KR20030031415A - 자기전사장치 - Google Patents

Abstract

홀더내의 내부공간의 진공흡인에 의해, 수납한 슬레이브매체와 마스터담체의 전체면에서 균일한 밀착력을 얻어 양호한 자기전사를 행할 수 있도록 한다.

전사정보를 담지한 마스터담체(3)와, 전사를 받는 슬레이브매체(2)를 대치밀착시키도록 홀더(10)의 내부공간(6)에 수납하고, 이 내부공간(6)을 진공흡인수단에 의해 진공흡인해서 밀찰력을 얻는다. 그 때, 홀더(10)는 접촉이간 이동하는 상측 홀어(11)와 하측 홀더(12)로 이루어지며, 상측 홀더(11) 및 하측 홀더(12) 중 적어도 한 쪽에서의 슬레이브매체(2) 또는 마스터담체(3)의 배면에 위치하는 평판부(11a)가 가요성을 가지며, 진공흡인시에 작용하는 압력에 의해 변형해서 밀착력을 균등하게 인가한다.

Description

자기전사장치{MAGNETIC TRANSFER APPARATUS}

본 발명은 정보가 담지된 마스터담체로부터 슬레이브매체로 자기전사하는 자기전사장치에 관한 것이다.

자기전사는 슬레이브매체와 마스터담체를 밀착시킨 상태에서, 전사용 자계를 인가해서 마스터담체에 담지한 정보(예를 들면 서보신호)에 대응하는 자화패턴의 전사를 행하는 것이다. 이 자기전사방법으로서는 예를 들면 일본 특허공개 소화63-183623호 공보, 특허공개 평성10-40544호 공보, 특허공개 평성10-269566호 공보 등에 개시되어 있다.

또, 슬레이브매체가 하드디스크 또는 고밀도플렉시블디스크와 같은 원반형상 매체의 경우에는 이 슬레이브매체의 한쪽면 또는 양면에 원반형상의 마스터담체를 밀착시킨 상태에서, 그 한쪽 또는 양쪽에 전자석장치, 영구자석장치에 의한 자계인가장치를 설치해서 전사용 자계를 인가한다.

이 자기전사에 있어서의 전사품질을 높이기 위해서는 슬레이브매체와 마스터담체를 아무런 간극없이 밀착시키는 것이 중요한 과제이다. 즉 밀착불량이 있으면, 자기전사가 일어나지 않는 영역이 생기며, 자기전사가 일어나지 않으면 슬레이브매체에 전사된 자기정보에 신호탈락이 발생해서 신호품위가 저하되며, 기록한 신호가 서보신호의 경우에는 트래킹기능이 충분히 얻어지지 않고 신뢰성이 저하한다라는 문제가 있다.

그런데, 종래의 자기전사장치에 있어서는, 슬레이브매체와 마스터담체의 밀착성을 높이기 위해서, 압압수단에 의해 압압력을 기계적으로 인가해서 마스터담체에 대해서 슬레이브매체를 밀착시키도록 하고 있다. 또, 탄성체를 통해 압압밀착시키도록 한 것도 알려져 있다(특허공개 평성7-78337참조). 이러한 기계식 밀착력의 인가방식은 큰 압력이 얻어지는 점에서는 적합하지만, 슬레이브매체와 마스터담체의 밀착면에 균일한 분포로 압력을 가하는 것이 곤란하다.

또, 슬레이브매체와 마스터담체의 밀착면에 에어가 잔류해서 밀착을 방해하는 일이 없도록, 이 밀착면에 에어를 흡인배출하도록 한 것도 알려져 있다(특허공개 2000-67433참조). 이것은 단순히 밀착면에 에어를 흡인하는 것으로, 밀착력을 균일하게 가하는 것에 관해서는 해결되지 않는다.

상기와 같은 점에서, 슬레이브매체와 마스터담체를 수납한 홀더내를 진공흡인하고, 외부로부터 균등하게 작용하는 대기압에 의해, 슬레이브매체와 마스터담체의 밀착력을 얻는 진공흡인방식이 홀더전체면에 압력이 인가되므로, 기본적으로 균일한 밀착상태를 얻기 쉬운 것이다.

그러나, 진공흡인방식을 채용해도 홀더로부터 슬레이브매체 또는 마스터담체에 균등하게 하중이 작용하지 않으면, 전체면에서 균일한 밀착상태를 얻는 것은 곤란하다. 이것은 마스터담체 및 슬레이브매체자체의 평탄성이 균일밀착에 영향을 주는 것에 아울러, 슬레이브매체 및 마스터담체를 수납한 상하의 홀더의 평행도 등이 고정밀도인 것이 요구되며, 강체에 의한 상측 홀더 및 하측홀더에 의해, 평행하고 균일하게 밀착압력을 가할 수 있는 가공정밀도 등을 확보하는 것은 품질관리상 곤란함과 아울러, 비용면에서 불리하게 된다. 이러한 정밀도가 얻어지지 않으면, 밀착이 불균등하게 되며, 국소적인 신호탈락이 발생할 우려가 있었다.

본 발명은 상기 점을 감안하여 이루어진 것으로, 자기전사에 있어서의 슬레이브매체와 마스터담체를 전체면에서 균일하게 밀착시켜 전사신호품위를 향상하도록 한 자기전사장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 자기전사장치의 전사상태를 나타낸 주요부분 사시도이다.

도 2는 도 1의 홀더의 밀착전후의 단면도이다.

도 3은 다른 실시형태에 따른 홀더의 밀착전후의 단면도이다.

도 4는 또 다른 실시형태에 따른 홀더의 밀착전후의 단면도이다.

도 5는 다른 실시형태에 따른 홀더의 밀착전후의 단면도이다.

(부호의 설명)

1:자기전사장치 2:슬레이브매체

3:마스터담체 6:내부공간

7:진공흡인수단 8:자계인가장치

10,20,30,40:홀더 11,21,31,41:상측 홀더

12,22,32,42:하측 홀더

11a,21a,31a,32a,41a,42a:가요성을 갖는 평판부

본 발명에 따른 자기전사장치는, 전사정보를 담지한 마스터담체와 전사를 받는 슬레이브매체를 대치밀착시키도록 내부공간에 수납한 홀더와, 상기 홀더의 내부공간을 진공흡인해서 상기 슬레이브매체와 마스터담체의 밀착력을 얻는 진공흡인수단과, 전사용 자계를 인가하는 자계인가장치를 구비하고,

상기 홀더는 접촉이간 이동하는 상측 홀더와 하측 홀더로 이루어지며, 상기 상측 홀더 및 하측 홀더의 적어도 한쪽에서의 평판부가 가요성을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

상기 홀더에는 슬레이브매체의 하측 또는 상측의 한쪽면에 마스터담체를 밀착시켜 수납하는 경우와, 슬레이브매체의 양면에 각각 마스터담체를 밀착시켜서 수납하는 경우가 있으며, 이러한 마스터담체 또는 슬레이브매체와 접촉시켜 밀착력을 가하는 상측 홀더 및 하측 홀더의 적어도 한쪽에 있어서의 평판부가 탄성재료 또는 연성재료에 의해 구성되어 가요성을 가지며, 진공흡인시에 작용하는 압력에 의해 변형해서 슬레이브매체와 마스터담체에 밀착력을 균등하게 인가한다.

또, 마스터담체(또는 슬레이브매체)의 배면을 유지하는 하측 홀더에 있어서의 평판부의 강성을 슬레이브매체(또는 마스터담체)의 배면에 접촉하는 상측 홀더에 있어서의 평탄부의 강성보다 높게 설치해도 좋다. 예를 들면, 하측 홀더는 강체로 형성하고, 상측 홀더는 가요성을 갖는 탄성재료 또는 연성재료로 형성하며, 진공흡인에 의해 상측 홀더를 휘어지게 해서 슬레이브매체를 균등하게 마스터담체에 밀착시킨다. 이것은 마스터담체 및 슬레이브매체가 밀착동작에 의해 만곡변형하기 쉬운 경우의 변형을 방지할 때에 유효하다.

또, 상기 상측 홀더의 평판부 및 하측 홀더의 평판부는 두께를 얇게 하면, 전사용 자계를 인가하는 자계인가장치의 헤드부에 접근시키는 것이 가능하게 되며, 자계강도가 높고, 최적의 자계분포로 자기전사를 행할 수 있다. 특히 상기 평판부를 가요성으로 하면 두께를 얇게 형성할 수 있다.

상기 평판부는 진공흡인했을 때 슬레이브매체와 마스터담체가 균등하게 소정의 밀착력으로 밀착하도록 양 홀더의 각 평판부의 재질(영율), 두께 등을 최적화해서 최적의 강성을 가지게 한다.

이하, 도면에 나타낸 실시형태에 기초하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 도 1은 일실시형태에 따른 자기전사장치의 전사상태를 나타낸 주요부분 사시도이다. 도 2는 홀더의 단면도이다. 또, 각 도는 모식도이며 각 부의 치수는 실제와는 다른 비율로 나타내고 있다.

도 1에 나타낸 자기전사장치(1)는 상측 홀더(11)와 하측 홀더(12)를 구비하고, 도 2와 같이 내부에 형성되는 내부공간(6)에 슬레이브매체(2), 마스터담체(3)를 배치해서 중심위치를 맞춘 상태에서 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)를 대치밀착시키는 홀더(10)와, 홀더(10)내의 내부공간(6)의 에어를 진공흡인하여 내부를 감압상태로 해서 밀착력을 얻는 도시하지 않은 진공흡인수단과, 홀더(10)를 회전시키면서 전사용 자계를 인가하는 자계인가장치(5)를 구비한다.

또, 도 2의 경우에는 슬레이브매체(2)의 한쪽면에 마스터담체(3)가 대치밀착되는 편면 순차전사의 형태를 나타내고 있지만, 슬레이브매체(2)의 상하에 각각 마스터담체를 배치해서 양면에 대치밀착시켜서, 양면 동시전사를 행하도록 해도 좋다. 여기에서, 대치밀착이란, 접촉밀착이나, 매우 미세한 간격을 두고 대치하는 이 양쪽 중 어느 하나를 나타내는 것으로 한다.

홀더(10)의 하측 홀더(12)는 원반형상이며, 마스터담체(3)의 외경보다 큰 원형의 상면을 가지며, 마스터담체(3)의 배면(하면)에 접촉하는 평판부(12a)를 구비한다. 또, 평판부(12a)에 마스터담체(3)를 흡착에 의해 유지하도록 해도 좋다. 상측 홀더(11)는 원반형상이며, 슬레이브매체(2)의 외경보다 큰 하면을 가지고, 슬레이브매체(2)의 배면(상면)과 접촉하는 평판부(11a)와, 외주의 플랜지부(11b)를 구비한다.

그리고, 상기 상측 홀더(11)의 평판부(11a)는 탄성재료 또는 연성재료에 의해 구성되어 가요성을 가지며, 진공흡인시(도 2의 (b)참조)에 작용하는 압력에 의해 변형해서 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)의 밀착력을 균등하게 인가한다. 상측 홀더(11)의 플랜지부(11b) 및 하측 홀더(12)의 평판부(12a)는 강성이 높은 재료로 구성되어 있다.

상기 평판부(11a)의 가요성 재료로서는 통기성이 없고, 금속, 합성수지, 고무 등의 탄성재료 또는 비닐시트 등의 연성재료에 의해 구성된다. 이 평판부(11a)는 진공흡인했을 때에, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)가 균등하게 소정의 밀착력으로 밀착하도록 그 재질(영율), 두께 등을 최적화해서 최적의 강성을 가지게 한다.

또, 상측 홀더(11)의 평판부(11a) 및 하측 홀더(12)의 평판부(12a)는 두께를 얇게 하면, 전사용 자계를 인가하는 자계인가장치의 헤드부에 접근시키는 것이 가능하게 되며, 자계강도가 높고, 최적의 자계분포로 자기전사를 행할 수 있다.

상측 홀더(11)가 상하방향으로 하측 홀더(12)에 대해서 접촉이간 이동가능하며, 상측 홀더(11)의 플랜지부(11b)의 끝면이 하측 홀더(12)의 평판부(12a)의 외주부에 도시하지 않은 시일재를 통해 압접하고, 상측 홀더(11)와 하측 홀더(12)사이에 형성된 내부공간(6)이 밀폐되며, 진공흡인에 의해 마스터담체(3)상에 셋트된 슬레이브매체(2)를 압압해서 대치밀착시키도록 되어 있다. 이 하측 홀더(12) 및 상측 홀더(11)는 도시하지 않은 회전기구에 연계되어 일체적으로 회전구동된다.

또, 도시하지 않은 진공흡인수단은 예를 들면 하측 홀더(12)의 평판부(12a)에 있어서의 마스터담체(3)보다 외주부의 상면에 흡인구가 개구되며, 이 흡인구에 연통하는 에어통로가 외부에 도출되어 진공펌프에 접속되어 이루어진다. 이 진공흡인수단에 의한 에어의 진공흡인에 의해, 상측 홀더(11)와 하측 홀더(12)로 형성되는 내부공간(6)을 소정의 진공도로 제어한다. 이것에 의해, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)가 소정의 밀착압력이 되도록 설정된다.

자기전사를 행할 때에는 슬레이브매체(2)의 자화를 미리 면내기록인 면내트랙방향으로, 또 수직기록 및 수직방향으로 초기직류자화해 둔다. 이 슬레이브매체(2)를 마스터담체(3)와 밀착시켜서, 초기직류자화방향과 대략 역방향의 트랙방향 또는 수직방향으로 전사용 자계를 인가해서 자기전사를 행한다. 슬레이브매체(2)는 양면 또는 한쪽면에 자기기록부(자성층)가 형성된 하드디스크, 고밀도 플렉시블디스크 등의 원반형상 자기기록매체가 사용된다.

마스터담체(3)는 원반형상 디스크로 형성되어 있다. 이 마스터담체(3)는 기판상에 형성된 미세요철패턴에 연자성체가 피복되어 이루어지며, 이 면이 슬레이브매체(2)에 밀착되는 전사패턴이 형성된 전사정보담지면이 된다. 이것과 반대측의 면이 하측 홀더(12)에 유지된다.

마스터담체(3)의 기판으로서는 니켈, 실리콘, 석영판, 유리, 알루미늄, 합금, 세라믹, 합성수지 등을 사용한다. 요철패턴의 형성은 스탬퍼법 등에 의해 행해진다. 연자성체의 형성은 자성재료를 진공증착법, 스퍼터링법, 이온플레이팅법 등의 진공성막수단, 도금법 등에 의해 성막한다. 면내기록과 수직기록으로 거의 동일한 마스터담체가 사용된다.

전사용 자계 및 초기자계를 인가하는 자계인가장치(5)는 면내기록의 경우에는 예를 들면, 슬레이브매체(2)의 반경방향으로 연장하는 갭을 갖는 코어에 코일이 감겨진 링형 헤드전자석이 상하 양측에 설치되어 이루어지며, 상하에서 같은 방향으로 트랙방향과 평행하게 발생시킨 전사용 자계를 인가한다. 홀더(10)를 회전시켜서, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)의 전체면에 전사용 자계를 인가한다. 자계인가장치(5)를 회전이동시키도록 설치해도 좋다. 자계인가장치(5)는 한쪽에만 설치하도록 해도 좋고, 영구자석장치를 양측 또는 일측에 설치해도 좋다.

또, 수직기록의 경우의 자계인가장치는 극성이 다른 전자석 또는 영구자석을홀더(10)의 상하에 배치하고, 수직방향으로 전사용 자계를 발생시켜서 인가한다. 부분적으로 자계를 인가하는 것으로는 홀더(10)를 이동시키거나 자계를 이동시켜서 전체면의 자기전사를 행한다.

상기 자기전사장치(1)에서는 같은 마스터담체(3)에 의해 복수의 슬레이브매체(2)에 대한 자기전사를 행하는 것으로, 도 2의 (a)에 나타내듯이, 먼저 상측 홀더(11)와 하측 홀더(12)를 이간한 개방상태에서, 미리 하측 홀더(12)에 위치를 맞춰 유지시킨 마스터담체(3)상에, 면내방향 또는 수직방향의 한쪽에 초기자화한 슬레이브매체(2)를 중심위치를 맞춰 셋트한 후, 상측 홀더(11)를 하측 홀더(12)에 접근이동시킨다.

그리고, 도 2의 (b)에 나타내듯이, 상측 홀더(11)의 플랜지부(11b)가 하측 홀더(12)에 압접해서, 슬레이브매체(2) 및 마스터담체(3)를 수용한 양 홀더(11,12)의 내부공간(6)을 밀폐한다. 진공흡인수단에 의해 내부공간(6)의 에어배출을 행해서 감압하고, 내부를 소정의 진공도로 한다. 이것에 의해, 상측 홀더(11)의 평판부(11a)는 진공도에 따라 작용하는 외력(대기압)에 의한 압력으로 변형하고, 하측 홀더(12)를 향해 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)에 밀착력을 가하고, 소정의 밀착압력으로 균등하게 밀착시킨다.

그 후, 홀더(10)의 상하면에 상하의 자계인가장치(5)를 접근시키고, 홀더(10)를 회전시키면서 자계인가장치(5)에 의해 초기자화와 거의 반대방향으로 전사용 자계를 인가하고, 마스터담체(3)의 전사패턴에 따른 자화패턴을 슬레이브매체(2)의 자기기록부에 전사기록한다.

상기 자기전사시에 인가된 전사용 자계는 마스터담체(3)의 전사패턴에 있어서의 슬레이브매체(2)와 밀착한 연자성체에 의한 볼록부패턴에 흡입되고, 면내기록의 경우에는 이 부분의 초기자화는 반전하지 않고 기타 부분의 초기자화가 반전하고, 수직기록의 경우에는 이 부분의 초기자화가 반전하여 기타 부분의 초기자화는 반전하지 않는 결과, 슬레이브매체(2)에는 마스터담체(3)의 전사패턴에 따른 자화패턴이 전사기록된다.

상기 실시형태에서는 상측 홀더(11)의 평판부(11a)가 가요성을 갖는 것에 의해, 내부공간(6)의 진공흡인시에 이 평판부(11a)가 균등하게 슬레이브매체(2)의 배면에 접촉해서, 전체면에 걸쳐 균일한 하중을 가함으로써, 자기전사시의 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)를 최적의 압력에 의한 균일한 밀착을 행해서 밀착성을 높일 수 있고, 밀착불량에 따른 전사불량을 방지해서 양호한 자기전사를 행할 수 있다.

특히, 마스터담체(3)의 배면을 유지하는 하측 홀더(12)에 있어서의 평판부(12a)의 강성을 슬레이브매체(2)의 배면에 접촉하는 상측 홀더(11)의 평판부(11a)의 강성보다 높게 설치함으로써, 이 강성에 의한 하측 홀더(12)의 평판부(12a)에 마스터담체(3)가 평탄하게 유지되며, 슬레이브매체(2)와 마스터담체(3)의 만곡에 의한 전사위치어긋남을 방지할 수 있고, 마스터담체(3)의 웨이브에 의한 신호기입위치정밀도의 열화가 방지된다.

다음에, 도 3은 다른 실시형태의 홀더의 단면도이다. 이 홀더(20)는 상측 홀더(21)의 평판부(21a) 및 플랜지부(21a)의 전체가 탄성재료 또는 연성재료에 의해가요성을 갖도록 형성되어 이루어지는 것으로, 하측 홀더(22)의 평판부(22a)는 도 2의 하측 홀더(12)와 마찬가지로 강체로 구성되어 있다.

이 실시형태에 의한 작용은 기본적으로 상기 실시형태와 동일하며, 상측 홀더(21)의 플랜지부(21b)도 가요성을 갖기 때문에, 상측 홀더(21)의 변형량을 크게 하는 것이 가능하게 되며, 플랜지부(21b)의 높이와 슬레이브매체(2) 및 마스터담체(3)와의 높이의 차가 큰 경우에 유효하다.

다음에, 도 4는 또 다른 실시형태의 홀더의 단면도이다. 이 홀더(30)에 있어서의 상측 홀더(31)는 도 2의 상측 홀더(11)와 마찬가지로 평판부(31a)가 탄성재료 또는 연성재료에 의해 가요성을 갖도록 형성되며, 플랜지부(31b)는 강체로 형성되는 한편, 하측 홀더(32)의 평판부(32a)가 탄성재료 또는 연성재료에 의해 가요성을 갖도록 형성되어 이루어지는 것이다.

이 실시형태에 의한 작용은 기본적으로 상기 실시형태와 동일하며, 마스터담체(3) 및 슬레이브매체(2)의 평탄도가 어느 정도 확보되어 있을 때 유효하며, 하측 홀더(32)의 평판부(32a)의 두께도 얇게 해서 자기전사시에 강자계를 인가하는 것이 가능하게 된다. 자석을 상하에 배치할 필요가 있는 수직자기기록의 경우, 특히 유효하다.

다음에, 도 5의 다른 실시형태의 홀더의 단면도이다. 이 홀더(40)에 있어서의 상측 홀더(41)는 도 3의 상측 홀더(21)와 마찬가지로, 평판부(41a) 및 플랜지부(41b)가 탄성재료 또는 연성재료에 의해 가요성을 갖도록 형성되는 한편, 하측 홀더(42)의 평판부(42a)가 도 4의 하측 홀더(32)와 마찬가지로, 탄성재료 또는 연성재료에 의해 가요성을 갖도록 형성되어 이루어지는 것이다.

이 실시형태에 의한 작용은 기본적으로 상기 실시형태와 동일하며, 마스터담체(3) 및 슬레이브매체(2)의 평탄도가 어느 정도 확보되어 있을 때 유효하며, 하측 홀더(12)의 평판부(12a)의 두께도 얇게 해서 자기전사시에 강자계를 인가하는 것이 가능하게 된다.

또, 도시하지 않지만, 각 실시형태에 있어서의 상측 홀더의 평판부에는 슬레이브매체(또는 마스터담체)와 접촉할 때, 양자사이에 에어가 잔류해서 균일밀착이 저해되는 것을 방지하기 때문에, 그 접촉면에 에어배출용 홈을 형성하도록 해도 좋다. 이 에어배출용 홈은 슬레이브매체 또는 마스터담체의 배면에 형성하도록 해도 좋다.

또, 양면동시전사의 경우에는 슬레이브매체의 양면에 마스터담체가 밀착되며, 상측 홀더 및 하측 홀더의 평판부가 마스터담체의 배면에 접촉해서 압압하게 되지만, 이 때에도, 상측 홀더 및 하측 홀더의 평판부의 적어도 한쪽이 가요성을 갖도록 설치해서 이루어진다.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 홀더의 상측 홀더 및 하측 홀더의 적어도 한쪽에 있어서의 평판부가 가요성을 가지며, 홀더에 수납한 슬레이브매체와 마스터담체의 말착력을 홀더의 내부공간을 진공흡인해서 얻도록 한 것에 의해, 진공흡인시에 작용하는 압력에 의해 가요성의 평판부가 변형해서 전체적으로 균등한 압력의 인가가 가능하게 되며, 원하는 밀착력으로 균일하게 슬레이브매체와 마스터담체의밀착을 행할 수 있으며, 신호품위가 높은 양호한 자기전사를 실시할 수 있다. 또, 홀더의 두께를 얇게 하는 것이 가능하며, 슬레이브매체에 대해서 전사에 필요한 강자계를 가하는 것이 용이하게 된다.

홀더의 한쪽의 평판부를 강체로 하면, 마스터담체와 슬레이브매체의 만곡에 의한 전사위치어긋남을 방지할 수 있고, 마스터담체의 웨이브에 의한 신호기입위치정밀도의 열화를 억제할 수 있다.

Claims (4)

1. 전사정보를 담지한 마스터담체와 그 정보를 전사받는 슬레이브매체를 양자의 한쪽 면이 대향하도록 해서 수용하는 홀더, 그 홀더내부를 진공으로 해서, 그 때 그 홀더에 작용하는 압력에 의해 상기 마스터담체와 슬레이브매체를 서로 압압하는 진공흡인수단, 및 그 마스터담체-슬레이브매체 어셈블리에 전사용 자계를 인가하는 자계인가장치로 이루어지는 자기전사장치에 있어서,

   상기 홀더가 상기 슬레이브매체 또는 마스터담체의 다른쪽 면에 접촉하는 평판부를 각각 구비한 상측 홀더부와 하측 홀더부를 구비하고 있으며,

   그 평판부의 적어도 한쪽이 가요성을 갖는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 홀더내부에 한 쌍의 마스터담체와 슬레이브매체가, 한쪽의 마스터담체의 한쪽 면이 슬레이브매체의 한쪽 면에 대향하고, 다른쪽 마스터담체의 한쪽 면이 슬레이브매체의 다른쪽 면에 대향하도록 해서 수용되는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 상측 홀더부와 하측 홀더부의 한쪽의 상기 평판부가 다른쪽 홀더부의 상기 평판부보다 강성이 높은 것을 특징으로 하는 자기전사장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 상측 홀더부와 하측 홀더부의 상기 평판부가 상기 홀더내부가 진공으로 되었을 때, 상기 슬레이브매체와 상기 마스터담체가 균등한 소정의 압력으로 서로 압압되도록 그 영율, 두께 등이 조절되어 있는 것을 특징으로 하는 자기전사장치.