KR20040048450A - 반도체소자의 소자분리막 형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 반도체기판상에 형성된 패드질화막 및 패드산화막을 일부 식각하여 상기 반도체기판을 노출시키는 단계;상기 노출된 반도체기판내에 불순물을 이온주입하여 불순물 이온주입부를 형성하는 단계;상기 이온주입부를 산화시켜 제 1 산화막으로 성장시킴과 동시에 상기 패드질화막 아래에 산화막을 형성하는 단계;상기 패드질화막 아래의 산화막만을 남긴 채 상기 제 1 산화막을 식각하여 상기 반도체기판을 노출시키는 단계;상기 노출된 반도체기판내에 트렌치를 형성하는 단계;상기 트렌치 표면에 제 2 산화막을 형성하는 단계;상기 트렌치를 포함한 결과물의 상부에 평탄화용 산화막을 형성한 후 상기 패드질화막과 상기 평탄화용 산화막을 평탄화하는 단계; 및잔류하는 상기 패드산화막과 상기 패드질화막을 제거하여 소자분리막을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 이온주입부는 단일의 반도체기판보다 더 빠르게 산화하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 패드질화막 아래의 산화막은 삼각형 모양으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 패드질화막 아래의 산화막은 상기 이온주입부의 이온주입 깊이에 비례하는 크기로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 패드질화막 아래의 산화막이 상기 트렌치내 상부모서리부분을 라운딩하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 산화막은 상기 이온주입부 형성 후 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 산화막의 식각은 CxFy를 주요 가스로 하는 혼합가스로 이루어진 활성화된 플라즈마를 이용한 식각인 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 산화막의 식각은 CHF3, CF4, O2, Ar을 보조가스로 하는 혼합가스로 이루어진 활성화된 플라즈마를 이용한 식각인 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 산화막의 식각은 상기 제 1 산화막 아래의 반도체기판을 노출시킬 때 까지 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 산화막의 식각은 건식식각인 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 산화막의 식각후에도 상기 패드질화막 아래의 산화막은 잔류하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 트렌치 형성을 위한 식각은 HBr, Cl2, O2, H2의 혼합가스로 이루어진 활성화된 플라즈마를 이용한 건식식각으로 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 산화막은 SAC 산화공정에 의해 형성하는 것을특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 제 2 산화막은 트렌치내 하부모서리 부분을 라운딩하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 산화막 형성 전 세정공정을 수행하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 세정공정에 의해 상기 패드질화막 아래의 산화막은 일부 제거되어 실리콘이 노출하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 세정공정 수행 후 상기 제 2 산화막 형성시 상기 트렌치내 상부라운딩부분은 더욱 라운딩되는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 소자분리막 형성방법.
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