및 상기 각각의 롤러쌍(20, 21)은 이러한 구동부를 구비하여 모든 롤러가 동일한 회전수로 구동된다. 상기 처리장치(11)의 양측에 위치한 동기 구동축(31)은 공통 구동부(32), 예를 들어, 체인 또는 치형 벨트(33)에 의해 구동될 수 있다.

도 1은 각 측면에 총 12개의 롤러 집합체를 구비한 장치를 도시한다. 상기 상대적으로 긴 처리장치에서, 이러한 다수의 장치 또는 운반모듈이 연속적으로 배치될 수 있다. 이때, 상기 동기축은 클러치(clutch)(34)에 의해 서로 연결될 수 있다.

상기 회전축(23, 24)과 상기 롤러(20, 21)의 공통 축(22)은, 바람직한 실시예에 있어서 대략 0.5°이며 상태에 따라 0.1° 내지 2°일 수 있는 각(α)으로 상기 운반방향(14) 또는 수직선(35)에 대해 경사져 상기 롤러(20, 21)의 진행방향(36)은 운반방향으로 상기 롤러(20, 21)로부터 외부로 분기된다.

상기 궤도각(α)은 상기 회전 베어링의 해당 오프셋(offset)에 의해 수평방향으로 상기 베어링 트래버스(25 및 27)에 도달한다. 상기 궤도각(α)은 특히, 상기 회전축 또는 베어링이 그 안에서 회동되도록, 예를 들어, 작동에 의해 구형 안내부 등에 수용되는 경우에 상기 트래버스의 이동에 의해 운반방향으로 서로 조정될 수 있다.

상기 롤러(20, 21)는 항상 회로기판(12)의 경계영역(16)에서 주행되어야 하므로, 그 간격이 상기 운반방향(14)에 대해 횡방향인 수평방향으로 조정가능하다. 이는 도 2 및 도 3으로부터 알 수 있다. 도 2는 상기 회로기판 폭을 운반하기에 가장 큰 조정을 도시한다. 상기 조정을 위해 조정부(40)가 구비된다. 상기조정부(40)는 도시된 예에서 나사 스핀들(screw spindle)(41)에 의해 작동되고, 상기 나사 스핀들(41)은 조정 너트(nut)(42)에서 상기 베어링 트래버스(25)로 작동한다. 각각 반대방향의 나사 산(thread)을 구비하는 나사 스핀들(21)은 공통 조정축(43) 위에 안착한다. 상기 조정축(43)은 상기 롤러부에 의해 통과되며 말단에서 원추바퀴에 의해 상기 공통 조정 구동부(44)로부터 상기 동기구동축(31) 하부에서 평행하게 진행하는 회전축에 따라 조정가능하다. 상기 조정동작은 또다른 조정 메커니즘, 예를 들어, 체인, 벨트, 수압식 또는 전기 조정모터에 의해 가능하다.

도 4에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(23, 24)은 상기 트래버스(26, 27)의 상부로 개방된 슬릿에 배치되어 스프링 힘 또는 자체 중력에 의해 서로 그리고 상기 회로기판에 대해 압박된다. 상기 반동력을 조정할 수 있는 반동 스프링(26)이 도시되며 이러한 조정은 조정나사(45)에 의해 수행될 수 있다.

도 1 내지 도 5에 도시된 장치의 기능은 하기와 같다. 상기 장치를 구동하기 위해 상기 장치는 조정 구동부(44)를 가동함으로써 수동으로 또는 해당 조정모터, 예를 들어, 전기 스텝모터(도시되지 않음)에 의해 상기 처리될 회로기판(12)의 정확한 폭으로 조정된다. 또한, 상기 조정축(43)은 회전되며, 상기 반대방향의 나사 산(thread)을 구비하는 조정 스핀들(41)과 조정나사(42)에 의해 상기 두 개의 트래버스(25)가 반대방향으로 동시에 포개어져 이동하거나 이격된다. 이는 상기 두 개의 극단 조정, 즉 도 2(가장 넓은 조정)과 도 3(가장 좁은 조정) 사이에서 발생한다. 상기 회전축은 상기 회전축 위에 단단히 안착되는 커넥터에 의해 마찰이 적은재료 위의 상기 트래버스(25, 27)에 배치된다. 상기 커넥터는 측방향의 플랜지 또는 웨이스트밴드(waistbands)에 의해 상기 트래버스에 대한 축방향의 이동을 저지한다.

서로 밀 수 있는 신축식 회전축(23, 24)의 부분에 의해 이러한 이동동작이 가능하며, 상기 두 개의 회전축 부분의 회전가능한 안내부에 의해 서로 인접하여, 예를 들어, 쐐기(wedge) 회전축 등에 따라 상기 롤러로의 구동 회전이 가능하다.

상기 회로기판(12)은 운반방향으로 상기 운반모듈로 주행하며 상기 구비된 경계영역(16)으로 상기 롤러트랙에 의해 포착되고 상기 장치에 의해 운반된다. 이때, 상기 상대적으로 좁게 서로 위치한 롤러는 상기 회로기판에 의해 편평하게 형성된 운반트랙(46) 위에 동일한 크기의 수평 안내부에 사용된다. 상기 회로기판의 양측에서 각각 대립되게 작용하는 상기 운반방향(14)에 대해 상기 롤러와 진행방향(36)의 각을 조정함으로써, 상기 회로기판(12)에는 소정의 장력이 가해진다. 상기 장력으로 인해, 상기 회로기판은 팽팽해져 실질적으로 편평하게 상기 경계영역을 제외하고 접촉없이 상기 장치에 의해 운반된다. 상기 회로기판이 중간영역에서 사용할 수 없는 영역을 구비할 경우, 거기에 오버레이(overlay)가 구비된다. 상기 롤러는 운반방향으로 연속적으로 배치되므로, 상기 회로기판과의 접촉영역은, 과도한 각 조정으로 도시된 레이아웃, 즉 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상대적으로 좁은 경계영역(16)으로 제한된다.

상기 롤러의 가요성으로 인해, 상기 회로기판으로의 롤러이동을 위한 작은 횡방향부품은 상기 가요성 롤러를 편평하게 하여 수용되거나, 횡방향으로 경미한슬라이딩 이동이 발생한다. 이때, 상기 경계영역은 사용에서 제외되므로 이러한 슬라이딩 이동으로 인해, 상기 회로기판은 손상되지 않는다.

상기 트래버스 영역, 특히, 상기 롤러에 인접한 베어링 트래버스(25)의 영역을 보호함으로써, 적절한 처리영역, 즉, 상기 처리장치의 충진영역이 액체 등에 의해 각각 상기 회로기판 위에 형성된다. 이는 예를 들어, 미로 모양의 밀봉재에 의해 수행될 수 있다.

도 1 내지 도 5에 도시된 실시예에서, 상기 운반면은 운반방향으로 뿐만 아니라 그에 대한 횡방향으로도 수평이다. 본 발명에 따른 장치를 사용하여 평면재를 경사진 운반트랙 위로 안내할 수 있다. 횡방향으로 경사진 운반트랙은 예를 들어, 상기 롤러 쌍의 서로 다른 각 조정에 의해 상기 회로기판의 "이동경사"의 양측에서 상기 하부로 위치한 측면의 방향으로 대립될 수 있다. 이러한 경사위치는 예를 들어, 액체가 잘 통과함으로 인해 선택될 수 있을 것이다. 이 경우, 상기 롤러의 조정각은 개별적으로 서로 무관하게 상기 양측에서 조정가능한 것이 바람직하다.

도 6 및 도 7은 마찬가지로 두 개의 서로 다른 폭 조정, 및 상기 운반수단(19)과 상기 조정부(40)의 형성을 도시한다. 상기 롤러에 인접한 트래버스(25)는 고정되는데, 즉, 상기 조정부에 의해 밀어 움직여질 수 없다. 이를 위해, 또다른 조정 트래버스(47)가 구비된다. 상기 롤러(20)의 상부 회전축(23)은 상기 조정 트래버스(47)말단에 위치한다. 또한, 상기 조정 트래버스(47)는 상기 트래버스(25)의 상기 회전축 위에 안착하는, 회전가능한 베어링 슬리브(sleeve)(49)에서 상기 회전축이 축방향으로 밀어 움직여지는 동안, 베어링 커넥터(48)를 사용하여 상기 회전축(23)을 축방향으로 밀어 움직일 수 없게 상기 트래버스(47)의 베어링 슬릿(53)에 위치된다. 상기 하부 회전축(24)은 단편의 회전축(23)과는 달리, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 두 개의 부분으로 이루어진다. 이때, 상기 두 개의 부분(24a 및 24b)은 서로 밀 수 있게 신축식이다. 상기 회전축 부분(24a)의 너트(50)는 상기 파이프 형태의 회전축 부분(24b)의 안내 핀(51)과 함께 작동한다. 상기 회전축 부분(24)은, 상기 회전축 부분(24b)과 함께 상기 트래버스(47)에서 회전되는 베어링 커넥터(49)를 사용하여 축방향으로 보호되어 상기 베어링 커넥터로 안내된다. 상기 트래버스(25)에서 상기 회전축 부분은, 도 4에 도시된바와 같이, 직접 슬릿(53)으로 안내된다.

상기 실시예에서, 상기 하부 회전축(24) 및 그에 상응하는 상기 하부 롤러(21)만이 직접 구동되고, 상기 원추바퀴(29, 30)는 상기 동기축(31)에 의해 구동된다. 상기 상부 회전축(23)은 간접으로 상기 회로기판(12)에 의해 상기 하부 회전축(21)으로부터 회전되게 픽업되는데, 이는 대부분의 경우에서 충분히 수행된다. 또한, 상기 롤러 쌍중 일부만이 구동될 수 있으며 상기 잔여 롤러 쌍은 상기 회로기판에 의해 간접으로 구동될 수 있다. 상기 회로기판을 팽팽하게 하는 확장효과로 인해, 이러한 구동동작은 어떠한 영향도 받지 않는다. 상대적으로 작게 가해지는 힘과 작동축에 의해, 상기 전체 운반수단은 일반적으로 액체에 사용되고, 상기 화학적 고정성의 이유로 필요한 고품질의 플라스틱 또는 특히 귀금속을 제조함으로써 용이한 주행이 보장된다.

도 6 및 도 7에서 마찬가지로, 상기 조정부(40)는 상기 트래버스(25)에서 회전가능하게만 배치되는 조정축(43) 위의 조정 너트(42)를 구비한다. 상기 해당 조정 너트(42)는 상기 횡방향으로 이동하고 폭 조정을 위해 이동하는 트래버스(47)에 채용된다. 이때, 상기 롤러(20, 21)는 상기 트래버스(25)에 의해 중앙으로 그 회전축과 함께 슬라이딩되고 이에 상응하여 멀리 또는 약간 멀리 상기 트래버스(25) 위로 돌출된다.

또다른 조정부 및 롤러 구동부를 고려할 수도 있는데, 예를 들어, 상부로부터 상기 처리장치로 삽입되고 상기 롤러와 함께 조정가능한 구동부와 함께 작동하는 치형 벨트를 고려할 수 있다. 상기 도시된 조정부를 사용함으로써, 상기 구동부를 안정적으로 상기 처리장치의 양측에 구비할 수 있고 상기 조정 구동부 뿐만 아니라 상기 롤러도 구비할 수 있으므로, 상기 자체 처리실 외부에, 즉, 공격성 화학제로부터 계속적으로 보호되도록 상기 부분을 배치할 수 있다.

전술한 바와 같이, 상기 운반방향에 대해 그리고 상기 양측으로 반대방향으로의 롤러정렬의 영향으로 인해, 상기 운반될 평면재에 장력이 가해질 수 있다. 이러한 장력은 한편으로는 각 조정에 의해, 다른 한편으로는 상기 롤러 쌍에 대한 압박에 의해 결정되고 조정가능하다. 따라서, 상기 평면재 자체가 가요적이고 소위 "느슨해"지더라도, 상기 평면재를 사용가능영역(15)에서 접촉없이 장치를 사용하여 안내할 수 있다. 무엇보다도, 처리중에 상기 재료에 힘을 가할 수 있다. 예를 들어, 분사노즐에 의해 분사된 액체가 상기 재료에 작용하는 힘에 의해 상기 재료는 상기 운반면으로부터 하강되지 않는다.

약간 경화된 재료에 있어서, 소정의 압력을 가함으로써 경화동작을 수행할수 있다. 이러한 가능성은 도 8에 개략적으로 도시되어 있다. 상기 처리영역내 양측의 두 개의 롤러 쌍(20, 21) 사이에는 상기 평면재(회로기판)(12)가 상향의 활 형태로 배치된다. 또한, 상기 롤러는 상기 상향으로 경사진 축(22)과 함께 배치된다. 도 8에 도시되지 않은 상기 운반방향에 대한 상기 롤러의 각 조정은 내부로 향해(도 1 내지 도 7과는 달리) 수행되어 상기 회로기판(12)이 상기 롤러 사이에 가해진 압력에 의해 외부로 진행되지 않는다.

이러한 아치형 운반트랙(46a)은 상기 평면재를 경화하고 동시에, 동일하지 않은 처리결과물로 안내할 수 있는 표면에 웅덩이를 형성하지 않고 처리중에 액체를 분사하여 상기 운반트랙(46a)이 잘 주행되게 할 수 있다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 가요성 평면재로서 회로기판을 운반하는 장치를 제공함으로써, 상기 평면재를 접촉없이, 사용가능영역의 제한없이 처리장치를 사용하여 운반할 수 있다.

Claims (15)

1. 평면재(12)를 포착하여 운반트랙(46) 위의 운반방향(14)으로 운반하고 상기 평면재(12)를 경화하고 실질적으로 상기 운반방향(14)에 대해 횡방향으로 장력을 가하기 위해 형성되는 운반수단(19)을 구비하는 가요성 플레이트 또는 잎 모양의 평면재(12)로서 회로기판을 처리장치(11)로 운반하는 장치에 있어서,

   상기 운반수단(19)은 롤러 쌍(20, 21)을 구비하는 롤러트랙(17, 18)을 구비하고, 상기 롤러 쌍(20, 21)은 상기 운반방향(14)에 대해 횡방향으로 대향하는 경계영역(16)으로 진행될 수 있는 접촉면을 구비하며, 상기 접촉면에서는 접촉압력하에 상기 평면재(12)가 두 개의 평면에 접촉하며, 상기 롤러 쌍(20, 21)은 상기 운반방향(14) 또는 수직선(35)에 대한 각(α)으로 배치된 축(22)을 구비하며, 상기 운반방향(14)으로 연속적인 롤러 쌍(20, 21)은 실질적으로 상기 운반방향(14)에 평행하게 진행되는 상기 평면재(12)의 경계영역(16)에서 주행되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 운반하는 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 롤러 쌍(20, 21)은 상기 운반방향(14)으로 연속적으로, 각에 따라 채용되어 배치되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 각(α)은 0.1° 내지 2°, 바람직하게는0.5°인 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 평면재(12)에 탄력을 가하기 위해 상기 각 (α)은 상기 롤러 쌍(20, 21)의 진행방향(36)이 상기 운반방향(14)에 대해 외부로 향하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
5. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 평면재(12)를 아치형으로 안내하는 압력을 가하기 위해 상기 운반수단(19)은 상기 평면재(12)가 상기 평면재(12)의 평면에 대한 각으로 포착되는 접촉면을 구비하는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
6. 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 운반수단(19)은 상기 운반트랙(46)의 양측으로 롤러트랙(17, 18)을 적어도 부분적으로 제어할 수 있고 접촉압력하에 상호작용하는 롤러 쌍(20, 21)을 구비하며, 상기 롤러 쌍(20, 21)에서 상기 운반수단(19)을 지지하는 회전축(shaft)(23, 24)은 상기 양측의 롤러트랙(17, 18)의 간격을 조정하는 간격조정부(40)에 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
7. 제1항 내지 제6항중 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러트랙(17, 18)은 항상 동시에 대립되어 조정가능한 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
8. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 간격조정부(40)는 상기 롤러 쌍을 지지하는 회전축(23, 24)을 안내하고 실질적으로 상기 운반방향에 대해 횡방향으로 밀어 움직여질 수 있는 트래버스(traverse)(25; 47)을 구비하며, 바람직하게는 적어도 상기 롤러 쌍(20, 21)의 구동된 회전축(23, 24)은 종방향으로 가변되고 측면에 따라 공통 구동줄(31)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 회전축(23, 24)은 두 개의 서로 밀어 움직여질 수 있는 트래버스(25; 47)로 안내되며, 상기 트래버스(25; 47)중 하나는 밀어 움직여 질 수 있고 상기 회전축(23, 24)은 방사상으로 또한 축방향으로 안내되며, 상기 롤러 쌍에 가장 인접한 트래버스(25)는 밀어 움직여질 수 있고, 밀어 움직여지는 동안 상기 롤러 쌍(20, 21)과의 간격은 실질적으로 동일하거나, 상기 밀어 움직여질 수 있는 트래버스(47)는 상기 롤러 쌍(20, 21)으로부터 이격되게 위치하고 상기 회전축(23, 24b)은 상기 고정된 트래버스(25)에 의해 종방향으로 밀어 움직여질 수 있는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
10. 제1항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러 쌍(20, 21)중 적어도 일부가 구동되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
11. 제1항 내지 제10항중 어느 한 항에 있어서, 상기 각각의 롤러 쌍(20, 21)은 원추바퀴(29)를 구비하는 동기축, 벨트 구동부 또는 체인 구동부와 같이 일측의 모든 롤러 쌍에 대해 공통인 상기 구동줄(31)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
12. 제1항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 상기 두 개의 롤러 쌍(20, 21)의 회전축(23, 24)은 반대방향으로 동시에 구동되며, 바람직하게는 동기바퀴 집합체(28)에 의해 공통 구동부(31)로부터 구동되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
13. 제1항 내지 제12항중 어느 한 항에 있어서, 상기 롤러 쌍(20, 21)중 하나의 롤러(21)만이 회전축(24a, 24b)로부터 구동되며, 상기 또다른 롤러(20)는 상기 평면재(12) 위의 마찰 단부에 의해 상기 롤러 쌍의 직접 구동된 롤러(21)로부터 구동되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
14. 제1항 내지 제13항중 어느 한 항에 있어서, 상기 간격조정부(40)는 필요에 따라공통 조정축(44)에 의해 구동된 이동나사(41)를 구비하며, 상기 이동나사(41)는 동일한 동시조정을 위해 상기 밀어 움직여질 수 있는 트래버스(25; 47)에 연결되는 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.
15. 제1항 내지 제14항중 어느 한 항에 있어서, 상기 각(α)은 조정가능하며, 바람직하게는 하나의 롤러트랙(17, 18), 특히 상기 두 개의 롤러트랙의 모든 롤러(20, 21)에 대해 공통인 것을 특징으로 하는 가요성 평면재로서 회로기판을 처리장치로 운반하는 장치.