CN219685059U - 研磨装置和研磨系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种研磨装置和研磨系统，上述研磨装置用于板状物料研磨，包括绕自身轴线可转动设置的用于承载板状物料的研磨基座、依次设置在研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，压力供给单元与压力板连接并配置为能够分别对第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力。通过上述技术方案，通过压力供给单元分别调节第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力，这样便不再需要如相关技术中那般重新打磨压力盘，降低了研磨作业的时间，提高了研磨作业效率，也不需要更换研磨基座，降低了研磨作业的生产成本，更利于板状物料的大规模生产。

Description

研磨装置和研磨系统

技术领域

本公开涉及研磨领域，具体地，涉及一种研磨装置和研磨系统。

背景技术

玻璃、蓝宝石衬底、碳化硅衬底等板状物料在生产过程中都需要进行研磨作业使得表面粗糙度达到使用标准。通常需要将板状物料与载料盘连接，再通过压力盘将板状物料压在载料盘和可转动的研磨基座之间以进行研磨作业。在研磨作业的过程中因为压力盘表面或者研磨基座不平，导致研磨后的板状物料厚度不均匀，出现内薄外厚、内厚外薄、或者内外与中间厚度不均等情况。针对上述情况，通常需要重新打磨压力盘或者更换研磨基座使得研磨后的板状物料厚度均匀，但是这样会增加研磨作业的时间，影响研磨作业效率，增加了研磨作业的生产成本，不利于板状物料的大规模生产。

实用新型内容

本公开提供一种研磨装置和研磨系统，以解决相关技术中在进行研磨作业后板状物料厚度不均难以处理的问题。

本公开的第一个目的是提供一种研磨装置，用于板状物料研磨，所述研磨装置包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载所述板状物料的研磨基座以及依次设置在所述研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，所述压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，所述压力供给单元与所述压力板连接并配置为能够分别对所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域施加朝向所述板状物料的压力。

可选地，所述压力供给单元包括安装基座、设置在所述安装基座上的第一气缸、多个第二气缸和多个第三气缸，其中，所述第一气缸用于对所述第一区域施加压力，所述第二气缸用于对所述第二区域施加压力，所述第三气缸用于对所述第三区域施加压力。

可选地，所述压力供给单元还包括从所述安装基座向下延伸设置的第一筒体、第二筒体和第三筒体，其中，所述第一筒体沿所述第一区域的外边缘围绕在所述第一气缸的活塞杆的周围，所述第二筒体沿所述第二区域的外边缘围绕在多个所述第二气缸的活塞杆的周围，所述第三筒体沿所述第三区域的外边缘围绕在多个所述第三气缸的活塞杆的外周。

可选地，所述第一筒体的下端面与所述第一区域的抵接，所述第二筒体的下端面与所述第二区域的抵接，所述第三筒体的下端面与所述第三区域抵接。

可选地，所述第一区域上设置有第一凸块，所述第一凸块与所述第一气缸的活塞杆连接，所述第一凸块的外周与所述第一筒体的内周抵接；所述第二区域上设置有第二凸块，所述第二凸块与所述第二气缸的活塞杆连接，所述第二凸块的外周与所述第二筒体的内周抵接；所述第三区域上设置有第三凸块，所述第三凸块与所述第三气缸的活塞杆连接，所述第三凸块的外周与所述第三筒体的内周抵接。

可选地，所述压力供给单元绕自身轴线水平可转动设置，所述压力供给单元的转动方向与所述研磨基座的转动方向相反。

可选地，所述压力板的下端面开设有向上延伸的容纳槽，所述容纳槽用于形状配合地容纳所述载料盘。

可选地，所述板状物料与所述载料盘可拆卸连接。

本公开的第二个目的是提供一种研磨系统，包括上述中任意一项所述的研磨装置。

可选地，所述研磨系统还包括喷嘴，所述喷嘴用于向所述研磨基座喷淋研磨液。

通过上述技术方案，可以通过压力供给单元分别调节第一区域、第二区域和第三区域施加朝向板状物料的压力，压力变大，对应区域的研磨程度对应提高，板状物料在对应区域的厚度更低，反之，压力降低，对应区域的研磨程度对应降低，板状物料在对应区域的厚度更高，这样便不再需要如相关技术中那般重新打磨压力盘，降低了研磨作业的时间，提高了研磨作业效率，也不需要更换研磨基座，降低了研磨作业的生产成本，更利于板状物料的大规模生产。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开示例性实施方式提供的研磨装置的结构示意图；

图2是本公开示例性实施方式提供的研磨系统的使用示意图；

图3是本公开示例性实施方式提供的研磨系统的结构示意图。

附图标记说明

1-板状物料，2-研磨基座，3-载料盘，4-压力板，41-第一区域，411-第一凸块，42-第二区域，421-第二凸块，43-第三区域，431-第三凸块，5-压力供给单元，51-安装基座，52-第一气缸，53-第二气缸，54-第三气缸，55-第一筒体，56-第二筒体，57-第三筒体，6-容纳槽。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指以相关部件在实际使用状态的方位，具体可参照图1的图面方向。“内、外”是指相应部件轮廓的内和外。另外，下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。本公开中使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。

本公开的第一个目的是提供一种研磨装置，用于板状物料1研磨，如图1所示，研磨装置包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载板状物料1的研磨基座2以及依次设置在研磨基座2上方的载料盘3、压力板4和压力供给单元5，压力板4在径向上由内向外依次包括第一区域41、第二区域42和第三区域43，其中，压力供给单元5与压力板4连接并配置为能够分别对第一区域41、第二区域42和第三区域43施加朝向板状物料1的压力。

压力板4的第一区域41可以呈圆形并设置在压力板4中心，而第二区域42和第三区域43可以分别为环状，第二区域42围合在第一区域41的外周，第三区域43围合在第二区域42的外周，这样的形状可以更便于上述研磨装置使用。因为板状物料1在研磨过程中会不断转动，因此当板状物料1出现内薄外厚、内厚外薄、或者内外与中间厚度不均等情况时，厚度不均的部分也是呈圆形或者环状分布的，这样第一区域41、第二区域42和第三区域43能够更好地与厚度不均的部分对应，保证上述研磨装置对修复厚度不均等问题的效果。如果载料盘3上同时设置有多块板状物料1进行研磨作业时，压力供给单元5还能够保证每个区域内的板状物料1研磨水平都是相同的。

同时，对例如玻璃、蓝宝石衬底、碳化硅衬底等板状物料1进行研磨时，其研磨精度很高，因此压力板4的强度可以较高，压力板4的形变量也较小，这样压力供给单元5在施加压力时能够更精确地控制对板状物料1的修复程度，避免修复对板状物料1造成二次影响。

通过上述技术方案，板状物料1设置在载料盘3上，板状物料1的待研磨端面与研磨基座2贴合，研磨基座2转动以进行研磨作业，当板状物料1出现内薄外厚、内厚外薄、或者内外与中间厚度不均等情况时，可以通过压力供给单元5分别调节第一区域41、第二区域42和第三区域43施加朝向板状物料1的压力，压力变大，对应区域的研磨程度对应提高，板状物料1在对应区域的厚度更低，反之，压力降低，对应区域的研磨程度对应降低，板状物料1在对应区域的厚度更高，这样便不再需要如相关技术中那般重新打磨压力盘，降低了研磨作业的时间，提高了研磨作业效率，也不需要更换研磨基座，降低了研磨作业的生产成本，更利于板状物料1的大规模生产。

在一些实施方式中，压力供给单元5可以包括安装基座51、设置在安装基座51上的第一气缸52、多个第二气缸53和多个第三气缸54，其中，第一气缸52用于对第一区域41施加压力，第二气缸53用于对第二区域42施加压力，第三气缸54用于对第三区域43施加压力。以上述提到的第一区域41为圆形，而第二区域42和第三区域43可以分别为环状为例，此时第一气缸52可以设置在与第一区域41中心对应的位置上，这样一个第一气缸52就可以保证第一区域41施加朝向载料盘3的压力足够稳定和均匀。而环状的第二区域42和第三区域43由于跨度较大，为了保证朝向载料盘3的压力足够稳定和均匀，第二气缸53和第三气缸54可以分别设置有多个并均匀分布在第二区域42和第三区域43中。

此外，压力供给单元5还包括可以从安装基座51向下延伸设置的第一筒体55、第二筒体56和第三筒体57，其中，第一筒体55沿第一区域41的外边缘围绕在第一气缸52的活塞杆的周围，第二筒体56沿第二区域42的外边缘围绕在多个第二气缸53的活塞杆的周围，第三筒体57沿第三区域43的外边缘围绕在多个第三气缸54的活塞杆的外周。第一筒体55、第二筒体56和第三筒体57能够分别对各个气缸的活塞杆进行保护，避免活塞杆收到外部环境的冲击导致活塞杆倾斜，如果活塞杆倾斜，可能会导致与压力供给单元5传递至载料盘3上的压力发生改变，进而影响上述研磨装置的使用效果。

进一步地，第一筒体55的下端面可以与第一区域41的抵接，第二筒体56的下端面可以与第二区域42的抵接，第三筒体57的下端面可以与第三区域43抵接。这样第一筒体55、第二筒体56和第三筒体57的下端面能够对压力板4起到限位作用，使得压力板4能够压住载料盘3，避免压力板4脱离载料盘3使得板状物料1无法保证一个基本的研磨效果，也避免了载料盘3在研磨过程中的脱离。

在一些实施方式中，第一区域41上可以设置有第一凸块411，第一凸块411与第一气缸52的活塞杆连接，第一凸块411的外周与第一筒体55的内周抵接；第二区域42上可以设置有第二凸块421，第二凸块421与第二气缸53的活塞杆连接，第二凸块421的外周与第二筒体56的内周抵接；第三区域43上可以设置有第三凸块431，第三凸块431与第三气缸54的活塞杆连接，第三凸块431的外周与第三筒体57的内周抵接。这样可以通过第一凸块411、第二凸块421和第三凸块431限定各个活塞杆的移动轨迹，保证活塞杆长时间使用后移动时还是上下移动，不会发生倾斜，同时还能够限定压力板4的位置，压力板4不会轻易错位，以保证压力供给单元5提供给压力板4的压力大小和方向不会轻易改变，保证研磨精度，保证上述研磨装置的使用效果。

在一些实施例中，压力供给单元5可以绕自身轴线水平可转动设置，这样压力供给单元5在转动时还能够进一步带动载料盘3转动，加速板状物料1与研磨基座2的接触，节约研磨的时间，提高研磨效率。这里需要注意的是，压力供给单元5的转动方向可以与研磨基座2的转动方向相反。如果转动方向相同，会减弱板状物料1与研磨基座2的接触，更进一步地，如果转动方向相同且速度相同，可能会导致板状物料1空转而无法被研磨。

此外，压力板4的下端面可以开设有向上延伸的容纳槽6，容纳槽6用于形状配合地容纳载料盘3。在研磨作业时，容纳槽6的内壁面限制载料盘3的位置，避免载料盘3在使用过程中脱离上述研磨装置。

板状物料1可以与载料盘3可拆卸连接。可以通过粘合剂将板状物料1与载料盘3可拆卸连接，粘合剂可以是蜡，这样粘合剂不会对板状物料1和载料盘3时间造成损伤，同时还易于操作，在蜡软化的时候将板状物料1与载料盘3连接即可，等蜡凝固后就可以固定。

根据本公开的第二方面，还提供一种研磨系统，如图2和图3所示，包括上述中任一实施方式的研磨装置，并具有其所有的有益效果，此处不再赘述。在图2和图3中，此时研磨系统可以包括多个上述研磨装置，能够同时对多个板状物料1进行研磨作业。

上述研磨系统还可以包括喷嘴，喷嘴用于向研磨基座2喷淋研磨液。研磨液中的液体成分能够吸收研磨过程中产生的热量，在研磨作业时起到一定的润滑效果以辅助研磨，也能够吸收研磨时产生的灰尘。同时研磨液还包括一些微小的颗粒，这些颗粒能够提高研磨的效果，以提高研磨速度，节省研磨作业的时间。而研磨液的选择可以根据板状物料1的不同进行选择，有些板状物料1强度较低，如果研磨液中颗粒的强度过高，可能会导致研磨过程中板状物料1的表面出现划痕。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种研磨装置，用于板状物料研磨，其特征在于，包括绕自身轴线水平可转动设置的用于承载所述板状物料的研磨基座以及依次设置在所述研磨基座上方的载料盘、压力板和压力供给单元，所述压力板在径向上由内向外依次包括第一区域、第二区域和第三区域，其中，所述压力供给单元与所述压力板连接并配置为能够分别对所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域施加朝向所述板状物料的压力。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述压力供给单元包括安装基座、设置在所述安装基座上的第一气缸、多个第二气缸和多个第三气缸，其中，所述第一气缸用于对所述第一区域施加压力，所述第二气缸用于对所述第二区域施加压力，所述第三气缸用于对所述第三区域施加压力。

3.根据权利要求2所述的研磨装置，其特征在于，所述压力供给单元还包括从所述安装基座向下延伸设置的第一筒体、第二筒体和第三筒体，其中，所述第一筒体沿所述第一区域的外边缘围绕在所述第一气缸的活塞杆的周围，所述第二筒体沿所述第二区域的外边缘围绕在多个所述第二气缸的活塞杆的周围，所述第三筒体沿所述第三区域的外边缘围绕在多个所述第三气缸的活塞杆的外周。

4.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，所述第一筒体的下端面与所述第一区域的抵接，所述第二筒体的下端面与所述第二区域的抵接，所述第三筒体的下端面与所述第三区域抵接。

5.根据权利要求4所述的研磨装置，其特征在于，所述第一区域上设置有第一凸块，所述第一凸块与所述第一气缸的活塞杆连接，所述第一凸块的外周与所述第一筒体的内周抵接；所述第二区域上设置有第二凸块，所述第二凸块与所述第二气缸的活塞杆连接，所述第二凸块的外周与所述第二筒体的内周抵接；所述第三区域上设置有第三凸块，所述第三凸块与所述第三气缸的活塞杆连接，所述第三凸块的外周与所述第三筒体的内周抵接。

6.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述压力供给单元绕自身轴线水平可转动设置，所述压力供给单元的转动方向与所述研磨基座的转动方向相反。

7.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述压力板的下端面开设有向上延伸的容纳槽，所述容纳槽用于形状配合地容纳所述载料盘。

8.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述板状物料与所述载料盘可拆卸连接。

9.一种研磨系统，其特征在于，包括权利要求1-8中任意一项所述的研磨装置。

10.根据权利要求9所述的研磨系统，其特征在于，所述研磨系统还包括喷嘴，所述喷嘴用于向所述研磨基座喷淋研磨液。