KR20030095284A

KR20030095284A - 유체 분사 장치의 활성화 소자, 유체 분사어셈블리로부터의 유체 분사 방법 및 유체 분사 어셈블리

Info

Publication number: KR20030095284A
Application number: KR10-2003-0036220A
Authority: KR
Inventors: 사미모하매드엠
Original assignee: 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘 피
Priority date: 2002-06-07
Filing date: 2003-06-05
Publication date: 2003-12-18
Also published as: EP1369239A1; JP2004025868A; CN1467086A; KR100982840B1; CN100548685C; US20030231221A1; US20040027420A1; JP2008110616A; JP4112439B2; US6799819B2

Abstract

유체 분사 장치(126)의 활성화 소자(700)는 활성화된 경우 연관된 노즐 챔버(910)로부터 유체가 분사되도록 하는 분사 소자(702)를 포함한다. 광센서(710)는 분사 소자에 결합된다. 광센서는 광센서가 광원(106)에 의해 조사되는 경우 광센서에 결합된 분사 소자가 활성화되도록 구성된다.

Description

유체 분사 장치의 활성화 소자, 유체 분사 어셈블리로부터의 유체 분사 방법 및 유체 분사 어셈블리{PHOTOSENSOR ACTIVATION OF AN EJECTION ELEMENT OF A FLUID EJECTION DEVICE}

본 발명은 유체 분사 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 유체 분사 장치의 분사 소자(ejection elements)의 광센서 활성화(photosensor activation)에 관한 것이다.

잉크제트 기술 분야는 비교적 잘 발달되어 있다. 컴퓨터 프린터, 그래픽 플로터, 팩시밀리 기계 및 다기능 장치와 같이 인쇄 매체를 생성하는 상업적 제품은 잉크제트 기술에 의해 구현되어 왔다. 일반적으로, 잉크제트 이미지는, 잉크제트 프린트헤드 어셈블리로 알려져 있는 잉크 방울 생성 장치에 의해 분사된 잉크 방울이 프린트 매체 상에 정확하게 배치됨에 따라 형성된다. 잉크제트 프린트헤드 어셈블리는 적어도 하나의 프린트헤드를 포함한다. 잉크제트 프린터는 적어도 하나의 잉크 공급 장치를 가지고 있다. 잉크 공급 장치는 잉크통을 갖는 잉크 컨테이너를 포함한다. 잉크 공급 장치는 잉크제트 프린트 헤드 어셈블리와 함께 수납될 수 있고 별도로 수납될 수 있다. 종래의 몇몇 잉크제트 프린트헤드 어셈블리는 페이지 폭의 제한된 부분에 걸쳐 있고, 페이지를 가로질러 스캔닝한다. 잉크제트 프린트헤드 어셈블리는 프린트 매체의 표면 위를 횡단하는 이동가능 캐리지 상에 지탱되어 있고, 마이크로컴퓨터 또는 다른 제어기의 명령에 따라 적절한 시점에 잉크 방울을 분사하도록 제어되는데, 여기서 잉크 방울 인가의 시점은 프린트되는 이미지의 픽셀 패턴에 대응하게 된다.

페이지 와이드 어레이(page-wide-array : PWA) 프린트헤드 어셈블리는 전체 페이지 폭(예로, 8.5인치, 11인치, A4 너비)에 걸쳐 있고 매체 경로에 대해 고정된다. PWA 프린트헤드 어셈블리는 전체 페이지 폭에 걸쳐 있는 수 천개의 노즐을 구비한 PWA 프린트헤드를 포함한다. PWA 프린트헤드 어셈블리는 전형적으로 페이퍼 경로에 수직으로 배향된다. 동작 동안, PWA 프린트헤드 어셈블리는 고정되어 있고, 매체가 어셈블리 밑에서 이동한다. PWA 프린트헤드 어셈블리는 페이지가 어셈블리에 대해 이동함에 따라 한번에 하나 이상의 라인을 프린트한다.

PWA 프린트헤드 어셈블리의 각 노즐 챔버는 전형적으로 분사 소자, 챔버 층 및 기판을 포함한다. 분사 소자로서 분사 저항(firing resistor)이 사용되는 경우, 분사 저항은 기판 상의 챔버 내에 위치한다. 동작 동안, 노즐 챔버는 잉크 공급 장치로부터 유입로를 통해 잉크를 공급받는다. 그런 다음 잉크를 가열하고 기포를 형성하기 위해 분사 저항이 가열된다. 기포는 노즐을 통해 잉크를 매체(예로, 페이퍼, 투명지) 상에 작은 방울로 분사한다. 반복적인 유속, 부피 및 방향의 작은 방울은 제각기의 노즐로부터 분사되어 문자, 그래픽 및 포토그래픽 이미지를 매체 상에 효과적으로 인쇄한다.

압전기 유형의 PWA 프린트헤드 어셈블리의 분사 소자는 전형적으로 압전세라믹 층을 포함한다. 압전세라믹 층은 챔버 외부 측면 상의 압전세라믹 물질이 접착되는 가요성 벽으로 구성된다. 동작 동안, 노즐 챔버는 유입로를 통해 잉크 공급 장치로부터 잉크를 공급받는다. 압전세라믹 물질은 벽을 챔버로 변형하도록 활성화된다. 생성된 압력은 노즐을 통해 잉크를 방울로서 매체(예로, 페이퍼, 투명지) 상에 분사한다. 반복적인 유속, 부피 및 방향의 작은 방울이 제각기의 노즐로부터 분사되어 문자, 그래픽 및 포토그래픽 이미지를 매체 상에 효과적으로 인쇄한다.

PWA 프린트헤드 어셈블리에는 다수의 노즐이 존재하고 이 어셈블리는 전형적으로 한번에 하나 이상의 페이지 폭 라인을 프린트하기 때문에, 주어진 시간에서 스캐닝 유형의 프린트헤드 어셈블리보다 실질적으로 많은 타이밍 및 제어 신호가 발생된다. 다수의 문자와 달리 다수의 라인을 프린트하기 위해, 수천 개 이상의 노즐의 분사가 제어되어야 한다. 이러한 노즐의 수 천개 이상의 분사 저항에 신호가 전송되어야 한다.

전형적인 PWA 잉크제트 프린터에 있어서, 복잡한 전자 장치 및 상호 접속물은 필요한 신호를 생성하여 이 신호들을 적절한 위치에 라우팅하기 위해 사용되어 왔다. 몇몇 PWA 잉크제트 프린터는, 프린트 프로세서로부터의 신호를 지정된 분사저항으로 신호를 전달하기 위한 신호 경로를 포함하는 프린트헤드 어셈블리에 부착된 가요성 프린트 회로("가요성 회로")를 사용한다.

비용 효과적인 방식으로 신뢰성 있는, 고수율 페이지 와이드 어레이를 생산할 필요가 있다.

본 발명의 일 형태는 유체 분사 장치의 활성화 소자를 제공하는 것이다. 이 활성화 소자는 활성화되는 경우 연관된 노즐 챔버로부터 유체를 분사시키는 분사 소자를 포함한다. 광센서는 이 분사 소자에 결합되어 있다. 광센서가 광원에 의해 조사되는 경우 광센서에 결합된 분사 소자가 활성화되도록 광센서는 구성된다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 장치의 주요 내부 구성 요소를 예시하는, 페이지 와이드 어레이(PWA) 잉크제트 프린터 및 스캐너 다기능 제품(MFP)와 같은 유체 분사 및 스캐닝 장치의 측면도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 PWA 프린트헤드 및 스캐닝 어셈블리와 같은, 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리의 일 실시예를 예시하는 평면도,

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따라 PWA 프린트헤드 및 스캐닝 어셈블리와 같은, 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리의 간략화된 종단 또는 측면도,

도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따라 PWA 프린트헤드 어셈블리와 같은, 유체 분사 어셈블리의 간략화된 종단 또는 측면도,

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 유체 분사 어레이의 일부분의 주요 구성 요소를 예시하는, 도 2의 라인 4A-4A를 절단한 단면도,

도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따라 스캔 어레이의 일부분의 주요 구성 요소를 예시하는, 도 8뿐만 아니라 도 2의 라인 4B-4B를 절단한 단면도,

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 스캔 어레이 및 다수의 유체 분사 어레이의 주요 구성 요소를 예시하는 전기적 개략도,

도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따라 광센서 간의 이격(spacing)을 더 자세히 설명하는, 도 5에 도시된 스캔 어레이의 일부분의 전기적 개략도,

도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따라 유체 분사 어레이에 대한 활성화 소자의 주요 구성 요소를 예시하는 전기적 개략/블록 도면,

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 블록 형태로 스캔 어레이 및 유체 분사 어레이를 예시하는 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리의 도면,

도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따라 활성화 소자용 전극의 레이아웃을 예시하는 도면,

도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따라 스캔 어레이 소자용 전극의 레이아웃을 예시하는 도면,

도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따라 광원으로부터의 광선을 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리를 가로질러 스캔닝하는 단계를 예시하는 도면,

도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따라 제 2 광원으로부터의 광선을 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리를 가로질러 스캔닝하는 단계를 예시하는 도면,

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 도 2의 라인(10-10)을 절단한 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리를 예시하는 간략화된 단면도,

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따라 유체 분사 및 스캐닝 시스템의 주요 구성 요소를 예시하는 전기적 블록도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

102 : 매체 공급기106 : 광원

108 : 변조기112 : 다각형 거울

114,118 : 굴절 미러116 : 렌즈

122 : 유체 공급 장치120,124,140 : 롤러

128 : 스타휠402 : 투명 윈도우

900 : 광센서 전극910 : 노즐 챔버

후속하는 상세한 설명에 있어서, 본 발명의 일부분을 형성하고, 본 발명이 실행될 수 있는 특정 실시예를 예시하는 수단으로 도시되어 있는 첨부된 도면을 참조한다. 다른 실시예가 이용될 수 있고 구조적 또는 논리적 변경이 본 발명의 범주를 벗어나지 않고서 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 그러므로, 후속하는 상세한 설명은 제한적 의미로 취급되지 않고, 본 발명의 범주는 첨부한 청구항에 의해 정의된다.

본 발명의 일 실시예에서, PWA(page-wide-array) 프린트헤드 어셈블리의 잉크제트 소자와 같은 유체 분사 소자는 광학적으로 활성화된다. 이 실시예에서는,광선이 PWA 프린트헤드 어셈블리 위에서 스캐닝되어 원하는 잉크제트 소자를 선택적으로 분사하도록 변조되어, 네 개의 컬러 평면 각각에 대해 원하는 래스터 패턴(raster pattern)을 생성함으로써, 원하는 이미지를 생성한다. 본 발명의 일 형태에 있어서, 단일 PWA 프린트헤드 어셈블리는 비교적 적은 부가 비용이 부가되는 프린트헤드 및 이미지 스캐너 양자 모두의 기능을 수행한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 장치(100)의 주요 내부 구성 요소를 예시하는, PWA 잉크제트 프린터 및 스캐너 장치(100)와 같은 유체 분사 및 스캐닝 장치의 측면도이다. 장치(100)는 측면 가이드(102A 및 102B)를 구비한 매체 공급기(102), 광원(106), 변조기(108), 회전하는 다각형 거울(112), 굴절 거울(114 및 118), 렌즈(116), 유체 공급 장치(122), 유체 분사 및 스캐닝 어셈블리(126), 롤러(120,124,140 및 142), 스타휠(star wheel)(128) 및 프린트 회로 어셈블리(PCA)(138)를 포함한다. 매체(104)(예로, 페이퍼, 투명지)의 스택은 공급기(102)에 의해 수용된다. 이러한 특정 실시예에서, 가열기 소자(150)는 프린트된 매체가 매체 출구를 통해 분사되기 전에 그것을 건조시킨다.

일 실시예에서, 롤러(120,124,140 및 142) 및 스타휠(128)은 어셈블리(126)에 의해 매체가 실질적으로 일정한 속도로 전송되는 일정한 움직임 시스템(constant motion system)의 일부이다. 일정한 움직임 시스템은 전형적으로 불연속 움직임 시스템보다 정확하고 제어가능하다. 또 다른 실시예에서, 매체 움직임은 연속 방식으로 진공 플래튼(a vacuum platten)에 의해 달성될 수 있다. 연속적인 매체 움직의 장점은 감소된 결합(reduced banding)과, 보다 나은 프린트 품질을 위해 보다 나은 도트 배치 정확성을 포함한다. 또 다른 실시예에 있어서, 불연속 움직임 매체 전송 메카니즘이 사용될 수 있다.

일 실시예에서, 어셈블리(126)는 적어도 페이지 폭 길이(예로, 8.5 인치, 11 인치 또는 A4 너비)로 연장하고, 매체(130)가 실질적으로 고정되어 있는 어셈블리(126)에 대해 이동함에 따라 유체 방울을 매체(130) 상에 분사한다. 일 실시예에서, 유체 공급 장치(122)로부터 유체가 어셈블리(126)에 공급된다. 또 다른 실시예에서, 어셈블리(126)는 하나 이상의 내부 유체 공급 장치를 포함한다. 본 발명의 일 형태에서, 다수의 어셈블리(126)가 결합되어 보다 크고 또는 보다 빠른 어셈블리를 형성한다.

적어도 하나의 입/출력 포트(134)와, 본 명세서에서 설명한 다양한 프로세싱 및 제어 기능을 수행하는 다수의 전자 칩(136A-136B)은 PCA(138) 상에 장착된다. 케이블(132)은 입/출력 포트(134)에 결합되고, 본 발명의 일 형태에서 호스트 컴퓨터(도시되어 있지 않음)에 결합되도록 구성된다. 간략한 도시를 위해, 단일 입/출력 포트(134) 및 케이블(132)만이 도 1에 도시되어 있지만, 당업자라면 장치(100)는 전화 포트, 센트로닉스 포트, 스마트 매체 메모리 장치, 고체 상태 저장 시스템, 적외선 및/또는 다른 무선 포트를 포함하는 다수의 상이한 유형의 종래의 입/출력 포트 및 산업에서 공통적으로 이용가능한 다른 통신 프로토콜을 통합할 수 있다는 것을 이해할 것이다.

본 발명의 일 형태에 있어서, 미러(112,114 및 118)를 통해 광원(106)으로부터 어셈블리(126)까지 광학 경로(110)가 형성된다. 굴절 미러(114, 118)는장치(100)의 크기를 감소시키기 위해 광학 경로가 구부러지도록 설치된다. 이러한 크기 감소가 요구되지 않는 경우에는 미러(114 및 118)는 제거될 수 있다.

도 2는 어셈블리(126)의 실시예를 예시하는 평면도이다. 어셈블리(126)는 매체(130) 위의 화살표로 표시된 매체 이동 방향으로, 매체(130) 위에 배치되어 있는 것으로 도시되어 있다. 일 실시예에서, 어셈블리(126)는 도 2의 라인(200A-200D)으로 표시되는, 프린트 어레이와 같은 네 개의 유체 분사 어레이를 포함하는데, 총괄하여 유체 분사 어레이(200) 및 하나의 스캔 어레이(2002)로 지칭된다. 일 실시예에서, 유체 분사 어레이(200A)는 흑색 잉크의 도트 분사용 흑색 프린트 어레이고, 유체 분사 어레이(200B)는 마젠타색 잉크의 도트 분사용 마젠타색 프린트 어레이이며, 유체 분사 어레이(200C)는 황색 잉크의 도트 분사용 황색 프린트 어레이이고, 유체 분사 어레이(200D)는 시안색 잉크의 도트 분사용 시안색 프린트 어레이이다.

스캔 어레이(202)는 매체의 디지털 이미지를 생성하기 위해 이미지 데이터를 캡쳐하도록 구성된다. 컬러 프린팅보다 흑백 프린팅에서는, 단일 유체 분사 어레이(200)가 요구된다. 컬러의 순서는 잉크 유형 및 다른 기록 시스템 팩터에 따라 달라질 수 있다.

도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 어셈블리(126)의 간략화된 종단 또는 측면도이다. 유체 분사 어레이(200) 및 스캔 어레이(202)는 기판(310) 상에 형성된다. 일 실시예에서, 투명 윈도우(402)가 스캔 어레이(202)에 형성된다. 어셈블리(126)는 마주보는 표면(126A 및 126B)을 포함한다.

본 발명의 일 형태에 따른 프린트 모드에 있어서, 매체(130)는 어셈블리(126)의 표면(126B)에 인접하게 전송되고, 유체는 어레이(200)의 표면(126B)에서 매체(130) 상으로 분사된다. 본 발명의 일 형태에 있어서, 어셈블리(126)는 유체 분사 어레이(200)에 의해 분사된 유체의 잘못된 방울에 의해 스캔 어레이(200)가 오염되는 것을 방지하는 데 도움을 주는 보호 커버(306)를 포함한다.

일 실시예에 따른 스캔 모드에 있어서, 매체(130)는 어셈블리(126)의 표면(126B)에 인접하게 전송되어 스캔 어레이(202)에 의해 프린트된 이미지의 감지가 가능하다. 일 실시예에서, 보호 커버(306)는 제거가능하고, 이미지 스캐닝을 위해 제거된다. 일 실시예에서, 커버(306)의 내부는 스캐너의 픽셀 대 픽셀 교정(pixel-to-pixel calibration)을 위한 백색 교정 표면을 포함한다.

도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 어셈블리(126)의 간략화된 종단 또는 측면도이다. 도 3b는 도 3a에 유사한데, 동일한 참조 번호는 동일한 기호를 지정하지만, 예외로 도 3b는 스캐닝 어셈블리 또는 스캔 어레이(202)를 포함하지 않는다.

유체 분사 어레이(200)는 기판(310) 상에 형성된다. 어셈블리(126)는 어셈블리(126)는 마주보는 표면(126A 및 126B)을 포함한다. 본 발명의 일 형태에 따른 프린트 모드에 있어서, 매체(130)는 어셈블리(126)의 표면(126B)에 인접하게 전송되고, 유체는 어레이(200)의 표면(126B)에서 매체(130) 상으로 분사된다.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따라 유체 분사 어레이(200D)의 일부분의 주요 구성 요소를 도시하는, 도 2의 라인(4A-4A)을 절단한 단면도이다. 일 실시예에서, 유체 분사 어레이(200A-200C)는 유체 분사 어레이(200D)에 대해 본 명세서에서 예시하고 설명한 실질적으로 동일한 방식으로 구성된다. 본 발명의 일 형태에 있어서, 유체 분사 어레이(200D)는 개구(orifice) 판(902), 유체 채널(908), 노즐 챔버(910), 장벽 층(912), 저항 보호 층(914), 저항 전극(916 및 918), 전극(920), 게이트 산화물 층(922), 비아(924), 저항 물질(926), 폴리실리콘 층(928), 도핑된 웰(930 및 932), 광센서 전극(933), SiO₂패시베이션 층(934) 및 기판(310)을 포함한다.

일 실시예에서, 기판(310)은 투명한 유리 기판이고, 어레이(200 및 202)는 이하에서 더 자세히 설명되는 박막 기술(TFT) 및 비결정 실리콘을 이용하여 제조된다. 또 다른 실시예에서, 기판(310)은 실질적으로 투명한 중합체이거나 또는 기타 다른 실질적으로 투명한 물질이다.

SiO₂패시베이션 층(934)은 기판(310)으로부터의 불순물이 폴리실리콘 층(928)에 미치지 않도록 기판(310) 상에 형성된다. 저항 물질(926)은 SiO2 패시베이션 층(934) 상에 형성된다. 저항 전극(916 및 918)은 저항 물질(926)의 각 종단 상에 형성된다.

폴리실리콘 층(928)은 먼저 SiO₂패시베이션 층(934) 상에 비결정 실리콘의 박막 층을 증착함으로써 형성된다. 비결정 실리콘은 레이저에 의해 재결정화된다. 증착된 실리콘의 온도는 국부적으로 상승하고 서서히 냉각되어, 실리콘을 재결정화한다. 이 프로세스는 결정입자 경계(grain boundaries)를 최소화하고, 비결정 실리콘의 전자 이동 특성을 강화할 것이다.

본 발명의 또 다른 실시예에서, 기판(310)용으로 석영 유리가 사용되는데, 이 석영 유리는 실질적으로 보다 높은 유리 전이 온도(glass transition temperature)를 가지고 있으며, 실리콘(928)의 오븐 재결정(oven recrystallization)을 허용한다. 재결정화에 이어서, 게이트 산화물 층(922)을 폴리실리콘 층(928) 상단에 증착하고, 그런 다음 도펀트 확산용 경로를 제공하도록 에칭한다. 도펀트는 폴리실리콘 층(928)으로 확산되고 도핑된 웰(930 및 932)을 형성한다. 일 실시예에서, 전계 효과 트랜지스터(802 및 806)(도 5에 도시되어 있음)는 구동 회로 영역(940)에 배치되어 있고, 도핑된 웰(930) 및 주변 실리콘(928)으로부터 형성된다. 일 실시예에서, 광센서(710)(도 5에 도시되어 있음)는 광감지 영역(942)에 배치되고, 도핑된 웰(932) 및 주변 실리콘(928)으로부터 형성된다. 알루미늄 금속 층을 게이트 산화물 층(922) 상에 증착한 후 에칭하여 전극(920)을 형성한다.

일 실시예에서, 폴리실리콘 층(928)은 P형 반도체 물질이고, 도핑된 웰(930 및 932)은 N형 도펀트를 폴리실리콘 층(928)에 확산시킴으로써 형성한다. 또 다른 실시예에서, 실리콘 층(928)은 N형 반도체 물질이고, 도핑된 웰(930 및 932)은 P형 도펀트를 폴리실리콘 층(928)에 확산시킴으로써 형성한다.

저항 보호 층(914)을 저항 콘택트(916 및 918), 저항 물질(926), 전극(920) 및 게이트 산화물 층(922) 위에 형성한다. 장벽 층(912)을 저항 보호 층(914) 상에 형성하여, 노즐 챔버(910)를 정의한다. 개구 판(902)을 장벽 층(912) 상에 또한 노즐 챔버(910) 및 유체 채널(908) 위에 형성한다. 일 실시예에서, 개구 판(902) 및 장벽 층(912)은 반드시 필요한 구성 요소이다. 개구(904)는 노즐 챔버에서의 유체 출구를 제공하며, 화살표(906)로 표시되어 있다.

매체(130)는 유체 분사(또는 스캐닝) 동안 어셈블리(126)의 표면(126B)에 근접하게 공급된다. 일 실시예에서, 매체(130)가 어셈블리(126)에 대하여 이동함에 따라, 유체 방울은 노즐 또는 개구(904)로부터 분사되어 문자 또는 이미지를 나타내는 마킹을 형성한다. 일 실시예에서, 어셈블리(126)는 자기 자신의 길이를 가로지르는 수천 개의 노즐(904)을 포함하나, 선택된 분사 소자(예로, 저항 물질(926))만이 주어진 시간에서 활성화되어 유체 방울을 분사함으로써 원하는 마킹을 달성한다.

도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따라 스캔 어레이(202)의 일부분의 주요 구성 요소를 예시하는 도 2의 라인(4B-4B)을 절단한 단면도이다. 일 실시예에서, 스캔 어레이(202)는 기판(310) 상에 형성된 다수의 박막 층(403-408), 도핑된 웰(410A-410D) 및 전극(412A-412H)을 포함한다. 본 발명의 일 형태에서, 층(403)은 투명한 SiO₂층이고, 층(404)은 금속이며, 층(405)은 투명한 SiO₂절연층이고, 층(406)은 폴리실리콘이며, 층(407)은 투명한 게이트 산화물이고, 층(408)은 투명한 보호 SiO₂층이다.

본 발명의 일 형태에서, 스캔 어레이(202)의 층(403,404,406 및 407)은 동일한 물질로 형성되고 유체 분사 어레이(200)의 제각기 층(934, 933, 928 및 922)(도 4a에 도시되어 있음)에 대응한다. 일 실시예에서, 스캔 어레이(202) 및 유체 분사 어레이(200)의 대응 층을 동시에 증착하고, 적절한 마스크 및 에칭 단계를 수행하여 본 명세서 및 도면에 예시된 어레이(200 및 202)의 다양한 피쳐를 형성한다.

본 발명의 일 형태에서, SiO₂층(403)을 기판(310) 상에 형성한다. 금속 층(404)을 SiO₂층(403) 상에 형성하고, 이하에서 보다 자세히 설명되는 바와 같이 투명 윈도우(402)를 형성하도록 에칭한다. 이 실시예에서, SiO₂절연 층(405)을 금속 층(404 및 403) 위에 형성한다. 폴리실리콘 층(406)을 절연 층(405) 상에 형성한다. 도펀트를 폴리실리콘 층(406)에 확산시킴으로써 도핑된 웰(410A-410D)을 폴리실리콘 층(406)에 형성한다. 전극(412A-412H)을 폴리실리콘 층(406) 상에 형성되고, 게이트 산화물 층(407)으로 둘러싼다. 보호 SiO₂층(408)은 게이트 산화물 층(407) 상에 형성된다.

일 실시예에서, 폴리실리콘 층(406) 및 도핑된 웰(410A-410D)은 폴리실리콘 층(928) 및 도핑된 웰(930 및 932)에 대해 위에서 설명한 것과 동일한 방식으로 형성한다. 일 실시예에서, 폴리실리콘 층(406)은 P형 반도체 물질이고, 도핑된 웰(410A-410D)은 N형 도펀트를 폴리실리콘 층(406)에 확산시킴으로써 형성한다. 또 다른 실시예에서, 폴리실리콘 층(406)은 N형 반도체 물질이고, 도핑된 웰(410A-410D)은 P형 도펀트를 폴리실리콘 층(406)에 확산시킴으로써 형성한다.

이 실시예에서, 투명 윈도우(402)는 실질적으로 투명한 층(310, 403, 405,407 및 408)을 통해 형성한다. 일 실시예에서, 윈도우(402) 폭은 100 DPI(Dots Per Inch)에서는 약 0.01 인치이고, 300 DPI에서는 0.0033 인치이며, 1200 DPI에서는 0.000833 인치이다. 일 실시예에서, 매체(130)와 어셈블리(126)의 표면(126B) 사이의 이격은 약 0.1 밀리미터 이하이다.

두 개의 광센서(711)는 도핑된 웰(410A-410D) 및 그 주변의 폴리실리콘(406)으로부터 형성한다. 간략히 예시하기 위해 두 개의 광센서(711)가 도시되어 있지만, 일 실시예에서, 동일한 기본 광센서 구성이 (페이퍼로) 여러번 반복되어 전체 페이지 폭만큼 연장하는 스캔 어레이(202)를 형성한다. 또한, (광센서(710)가 형성되는) 하나의 광감지 영역(942)이 도 4a에 도시되어 있지만, 일 실시예에서, 예시된 광센서(710)에 인접한 세 개 이상의 광센서(710)가 존재하고, 페이퍼쪽으로 다수의 광센서(710)가 존재한다. 본 발명의 일 형태에서, 광센서(710 및 711) 각각의 활동 영역은 폭이 대략 39 미크론(600 DPI용)이다.

본 발명의 일 형태에서, 스캔 어레이(202)의 광센서(711)는 두 개의 그룹(400A 및 400B)으로 구성되는데, 각 그룹은 상이한 공간 주파수를 가진다. 양 그룹(400A 및 400B)으로부터의 신호는 분할되어 개선된 해상도를 제공한다. 일 실시예에서, 그룹(400B)의 공간 주파수는 그룹(400A)의 공간 주파수의 95%이다.

본 발명의 일 형태에서, 스캔 어레이(202)의 광센서(711)는 유체 분사 어레이(200)의 광센서(710)와 구조적으로 유사하고 동일한 제조 단계로 형성된다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유체 분사 어레이(200) 및 스캔 어레이(202)의 주요 구성 요소를 예시하는 전기적 개략도이다. 스캔 어레이(202)는 그룹(400A 및 400B)으로 구성된 다수의 광센서(711)를 포함한다. 도 5의 예시된 실시예에서, 광센서(711)는 광다이오드이다. 각 광센서(711)는 전압 공급부(Vps)(705)와 그라운드 버스 라인(708) 사이에 결합된다. 조사된 광센서(711)는 광센서(711) 상에 입사된 광의 밀도에 기초하여 크기가 달라지는 신호를 출력한다.

각 어레이(200)는 다수의 광감지 활성화 소자(700)를 포함한다. 각 활성화 소자(700)는 열 잉크제트(TIJ) 소자 또는 압전 잉크제트(PIJ)와 같은 분사 소자 및 광학 트리거 회로(703)를 포함한다. 도시된 실시예에서, 분사 소자(702)는 열 잉크제트 저항이다. 각 광학 트리거 회로(703)는 증폭기(706), 래치(807) 및 광센서(710)를 포함한다. 일 실시예에서, 래치(807)는 T형 플립 플롭이다.

광센서(710)는 입력 광선(110)을 전기 신호로 변환한다. 이하에서 설명되는 바와 같이, 유체 분사 어레이(200)의 광센서(710)에 의해 생성된 전기 신호는 광센서(710)에 결합된 분사 소자(702)를 트리거하는 데 사용된다.

증폭기(706)는 트랜지스터(802 및 806)를 포함한다. 일 실시예에서, 트랜지스터(802 및 806)는 전계 효과 트랜지스터(FETs)이다. 결정 실리콘에 비해 비결정 실리콘이 보다 낮은 전자 이동성을 가지고 있기 때문에, 이 실시예에서, 트랜지스터(802 및 806)는 대개 실리콘 기판보다는 유리 기판(310)에 대해 더 넓게 만든다. 일 실시예에서, 트랜지스터(802)는 약 2 내지 3 마이크로미터의 길이와, 약 100 내지 500 마이크로미터의 폭을 가지며, 트랜지스터(806)는 약 1 내지 2 마이크로미터의 길이와, 약 200 내지 1000 마이크로미터의 폭을 가지며, 저항(702)은 범위가 약30 내지 1500 옴인 저항을 가진다. 또 다른 실시예에서, 광학 트리거 회로(703)에 대해 다른 구성 및 구성 요소 크기가 사용될 수 있다.

각 광센서(710)를 전압 공급부(Vref)(704)에 결합한다. 각 광센서(710)의 출력단은 그에 대응하는 래치(807)의 입력에 결합한다. 각 래치(807)의 출력(Q)은 그에 대응하는 트랜지스터(802)의 게이트에 결합한다. 각 트랜지스터(802)의 드레인은 전압 공급부(704)에 결합하고, 각 트랜지스터(802)의 소스는 그에 대응하는 트랜지스터(806)의 게이트에 결합한다. 각 트랜지스터(806)의 드레인은 전압 공급부(704)에 결합하고, 각 트랜지스터(806)의 소스는 그에 대응하는 저항 또는 분사 소자(702)에 결합한다. 각 저항(702)은 대응 트랜지스터(806)의 소스와 그라운드 버스 라인(708) 사이에 결합한다.

활성화 소자(700)가 광원(106)의 광에 의해 활성화되는 경우, 광센서(710)는 도전성을 가지게 된다. 광센서(710)가 조사되고 도전성을 가지게 되고 트랜지스터(802)를 턴온하도록 래치(807)를 설정하는 경우, 트랜지스터(802)에 의해 트랜지스터(806)도 턴온된다. 이 실시예에서, 트랜지스터(802)는 전압 제어 턴온 FET로서 작용하고, 트랜지스터(806)는 전류 제어 구동 FET로서 작용한다. 트랜지스터(806)는 구동 전류를 여기 저항(702)에 제공하여, 대응 노즐 챔버 내의 유체를 가열하고 분사한다. 일 실시예에서, 유체의 적어도 일부가 방울로서 분사되도록 위치가 변경된다. 일 실시예에서, 래치(807)는 광 스트라이킹 광센서(710)의 제 2 펄스에 의해 순차적으로 재설정되고, 이로 인해 회로가 턴오프된다.

일 실시예에서, 각 어레이(200)는 어레이(200)의 시작 및 종점에서 적어도하나의 더미 픽셀(dummy pixel)(206)을 포함한다. 도 5의 더미 픽셀(206)은 실질적으로 활성화 소자(700)와 동일하게 구성되나, 분사 소자(702) 또는 래치(807)를 포함하지 않는다. 이들 더미 픽셀(206)은 시간 및 위치 동기화 신호를 제어 회로에 제공한다.

도 5에 도시된 실시예에서, 광센서(710)는 광다이오드이다. 본 발명의 또 다른 실시예에서, 광센서(710)는 광트랜지스터로 구현되고, 따라서 트랜지스터(802)는 대체된다. 광센서(710)가 광트랜지스터로서 구현되는 또 다른 실시예에서, 특정 종횡비의 전계 효과 트랜지스터는 잉크제트 가열 저항 소자(702)로서 사용되고, 별개의 TIJ 저항은 사용되지 않는다.

도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따라 광센서(711) 간의 이격을 보다 자세히 설명하는, 도 5에 도시된 스캔 어레이(202)의 일부분의 전기적 개략도이다. 그룹(400A)의 광센서(711)는 예시된 실시예에서 거리(X)만큼 이격되고, 그룹(400B)의 광센서(711)는 거리(0.95X)만큼 이격된다. 예를 들어, 그룹(400A)의 광센서(711)가 300 DPI 인치로 이격된 경우, 그룹(400B)의 광센서(711)는 300 DPI 피치의 0.95X배 또는 314 DPI 피치만큼 이격될 것이다. 일 실시예에서, 두 개의 인접한 광센서(711)(즉, 그룹(400A)의 일 광센서(711) 및 그룹(400B)의 인접한 광센서(711))는 본 명세서에서 스캔 어레이 소자(712)(도 7에 도시되어 있음)로 지칭된다.

도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따라 도 5에 도시된 활성화 소자(700)들 중 하나의 주요 구성 요소를 예시하는 전기적 개략/블록도이다. 도 5에 도시된 바와같이, 도 6b에 도시된 단일 활성화 소자(700)는 여러번 반복되어 유체 분사 어레이(200)를 형성한다. 반복 정도는 원하는 해상도, 제트 여분 및 장치(100)의 폭에 따라 결정된다. 아래의 표(I)는 본 발명의 일 실시예에 따라 다양한 해상도에 대한 어셈블리(126)의 활성화 소자(700) 및 스캔 어레이 소자(712)의 수를 나타낸다.

각 활성화 소자(700)는 광학 트리거 회로(700)와 직렬로 연결된 분사 소자(702)를 포함한다. 활성화 소자(700)의 광학 트리거 회로(703)는 광센서(710) 및 증폭기(706)를 포함한다. 광센서(710)는 증폭기(706) 및 전압 공급부(704)에 결합된다. 일 실시예에서, 전압 공급부(704)는 12 볼트를 공급한다. 증폭기(706)는 전압 공급부(704), 분사 소자(702) 및 그라운드 버스 라인(708)에 결합된다.

광학 트리거 회로(703)는 광원(706)의 광이 광센서(710)로 전달되는 경우 광학 소자(702)를 턴온하는 광 스위치로서 작용한다. 광센서(710)는 광자 스트림에 의한 충돌이 있는 경우 도전성을 가지게 되고, 비교적 낮은 전압 출력 신호를 증폭기에 출력한다. 증폭기(706)는 수신된 신호를 증폭하고 대응 펄스를 분사 소자(702)에 전달하여 소자(702)가 분사하도록 한다. 증폭기(706)는 필요한 턴온에너지(TOE)를 분사 소자(702)에 전달한다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라 스캔 어레이(202) 및 유체 분사 어레이(200)를 블록 형태로 예시하는 어셈블리(126)의 도면이다. 광센서(711)의 그룹(400A)은 실질적으로 투명 윈도우(402)에 의해 광센서(711)의 그룹(400B)과 분리된다. 일 실시예에서, 유체 분사 어레이(200)의 활성화 소자(700)는 도 7에 예시된 바와 같이 다수의 행 및 다수의 열로 배열된다.

도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 단일 활성화 소자(700)(도 7에 블록 형태로 도시되어 있음)의 구성요소의 레이아웃을 예시하는 도면이다. 당업자라면 도 8a에 도시되어 있는 레이아웃이 여러번 반복되어 유체 분사 어레이(200)를 형성한다는 것을 이해할 것이다. 도 8a는 유리 기판(310)으로 향하는 저항 보호 층(914)(도 4a에 도시되어 있음)에서 본 전극의 도면이다.

도 8a에 도시된 바와 같이, 광센서(710)용 전극은 두 개의 꾸불꾸불한 모양의 전극(933A 및 933B)(총괄적으로 전극(933)으로 지칭됨)으로 구성되어 있다. 전극(933B)은 전압 공급 라인(704)에 결합되어 있다. 전극(933A)은 전극(920)에 결합되어 있다. 전극(920)은 도핑된 웰(930) 및 그 주변 폴리실리콘(928)으로부터 형성되는 트랜지스터(802)의 게이트에 결합되어 있다. 일 실시예에서, 전극(920)은 전계 효과 트랜지스터(802)의 게이트를 비아(924)(도 4a에 도시되어 있음)를 통해 광센서 전극(933A)에 결합한다.

도핑된 웰(932)은 전극(933A)에 전기적으로 연결되고, 전극(933a)과 실질적으로 동일한 꾸불꾸불한 모양을 가진다. 폴리실리콘(928)은 도핑된 웰(932)을 둘러싼다. 꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(1100)는 폴리실리콘(928)과 꾸불꾸불한 모양의 도핑된 웰(932) 사이의 인터페이스에서 형성된다. 꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(1100)는 꾸불꾸불한 모양의 전극(933A 및 933B) 사이에 배치된다. 꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(1100) 및 꾸불꾸불한 모양의 전극(933A 및 933B)은 본질적으로 광사이트(photosite) 또는 광센서(710)로 지칭되는 고체 상태 광다이오드를 형성한다.

전계 효과 트랜지스터(802)용 전극은 전극(1002, 920 및 1004)으로 구성되어 있다. 전극(1002)은 전계 효과 트랜지스터(802)의 드레인에 결합되어 있고, 전극(920)은 전계 효과 트랜지스터(802) 게이트에 결합되어 있으며, 전극(1004)은 전계 효과 트랜지스터(802)의 소스에 결합되어 있다. 전계 효과 트랜지스터(806)용 전극은 전극(1002, 1004 및 918)으로 구성되어 있다. 전극(1002)은 전계 효과 트랜지스터(806)의 드레인에 결합되어 있고, 전극(1004)은 전계 효과 트랜지스터(806) 게이트에 결합되어 있으며, 전극(918)은 전계 효과 트랜지스터(806)의 소스에 결합되어 있다.

저항(702)용 전극은 전극(916 및 918)으로 구성되어 있다. 전극(918)은 저항(702)을 트랜지스터(806)의 소스에 결합하고, 전극(916)은 저항(702)을 그라운드 라인(708)에 결합한다.

도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 단일 스캔 어레이 소자(712)(도 7에 블록 형태로 도시되어 있음)용 전극의 레이아웃을 예시하는 도면이다. 당업자라면 도 8b에 도시되어 있는 레이아웃이 여러번 반복되어 스캔 어레이(202)를 형성할 것이라는 것을 이해할 것이다. 도 8b는 기판(310)으로 향하는 SiO₂층(408)(도 4b에 도시되어 있음)으로부터 본 전극에 관한 도면이다. 도 4b는 도 2뿐만 아니라, 도 8의 구획 라인(4B-4B)에 의해 예시되어 있다.

도 4b에 도시된 바와 같이 단면도로 예시되는 경우 두 개의 별개의 전극으로 보이는 전극(412A 및 412C)은 실제로 폴리실리콘 층(406)과 전기적 접촉을 하는 단일의 C 모양의 전극(412A/412C)이다. 이와 유사하게, 전극(412B 및 412D)은 단일의 W 모양의 전극(412B/412D)이고, 도핑된 웰(410A 및 410B)은 전극(412B/412D)과 실질적으로 동일한 모양을 가진 단일 도핑된 웰(410A/410B)이다. 전극(412B/412D)은 도핑된 웰(410A/410B)과 전기적 접촉을 한다. 전극(412A/412C)은 비아(810)를 통해 그라운드 버스(708)에 연결된다. 전극(412B/412D)은 전압 공급 라인(705)에 연결된다.

꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(802)는 폴리실리콘 층(406)과 도핑된 웰(410A/410B) 사이의 인터페이스에서 형성된다. 꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(820)는 전극(412A/412C)과 전극(412B/412D) 사이에 배치된다. 꾸불꾸불한 모양의 N-P 접합부(820), 전극(412A/412C) 및 전극(412B/412D)은 본질적으로 광사이트 또는 광센서(711)로 지칭되는 고체 상태 광다이오드를 형성한다.

도 8b의 실시예에서 도시된 바와 같이, 전극(412E-412H) 및 도핑된 웰(410C 및 410D)은 전극(412A-412D) 및 도핑된 웰(410A 및 410B)과 실질적으로 동일하게 구성되어 제 2 광센서(711)를 형성한다. 도 8b에 예시된 두 개의 광센서(711)는투명 윈도우(402)에 의해 분리된다.

도 9a는 본 발명의 일 실시예에 따라 광원(106)의 광선(110)이 어셈블리(126) 양단을 스캔닝하는 것을 예시하는 도면이다. 광선(110)의 스캐닝에 대한 예시 및 설명을 간단히 하기 위해, 도 9a에서는 굴절 미러(114 및 118)(도 1에 도시되어 있음)가 생략되어 있다.

도 9a에 도시되어 있는 실시예에서, 광원(106)은 변조기(108)에 의해 변조되는 광선을 회전 다각형 미러(112) 상으로 방사한다. 일 실시예에서, 광원(106)은 펄싱되는 레이저 광원이고, 광원(106)에 의해 방사된 광선은 시준기 렌즈(collimator lens)(도시되어 있지 않음)에 의해 시준된다. 본 발명의 일 형태에서, 다수의 광원(106)은 유체 분사 프로세스의 속도를 증가시키는 데 사용된다. 광선은 도트 이미지 데이터에 따라 변조기(108)에 의해 변조된다. 일 실시예에서, 굴절 미러(112)는 6개, 8개 또는 그 이상의 반사 표면(113)을 포함하며, 어셈블리(126)의 표면(126A)을 가로지르며 광선(110)을 스캐닝하는 중심 축 주위를 일정한 각 속도(ω)로 회전한다. 다각형 미러(112)는 광선(110)을 렌즈(116) 쪽으로 굴절시킨다. 렌즈(116)는 광선(110)을 어셈블리(126)의 표면(126A)으로 유도한다. 본 발명의 일 실시예에서, 본 명세서에서 보다 자세히 설명된 바와, 표면(126A) 양단에서 스캐닝된 광선 또는 광학 경로(110)는 유체 분사 어레이(200)의 원하는 분사 소자(702)를 선택적으로 스위칭한다.

일 실시예에서, 렌즈(116)는 표준 "f-θ" 광학 설계이고, 그것의 특성은 당업자에 알려진 바와 같이 어셈블리(126) 양단의 가변적 광학 경로 차를 교정하는것뿐만 아니라 일정한 각 속도의 스캐닝을 선형 스캔 라인을 따른 일정한 라인 속도의 스캐닝으로 변환하는 종래의 전기진단사진 프린터 광학과 동일하다. 렌즈(116)는, 광학 축에 각(θ)으로 입사한 빔이 렌즈(116)로부터 렌즈(116)의 초점 거리(f)만큼 떨어지고 렌즈(116)의 광학 축으로부터 fθ만큼 떨어진 위치의 표면(126A) 상에 초점이 맞춰지도록 설계되며, 이는 종래의 전기진단사진 시스템의 광학 장치에 의해 수행되는 기능과 동일하다.

본 발명의 일 형태는 다각형 미러 및 f-θ 렌즈를 사용하는 광선 스캔용 전기진단사진 레이저 프린터의 기술 분야에 사용된 것과 유사한 기술을 사용한다. 일 실시예에서, 어셈블리(126)의 표면(126A)에 유도된 광선(110)의 형상은 전형적으로 전기진단사진 레이저 프린터에 사용되는 광선의 형상과 다르다. 전기진단사진 레이저 프린터는 전형적으로 포인트 조사를 사용하는데, 본 발명의 일 형태는 라인 조사를 사용하여 네 개의 유체 분사 어레이(200) 모두의 활성화 소자(700)와 스캔 어레이(200)의 광센서(711)를 동시에 조사한다. 세 개의 라인 형상을 가진 광선 "발자국"(204A-204C)은 도 9a에 도시되어 있으며, 이는 어셈블리(126)의 표면(126A) 양단의 좌측에서 우측으로의 광선(110) 이동을 예시한다. 일 실시예에서, 광선 발자국(204A-204C)은 약 3 마이크론의 폭("W")과, 어셈블리(126)의 높이보다 약간 큰 길이를 가진다.

일 실시예에서 각 광사이트 폭(예로, 39 마이크론)보다 좁은 폭(예로, 3 마이크론)을 가진 스캐닝 광선(110)을 이용함으로써, 광원(106)으로부터의 신호의 펄스폭 변조 및 타이밍에 대한 상당한 융통성을 제공한다.

광원(106)은 어레이(200)의 유체 분사를 트리거하는 용도로 사용되고, 본 발명의 일 실시예에서, 동일한 광원(106)이 하드 카피 이미지를 디지털화하는 스캐너 광원으로도 사용되어, 최소 부가 비용 및 공간 소모를 하면서 장치(100)에 보다 많은 기능을 부가한다.

일 실시예에서, (도 11에 도시되어 있고 도 11을 참조하여 설명한 바와 같이) 네 개의 유체 분사 어레이(200) 및 스캔 어레이(202)는 전기적으로 다중화되는데, 네 개의 유체 분사 어레이(200) 또는 스캔 어레이(202) 중 하나는 임의의 주어진 시간에서 인에이블된다. 프린트 모드의 일 실시예에서, 컬러 평면(예로, 흑색, 마젠타색, 황색 또는 시안색) 중 하나의 평면의 하나의 래스터 행은 광선(110)의 각 스캔 통과 동안 프린트된다. 스캔 모드에 대한 일 실시예에서, 매체의 일 라인은 광선(110)의 각 통과 동안 스캐닝된다. 본 발명의 일 형태에서, 광선(110)의 네 개의 연속적 스캔 통과는 시안색 래스터 행(1), 황색 래스터 행(1+n), 마젠타색 래스터 행(1+2n) 및 흑색 래스터 행(1+3n)을 프린트할 것인데, 여기서 "n"은 노즐 어레이에서 다른 컬러 평면에 대해 각 컬러 평면의 동기 프린팅을 위한 DPI 기본 이격의 정수배를 나타낸다.

또 다른 실시예에서, 네 개의 유체 분사 어레이(200) 모두는 광선(110)의 스캔 통과 동안 동시에 동작된다. 또 다른 실시예에서, 장치(100)는 라인 조사보다는 포인트 조사를 사용하여 광선(110)의 스캔 통과 동안 유체 분사 어레이(200) 중 하나만을 조사한다. 본 발명의 일 형태에서, 포인트 조사가 사용되는 경우, 다각형 미러(112)의 굴절 표면(113)은 다각형 미러(112)의 중심 축에 대해 다른 각도로배치됨으로써 광선(110)의 각 스캔 통과 동안 서로 다른 유체 분사 어레이(200)를 조사한다. 또 다른 실시예에서, 장치(100)는 다수의 광 포인트를 가진 포인트 조사를 사용하여 광선(110)의 스캔 동안 네 개의 유체 분사 어레이(200) 모두를 동시에 조사한다. 네 개의 광 또는 레이저 포인트 또는 광 도트는 광원(106)의 전면에 배치된 광선 분할기(도시되어 있지 않음)에 의해 생성된다. 또 다른 실시예에서, 네 개의 광 또는 레이저 포인트는 네 개의 상이한 광원(106)에 의해 생성된다.

다각형 미러(122)에 의한 표면(126A) 양단의 광선(110) 스캐닝 동안, 매체(130)는 롤러(120,124,140 및 142) 및 스타 휠(128)(도 1에 도시되어 있음)에 의해, 또는 다른 매체 전송 시스템을 통해 도 9a의 매체(130) 위의 화살표로 도시된 방향으로 이동한다.

이하에서 더 자세히 설명되는 바와 같이, 매체 전송 시스템은 회전형 다각형 미러(112)의 각속도로 동기화되는데, 그 이유는 미러(112)의 각속도가 에셈블리(126)에 의한 유체 방울 분사의 적절한 타이밍을 결정하고, 매체 움직임은 매체 상의 도트 배치의 정확성에 영향을 주기 때문이다.

본 발명의 일 형태에서, 스캐닝 및 프린팅은 장치(100)에서 동시에 일어나지 않고, 장치(100)는 다각형 미러(112)의 두 개의 상이한 각속도로 동작하도록 구성되는데, 하나는 프린트용 각속도이고, 다른 하나는 스캔용 각속도이다. 또 다른 실시예에서, 프린팅 및 스캐닝용으로 동일한 각속도가 사용된다.

본 발명의 일 형태에서, 어레이(200 및 202)의 각각은 도 5와 관련하여 앞서 설명한 바와 같이 "더미 픽셀"로 지칭되는 다수의 소자(206)를 어레이의 시작점에포함한다. 도 9a에 도시되어 있는 바와 같이, 더미 픽셀(206) 전용인 각 어레이(200 및 202)의 양은 더미 픽셀(206)의 원하는 수에 따라 길이가 달라지는 문자 "D"로 표현된다. 또 다른 실시예에서, 각 어레이(200 및 202)는 어레이의 시작점 및 종점에 더미 픽셀(206)을 포함한다. 더미 픽셀(206)은 광선(110)의 변조에 사용되는 래스터 라인 데이터를 래치하는 신호를 생성하기 위해 제공된다. 더미 픽셀(206)은 타이밍 교정이 특정 어셈블리(126) 내의 위치 변이 및 하나의 어셈블리(126)에서 다른 것으로의 변이를 보상하도록 인에이블한다. 일 실시예에서, 더미 픽셀(206)은 비 프린팅 소자이고, 광선(110)의 정확한 위치를 감지하는 데 사용된다.

도 9b는 본 발명의 일 실시예에 따라 어셈블리(126) 양단을 광원(630)의 광선(111A-111C)(총괄적으로 광선(111)으로 지칭됨)이 스캐닝되는 도면이다. 도 9b는 도 9a와 실질적으로 동일하지만, 매체의 컬러 스캔용 조사를 제공하는 제 2 광원(630)이 부가되었다.

도 9b에 도시된 바와 같이, 광원(630)은 적색 광선(111A), 녹색 광선(111B) 및 청색 광선(111C)을 방사하는 RGB(Red-Green-Blue) 광원이다. 또 다른 실시예에서, 제 2 광원(630)은 적색, 녹색 및 청색 광을 방사하는 여러 스펙트럼의 발광 다이오드(LED) 막대이다. 본 발명의 일 형태에서, 광원(630)은 펄스폭 변조되어 적색, 녹색 및 청색에 대해 상이한 펄스폭을 제공한다. 펄스폭 변조는 광센서(711)의 특정 흡수 특성(particular absorption characteristics)에 기초하여 수행되어 컬러 균형을 최적화한다. 또 다른 실시예에서, 광원(106 또는 630) 중의 하나는매체(130) 상에 분사된 유체를 건조하는 데 사용될 수 있고, 또는 이러한 목적을 위해 부가적인 광원이 부가될 수도 있다.

일 실시예에서, 광선(111)은 광원(106)의 광선(110)에 대해 위에서 설명한 바와 실질적으로 동일한 방식으로 어셈블리(126)의 표면(126A)에 걸쳐 스캔닝된다. 도 9b에 예시된 실시예에서, 본 발명의 일 형태에서 광선(110)이 그런 것처럼, 광원(630)의 광선(111)의 광선 발자국(204A-204C)은 광원(106)의 광선(110)의 것보다 짧아서 네 개의 유체 분사 어레이(200) 및 스캔 어레이(202)를 동시에 조사하기 보다는 스캔 어레이(202)를 조사한다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2의 섹션 라인(10-10)에서 본 어셈블리(126)를 예시하는 간략화된 단면도이다. 광원(106)의 광선(110)은 어셈블리(126)의 표면(126A) 상으로 유도된다. 도 9a와 관련하여 도시되고 설명한 바와 같이, 광선(110)은 일 실시예에서 표면(126A)의 하나의 종단에서 반대편 종단으로, 어레이(200 및 202)에 평행한 방향으로 스캐닝된다. 일 실시예에서, 광선(110)은 어셈블리(126)의 기판(310)을 통해 전송되고, 투명 윈도우(402)를 통해 진행하며, 어레이(200A-200D)의 광센서(710)를 비추기도 한다.

광센서 그룹(400A 및 400B) 사이에 배치되는 투명 창(402)으로 인해 광원(106)의 광선(110)은 통과되어 매체(130)의 일부분을 조사한다. 매체(130)를 비추는 광은 매체(130)의 디지털 표현을 생성하기 위한 이미지 데이터를 포착하는 광센서(711) 상으로 반사된다. 일 실시예에서, 스캔 어레이(202)의 광센서(711)는 광원(106 또는 630)의 각 스캔 통과 동안 이미지 데이터를 포착한다. 광센서(711)상에 형성된 금속 층(404)은 광센서(711)가 광원(106 또는 630)에 의해 직접 조사되는 것을 방지하는 데 도움을 준다. 일 실시예에서, 스캔 어레이(202)는 1 대 1 배율(one-to-one magnification) 이미징 장치이고, 스캐닝은 종래의 플라잉 도트 스캐너(flying dot scanners)에서와 동일한 방식으로 수행된다.

일 실시예에서, 스캔 어레이(202)는 흑백 이미지 스캐닝용으로 구성된다. 또 다른 실시예에서, 스캔 어레이(202)는 컬러 스캐닝용으로 구성된다. 또 다른 실시예에서, 스캔 어레이(202)는 컬러, 흑백 스캐닝용 모두로 구성된다.

어셈블리(126)에 스캐너 기능성을 가지게 되면 이미지를 수신할 매체의 리딩 에지(leading edge) 및 두 개의 측면을 검출하게 된다. 간단한 기학 구조에 의해, 매체의 배향 및 폭은 에지 데이터를 이용해 결정된다. 이 실시예에서, 매체의 두 측면을 검출하기 위해, 어셈블리(126)는 매체의 폭보다 약간 더 넓다. 리딩 에지 및 입력 스큐(input skew)가 일단 알려지면, 래스터 파일은 에지에서 에지, 및 상단에서 하단으로의 전체 프린팅에 대해 디지털로 스케일링되고, 변환되며 배향된다. 매체의 물리적 크기가 일단 알려지면, 에지에서 에지로의 프린팅은 이미지를 크거하거나 또는 작게함으로써 달성되어 최적의 한계 관리 조건(optimal margin management condition)을 달성한다. 일 실시예에서, 매체의 에지 주변의 오버 프린트 구역에 대한 매체 전송 메카니즘이 제공되어 전제적인 에지에서 에지, 및 상단에서 하단으로의 프린팅을 하게 한다.

도 10에 도시된 바와 같이, 투명 창(402)의 통과에 이어, 광선(110)은 기판(310)을 통해 전송되고 유체 분사 어레이(200)의 광센서(710)를 조사한다. 조사된 광센서(710)는 일 실시예에서 전극(933)에 의해 전달되는 감지된 광에 기초하여 신호를 생성하고, 그에 대응하는 전류는 저항 물질(926)을 통해 보내진다. 저항 물질(926)을 통과하는 전류로 인해 노즐 챔버(910)의 유체는 가열되고 기포를 형성한다. 기포는 유체를 개구(904)를 통한 방울으로서 매체(130)로 분사한다.

광센서(710 및 711)와 같은 광센서의 동작 이론은 당업자에게 알려져 있으며, 기본 동작은 반도체 물리학에 대한 여러 책자에 설명되어 있다. 몇몇 예를 들면, John Wiley & Sons, Inc 사의 1996년 제 7차 개정, Charles Kittel의 Introduction to Solid State Physics와, Prentice-Hall, Inc 사의 1990년, Michael Shur의 Physics of Semiconductor Devices와, McGraw-Hill Companies, Inc 사의 1997년 제 2차 개정, Donald A, Neamen의 Semiconductor Physics & Devices가 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따라 장치(100)의 주요 전자 구성 요소를 예시하는 전기적 블록도이다. 장치(100)는 메모리(602), 프린트 어레이(200), 스캔 어레이(202)와 같은 유체 분사 어레이, 이미지 프로세서(610), 다중화기(MUX)(606), 제어기(612), 모터 드라이버(618), 전송 모터(620), 미러 모터(622), 다각형 미러(112), 롤러(140), 엔코더(621,623,624 및 626), 판독 전용 메모리(ROM)(628) 및 스캐너 광원(630)을 포함한다. 장치(100)는 장치(100)를 간략히 예시하기 위해 도시되어 있지 않은 시스템 타이밍을 제어하는 클록도 포함한다. 일 실시예에서, 제어기(612)는 장치 및 메모리 제어 동작을 포함해서, 장치(100)의 계산 집약적인 작업을 대부분 수행하는 응용 주문형 집적회로(ASIC)이다. 일 실시예에서, 이미지 프로세서(610)도 ASIC이다. ROM(628)은 장치(100) 내의 기타 구성 요소뿐만 아니라, 제어기(612) 및 프로세서(616)를 부팅하고 초기화하는 데이터를 저장한다. ROM(628)는 또한 이미지 프로세서(610)용 컬러 맵 및 룩-업 테이블과 모터(620 및 622)의 모터 특성을 저장한다.

프린트 작업과 같은 정상적인 유체 분사 작업 동안, 이미지 데이터, 테스트 데이터, 사진 데이터 또는 다른 포맷 데이터는 호스트 컴퓨터 및/또는 다른 I/O 장치에서 제어기(612)로 출력되고 메모리(602)에 저장된다. 제어기(612)는 수신된 데이터를 "도트 데이터"로 변환한다. 본 명세서에서 사용된 도트 데이터는 주어진 입력 데이터에 대응하는 매체 마킹을 달성하도록 프린트될 도트 패턴에 대응하는 데이터 포맷을 의미한다. 주어진 활성화 소자(700)에 대한 도트 데이터는, 활성화 소자(700)가 유체를 분사하는 것을 나타내는 제 1 로직 상태 또는 활성화 소자(700)가 유체를 분사하지 않는 것을 나태는 제 2 로직 상태를 가지고 있는 일 비트이다. 도트 데이터는 출력 도트 라인을 정의한다.

제어기(612)는 제어 신호를 변조기(108) 및 도트 데이터에 기초하여 광원(106)의 동작을 제어하는 광원 드라이버(614)에 출력함으로써, 다양한 분사 소자가 유체 방울을 분사하도록 선택적으로 활성화한다. 일 실시예에서, 변조기(108)는 광선이 어셈블리(126)의 원하는 광센서(710)를 선택적으로 조사하도록 어셈블리(126)에 걸쳐 스캐닝하면서 광원(106)을 펄싱하는 전자 셔터로서 작용한다. 유체 분사 어레이(200)의 분사 소자(702)를 활성화하는 하나의 방법에 따라, 분사 소자(702)는 초기에 디스에이블된다. 광원(106)은 광선(110)이어레이(200)의 원하는 광센서(710)를 선택적으로 조사하도록 어셈블리(126) 양단을 스캐닝하면서 펄싱된다. 일 실시예에서, 광센서(710)의 조사으로 인해 광센서(710)에 결합된 분사 소자(702)는 구동된다. 분사 소자(702)로 인해 유체 방울은 분사된다. 이어서 분사 소자(702)는 디스에이블된다. 프린트 작업이 완료될 때까지 주기는 반복된다.

PWA의 제조 동안, 몇몇 TIJ 저항 층은 어레이 전체에 거쳐 일정하지 않을 수 있다. TIJ 저항 층이 적절한 크기를 가지고 있지 않은 경우, 그것은 분사된 경우 가열되어야 할 만큼 가열되지 않을 수 있어서, "허약한 노즐"을 야기할 수도 있다. 턴온 에너지, 동작 전압, 전류, 분사 방향 및 임피턴스 또한 다른 변화를 포함하여, 활성화 소자(700)의 특성의 다른 변화가 있을 수도 있다.

일 실시예에서, 제조 및 재충전(refilling) 프로세스 동안, 어셈블리(126)의 각 활성화 소자(700)에 대해 다양한 테스트가 수행되고, 각 활성화 소자(700)의 특성을 나타내는 데이터는 어레이 어셈블리 상의 어큐먼(acumen)에 저장되고 ROM(628)으로 로딩된다. 장치(100)의 개시 동안, 제어기(612)는 ROM(628)으로부터 특징적인 데이터를 판독하고, 이어서 저장된 데이터에 근거하여 광원(106)을 변조한다. 예를 들어, "허약한 노즐"로 간주되는 활성화 소자(700)에 대해, 제어기(612)는 이들 활성화 소자(700)에 대해 광원(106)의 진폭 및 펄스폭을 증가시킴으로써, 이들 활성화 소자(700)용 분사 소자(702)를 통과하는 전류가 증가되고, 및/또는 보다 큰 양의 유체가 분사된다. 그럼으로, 일 실시예에서, 분사 소자(702)를 선택적으로 활성화하도록 광원(106)을 광원(106)을 펄싱하는 것에 더해, 광원(106)의 광선(110)의 강도 및 펄스폭은 활성화 소자(700) 기반의 활성화 소자(700)에 따라 달라진다. 이러한 진폭 변조는 개별적인 분사 소자(702)에 전달된 에너지를 변화시키고, 방울 부피 제어 및 하프 토닝 개선 피쳐(half-toning improving features)를 위한 도구를 제공한다.

스캐닝 광선(110)의 진폭, 펄스폭 및 형상은 구동 기능의 수정 및 전자 셔터의 펄스폭 변조에 의해 동조될 수 있다. 광선(110)의 이러한 동조는 적절한 턴온 에너지(TOE)가 분사 소자(702)로 용이하게 전달되게 하고, 장치(100)의 다양성에 부가되며, 전체적인 수율을 강화시킨다. 본 발명의 일 형태에 있어서, 광원(106)의 펄싱 타이밍은, 3 마이크론 폭의 광선(110)이 각각 39 마이크론 폭의 광사이트(710)를 비추는 위치(position)를 제어하도록하는 저장된 특징적 데이터에 근거하여 조정된다.

일 실시예에서, 어레이(200) 중 하나가 주어진 시간에서 인에이블된 경우, 네 개의 유체 분사 어레이(200)는 전기적으로 다중화된다. 일 실시예에서, 광원(106)의 각 스캔 통과 이후, 제어기(612)는 현재 인에이블된 어레이(200)가 디스에이블되도록 하고, 다음의 적절한 어레이(200)가 인에블되도록 하는 제어 신호를 다중화기(606)에 보낸다. 일 실시예에서, 제어기(612)는 광선(110)이 스캔 통과를 완료한 때를 나타내는 어레이(200 및 202)의 더미 픽셀(206)을 모니터링함으로써 제어 신호를 다중화기(606)에 보낼 적정 시간을 결정한다.

일 실시예에서 이미지 스캐닝 동작에 있어, 제어기(612)는 프린트 어레이(200)가 디스에이블되고 스캔 어레이(202)가 인에이블되게 하는 제어 신호를다중화기(606)에 전달한다.

일 실시예에 따라 다중화를 수행하기 위해, 각 어레이(200)의 그라운드 버스 라인(708)은 어레이(200)들 중 원하는 하나를 제외한 모든 어레이(200)에 대한 개방 회로에 그라운드 라인 버스(708)를 설정하는 3 비트 아날로그 다중화기(606)에 연결되어 있다. 다중화기(606)에 의해 개방 회로에 설정된 어레이(200)에 대해, 이들 어레이(200)의 분사 소자(702)에는 에너지가 전달되지 않는다. 분사 에너지는 개방 회로에 설정되어 있지 않은 어레이(200)의 분사 소자(702)에 전달되는데, 분사 에너지는 그 어레이(200) 내의 활성화 소가(700)가 광원(106)에 의해 조사되는 경우에 전달된다. 스캐닝 기능이 수행되고 있는 경우 모든 어레이(200)를 비활성화하는 데 동일한 다중화기(606)가 사용될 수도 있다.

광원(630)은 스캐닝 동안 프로세서(616)에 의해 제어된다. 미처리 이미지 데이터는 스캔 어레이(202)의 광센서(711)에서 이미지 프로세서(610)로 출력된다. 일 실시예에서, 이미지 프로세서(610)는 신호 보상 동작, 이미지 강화 동작, 컬러 균형 동작 및 스캐닝된 매체를 나타내는 디지털 이미지 데이터를 생성하도록 미처리 이미지 데이터에 대해 다른 이미지 프로세싱 동작을 수행한다. 디지털 이미지 데이터는 제어기(612)에 제공된다.

스캐닝 동안 광원(630)을 제어하는 것 외에, 프로세서(606)는 또한 플래그 및 다른 상태 정보를 모니터링하는 것을 포함하여, 장치(100) 내에서 다양한 하이 레벨 동작을 수행하여, 장치(100)를 제어함에 있어 제어기(612)를 보조한다. 제어기(612) 및 프로세서(616)는 전송 모터(620) 및 미러 모터(622)에 모터 드라이브신호를 제공하는 모터 드라이버(618)를 제어한다. 전송 모터(620)는 롤러(120, 124, 140 및 142) 및 스타휠(128)로 하여금 장치(100)를 통해 매체를 전진시키게 한다. 예시를 간략하게 하기 위해 단일 롤러(140)만이 도 11에 도시되어 있다. 미러 모터(622)는 다각형 미러(112)에 결합되어 있고, 미러를 실질적으로 일정한 각속도로 구동한다.

장치(100)를 통한 매체의 전송 속도와 같은, 장치(100)의 움직임의 적정 속도는 회전하는 다각형 미러(112)의 각속도에 의해 결정된다. 다각형 미러(112)의 각속도의 변화 및 에러는 매체 상의 도트 배치 에러를 야기한다. 일 실시예에서, 장치(100)는 다양한 형태의 피드백 및 폐쇄 루프 제어를 사용하여 최적의 프린트 품질을 유지한다. 일 실시예에서, 스캐닝 광선(110) 및 어셈블리(126)의 양쪽 종단 중 하나 또는 양쪽 종단 모두 상의 더미 픽셀(206)은 타이밍 및 동기화 제어 신호를 트리거하여 프린트 품질을 향상시키도록 제어기(612)에 의해 사용된다.

어레이(200 및 202)의 광센서(710 및 711)는 스캐닝 광선(110)에 의해 조사될 때 신호를 제공하기 때문에, 스캐닝 광선(110)의 위치 상의 배치 정보는 유용하다. 배치 정보는 제어기(612)에 의해 폐쇄 루프 방식으로 사용되어 다각형 미러(112)의 각속도 및 광원(106)의 변조 타이밍을 제어하는데, 그 방식은 종래의 잉크제트 프린터에 있어서 펜 분사의 타이밍 설정 및 스캔 축 제어하는 데 엔코더 스트립이 사용되는 방식과 유사하다. 제어기(612)는 변조 타이밍을 스캐닝 광선(110)의 배치와 동기화하는 데 배치 정보를 사용함으로써, 광원(106)의 펄싱을 트리거하는 공간적으로 정확한 펄스 트레인을 생성한다.

일 실시예에서, 전용 광센서(예로, 더미 픽셀(206))는 동기화 및 타이밍을 위한 배치 정보를 제공하는 데 사용된다. 또 다른 실시예에서, 분사 소자(702) 트리거용 및/또는 이미지 스캐닝용으로 사용된 광센서(710/711)는 스캐닝 광선(110)의 위치를 식별하는 데도 사용된다. 보다 정확한 위치 정보가 필요한 경우, 광센서(710/711)의 다수 어레이는 고의적인 위치 부적합(intentional positional mismatch)을 이용하여 제조되어 종래의 잉크제트 프린트의 엔코더 센서에 사용되는 사각 판(quadrature plates)과 유사한 고체 상태 엔코더를 본질적으로 생성할 수 있다.

본 발명의 일 형태에서, 또 다른 동기화 및 타이밍 정확성을 제공하기 위해, 엔코더(621,623,626 및 624)는 모터(620 및 622), 다각형 미러(112), 하나 이상의 롤러(120,124,140 및 142) 및 스타휠(128) 각각에 관련된 위치 및/또는 속도 정보를 결정하는 데 사용되는 신호를 출력한다. 일 실시예에서, 엔코더(621 및 624)는 동기화 신호를 보다 나은 라인 진행 정확성을 위해 페이퍼 구동 축에 관한 동기화 신호를 모터 드라이버(618)에 출력하고, 엔코더(623 및 626)는 미러 모터(622) 및 다각형 미러(112) 각각의 위치 및/또는 속도를 나타내는 신호를 모터 드라이버(618)에 출력한다.

일 실시예에서, 어셈블리(126)는 다른 유사 구성을 가진 어셈블리와 상호교환가능하게 구성되어, 어셈블리(126)가 유체를 소진한 경우, 사용자는 어셈블리(126)를 허가된 시설에 반환할 수 있고 유체가 충만된 또 다른 어셈블리(126)를 취득할 수 있다. 반환된 어셈블리(126)는 허가된 재충전소로 전달된다. 이 재충전 프로세스는 현존하는 전기진단사진 토너 카트리지를 재충전하는 프로세스와 유사하며, 각 재충전 주기 이후 적절한 동작을 보장하고 다수의 충전 주기로 인해 발생할 수도 있는 임의의 성능 저하를 방지하는 데 도움을 주는 어셈블리(126)의 테스팅 및 교정이 수행한다.

본 발명의 실시예는 종래의 PWA 프린트헤드 어셈블리보다 여러 장점을 제공한다. 본 발명의 일 실시예는 PWA를 트리거하고 구동하는 종래의 방법이 직면하는 복잡성 및 어려움을 최소화하는, PWA 프린트헤드 어셈블리의 잉크제트 소자의 트리거 및 구동 방법을 제공한다. 일 실시예는 덜 복잡한 전자장치를 사용하고, 종래의 PWA 보다 많은 헤드 수율 및 증가된 속도를 제공한다. 본 발명의 일 형태는 저비용의 잉크제트 프린팅 기술(열 또는 압전)을 이용함으로써 현존하는 PWA 시스템보다 나은 처리량 성능을 제공한다. 일 실시예는 현존하는 전기진단 프린트에 필적하는 속도를 가진 소형 프린터를 보다 낮은 비용 및 보다 적은 전력 사용으로 제공한다. 일 실시예는 고속도, 다수의 PWA를 구비한 고성능 PWA 시스템 및 이 시스템의 처리량 속도 향상을 위해 각 PWA마다 다수회 기록하는 레이저 및 미러를 제공한다. 본 명세에서 설명한 기술은 저성능 및 고성능 컬러(또는 흑백) 프린터, 소형 및 비소형 프린터 및 기타 다른 장치를 포함해서, 다수의 상이한 장치 구성에 적용될 수 있다는 것을 당업자에게는 쉽게 분명해질 것이다.

본 발명의 일 형태에서, PWA의 기본 구조 및 그 지원 전자장치는 광학적 트리거링을 사용함으로써 현존하는 PWA보다 덜 복잡하다. 분사 소자에 분사 신호를 전달하는 상호연결을 제거함으로써, 분사 소자에 전력을 전달하는 데 사용되는 트레이스용과 같이 다른 목적으로 사용될 수 있는 PWA의 부가적인 공간으로부터 자유로워진다. 광학적 트리깅 및 이미지 스캐닝을 용이하게 하는 것 외에, 유기 기판의 사용은 수많은 다른 장점을 제공한다. 유리 기판은 일반적으로 저비용이 들고 실리콘 웨이퍼 기판보다 큰 유용성을 가지고 있다. 상대적으로 유리가 저비용이기 때문에, 유리 기판을 사용함으로써 보다 두껍고 보다 견고한 PWA가 비용-효과적으로 형성될 수 있다. 유리 기판 또는 다른 투명성 기판은 가시 광선 파장을 이용하여 계측(metrology)이 수행되게 해준다. 또한, 유리 제조 산업은 잘 확립되어 있고, 밀집된 크기 및 표면 거치름 내성(surface roughness tolerances)을 가진 고품질, 광학 등급 유리를 비용 효과적인 방식으로 생산할 수 있다.

본 발명의 일 형태에서, 페이지 와이드 스캐너(202)는 유체 분사 어레이(200)와 동일한 프로세스에 의해 생성됨으로써, 단일(monolithic) 입/출력 어레이를 형성한다. 일 실시예에서 부가된 스캐너 기능성은 유체 분사 목적으로 이미 시스템의 일부인 조사원(illumination source)을 이용함으로써 실질적인 비용없이 실현된다. 단일 PWA 어셈블리에서 유체 배출 및 스캐닝 기능성의 결합으로 인해 프린터, 팩스, 복사기 및 스캐너 기능을 결합하는 다기능 제품(MFP)을 포함하여, 강력한(powerful) 제품이 생산되게 된다.

일 실시예에서 스캔 어레이(202)는 일 대 일 배율을 제공하기 때문에, 센서 영역은 종래의 CCD(charge-coupled device)와 비교해 꽤 크게 즉 통합 영역보다 크게 만들어질 수 있다. 보다 큰 통합 영역은 보다 나은 신호 대 잡음 비뿐만 아니라 보다 빠른 통합 시간을 야기하여, 보다 동적인 범위 및 스캔 품질을 야기한다.예를 들어, 전형적인 CCD 센서 영역의 크기는 대략 가로세로 10 마이크로미터인 반면, 일 대 일 배율의 스캔 어레이(202)에 있어서, 센서 영역의 크기는 300 DPI 해상도용인 가로세로 70 마이크로미터만큼 클 수 있어서, 통합 영역의 대략 49배를 생산한다.

또한, 한번에 전체 페이지를 조사하는 오늘날 유용한 대부분의 저비용, 페이지 와이드 스캐너의 광원과 달리, 본 발명의 일 실시예에서 사용되는 스캐닝 광원으로 인해, 현존하는 페이지 와이드 스캐너에서 경제적으로 가능한 것보다 많은 광이 각 개별 광센서(711) 상에 집중될 수 있다. 현존하는 저비용, 페이지 와이드 스캐너는 꽤 높은 럭스 레벨로 전체 페이지를 조사하여 원하는 스캔 속도를 달성한다. 본 발명의 일 형태의 보다 고 집중 스캐닝 광원을 이용하여, 보다 빠른 스캐닝 속도가 달성될 수 있다.

바람직한 실시예의 설명을 위해 본 명세서에서 특정 실시예가 예시되고 설명되었지만, 당업자라면 폭넓고 다양한 대안들 및/또는 등가 구현들이 본 발명의 범주를 벗어나지 않고서 도시되고 설명된 특정 실시예를 대체할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 화학, 기계, 전자 기계, 전기 및 컴퓨터 분야의 당업자는 본 발명이 폭넓고 다양한 실시예에서 구현될 수 있다는 것을 쉽게 이해할 것이다. 본 발명은 본 명세서에서 설명한 바람직한 실시예에 대한 임의의 수정 또는 변형을 커버하려한다. 그러므로, 본 발명은 청구항 및 그들의 등가물에 의해서만 제한된다는 것이 분명하다.

본 발명에 따르면, 종래의 페이지 와이드 어레이보다 비용 효과적인 방식으로 신뢰성 있는, 고수율 페이지 와이드 어레이를 제공한다.

Claims

활성화되는 경우 연관된 노즐 챔버(910)로부터 유체가 분사되도록 야기하는 분사 소자(702)와,

상기 분사 소자에 결합된 광센서(710)- 상기 광센서는 상기 광센서에 결합된 상기 분사 소자가 상기 광센서가 광원(106)에 의해 조사되는 경우에 활성화되도록 구성됨 -

을 포함하는 유체 분사 장치(126)의 활성화 소자(700).
제 1 항에 있어서,

상기 유체 분사 장치는 PWA(page wide array) 프린트헤드 어셈블리인

유체 분사 장치의 활성화 소자.
유체 분사 소자(702) 및 상기 유체 분사 소자에 결합된 광센서(710)를 갖는 유체 분사 어셈블리(126)로부터 유체를 분사하는 방법에 있어서,

상기 광센서가 광원(106)에 의해 조사되는 경우 활성화 신호를 생성하는 단계와,

상기 활성화 신호에 근거하여 상기 유체 분사 어셈블리의 상기 유체 분사 소자를 활성화하여, 상기 활성화된 유체 분사 소자에 의해 유체가 분사되도록 하는 단계

를 포함하는 유체 분사 어셈블리로부터의 유체 분사 방법.
제 3 항에 있어서,

상기 활성화 신호를 래치하는 단계(807)와,

상기 래치된 활성화 신호를 증폭하는 단계(706)와,

상기 증폭된 활성화 신호에 근거하여 상기 유체 분사 어셈블리의 상기 유체 분사 소자를 활성화하는 단계

를 더 포함하는 유체 분사 어셈블리로부터의 유체 분사 방법.
다수의 분사 소자- 상기 분사 소자 각각은 상기 분사 소자가 활성화되는 경우 유체가 분사되도록 구성됨 -와,

다수의 광센서(710)- 각 광센서는 상기 분사 소자들 중 하나에 결합되고, 상기 광센서가 광원(106)에 의해 조사되는 경우 상기 광센서에 결합된 상기 분사 소자가 활성화되도록 구성됨 -를 포함하는

유체 분사 어셈블리(126).
제 5 항에 있어서,

상기 유체 분사 어셈블리는 PWA 프린트헤드 어셈블리인

유체 분사 어셈블리.
제 5 항에 있어서,

다수의 증폭기(706)를 더 포함하되, 각 광센서는 상기 증폭기들 중 하나를 통해 상기 분사 소자들 중 하나에 결합되는

유체 분사 어셈블리.
제 7 항에 있어서,

상기 각 증폭기는 전계 효과 트랜지스터(FET)(802 또는 806)를 포함하는

유체 분사 어셈블리.
제 7 항에 있어서,

상기 각 증폭기는 각각이 게이트, 소스 및 드레인을 포함하는 제 1 및 제 2 FET(802 및 806)를 포함하는

유체 분사 어셈블리.
제 9 항에 있어서,

각 증폭기는 래치(807)를 더 포함하고,

각 증폭기의 상기 래치는 광센서들 중 하나와 상기 증폭기의 상기 FET(802)의 게이트 사이에 결합되며,

상기 각 증폭기의 상기 제 1 FET는 상기 래치를 통해 상기 제 1 FET에 결합된 상기 광센서가 상기 광원에 의해 조사되는 경우에 턴온되도록 구성되는

유체 분사 어셈블리.
제 10 항에 있어서,

상기 각 증폭기의 상기 제 2 FET(806)는 상기 증폭기의 상기 제 1 FET와 상기 분사 소자들 중 하나에 결합되고,

상기 증폭기의 상기 제 1 FET가 턴온된 경우에 상기 각 증폭기의 상기 제 2 FET는 상기 제 2 FET에 결합된 상기 분사 소자를 활성화하는 구동 신호를 제공하도록 구성되는

유체 분사 어셈블리.
제 5 항에 있어서,

상기 다수의 분사 소자는 4개의 분사 소자의 PWA로 구성되는

유체 분사 어셈블리.