JP2000218481A - ガラス板表面の筋状凹凸の除去方法および筋状凹凸を減じたガラス板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＳＴＮ型液晶表示素子用のガラス板に要求さ
れる優れた表面平坦度を有するガラス板を、加工効率よ
くフロートガラス素板から得る研磨方法を提供する。 【解決手段】 セラミックス製のガラス板保持側定盤の
ガラス板貼付面にフロートガラス板を貼りつけて保持
し、その後ガラス板に対向配置した研磨パッドを貼りつ
けた定盤の研磨パッドに、ガラス板を押しつけながら定
盤を回転させるとともに、研磨パッドに酸化セリウム研
磨液を供給してガラス板表面をポリッシングする。この
とき、ガラス板貼付面の表面平坦度を３μｍ以下とす
る。表面凹凸が０．０５μｍとなるように研磨したガラ
ス板は、表示ムラのない高品質の液晶表示を可能とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、溶融錫の上を移動
しながら板状に成形されたフロートガラス板のガラス成
形時に、移動方向に生じた筋状の凹凸を除去する方法に
関する。また、本発明は、筋状凹凸が除去されることに
より液晶表示のガラス板として用いたとき、表示ムラが
生じない表示を可能とするガラス板に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示用のガラス板は、表面の平坦度
が厳しく要求されるガラス板であり、通常この平坦度を
達成するために溶融錫上をガラスを移動させながら板状
に成形するフロート式製造装置で製造される。

【０００３】しかしながら、ＳＴＮ（スーパーツイステ
ッドネマチック）液晶表示素子は、表示ムラがガラス表
面のわずかな凹凸により影響を受けて生じることが知ら
れており、このため良好な平坦性が要求される。したが
って、上記方法で製造したフロートガラス板を、酸化セ
リウムなどの微粉末研磨剤を用いてポリッシング研磨す
る場合がある。

【０００４】ガラス表面に存在する筋状の凹凸を、その
ガラス表面から除去あるいは表示ムラが生じない程度に
するために、ガラス表面を研磨することが行われてい
る。このとき、ガラス板をアルミニウム、鋳鉄、ステン
レスなどの金属製の回転可能なガラス板保持側定盤に保
持し、ガラス板を対向配置した金属製の回転可能な定盤
に押し当て、ガラス板表面を研磨する方法が採用されて
いた。

【０００５】一方、液晶表示用のガラス板に比べてサイ
ズが小さい半導体ウエーハの表面を研磨する方法が、特
公平７−１７５９号公報に開示されている。この公報に
よれば、ガラス、セラミックス等の材質のウエーハ保持
プレートに半導体ウエーハを貼りつけ、このウエーハ保
持プレートを対向配置させた定盤に押し当てながらウエ
ーハ保持プレートと定盤とを同一軸中心に回転させる方
法が開示されている。また、特開平８−３２３６１５号
公報には、半導体ウエーハを研磨するための研磨装置が
開示されている。その装置では、ウエーハを保持する定
盤と反対側の定盤の表面をアルミナ等のセラミックス製
の円板を用いることが記載されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示は、現在ノー
ト型パソコンの表示画面に多く用いられており、液晶表
示素子の製造コストを低減させるために、一枚のガラス
板から複数の表示画面を得るいわゆる多面取りの製造方
法が採用されている。それに要するガラス板のサイズ
は、液晶表示サイズの大型化に伴って、また多面取り数
の増加に伴って大きくなってきている。

【０００７】このため、フロート製造方法で製造される
ガラス板は、表面平滑性がよく、かつ、大きなサイズの
ガラス板を得るのに適しており、とりわけＳＴＮ液晶表
示用のガラス板として大量に用いられている。

【０００８】ところで、ＳＴＮ方式で液晶表示素子を製
造する場合、表示品質（表示ムラあるいは色ムラとも言
われる）が液晶セルを構成する２枚のガラス板の液晶と
接する側の面の凹凸に影響を受けることが知られてお
り、フロートガラス板を未研磨で用いた場合、フロート
ガラス板の製造方法に特有のガラス板の成形過程で生じ
る筋状の凹凸が、表示ムラの発生原因になるという課題
があった。

【０００９】この筋状凹凸は、溶融錫浴上で成形される
ときのガラスの移動方向に沿った方向に筋状で存在し、
筋状の凹凸の断面方向プロファイルは図２（ａ）で示さ
れるように、大略０．１〜０．２μｍの大きさを有する
ものである。

【００１０】この筋状凹凸を除去するために、図３に示
す研磨装置でガラス板を研磨することが行われていた
が、ガラスを保持する定盤に金属製の定盤を用いてい
た。金属製の定盤であると、繰り返しガラス板を研磨す
るにしたがい、研磨中の押し圧力、引っ張り力および回
転時の遠心力により、ガラスを保持する定盤に塑性変形
による永久変形が生じてくる。とくに、ガラス板保持側
の定盤は、その回転軸を埋設した中央部の筒を引っ張り
上げたり、押さえつけたりすることを繰り返し行うた
め、ガラス板を貼りつける面が凹型にあるいは凸型に変
形しやすいという課題があった。

【００１１】ガラス板を貼りつける面が凹型あるいは凸
型に変形すると、研磨中にワークであるガラス板の各部
位にかかる荷重が等しくならず、ガラス板のポリッシン
グによる取り代のバラツキ（ガラス板の場所による研磨
速度の大小）が生じるようになってしまうという課題が
あった。

【００１２】フロートガラス板の筋状凹凸を除去するに
は、ガラス板全面に対してある一定以上の取り代を必要
とするが、その場合ガラス板面内の最も研磨速度の遅い
部分で、凹凸の除去に要する時間が決まる。すなわち、
ガラス板を貼りつける面が変形してくると、凹凸の除去
に要する時間の長時間化を招き、ガラス板の加工効率が
低下してしまうという課題があった。

【００１３】上記の特公平７−１７５９号公報に開示さ
れている装置は、上側のワーク保持プレートと下側の定
盤とを同一軸中心に回転させるため、半導体ウエーハの
ような比較的小さな円盤状のワークに対して一度に何枚
ものワークをセットして能率を落とすことなく研磨でき
るが、液晶表示用のガラス板のように長方形で、たとえ
ば３０ｃｍ角以上もある大きさのガラス板を均一に能率
良く研磨することは難しい。

【００１４】また、上記の特開平８−３２３６１５号公
報に開示されている装置では、ワークを保持する上側の
真空チャックは固定されており、長方形の形状のガラス
板の全面を研磨するには大がかりな装置になり、設備に
要する製造コストが大きくなるという問題点があった。

【００１５】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであって、ガラス板表面の微小な筋状凹凸を
能率良く除去もしくは表示ムラが生じない程度に減じる
方法を提供することを目的とする。また、本発明の第２
の目的は、表示ムラが生じない液晶表示素子用のガラス
板を提供することである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のガラス
板の筋状凹凸の除去方法は、溶融錫浴の上を移動させる
ことにより板状に成形したガラス板表面の前記移動方向
に発生した筋状の凹凸を除去する方法であって、前記ガ
ラス板をセラミックス製のガラス板保持側定盤の貼付面
に保持し、前記ガラス板保持側定盤に対向配置した他方
の定盤のポリッシング面に前記ガラス板を押しつけなが
ら、前記他方の定盤を回転させるとともに、前記ガラス
板保持側定盤を他方の定盤のポリッシング面と平行方向
に揺動させることを特徴とする。

【００１７】ガラス板保持側定盤の材質をセラミックス
製とすることにより、ポリッシング作業を繰り返し行っ
ても、定盤の変形が生じにくくなる。すなわち定盤のガ
ラス板貼付面の表面平坦性が維持されるので、ガラス板
の表面の微小の筋状凹凸の除去を少ないガラスの研磨取
り代で行うことができる。

【００１８】請求項２の筋状凹凸の除去方法は、請求項
１において、ガラス板貼付面の表面平坦度を３μｍ以下
としたことを特徴とする。初期の表面平坦度を３μｍ以
下とすることが、高品質の表面平坦性を有するガラス板
を短時間で加工する上で好ましい。ここでいう表面平坦
度とは、触針式表面粗さ計でカットオフ波長を０．８〜
８ｍｍとしたときに得られる表面凹凸チャートの測定長
２０ｍｍ以内についての山谷間の最大距離で定義され
る。

【００１９】ガラス板の貼付面の平坦度は、小さい程好
ましいが、平坦度を限りなく０μｍに近い定盤を製作す
ることは、定盤の製作費用が高価になるので、実用性が
低下する。実用的には０．５μｍの平坦度があれば、ガ
ラス板の加工コストを上昇させることなく目的とする品
質が得られる。

【００２０】請求項３の除去方法は、請求項１または２
において、ポリッシングによるガラス板の取り代を３μ
ｍ以上とすることを特徴する。ガラス板が溶融錫上を移
動するときに生じるガラス板の筋状凹凸は、通常０．１
〜０．２μｍである。したがって、取り代を約１０倍の
３μｍ以上とすることにより、表示ムラが生じないよう
にすることができる。取り代を５μｍ以上とすることは
さらに好ましい。

【００２１】一方、ポリッシングによるガラス板の取り
代は、１５μｍ以下とするのが好ましい。取り代を大き
くすることは、ガラス板の筋状凹凸をより完全に除去
し、その平坦度をより良くするので好ましいが、ガラス
の研磨に要する時間が長くなり、凹凸の除去に要するコ
ストが大きくなるので好ましくない。通常この観点か
ら、１５μｍ以下とするのが好ましい。

【００２２】請求項４のガラス板は、溶融錫浴の上を移
動させながら板状に成形したガラス板であって、前記ガ
ラス板表面に前記移動方向に筋状に生じた凹凸を、ポリ
ッシングにより０．０５μｍ以下にしたことを特徴とす
る液晶表示用のガラス板である。

【００２３】ここで、凹凸は触針式表面粗さ計でカット
オフ波長を０．８〜８ｍｍとしたときに得られる表面凹
凸チャートの測定長２０ｍｍ以内についての山谷間の最
大距離で定義される。

【００２４】ＳＴＮ液晶表示素子は、液晶表示素子内に
封入された液晶と接する側のガラス板表面の凹凸状態
に、その表示品質が大きく影響を受ける。フロートガラ
ス板の表面に存在する溶融錫上を移動するときに生じる
筋状の凹凸（凹みを伴った筋状の微細な突起）は、液晶
表示素子に筋状の表示ムラを与える。この表示ムラを実
用的に目に見えない程度にするために、筋状凹凸を０．
０５μｍ以下にする。好ましくは０．０３μｍ以下にす
る。

【００２５】筋状の凹凸は、皆無であるのが表示ムラを
よくする観点から好ましいのは言うまでもないが、０．
００５μｍ以下に平坦化しても、さらに表示品質の向上
が認められない。かかる観点から、実用的には、０．０
０５μｍとなるまで平坦化すればよい。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を実施
例と比較例により詳細に説明する。図１は、本発明のガ
ラス板を得るためのフロートガラス素板の表面に存在す
る筋状凹凸を示した図である。図上の上面が溶融錫浴と
の接触面（ボトム面）で、溶解されたガラスが溶融錫の
上を移動しながら板状に成形されるときのガラスの移動
方向には、凹凸がほとんど認められないが、ガラス移動
方向と直交する方向に凹凸が認められる。

【００２７】フロートガラス板は通常０．４〜１．２ｍ
ｍの厚みのガラスであり、ガラス板の移動方向にこのよ
うな凹凸が認められる。この筋状凹凸を有するガラス板
を封入する液晶と接するようにして液晶表示素子を製作
すると、この凹凸に基因する筋状の表示ムラが生じる。

【００２８】図２は、本発明のガラス板（図２（ｂ）：
サンプル１で用いたガラス板）およびそれを得るための
凹凸を除去する前のガラス素板（図２（ａ）：比較サン
プル３で用いたガラス板）の表面凹凸を示す図である。
ガラス板の移動方向とほぼ直交する方向に、２０ｍｍの
間隔で縦横約２８０ｍｍの領域について触針式表面粗さ
計の針を走査して得られた表面凹凸プロファイル群を示
す。

【００２９】図３（ｂ）は、本発明の実施に用いたガラ
ス板研磨機の概略断面図であり、図３（ａ）は研磨機の
定盤の動作モードを説明する図である。駆動モータ（図
示されない）により回転する直径６００ｍｍ、厚み１５
ｍｍのアルミナ製の円盤状のガラス保持側定盤１を新た
に製作し、そのガラス貼付面１ａに、ガラス保持具５が
加工すべきガラス板２の周縁を囲むように取り付けてあ
る。一方、他の駆動モータ（図示しない）により回転す
る直径８５０ｍｍ、厚み５０ｍｍの鋳鉄製の定盤４のポ
リッシュ面４ａに厚み２ｍｍのポリウレタン製研磨パッ
ド３を貼りつけ、研磨砥粒供給ノズル６から研磨パッド
３の上に酸化セリウムの微小砥粒が供給される。ガラス
板保持側定盤１は自由回転させるとともに、Ｃを揺動中
心として角度θで揺動（往復運動）させた。このときガ
ラス板保持側定盤１には、下方向に荷重がかけられ、ガ
ラス保持具５内に、ガラス保持側定盤１に貼りつけられ
たガラス板２は、２つの定盤の回転と揺動により、その
全面が均一に研磨され、ガラス表面に存在する筋状の凹
凸が除去される。

【００３０】本発明においては、上記のガラス板保持側
定盤として、ジルコニアセラミックス、炭化珪素セラミ
ックス、窒化珪素セラミックス、アルミナー炭化チタン
系セラミックスを用いることができる。とりわけアルミ
ナセラミックスがコスト面、平坦度を３μｍ以下にする
のが容易であるという観点から好ましい。

【００３１】実施例 厚み０．７ｍｍで３０ｃｍ角のフロートガラス板（ソー
ダライムシリカ組成）をガラス保持側定盤１のガラス保
持具５内の貼付面に水ばりで接着固定し、水１０００ｍ
ｌに酸化セリウム微粉末１００ｇを含む懸濁液を研磨パ
ッドに一定量供給しながら、ガラス保持側定盤（平坦度
３μｍ）の自重がガラス板を介して定盤４（平坦度２μ
ｍ）にかかるようにして１０分間研磨した。このときの
定盤４の回転数は５０ＲＰＭで、ガラス板保持側定盤１
は定盤４に貼られた研磨パッド３上を図２に示すよう
に、Ｃを揺動中心として６秒周期で揺動させた。以上に
より図２（ａ）で示した筋状の凹凸を除去あるいは減じ
た。

【００３２】筋状凹凸を除去または減じたガラス板の９
点（コーナー部４点、周縁の中央部４点、中央部１点）
について、超音波式厚み計により測定した研磨前後のガ
ラス板厚みの厚み差から、研磨取り代を求めた。その結
果を表１に示す。ポリッシングによる平均取り代は１
４．８９μｍで、取り代の９点の標準偏差は０．７４μ
ｍであった。表１で最小取り代である１４μｍを除去す
るのに必要なポリッシング時間は、１８．４９μｍをポ
リッシングするのに要する時間であることになる。

【００３３】標準偏差の値は、後述する比較対象である
比較例１のガラス板保持側定盤１に鋳鉄製の定盤を用い
た場合に比べて約２分の１であり、このことからガラス
板全面にわたって筋状凹凸を除去するのに、短い時間で
ポリッシングすることができることが分かる。

【００３４】

【表１】 −−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）１４．８９μｍ １５ １５ １６ （標準偏差） ０．７４μｍ 左辺中央 中央 右辺中央 １５ １６ １４ 左下隅 中央下辺 右下隅 １４ １４ １５ −−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００３５】実施例２ 実施例１と同じ条件でガラス板の凹凸除去のためのポリ
ッシングを毎日ほぼ一定枚数行い、合計１５０００枚の
ポリッシングを行った。このとき累積正味時間は２１６
０時間であった。１５０００枚目のガラス板のポリッシ
ングによる研磨取り代の面内分布を実施例１と同じ方法
で測定した結果を表２に示す。

【００３６】取り代の平均は、１４．３３μｍであり、
９点の標準偏差は１．０５μｍであった。表２から、最
小１３μｍの厚みの取り代を除去するのに必要な時間
は、１４．３３μｍの取り代を得るのに要する時間であ
った。上述の取り代の標準偏差は、後述の比較対象であ
る比較例２のガラス板保持側定盤に鋳鉄製の定盤を用い
た場合の約３分の１以下であり、よりガラス全面にわた
って筋状凹凸を除去するのに短い時間のポリッシングで
行い得ることが分かった。また、この筋状凹凸を除去す
るのに要する加工時間は、実施例と比較例を対比して、
設備の新設時よりも加工処理を１５０００枚も行ったと
きの方が大きいことが分かった。

【００３７】

【表２】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）１４．３３μｍ １３ １４ １３ （標準偏差） １．０５μｍ 左辺中央 中央 右辺中央 １５ １６ １４ 左下隅 中央下辺 右下隅 １４ １６ １４ −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００３８】実施例３ 実施例２の次に、液晶表示素子の表示ムラが減じると考
えられた約３μｍの取り代を確保するポリッシングを行
った。ポリッシングしたガラスの取り代の測定結果は表
３に示すとおりで、最小５μｍの取り代を確保するに
は、５．７２μｍをポリッシングするのに要する時間で
あった。

【００３９】

【表３】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）５．７２μｍ ５ ６ ７ 左辺中央 中央 右辺中央 ５.５ ６ ６ 左下隅 中央下辺 右下隅 ５ ５ ６ −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００４０】比較例１ 実施例１とは、ガラス保持側定盤を新たに製作した直径
６００ｍｍ、厚み２０ｍｍの鋳鉄製の円盤状の定盤（定
盤の平坦度８μｍ）に取り替えたことのほかは全く同じ
ようにして、同じロットのガラス素板のポリッシングを
行った。このガラス板の取り代の分布を表４に示す。平
均取り代は１４．１１μｍで、標準偏差は１．６０μｍ
であった。この標準偏差の値は、実施例１に比較して大
きい値であった。最小厚みの１２μｍを除去するために
必要な時間は、１４．１１μｍの取り代を要することに
なった。

【００４１】用いたアルミニウム製の定盤の貼付面の平
坦度は８μｍであったが、その面の加工中の自重による
たわみや熱変形により、この値以上に平坦度をよくする
ことは困難であった。

【００４２】

【表４】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）１４．１１μｍ １３ １４ １２ （標準偏差） １．６０μｍ 左辺中央 中央 右辺中央 １５ １７ １４ 左下隅 中央下辺 右下隅 １４ １６ １２ −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００４３】比較例２ 比較例１と同じ条件でガラス板の凹凸の除去を毎日ほぼ
一定枚数行い、合計１５０００枚の研磨を行った。この
とき累積正味研磨時間は２１６０時間であった。１５０
００枚目のガラス板の研磨取り代の面内分布を実施例１
と同じ方法で測定した結果を表５に示す。取り代の平均
は１２．８９μｍ、標準偏差３．８０μｍであった。標
準偏差が大きく、すなわちガラスの取り代に大きな偏り
があることが分かった。表５で最小の取り代７μｍを確
保するのに、１２．８９μｍの取り代を必要とすること
になっている。

【００４４】

【表５】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）１２．８９μｍ ８ １０ ７ （標準偏差） ３．８０μｍ 左辺中央 中央 右辺中央 １１ ２０ １２ 左下隅 中央下辺 右下隅 ８ １４ ９ −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００４５】

【表６】 −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 左上隅 中央上辺 右上隅 （取り代平均）４．８９μｍ ４ ６ ２.５ 左辺中央 中央 右辺中央 ５ ８ ６ 左下隅 中央下辺 右下隅 ３ ７ ２．５ −−−−−−−−−−−−−−−−−−− 単位：μｍ

【００４６】比較例３ 実施例３と対比するために比較例１と同じようにしてポ
リッシングした。その結果を表６に示す。

【００４７】ガラス板の左辺中央の取り代は５μｍであ
った。このときガラス板の中央部およびその他の辺の中
央部については５μｍ以上の取り代が確保されていた
が、四つのコーナー部については２．５〜４μｍであ
り、取り代不足が認められた。

【００４８】以上実施例の１〜３および比較例の１〜３
から、多数枚のガラス板の加工を行っても、本発明のガ
ラス板の筋状凹凸の除去方法によれば、ガラス板表面の
ほぼ全体にわたって存在する凹凸の除去を、ガラス表面
のより少ないポリッシングによる取り代により行うこと
ができることが分かる。

【００４９】次に、本発明のガラス板を用いて液晶表示
素子を作製し、表示ムラの発生状況の確認実験を行っ
た。 実施例４ 縦１５０ｃｍ、横２００ｃｍ、厚み１．１ｍｍのフロー
トガラス素板についてそのボトム面を実施例１と同じ方
法で研磨時間を変えてガラス板表面を研磨して種々の表
面平坦性を有するガラス板を作製した。このガラス板の
表面を測定（触針式表面粗さ計で測定。カットオフ波長
条件：０．８〜８ｍｍ）した結果を表７に示す。

【００５０】表７で得たガラス板のサンプルを用いて液
晶表示素子を作製した。液晶表示素子の作製は公知の方
法によった。すなわち、まず研磨したガラス面にスパッ
タリングにより２０Ω／□のＩＴＯ透明導電膜を全面に
被覆後、所定形状にフォトリソグラフ法により電極パタ
ーン加工を行った。

【００５１】その後、液晶が接する面にポリイミドの液
晶配向剤を塗布して約３００℃に加熱硬化し、軽く布で
擦ることによりポリイミド表面に配向溝を形成した。そ
の後、液晶の注入口とするための部分を除いて、ガラス
板の周辺部に塗布したエポキシ樹脂のシール剤により２
枚のガラス板を貼り合わせ、液晶セルのギャップが約８
μｍの液晶セルとした。液晶セル内にエステル系のＳＴ
Ｎ特性を有する液晶を注入し、紫外線硬化型樹脂により
注入口を封止し、ガラス板両面に偏光板を貼りつけて液
晶表示素子とした。

【００５２】この液晶表示素子の電極に電圧を印加して
表示を行い、表示ムラの出現状況を観察した。その結果
を表７のサンプル１〜３に示した。表示ムラはいずれの
サンプルについても現れず、均一な表示ができた。

【００５３】

【表７】 ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝ 例 凹凸の除 ガラス板の 液晶表示ムラの出現状況 去の有無 表面凹凸 （μｍ） −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−− （実施例４）サンフ゜ル 1 有り ０．００３ 全く認められずサンフ゜ル 2 有り ０．０３ 全く認められずサンフ゜ル 3 有り ０．０５ 全く認められず （比較例４） 比較サンフ゜ル1 有り ０．０６ 筋状のムラがかすかに認められる 比較サンフ゜ル2 有り ０．０９ 筋状ムラが数本認められる 比較サンフ゜ル3 無し ０．１３ 筋状のムラが多数濃く表示面全面 に認められる ＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝＝

【００５４】比較例４ 筋状凹凸の除去または減少が十分でないか行わなかった
ガラス板を用いて、実施例４と同じようにして作製した
液晶表示素子について調べた。表示ムラの発生状況を表
７の比較サンプル１〜３に示す。いずれの比較サンプル
についても、筋状の表示ムラが目視で認められ、凹凸の
程度が大きくなるにしたがい、表示ムラのコントラスト
は大きく、またその数が増加した。表７から、ガラス表
面の凹凸を０．０５μｍ以下にすることにより表示ムラ
のない液晶表示素子が得られることが分かる。

【００５５】実施例においては、フロートガラス板とし
てソーダライムシリケート系の組成のガラスについて示
したが、本発明においては、ガラスの組成はとくに限定
されるものでなく、たとえばアルミノ硼珪酸塩系のガラ
スや硼珪酸塩系のガラスであってもよい。また、液晶表
示素子に用いる液晶は、ＴＮ特性を有する液晶であって
も、また液晶の駆動方式が１画素に１つのアクティブ素
子を対応させた液晶表示素子であっても、本発明のガラ
ス板を用いることによりムラのない表示が得られる。

【００５６】

【発明の効果】本発明の筋状凹凸の除去方法によれば、
ガラス板保持側の定盤をセラミックス製としたので、多
数枚のガラス板をポリッシング処理しても、ガラス保持
側定盤の変形が小さく、ガラス板面内の取り代（研磨速
度）のバラツキを小さくすることができる。これにより
必要とする取り代を小さくすることができ、凹凸の除去
に要するポリッシング時間の短縮化をはかることができ
る。

【００５７】フロートガラス板をポリッシング加工して
得られる本発明の液晶表示素子用ガラス板は、溶融錫で
板状に成形されるときに生じた筋状凹凸が除去または軽
減されているので、ガラス板の表面平坦性に鋭敏に影響
を受けるＳＴＮ液晶表示素子のガラス板として用いても
表示ムラが生じない。

【図面の簡単な説明】

【図１】フロートガラス素板の表面に存在する筋状の凹
凸を説明する図である。

【図２】本発明の一実施例であるサンプル１のガラス板
とそのガラス板を得るために用いたガラス素板の溶融錫
接触面の表面形状を示す図である。

【図３】本発明の実施に用いた研磨装置の概略断面図お
よびその研磨装置の定盤の動作状態を示す図である。

【符号の説明】

１：ガラス板保持側定盤、１ａ：ガラス板保持側定盤の
貼付面 ２：ガラス素板 ３：研磨パッド ４：他方の定盤、４ａ：他方の定盤のパッド貼付面 ５：ガラス板保持具 ６：研磨砥粒供給ノズル

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 溶融錫浴の上を移動させることにより板
   状に成形したガラス板表面の前記移動方向に発生した筋
   状の凹凸を除去する方法であって、前記ガラス板をセラ
   ミックス製のガラス板保持側定盤の貼付面に保持し、前
   記ガラス板保持側定盤に対向配置した他方の定盤のポリ
   ッシング面に前記ガラス板を押しつけながら、前記他方
   の定盤を回転させるとともに、前記ガラス板保持側定盤
   を他方の定盤のポリッシング面と平行方向に揺動させる
   ことを特徴とするガラス板表面の筋状凹凸の除去方法。
2. 【請求項２】 前記ガラス板保持側定盤の貼付面の表面
   平坦度を３μｍ以下としたことを特徴とする請求項１に
   記載のガラス板表面の筋状凹凸の除去方法。
3. 【請求項３】 前記ポリッシングによる前記ガラス板の
   取り代を３〜１５μｍとすることを特徴する請求項１ま
   たは２に記載のガラス板表面の筋状凹凸の除去方法。
4. 【請求項４】 溶融錫浴の上を移動させながら板状に成
   形したガラス板であって、前記ガラス板表面に前記移動
   方向に生じた筋状凹凸を、ポリッシングにより０．０５
   μｍ以下にしたことを特徴とする液晶表示用のガラス
   板。
5. 【請求項５】 前記筋状凹凸を０．００５μｍ以上であ
   る請求項４に記載の液晶表示用ガラス板。