KR20030006844A - 지지 테이프를 이용한 초박형 반도체 패키지 소자 - Google Patents

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KR20030006844A
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Abstract

본 발명에 따른 반도체 패키지 소자는 다이 패드 대신에 필름형 접착 지지 테이프를 사용하며, 반도체 칩과, 이 칩의 전극 패드와 전기적으로 연결되고, 활성면과 높이가 동일한 상부면을 갖는 내부 리드를 포함하는 리드 프레임과, 칩의 전극 패드와 내부 리드를 전기적으로 연결하는 복수의 본딩 와이어와, 반도체 칩, 지지 테이프, 본딩 와이어를 보호하는 성형 몸체를 포함한다. 내열성 지지 테이프는 내부 리드의 상부면과 반도체 칩의 활성면에 부착되어 내부 리드와 반도체 칩을 지지하는데, 지지 테이프는 본딩 와이어가 접속되는 칩의 전극 패드와 내부 리드의 본딩부를 개방하는 전극 패드 개방 영역과 본딩부 개방 영역을 포함하며, 성형 몸체는 칩의 밑면과 일치하며, 칩의 밑면은 성형 몸체로부터 노출되어 있고, 지지 테이프의 전극 패드 개방 영역은 각각의 전극 패드에 대해 개별적으로 형성될 수도 있고, 복수의 전극 패드 열 전체에 대해 일체형으로 형성될 수도 있다. 지지 테이프는 반도체 칩의 활성면을 부분적으로 노출시켜 상기 노출된 부분이 성형 몸체와 직접 접촉되도록 하는 활성면 개방 영역을 포함할 수도 있다. 내부 리드는 칩의 모든 옆면 둘레에 배치되어 있고, 지지 테이프는 칩의 전극 패드와 제1 복수의 본딩 와이어와 전기적으로 연결되는 제1 본딩부와 내부 리드와 제2 복수의 본딩되는 제2 본딩부 및 제1 본딩부와 제2 본딩부를 전기적으로 연결하는 배선 패턴을 포함한다.

Description

지지 테이프를 이용한 초박형 반도체 패키지 소자{Ultra-Thin Semiconductor Package Device Using a Support Tape}
본 발명은 반도체 패키지 기술에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 필름형 접착성 지지 테이프를 이용한 두께 0.5㎜의 초박형 반도체 패키지에 관한 것이다.
디지털 카메라나 엠피3 플레이어(MP3 player), HPC (Handheld Personal Computer), PDA (Personal Digital Assistants), 휴대폰 등과 같은 다양한 휴대용 전자 기기의 보급이 확대되면서 반도체 패키지 소자의 소형화 및 박형화 요구가 점점 더 높아지고 있다.
도 1은 종래 리드 프레임을 사용한 반도체 패키지 소자(10)의 구조를 나타내는 단면도이다. 패키지 소자(10)는 반도체 칩(1)과 리드 프레임(2)을 포함한다. 리드 프레임(2)은 반도체 칩(1)이 접착제(5)에 의해 부착되는 다이 패드(3)와 복수의 리드(4)를 포함한다. 리드(4)는 반도체 칩(1)과 본딩 와이어(6)에 의해 연결되며, 성형 몸체(7)에 의해 보호되는 내부 리드(4a)와 성형 몸체(7)로부터 노출되어 패키지(10)를 외부 소자에 실장하기에 적합한 형태를 한 외부 리드(4b)를 포함한다.
이러한 구조의 종래 패키지(10)에서 패키지 전체 두께는 반도체 칩(1)의 두께, 다이 패드(3)의 두께, 접착제(5)의 두께, 본딩 와이어(6)의 루프(loop) 또는 높이에 의해 결정된다. 8인치 웨이퍼로부터 제조된 반도체 칩(1)의 두께가 보통 300㎛이고, 접착제는 50㎛, 와이어 루프는 80~100㎛, 다이 패드는 100~150㎛인데, 반도체 칩(1) 상하의 성형 몸체(7)의 두께와 외부 리드(4b)의 여유분(stand-off)까지 고려하면 0.5㎜ 이하의 초박형 패키지를 구현하는 것은 불가능하다.
도 2는 종래 LOC (Lead-On-Chip) 구조로 된 반도체 패키지 소자의 단면도이다. 도 2에 나타낸 패키지(20)는 반도체 칩(11)의 활성면 중앙 영역에 전극 패드가 형성되어 있고, 활성면 주변 영역에 리드(14)의 내부 리드(14a)가 직접 부착되는 구조이다. 리드(14)가 칩 위로 올라오는 구조이기 때문에, LOC라 한다. 내부 리드(14a)는 접착제(13)에 의해 칩 표면에 부착되며, 내부 리드(14a)와 칩 전극 패드는 본딩 와이어(16)에 의해 전기적으로 연결된다. 반도체 칩(11), 내부 리드(14a), 본딩 와이어(16)는 성형 몸체(17)에 의해 보호된다.
도 2의 패키지(20)는 도 1의 패키지(10)와 달리 다이 패드의 역할을 내부 리드가 수행하지만, 내부 리드 위의 와이어 루프를 고려해야 하기 때문에, 패키지 전체 두께를 줄이는 데에는 거의 효과가 없다.
이러한 종래 구조의 반도체 패키지를 박형화하기 위해서는 반도체 칩의 두께를 줄이고 리드 프레임을 얇게 하는 방법이 있다. 반도체 칩은 웨이퍼를 예컨대, 후면 연마(wafer back-lapping)하여 그 두께를 100~150 ㎛ 범위까지 줄일 수 있다. 그러나, 반도체 집적회로 칩의 두께를 줄이는 것은 웨이퍼 취급을 어렵게 만들고,웨이퍼 파손이나 칩 파손 가능성이 커진다는 단점이 있다. 웨이퍼, 즉 반도체 칩을 형성하는 주요 재질이 경도가 취약한 실리콘인 점을 감안하면 이러한 단점은 당연한 것이다. 특히, 반도체 제품의 수율을 높이기 위해 웨이퍼의 직경이 12인치로 증가하는 기술적 추세를 고려할 때 칩의 두께를 줄이는 데에는 한계가 있다.
한편, 리드 프레임의 두께를 지나치게 얇게 하면, 조립 공정 도중에 리드 프레임이 쉽게 파손되어 조립 공정의 생산성이 떨어질 수 있다. 현재, 리드 프레임의 두께는 리드 프레임의 취급 가능성, 외부 리드의 절곡성(formability) 등을 고려할 때, 100㎛가 그 한계인 것으로 알려져 있다.
또한, 패키지 소자의 두께를 줄이기 위해 새로운 조립 기술 예컨대, CSP(chip scale package) 기술을 사용할 수도 있지만, 이것은 이미 사용하고 있는 플라스틱 패키지 조립 장비들을 교체해야 하는 등의 비용 증가를 수반한다.
따라서, 본 발명의 목적은 플라스틱 패키지 기술을 이용하면서 두께가 얇은 반도체 패키지 소자를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 반도체 칩의 두께나 리드 프레임의 두께를 적정한 크기로 유지하면서도 전체 두께가 0.5㎜ 이하인 반도체 패키지 소자를 제공하는 것이다.
도 1은 종래 리드 프레임을 이용한 반도체 패키지 소자의 구조를 나타내는 단면도.
도 2는 종래 LOC (Lead-On-Chip) 구조로 된 반도체 패키지 소자의 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 초박형 반도체 패키지 소자의 단면도.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 초박형 반도체 패키지 소자를 제조하는 과정을 설명하기 위한 부분 단면도.
도 5는 본 발명의 초박형 반도체 패키지 소자에 사용되는 지지 테이프의 일례에 따른 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 6은 본 발명의 초박형 반도체 패키지 소자에 사용되는 지지 테이프의 다른 예에 따른 구조를 나타내는 부분 평면도.
도 7a와 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박형 반도체 패키지 소자의 구조를 나타내는 부분 절단 평면도 및 부분 단면도이다.
<도면의 주요 부호에 대한 설명>
30: 반도체 칩32: 전극 패드(electrode pad)
34: 칩 활성면(active surface)36: 칩 밑면
40: 리드 프레임 리드42: 내부 리드
44: 외부 리드50: 지지 테이프
52: 전극 패드 개방 영역54: 본딩부 개방 영역
60: 본딩 와이어70: 패키지 성형 몸체
100: 초박형 반도체 패키지 소자
본 발명에 따른 반도체 패키지 소자는 리드 프레임 다이 패드 대신에 내열성 지지 테이프를 사용한다. 이 테이프는 필름형 접착 테이프이다. 상기 반도체 패키지 소자는 복수의 전극 패드가 형성된 활성면과 그 반대쪽 밑면이 있는 반도체 칩과, 반도체 칩의 전극 패드와 전기적으로 연결되고, 활성면과 높이가 동일한 상부면을 갖는 내부 리드를 포함하는 리드 프레임과, 반도체 칩의 전극 패드와 내부 리드를 전기적으로 연결하는 복수의 본딩 와이어와, 상기 반도체 칩, 지지 테이프, 본딩 와이어를 보호하는 성형 몸체를 포함하며, 상기 내열성 지지 테이프는 내부 리드의 상부면과 반도체 칩의 활성면에 부착되어 상기 내부 리드와 반도체 칩을 지지하는 것을 특징으로 한다.
본원의 제1 발명에 따르면, 상기 지지 테이프는 상기 본딩 와이어가 접속되는 반도체 칩의 전극 패드와 내부 리드의 본딩부를 개방하는 전극 패드 개방 영역과 본딩부 개방 영역을 포함하며, 상기 패키지 성형 몸체는 상기 반도체 칩의 밑면과 일치하며, 반도체 칩의 밑면은 성형 몸체로부터 노출되어 있고, 지지 테이프의 전극 패드 개방 영역은 각각의 전극 패드에 대해 개별적으로 형성될 수도 있고, 복수의 전극 패드 열 전체에 대해 일체형으로 형성되어 있다. 지지 테이프는 반도체 칩의 활성면을 부분적으로 노출시켜 상기 노출된 부분이 성형 몸체와 직접 접촉되도록 하는 활성면 개방 영역을 포함할 수도 있다.
본원의 제2 발명에 따르면, 반도체 패키지 소자의 리드 프레임 내부 리드는 반도체 칩의 모든 옆면 둘레에 배치되어 있고, 상기 지지 테이프는 반도체 칩의 전극 패드와 제1 복수의 본딩 와이어와 전기적으로 연결되는 제1 본딩부와 내부 리드와 제2 복수의 본딩되는 제2 본딩부 및 상기 제1 본딩부와 제2 본딩부를 전기적으로 연결하는 배선 패턴을 포함한다. 지지 테이프는 반도체 칩의 활성면을 부분적으로 노출시켜 상기 노출된 부분이 성형 몸체와 직접 접촉되도록 하는 활성면 개방 영역을 포함할 수도 있다.
실시예
이하, 도면을 참조로 본 발명을 실시예 중심으로 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 초박형 반도체 패키지 소자의 단면도이다.
도 3을 참조하면, 초박형 패키지 소자(100)는 반도체 칩(30)과 리드 프레임 리드(40), 지지 테이프(50)를 포함하며 이것들을 보호하는 패키지 성형 몸체(70)를 포함한다. 반도체 칩(30)은 복수의 전극 패드(32)가 형성되어 있는 활성면(34)과 이 활성면(34)의 반대쪽 밑면(36)을 가진다. 활성면(34)에는 웨이퍼 제조 공정을 통해, 소정의 회로 즉, 온-칩 회로(on-chip circuit)가 형성되어 있는데, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
리드(40)는 예컨대, 구리 합금이나 철-니켈 합금(Alloy-42)와 같은 금속 합금으로 이루어지며, 반도체 칩(30)의 옆면 둘레에 반도체 칩과 떨어져서 배치되어 있다. 리드(40)는 성형 몸체(70) 내부에 포함되는 내부 리드(42)와 성형 몸체(70)로부터 노출되어 일정한 형상 예컨대, 걸-윙(Gull-wing) 모양으로 절곡되어 있는 외부 리드(44)를 포함한다. 도 3에 나타낸 패키지 소자는 예컨대, SOP (Small Outline Package) 소자이다. 내부 리드(42)의 상부면은 반도체 칩(30)의 활성면(34)과 그 높이가 동일하다.
내부 리드(42)는 반도체 칩(30)의 전극 패드(32)와 전기 전도성 와이어(60)에 의해 형성되어 있다. 와이어(60)는 예컨대, 금(Au) 와이어인데, 전극 패드(32)에 형성된 볼(ball)과 내부 리드(42)의 본딩부에 형성된 스티치(stitch)를 포함한다. 한편, 와이어(60)의 볼 위쪽에는 일정한 높이의 루프가 필요하다. 이 루프를 줄이기 위해 내부 리드(42)의 본딩부에 볼을 형성하고 반도체 칩(30)의 전극 패드(32)에 스티치를 형성하는 소위, 리버스 본딩 와이어를 사용하는 것도 가능하다. 리버스 본딩 와이어를 사용하는 경우에는 내부 리드(42) 상부면의 높이를 반도체 칩 활성면(34)보다 더 낮게 할 수 있다.
지지 테이프(50)는 예컨대, 폴리이미드(polyimide)로 이루어진 필름형 접착 테이프이다. 지지 테이프(50)는 반도체 칩(30)의 활성면(34)과 내부 리드(42)의 상부면에 부분적으로 부착된다. 지지 테이프(50)에는 반도체 칩(30)의 전극 패드(32)를 노출시키기 위한 전극 패드 개방 영역(52)과 내부 리드(42)의 본딩부를 개방시키기 위한 본딩부 개방 영역(54)가 형성되어 있다.
패키지 성형 몸체(70)는 예컨대, 고온의 액상의 에폭시 몰딩 수지를 금형에서 주입하고 경화시킴으로써 형성되는데, 반도체 칩(30), 내부 리드(42) 및 본딩 와이어(60)를 외부의 유해 환경으로부터 보호하고 패키지의 몸체를 이룬다. 성형 몸체(70)의 밑면(74)은 반도체 칩(30)의 밑면(36)과 일치한다. 즉, 반도체 칩(30)의 밑면(36)은 성형 몸체(70) 내부에 포함되지 않고 외부로 노출된다. 반도체 칩(30)의 밑면(36)에 성형 몸체(70)가 형성되지 않기 때문에, 성형 몸체에 의해 패키지 두께의 증가는 일어나지 않는다.
패키지 성형 몸체(70)로부터 돌출된 외부 리드(44)는 내부 리드(42)와 일체형으로 구성되어 있으며, 외부 소자 예컨대, 컴퓨터 시스템의 주회로 기판(motherboard, 도시하지 않음)에 반도체 칩을 실장하기에 적합한 형상으로 절곡되어 있다. 외부 리드(42)의 밑면은 성형 몸체(70)의 밑면으로부터 소정의 거리만큼 예컨대, 50㎛ 또는 100㎛만큼 밑으로 더 내려와 있다.
본 발명의 구조에 따르면, 두께가 얇은 필름형 지지 테이프를 사용하기 때문에, 다이 패드(종래 리드 프레임 구조) 또는 리드 프레임 리드(종래 LOC 구조)에 의한 패키지 두께 증가가 생기지 않고, 반도체 칩의 밑면에 존재하는 성형 몸체로 인한 두께의 증가가 생기지 않는다. 특히, 리드와 반도체 칩을 지지하는 구조체(즉, 지지 테이프)가 패키지 소자의 두께에 아무런 영향을 주지 않는다. 따라서, 0.5㎜ 이하의 두께가 매우 얇은 초박형 패키지 소자를 제공할 수 있다. 예를 들어서, 8인치 웨이퍼로부터 제조된 반도체 칩의 일반적인 두께 300㎛를 가정할 때, 지지 테이프(50)의 두께가 50㎛이고 본딩 와이어(60)의 루프가 80㎛이므로, 지지 테이프(50)의 두께는 패키지 두께에 영향을 주지 않는다. 또한, 내부 리드(42)의 두께가 100~150㎛를 차지하더라도 내부 리드(42)의 상부면이 반도체 칩 활성면(34)과 동일한 높이이거나 그 보다 아래에 있기 때문에, 내부 리드(42)에 의한 패키지의 두께 증가는 생기지 않는다. 위에서 예를 든 치수의 구성 요소들을 사용할 경우, 반도체 칩의 활성면에서 성형 몸체의 상부면까지는 약 150㎛이다. 따라서, 성형 몸체(70)의 전체 두께는 450㎛이고, 외부 리드(44)의 여유분 50㎛를 고려하면 패키지(100)의 전체 두께는 0.5㎜이다. 한편, 웨이퍼 후면 연마(wafer back-lapping)에 의해 반도체 칩(30)의 두께를 100~150㎛로 줄이면, 패키지의 두께를 0.3~0.45㎜까지 줄이는 것도 가능하다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 초박형 반도체 패키지 소자를 제조하는 공정을 설명하기 위한 부분 단면도이다.
먼저, 도 4a에 도시한 것처럼, 복수의 리드가 양쪽에 배치되어 있는 리드 프레임(40)을 준비한다. 리드 프레임(40)의 상부면에 지지 테이프(50)를 열과 압력을 가하면서 부착한다. 지지 테이프(50)의 전극 패드 개방 영역(52)과 본딩부 개방 영역(54)이 일정한 위치에 오도록 정렬을 하여 지지 테이프(50)를 리드 프레임(40)에 부착한다.
도 4b를 참조하면, 반도체 칩(30)을 그 활성면이 지지 테이프(50)의 밑면에 붙도록 하고, 전극 패드(32)가 상기 전극 패드 개방 영역(52)에 오도록 칩(30)을 지지 테이프(50)에 부착한다.
그 다음, 본딩 와이어(60)를 일반적인 와이어 본딩 공정으로 반도체 칩과 리드 프레임에 연결한다(도 4c). 도 4d에 나타낸 것처럼, 몰딩 공정, 예컨대, 주입 성형(injection molding) 공정으로 패키지 성형 몸체(70)를 형성하는데, 성형 몸체(70)의 밑면(74)이 반도체 칩(30)의 밑면(36)과 일치하도록 성형한다. 도 4e에 도시한 것처럼, 외부 리드(44)를 일정한 모양으로 절곡하면, 원하는 형태의 초박형 패키지 소자를 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 지지 테이프(50)는 여러 형태로 구현될 수 있다.
예를 들어서, 도 5에 도시한 것처럼, 반도체 칩 활성면(32)의 일부분과 내부 리드(42)의 일부분에 부착되도록 지지 테이프(50)를 구성하는 것도 가능하다. 도 5의 지지 테이프는 복수의 전극 패드 각각에 대해 개별적으로 구성된 복수의 전극패드 개방 영역(52a)와 내부 리드의 본딩부 각각에 대해서도 개별적으로 구성된 복수의 본딩부 개방 영역(54a)을 포함한다. 지지 테이프(50)가 부착되지 않은 활성면의 일부분과 내부 리드 일부분은 성형 몸체와 직접 접촉하기 때문에, 칩과 몸체 사이의 접착력을 높이는 것이 가능하다.
한편, 도 6에 나타낸 것처럼, 복수의 전극 패드 열 전체에 대해 일체형으로 형성된 전극 패드 개방 영역(52b)과 내부 리드 각각에 대해 개별적으로 구성된 복수의 본딩부 개방 영역(54b)를 포함하도록 지지 테이프를 구성하는 것도 가능하다. 도 6의 지지 테이프는 전극 패드 개방 영역(52b) 사이에 활성면 개방 영역(56)을 형성하여 반도체 칩(30)과 성형 몸체(70)의 결합력을 개선하는 것도 가능하다.
한편, 도 5와 도 6에는 반도체 칩과 내부 리드의 일부분에 지지 테이프가 부착된 예를 나타내었지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 반도체 칩의 활성면(34)을 완전히 덮도록 지지 테이프(50)를 부착할 수도 있다는 것을 쉽게 이해할 수 있을 것이다. 이 경우, 지지 테이프(50)에 활성면 개방 영역(도 6의 '56')을 형성하여 패키지 몸체와 반도체 칩의 결합력을 개선할 필요가 있다.
도 7a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초박형 반도체 패키지 소자의 부분 절단 평면도이고, 도 7b는 도 7a의 선 7B-7B를 따라 절단한 부분 확대 단면도이다.
이 실시예에서 지지 테이프(80)는 반도체 칩(30)의 활성면과 리드(60a)의 내부 리드 부분의 본딩부를 전체적으로 덮도록 부착된다. 지지 테이프(80)는 중앙 부분에 활성면 개방 영역(82)을 포함한다. 또한, 지지 테이프(80)는 반도체 칩의 전극 패드를 개방시키는 전극 패드 개방 영역(83)과 리드 본딩부 개방 영역(85)을 포함하며, 제1 본딩 패드(84)와 제2 본딩 패드(86)을 구비한다. 제1 본딩 패드(84)와 제2 본딩 패드(86)는 전기 전도성 배선 패턴(87)에 의해 전기적으로 연결되어 있다.
이 실시예의 지지 테이프(80)는 도 7a에 나타낸 것처럼, 복수의 리드(60a)가 반도체 칩(30)의 4개의 옆면에 모두 배치되어 있는 예컨대, QFP(Quad Flat Package) 소자에 적용될 수 있다. QFP 패키지 소자는 입출력 핀수가 많이 요구되는 반도체 소자를 패키지하는 데에 적합하다. 입출력 핀수가 늘어나면, 내부 리드의 개수가 많아지고 따라서, 내부 리드 사이의 간격 또는 피치(pitch)가 줄어들고 내부 리드와 반도체 칩의 거리가 증가한다. 이 경우, 본딩 와이어의 신뢰성이 떨어지는데, 본 발명에 따른 배선 패턴이 형성된 지지 테이프(80)를 사용하면, 길이가 짧은 본딩 와이어를 구현하는 것이 가능하므로, 초박형 패키지를 구현하면서도 패키지의 신뢰성을 높일 수 있다.
즉, 도 7b에 나타낸 것처럼, 반도체 칩의 전극 패드는 지지 테이프(80)의 제1 본딩 패드(83)과 제1 본딩 와이어(62)에 의해 전기적으로 연결되고, 내부 리드의 본딩부는 지지 테이프(80)의 제2 본딩 패드(85)와 제2 본딩 와이어(64)에 의해 전기적으로 연결된다. 제1 본딩 와이어(62)와 제2 본딩 와이어(64)는 지지 테이프(80)에 형성되어 있는 본딩 패드(83, 85)에 연결되어 있기 때문에, 본딩 와이어가 칩과 내부 리드 사이에 연결되는 경우에 비해 그 길이가 휠씬 더 짧다. 지지 테이프(80)의 2개의 본딩 패드(83, 85)는 배선 패턴(87)에 의해 전기적으로 연결되어 있다.
한편, 도 7b에서 배선 패턴(87)이 지지 테이프(80)의 표면층에만 형성되어 있는 것을 나타내었지만, 테이프(80)의 내층에도 배선 패턴층을 추가하여 다층 구조의 지지 테이프를 구현하는 것도 가능하다. 이 경우, 칩 특성상 발생할 수 있는 버스바(bus bar) 리드가 있는 리드 프레임 구조도 개선할 수 있다. 여기서, 버스바 리드란 칩 특성 및 와이어 본딩 특성상 와이어 본딩 시 와이어가 교차되는 경우가 발생하는데, 이를 방지하기 위하여 교차되어 본딩되는 내부 리드 중 하나를 'ㄱ'자 모양으로 만들어 와이어 본딩시 와이어끼리 교차하지 않도록 만든 리드를 의미한다.
이상 설명한 본 발명에 따른 초박형 반도체 패키지 소자는 플라스틱 패키지 공정을 사용하면서도 패키지의 두께를 크게 줄이는 것이 가능하다. 또한, 반도체 칩이나 리드의 두께를 적정한 크기로 유지하면서도 0.5㎜ 이하의 초박형 패키지 소자를 구현할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 필름형 접착 테이프를 사용하여 반도체 칩과 리드를 지지하면서도 지지 테이프에 의한 패키지 두께 증가가 발생하지 않으며, 반도체 칩과 리드를 견고하게 지지하는 것이 가능하다. 그리고, 많은 입출력 핀이 요구되는 패키지 소자를 초박형으로 구현하면서도 본딩 와이어의 신뢰성을 최대한 보장할 수 있다.

Claims (11)

  1. 초박형 반도체 패키지 소자로서,
    복수의 전극 패드가 형성된 활성면과 그 반대쪽 밑면이 있는 반도체 칩과,
    상기 반도체 칩의 전극 패드와 전기적으로 연결되고, 상기 활성면과 높이가 동일한 상부면을 갖는 내부 리드를 포함하는 리드 프레임과,
    상기 내부 리드의 상부면과 반도체 칩의 활성면에 부착되어, 상기 내부 리드와 반도체 칩을 지지하는 내열성 지지 테이프와,
    상기 반도체 칩의 전극 패드와 내부 리드를 전기적으로 연결하는 복수의 본딩 와이어와,
    상기 반도체 칩, 지지 테이프, 본딩 와이어를 보호하는 성형 몸체
    를 포함하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  2. 제1항에서, 상기 지지 테이프는 상기 본딩 와이어가 접속되는 반도체 칩의 전극 패드와 내부 리드의 본딩부를 개방하는 전극 패드 개방 영역과 본딩부 개방 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  3. 제1항에서, 상기 패키지 성형 몸체는 상기 반도체 칩의 밑면과 일치하며, 반도체 칩의 밑면은 성형 몸체로부터 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  4. 제1항에서, 상기 지지 테이프는 상기 반도체 칩의 활성면에 전체적으로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  5. 제1항에서, 상기 지지 테이프는 상기 반도체 칩의 활성면에 부분적으로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  6. 제2항에서, 상기 지지 테이프의 전극 패드 개방 영역은 복수의 전극 패드 각각에 대해 개별적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  7. 제2항에서, 상기 지지 테이프의 전극 패드 개방 영역은 복수의 전극 패드 열 전체에 대해 일체형으로 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  8. 제1항 또는 제2항에서, 상기 지지 테이프는 반도체 칩의 활성면을 부분적으로 노출시켜 상기 노출된 부분이 성형 몸체와 직접 접촉되도록 하는 활성면 개방 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  9. 제1항 또는 제2항에서, 상기 내부 리드는 반도체 칩의 모든 옆면 둘레에 배치되어 있고, 상기 지지 테이프는 반도체 칩의 전극 패드와 제1 복수의 본딩 와이어와 전기적으로 연결되는 제1 본딩부와 내부 리드와 제2 복수의 본딩되는 제2 본딩부를 구비하며, 상기 제1 본딩부와 제2 본딩부를 전기적으로 연결하는 배선 패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  10. 제9항에서, 상기 지지 테이프의 배선 패턴은 다층으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
  11. 제9항에서, 상기 지지 테이프는 반도체 칩의 활성면을 부분적으로 노출시켜 상기 노출된 부분이 성형 몸체와 직접 접촉되도록 하는 활성면 개방 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 초박형 반도체 패키지 소자.
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