KR20030069085A - 자기전사장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 마스터담체에 대해서 슬레이브매체를 전사불량이 생기지 않게 확실하게 공급하도록 한 자기전사장치를 제공한다.

(해결수단) 전사패턴을 갖는 마스터담체(3)를 홀더(10)에 유지하고, 이 마스터담체(3)에 대해서 전사를 받는 슬레이브매체(2)를 슬레이브 공급수단(20)에 의해 공급하고, 양자를 밀착시켜서 자기전사를 행할 때, 홀더(10)는 중앙부에 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)을 위치결정 유지하는 슬레이브 유지축(13)을 구비하고, 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)의 내경은 마스터담체(3)의 중심구멍(3a)의 내경보다 작고, 슬레이브 공급수단(20)은 슬레이브매체(2)의 내경부를 유지해서 공급한다. 마스터담체(3)에 공급된 슬레이브매체(2)의 내경부위를 흡인홈(8d)으로 흡인해서 마스터담체(3)에 가밀착시키는 것이 바람직하다.

Description

자기전사장치{MAGNETIC TRANSFER APPARATUS}

본 발명은, 전사정보에 대응한 패턴이 형성된 마스터담체로부터 자기기록부를 갖는 슬레이브매체에 자기전사하는 자기전사장치에 관한 것으로, 특히 홀더에 유지된 마스터담체로의 슬레이브매체의 공급에 관한 것이다.

본 발명의 대상으로 하는 자기전사는, 적어도 표층에 연자성층을 갖는 서보신호 등의 전사패턴이 요철형상 또는 매립구조로 형성된 마스터담체(패턴드마스터)를 자기기록부를 갖는 슬레이브매체와 밀착시킨 상태에서 전사용 자계를 인가해서 마스터담체에 담지한 정보에 대응하는 자화패턴을 슬레이브매체에 전사기록하는 것이다. 이 자기전사의 하나의 예로서는, 예를 들면 일본 특허공개 소화63-183623호, 특허공개 평성10-40544호, 특허공개 평성10-269566호, 특허공개 2001-256644 등에 개시되어 있다.

또, 슬레이브매체가 하드디스크 또는 고밀도 플랙시블디스크와 같은 원반형상 자기기록매체의 경우에는, 이 슬레이브매체에 원반형상의 마스터담체를 밀착시킨 상태에서 그 일측 또는 양측에 전자석장치, 영구자석장치에 의한 자계인가수단을 배치해서 전사용 자계를 인가한다.

이 자기전사를 행할 때의 중요한 과제의 하나로, 마스터담체와 슬레이브매체의 위치결정을 정밀도 좋게 행하는 것이 있다. 특히, 하드디스크, 고밀도 플렉시블디스크 등의 슬레이브매체에서는, 자기전사후에 드라이브장치에 부착되었을 때의회전중심과 전사기록된 자화패턴의 중심이 정밀도좋게 일치하지 않으면 안된다.

상기한 점에서, 특허공개 평성11-175973호, 특허공개 2001-209978에 나타내듯이, 마스터담체와 슬레이브매체를 밀착시킬 때, 화상장치로 양자의 위치결정을 행하는 것이 알려져 있다. 구체적으로는, 먼저 밀착플랜지에 슬레이브매체를 셋트한 후, 그 위에 패턴에 대응해서 투명부분으로 형성한 마커를 갖는 마스터담체를 탑재하고, 화상장치로 마커와 슬레이브매체의 위치가 일치하도록 관찰하면서 마스터담체의 위치조정을 행하고 나서 양자를 밀착시키도록 하고 있다. 또는, 마스터담체를 X-Y방향으로 이동가능한 홀더에 유지하고, 마스터담체의 중심위치를 CCD카메라로 관찰해서, 슬레이브매체와의 위치를 일치시켜서 밀착시키도록 하고 있다.

상기한 점에서, 본 발명자들은, 마스터담체를 홀더의 슬레이브 유지축(센터핀)의 중심에 대하여, 그 전사패턴의 중심을 미리 위치결정하고, 슬레이브매체는 이 슬레이브 유지축에 의해 위치결정함으로써, 마스터담체와 슬레이브매체의 위치결정을 정밀도 좋게 행하도록 한 기술을 제안하고 있다(특원2001-302231).

또, 상기 홀더에 있어서의 마스터담체 및 슬레이브매체의 유지는, 수평상태에서 상하 방향으로 겹치도록 마스터담체상에 슬레이브매체를 반송하는 경우와, 연직상태로 배열하도록 가로방향으로부터 마스터담체의 측면에 슬레이브매체를 세로방향으로 반송하는 경우가 있으며, 특히, 후자의 세로방향으로 반송하는 경우에는, 상기 위치결정의 이외에, 반송도중 등에서의 슬레이브매체의 낙하, 간극으로의 먼지침입 등의 문제가 있고, 슬레이브매체를 슬레이브 공급수단에 의해 유지해서 공급하는 것이 바람직하다.

또, 상기한 바와 같이 슬레이브매체를 유지해서 공급할 때, 슬레이브매체의 유지는 그 신호기록부의 품질유지를 위해 신호기록부이외의 부분을 파지할 필요가 있다.

한편, 자기전사시, 홀더에 슬레이브매체를 유지하기 위해서, 상술과 같이, 슬레이브 유지축을 사용해서 중심구멍의 내경부를 유지하고 있지만, 전사시에 압압할 때까지, 슬레이브매체는 슬레이브 유지축에 걸려만 있는 상태이기 때문에, 핸들링시의 진동에 의해 슬레이브매체가 탈락하거나, 또, 마스터담체와 슬레이브매체의 사이에 공간이 생기기 때문에, 마스터담체 및 슬레이브매체의 밀착표면에 환경먼지가 부착되어 전사품질의 열화의 원인이 된다. 또한, 기울어진 상태 등에서는, 압압시에 마스터담체 또는 슬레이브매체의 에지부 등이 슬레이브매체 또는 마스터담체에 국소적으로 강하게 접촉하여 슬레이브매체 또는 마스터담체에 상처가 생기는 경우이 있고, 이것도 전사불량이 발생하는 원인으로 되고 있다.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 마스터담체에 대하여 슬레이브매체를 전사불량이 발생하는 일없이 확실하게 공급하도록 한 자기전사장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시의 형태에 따른 자기전사장치의 전사상태를 나타낸 주요부분 사시도이다.

도 2는 홀더의 분해사시도이다.

도 3은 개방상태의 홀더에 대한 슬레이브매체의 공급상태를 나타낸 단면도이다.

도 4는 도3의 A-A선을 따르는 주요부분 단면정면도이다.

도 5는 도4의 B-B선을 따르는 주요부분 단면도이다.

(부호의 설명)

1:자기전사장치 2:슬레이브매체

2a:중심구멍 3,4:마스터담체

3a,4a:중심구멍 8:베이스챔버

8d:흡인홈 9:압압챔버

10:홀더 11:자계인가수단

13:슬레이브 유지축 14:누름수단

20:슬레이브 공급수단 21:암부

22:슬레이브 파지클로

본 발명에 의한 자기전사장치는, 전사정보에 대응한 전사패턴을 갖는 마스터담체를 홀더에 유지하고, 이 마스터담체에 대해서 전사를 받는 자기기록부를 갖는 슬레이브매체를 슬레이브 공급수단으로 공급하고, 양자를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가해서 자기전사를 행하는 자기전사장치에 있어서,

상기 홀더는, 중앙부에 슬레이브매체의 중심구멍을 위치결정 유지하는 슬레이브 유지축을 구비하고, 상기 슬레이브매체의 중심구멍의 내경은, 상기 마스터담체의 중심구멍의 내경보다 작게 설정되고,

상기 슬레이브 공급수단은, 상기 슬레이브매체의 내경부를 유지하는 것을 특징으로 하는 것이다.

즉, 마스터담체의 내경이 슬레이브매체의 내경보다 크게 되도록 설정되어 이루어진다. 상기 마스터담체와 슬레이브매체의 내경차는, 0.5mm∼1Omm가 바람직하다. 슬레이브매체의 그 밖의 핸들링시의 유지도 상기 내경차의 부위에서 행하는 것이 바람직하다.

또, 상기 홀더에 유지된 마스터담체로의 슬레이브매체의 압압전의 가밀착을 슬레이브매체에 있어서의 상기 마스터담체와의 내경차의 부위를 공기흡인 등에 의해 흡인해서 행하는 것이 바람직하다.

자기전사후에, 슬레이브매체를 마스터담체로부터 박리할 때, 상기 마스터담체를 홀더에 유지하는 누름수단을 구비해도 좋다.

이하, 본발명의 실시의 형태를 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명의 일실시형태에 따른 자기전사장치의 전사상태를 나타내는 주요부분 사시도, 도2는 홀더의 분해사시도이다. 도3은 슬레이브매체의 공급상태를 나타내는 단면도, 도4는 도3의 A-A선을 따르는 주요부분 단면정면도, 도5는 도4의 B-B선을 따르는 주요부분 단면도이다.

도1 및 도2에 나타내는 자기전사장치(1)는 슬레이브매체(2)(자기기록매체)의 양측기록면에 서보신호 등에 대응하는 전사패턴을 갖는 마스터담체(3,4)를 각각 밀착시켜 전사용 자계를 인가해서 자기전사를 행한다. 이 장치(1)는, 정보담지면을 연직방향을 향해서 2장의 마스터담체(3,4)를 내부공간에 유지해서 슬레이브매체(2)의 양면에 대치밀착시키는 홀더(10)와, 상기 홀더(10)에 기록면을 연직방향을 향해서 슬레이브매체(2)를 공급하는, 도3에 일부를 나타낸 슬레이브 공급수단(20)( 예를 들면 로보트 핸드)과, 홀더(10)를 회전시키면서 전사용 자계를 인가하는 자계인가수단(11)과, 홀더(10)의 내부공간의 공기를 진공흡인해서 내부를 감압상태로 해서 밀착력을 얻는 도시가 생략된 진공흡인수단을 구비해서 이루어진다.

홀더(10)는, 슬레이브매체(2)의 한 쪽의 기록면에 서보신호 등의 정보를 전사하는 제1마스터담체(3)를 유지하는 베이스챔버(8)와, 슬레이브매체(2)의 다른 쪽의 기록면에 서보신호 등의 정보를 전사하는 제2마스터담체(4)를 유지하는 압압챔버(9)를 구비하고, 베이스챔버(8)와 압압챔버(9)는 도시가 생략된 이동기구에 의해 접리이동가능하게 설치되어 있다.

도시한 슬레이브매체(2)는, 원반형상으로 소정지름의 중심구멍(2a)이 개구된 하드디스크이며, 유리판 등으로 이루어지는 원반형상의 베이스의 양면에 자성체층이 형성된 기록면을 갖는다. 이 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)의 내경은, 제1마스터담체(3)의 중심구멍(3a)의 내경보다 작게 설정되어 있다. 그리고, 상기 슬레이브매체(2)를, 슬레이브 공급수단(20)에 의해 기록면을 연직방향을 향해서 상기 중심구멍(2a)의 내경부(마스터담체(3)의 중심구멍(3a)과의 내경차 부위)를 유지하여압압챔버(9)와 홀더(10)의 이간한 상태의 베이스챔버(8)에 유지된 제1마스터담체(3)에 대하여 위치결정 공급한다. 또, 상기 슬레이브매체(2)는, 고밀도 플렉시블디스크이어도 좋다.

상기 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)과 마스터담체(3)의 중심구멍(3a)의 내경차는, 0.5mm∼10mm이다. 내경차가 0.5mm보다 작으면, 유지·파지되는 부위가 없어지고, 또한, 10mm보다 크면 마스터담체(3)의 에지에 의해 슬레이브매체(2)에 데미지가 가해지는 부분이 슬레이브매체(2)의 신호기록부에 가해지게 된다. 또, 홀더(10)에의 슬레이브매체(2)의 공급시 이외에 있어서도, 슬레이브매체(2)의 핸들링시의 유지를, 상기 내경차의 부위에서 행하는 것이 바람직하다.

상기 제1마스터담체(3) 및 제2마스터담체(4)는 디스크형상으로 형성되어, 중심부에 중심구멍(3a,4a)이 개구되어 있음과 아울러, 그 편면에 슬레이브매체(2)의 기록면에 밀착되는 미세 요철형상의 연자성층에 의한 전사패턴을 갖고, 이것과 반대측의 면이 베이스챔버(8) 및 압압챔버(9)에 유지된다.

베이스챔버(8)는 도3에 나타낸 바와 같이, 중심위치에 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)을 위치결정하는 슬레이브 유지축(13)을 구비함과 아울러, 이 슬레이브 유지축(13)의 외주부에 제1마스터담체(3)를 유지하는 내면(8b)(흡착내면)을 구비한다. 상기 마스터담체(3)는 그 전사패턴의 중심위치가 슬레이브 유지축(13)의 중심위치에 합치하도록 미리 조정해서 고정된다. 이 마스터담체(3)상에 공급하는 슬레이브매체(2)를 그 중심구멍(2a)과 슬레이브 유지축(13)의 끼워맞춤에 의해 위치결정함으로써, 마스터담체(3)와 슬레이브매체(2)의 위치결정이 행해진다.

바람직하게, 자기전사장치는 슬레이브매체의 위치를 검지하는 수단과 슬레이브매체의 위치를 조정하는 수단을 가지며, 이 슬레이브매체 위치검지수단과 슬레이브매체 위치조정수단에 의해, 슬레이브매체의 위치를 조정한 상태에서 슬레이브매체의 내경부를 흡인유지한다.

상기 베이스챔버(8)의 내면(8b)에는, 마스터담체(3)의 크기에 대응한 내면에 흡기구멍(8c)(도2)이 거의 균등하게 개구되고, 제1마스터담체(3)를 흡인유지하도록 되어 있다. 압압챔버(9)도 도시하지 않지만 내면에 마찬가지로 제2마스터담체(4)를 유지한다. 또, 압압챔버(9)의 내면에는 균등하게 힘을 인가하기 위한 쿠션재를 부착하고, 이 쿠션재의 표면에 제2마스터담체(4)를 유지하도록 해도 좋다.

또, 슬레이브 유지축(13)에 대한 마스터담체(3)의 위치결정은, 예를 들면, 측정 현미경 또는 CCD카메라 등의 위치관찰수단을 사용하여, 마스터담체(3)를 XY방향으로 미조정함으로써 행한다. 또, 마스터담체(3)를 직접 미동수단에 의해 매뉴얼로 또는 자동적으로 위치조정하면서 행하는 것이 가능하다. 그 일례로서는 본 출원인에 의한 특원2001-302231을 참조한다.

상기 베이스챔버(8) 및 압압챔버(9)는 한쪽 또는 양쪽이 축방향으로 이동가능하게 설치되고, 양 챔버(8,9)의 외주에는 플랜지부(8a,9a)를 갖고, 폐쇄작동시에는 도시가 생략된 시일기구에 의해 내부를 밀폐상태로 유지한다. 또, 베이스챔버(8) 및 압압챔버(9)는 도시하지 않은 회전기구에 연계되어서 자계인가 시에 일체적으로 회전구동된다.

또, 홀더(10)의 내부공간에 대하여, 진공흡인수단의 흡인구(도시생략)가 개구되어 진공펌프가 접속되고, 공기의 진공흡인에 의해 홀더(10)의 내부공간을 소정의 진공도로 제어한다. 이것에 의해, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3,4)가 소정의 밀착압력으로 되도록 설정된다. 또한, 홀더(10)의 내부공간의 진공흡인영역의 실효적 면적을, 마스터담체(3,4)와 슬레이브매체(2)의 접촉 면적보다 예를 들면 2∼3배 크게 형성함으로써 밀착력을 증대해서 진공도에 따른 소정의 밀착압력을 얻는다. 또, 상기 밀착압력은, 압압챔버(9)에 대하여 기계적인 압압력을 인가하는 압압기구를 설치해서 얻도록 해도 좋다.

자계인가수단(11)은 홀더(10)의 양측에 설치된 전자석장치(5,5)를 구비해서 이루어지며, 이 전자석장치(5)는 홀더(10)의 반경방향으로 연장하는 갭(51)을 갖는 코어(52)에 코일(53)이 감겨져 이루어진다. 갭(51)에 발생하는 자력선의 방향은, 홀더(10)에 유지된 슬레이브매체(2)의 트랙방향(면내기록의 경우)과 평행하다. 또, 자계인가수단(11)으로서는 전자석장치대신에 영구자석장치로 구성해도 좋다.

또, 자계인가수단(11)은, 홀더(10)의 개폐동작을 허용하도록, 양 측의 전자석장치(5,5)가 접리이동하거나, 전자석장치(5,5)사이에 홀더(10)가 삽입하도록 전자석장치(5,5) 또는 홀더(10)가 이동하도록 되어 있다.

도3에 나타낸 바와 같이, 개방상태에 있는 홀더(10)의 베이스챔버(8)에 대해서, 슬레이브매체(2)를 공급하는 슬레이브 공급수단(20)(로봇핸드)은 암부(21)의 선단에 슬레이브매체(2)를 파지해서 슬레이브 유지축(13)에 셋트하는 슬레이브 파지클로(claw)(22)를 구비한다. 이 슬레이브 파지클로(22)는, 도시가 생략된 구동기구에 의해 양측에 확축이동하고, 이 파지클로(22)를 슬레이브매체(2)의중심구멍(2a)에 삽입하여 벌려서 내경부를 파지하고, 오무려서 해방한다. 파지클로(22)에는 슬레이브매체(2)를 유지하는 홈부(22a)를 가지고 유지위치를 규제하고 있다.

상기 베이스챔버(8)의 슬레이브 유지축(13)은 상기와 같은 슬레이브매체(2)의 공급시에, 슬레이브 파지클로(22)와 간섭하지 않는 구조로 형성되어 있다. 즉, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 슬레이브 유지축(13)에, 파지클로(22)의 삽입.확축이동을 허용하는 홈부(13a)가 지름방향으로 형성되어 있다. 상기 홈부(13a)는 후술하는 슬레이브 흡인홈(8d)에 형성될 수도 있다. 이 홈부(13a)에 파지 클로(22)가 삽입되고, 반경방향으로 확축작동함으로써 양자의 간섭이 방지된다.

상술과 같은 슬레이브 공급수단(20)에 의해 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3)에 공급하는 경우, 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3)의 방향으로 흡인해서 가밀착시키고 있다. 구체적으로는, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 베이스챔버(8)의 내면(8b)에 있어서의 슬레이브 유지축(13)의 외주부에, 마스터담체(3)의 중심구멍(3a)의 내경보다 내주측의 홈부(13a)의 연장부를 제외한 부위에, 원호상의 흡인홈(8d)이 형성되고, 도시가 생략된 공기통로에 의해 진공펌프에 접속되어 있다. 이 흡인홈(8d)에 작용하는 공기흡인력에 의해, 마스터담체(3)의 중심구멍(3a)보다 내주부분의, 상기 슬레이브매체(2)의 중심구멍(2a)근방의 내경차부위를 마스터담체(3)측에 흡인하여 마스터담체(3)와 가밀착시킨다.

이것에 의해, 슬레이브매체(2)의 공급후이며 압압전에, 마스터담체(3)와 슬레이브매체(2)가 떨어지거나 또는 기울어 지면, 간극으로의 이물침입이 발생함과아울러, 슬레이브매체(2)가 슬레이브 유지축(13)을 스쳐서 마모하거나, 또 압압시의 에지접촉에 의한 상처가 발생하는 것을 방지하고 있다.

바람직하게 자기전사장치는 홀더의 내부공간을 감압하는 수단을 구비하여, 홀더내부공간의 압력이 슬레이브 내경차의 흡인압력보다 높게 하도록 한다.

또, 자기전사후에, 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3)로부터 박리할 때, 이 마스터담체(3)를 홀더(10)에 기계적으로 유지하는 누름수단(14)을 구비하고 있다. 이 누름수단(14)은, 예를 들면, 마스터담체(3)의 외경이 슬레이브매체(2)의 외경보다 크게 형성되어, 그 외주부를 베이스챔버(8)의 내면(8b)에 고정하는 누름부재(고정금구)로 구성된다. 그 외에, 박리시에만 마스터담체(3)를 누르도록 작동시켜도 좋다.

이것에 의해, 슬레이브매체(2)의 박리시에, 마스터담체(3)가 슬레이브매체(2)와 일체로 홀더(10)로부터 떨어지는 것을 방지한다.

상기 실시형태는 양면동시 자기전사이지만, 편면 자기전사를 행하도록 해도 좋고, 그 때, 홀더(10)의 베이스챔버(8)에는 슬레이브매체(2)의 일측기록면에 서보 신호 등의 정보를 전사하는 1장의 마스터담체(3)를 유지하고, 압압챔버(9)에는 슬레이브매체(2)의 타측 기록면에 접촉하는 탄성체(쿠션재)를 설치하는 것이 바람직하다. 슬레이브매체(2)는 상기와 마찬가지로 슬레이브 공급수단(20)에 의해 베이스챔버(8)의 슬레이브 유지축(13)에 대해서 공급한다.

자기전사를 행할 때는, 슬레이브매체(2)의 자화를, 미리 면내기록이면 면내 트랙방향으로, 또 수직기록이면 수직방향으로 초기직류자화해 둔다. 이 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3,4)와 밀착시켜, 초기 직류자화방향과 대략 반대방향의 트랙방향 또는 수직방향으로 전사용 자계를 인가해서 자기전사를 행한다.

슬레이브매체(2)는, 양면 또는 편면에 자기기록부(자성층)가 형성된 하드디스크 등의 원반형상 자기기록매체가 사용된다. 그 자기기록부는 도포형 자기기록층 또는 금속 박막형 자기기록층으로 구성된다.

마스터담체(3,4)는 원반형상 디스크로 형성되어 있다. 이 마스터담체(3,4)는 기판상에 형성된 미세 요철패턴에 연자성체가 피복된 전사패턴을 갖는다. 마스터담체(3,4)의 기판으로서는, 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 합금, 세라믹스, 합성수지 등을 사용한다. 요철패턴의 형성은, 스탬퍼법 등에 의해 행해진다. 연자성체의 형성은, 자성재료를 진공증착법, 스퍼터링법, 이온플레이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 성막한다. 면내기록과 수직기록에서 거의 같은 마스터담체가 사용된다.

전사용 자계 및 필요에 따라 초기자계를 인가하는 자계인가수단(11)은 면내 기록의 경우에는, 예를 들면, 전술한 바와 같은 링형 헤드 전자석장치(5)가 홀더(10)의 양측에 배치되어 이루어지며, 양측에서 같은 방향으로 트랙방향과 평행하게 발생시킨 전사용 자계를 인가한다. 홀더(10)를 회전시켜서, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3,4)의 전면에 전사용 자계를 인가한다. 자계를 회전이동시키도록 설치해도 좋다. 자계인가수단(11)은, 한 쪽에만 설치하도록 해도 좋고, 영구자석장치를 양쪽 또는 한쪽에 설치해도 좋다. 또한, 수직기록의 경우의 자계인가수단은, 극성이 다른 전자석 또는 영구자석을 홀더(10)의 양측에 배치하고, 수직방향으로전사용 자계를 발생시켜서 인가한다. 부분적으로 자계를 인가하는 것으로는 홀더(10)를 이동시키거나 자계를 이동시켜서 전면의 자기전사를 행한다.

상기와 같은 실시형태에 따르면, 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3)에 대하여 전사불량이 생기지 않도록 확실하게 공급할 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 홀더에 유지한 마스터담체에 대하여, 홀더의 슬레이브 유지축에 슬레이브매체를 슬레이브 공급수단에 의해 공급해서 슬레이브매체의 중심구멍을 위치결정 유지할 때, 슬레이브매체의 중심구멍의 내경을 마스터담체의 중심구멍의 내경보다 작게 설정하고, 이 슬레이브매체의 내경부를 슬레이브 공급수단에 의해 유지하도록 함으로써, 세로방향 공급의 경우에 있어서도 슬레이브매체의 내경부를 유지하여 슬레이브 유지축으로 공급함으로써, 이 슬레이브 유지축에 확실에 유지시킬 수 있고, 또한 반송도중 등에서의 슬레이브매체의 낙하, 간극으로의 먼지침입 등의 문제가 해소가능하다.

또, 홀더에 유지된 마스터담체로의 슬레이브매체의 압압전의 가밀착을 슬레이브매체에 있어서의 마스터담체와의 내경차의 부위를 공기흡인 등에 의해 흡인해서 행하면, 핸들링시의 진동에 의해 슬레이브매체가 탈락하는 일없이, 또, 마스터담체와 슬레이브매체 사이에 공간이 생기지 않고, 마스터담체 및 슬레이브매체의 밀착표면에 환경먼지가 부착되는 것을 방지할 수 있고, 그것에 의한 전사품질의 열화를 억제할 수 있다. 또한, 기울어진 상태로 되는 일없이, 평탄하게 가밀착함으로써 압압시에 마스터담체 또는 슬레이브매체의 에지부 등이 슬레이브매체 또는 마스터담체에 국소적으로 강하게 접촉하지 않아 슬레이브매체 또는 마스터담체에 상처가 발생하게 되는 일없이 양호한 전사품질을 얻을 수 있는 것이다.

또, 슬레이브매체를 유지하기 위해서, 상기 마스터담체의 외경을 슬레이브매체보다 작게 하고, 슬레이브매체의 외주부에 유지부위를 확보하는 것이 고려되지만, 이 외주부의 유지에서는 슬레이브매체에 상처를 입히기 쉽고, 그 유지력으로 슬레이브매체가 변형해서 평탄도가 저하함으로써 밀착불량의 원인이 될 우려가 있다. 즉, 기록용량의 증대를 위해, 슬레이브매체는 외주부의 근방까지 신호기록부로 되는 경향이 있으며, 슬레이브매체의 외주부는 신호기록부에 가까워서 상기와 같은 문제가 생기지만, 본 발명에서는, 내주측의 내경차를 이용해서 슬레이브매체를 유지하도록 했기 때문에, 신호기록부로부터 떨어진 유지에 의해 이러한 문제를 발생시키는 일없이 확실한 슬레이브매체의 유지공급을 행할 수 있다.

Claims (9)

1. 전사정보에 대응한 전사패턴을 갖는 마스터담체를 홀더에 유지하고, 이 마스터담체에 대해서 전사를 받는 자기기록부를 갖는 슬레이브매체를 슬레이브 공급수단으로 공급하고, 양자를 밀착시켜서 전사용 자계를 인가해서 자기전사를 행하는 자기전사장치에 있어서,

   상기 슬레이브매체의 중심구멍의 내경은 상기 마스터담체의 중심구멍의 내경보다 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 홀더는 중앙부에 슬레이브매체의 중심구멍을 위치결정 유지하는 슬레이브 유지축을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
3. 제1항에 있어서, 슬레이브매체의 위치를 검지하는 수단과 슬레이브매체의 위치를 조정하는 수단을 더 포함하고, 슬레이브매체 위치검지수단과 슬레이브매체 위치조정수단에 의해, 슬레이브매체의 위치를 조정한 상태에서 슬레이브매체의 내경부를 흡인유지하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 슬레이브 공급수단은 상기 슬레이브매체의 내경부를 유지하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
5. 제1항에 있어서, 마스터담체와 슬레이브매체의 내경차가 0.5mm∼10mm인 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 홀더에 유지된 마스터담체로의 슬레이브매체의 압압전의 가밀착을 슬레이브매체에 있어서의 상기 마스터담체와의 내경차의 부위를 공기흡인에 의해 흡인해서 행하는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
7. 제1항에 있어서, 자기전사후에, 슬레이브매체를 마스터담체로부터 박리할 때, 상기 마스터담체를 홀더에 유지하는 누름수단을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
8. 제1항에 있어서, 홀더의 내부공간을 감압하는 수단을 더 구비하고, 홀더내부공간의 압력이 슬레이브 내경차의 흡인압력보다 높은 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
9. 제4항에 있어서, 슬레이브 유지축 또는 슬레이브 흡인홈에 파지클로의 삽입·확축이동을 허용하는 홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.