KR20030080190A - 대형 기판 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 평탄도/대각 길이가 6.0 ×10-6이하인 대각 길이가 500 mm 이상인 것을 특징으로 하는 대형 기판.
- 제1항에 있어서, 합성 석영 유리 기판인 것을 특징으로 하는 대형 기판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 대형 기판이 대형 포토 마스크용 기판인 것을 특징으로 하는 대형 기판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 대형 기판이 TFT 액정의 어레이측 기판인 것을 특징으로 하는 대형 기판.
- 미리 대각 길이가 500 mm 이상인 대형 기판의 평탄도를 측정하고, 그 데이터를 기초로 기판의 볼록 부분을 가공 툴에 의해 부분적으로 제거하여, 상기 대형 기판의 평판도를 높이는 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 미리 대각 길이가 500 mm 이상인 대형 기판의 평탄도 및 평행도를 측정하고, 그 데이터를 기초로 기판의 볼록 부분 및 두꺼운 부분을 가공 툴에 의해 부분적으로 제거하여, 상기 대형 기판의 평탄도 및 평행도를 높이는 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 제5항 또는 제6항에 있어서, 대형 기판이 합성 석영 유리 기판인 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 부분 제거 방법이 연삭, 랩핑 및 연마 중 어느 하나 이상의 방법인 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 연삭, 랩핑 및 연마 중 어느 하나 이상의 방법이 정압으로 행해지는 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 부분 제거 방법이 샌드 블래스트에 의한 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
- 제5항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 기판 및/또는 가공 툴을 이동시켜, 기판 표면의 임의의 위치를 제거하는 것을 특징으로 하는 대형 기판의 제조 방법.
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