KR20020013408A - 액처리장치 및 액처리방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 기판을 보유유지하는 보유유지기구와,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판에 소정의 처리액을 공급하는 처리액공급기구와,상기 보유유지수단을 회전시키는 회전기구와,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판을 위요(圍繞)하도록 설치된 컵과,상기 컵 외주벽에 설치된 배기기구를 구비하는 액처리장치.
- 기판에 처리액을 공급하여 액처리를 행하고, 그 후에 상기 기판을 회전시켜 상기 기판을 스핀 건조시키는 액처리장치이고,상기 보유유지수단을 회전시키는 회전수단과,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판에 소정의 처리액을 공급하는 처리액공급기구와,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판을 위요하도록 설치된 컵 유니트와,상기 컵 유니트를 승강시키는 승강기구를 구비하고,상기 컵 유니트는,액처리시에는 상기 승강기구에 의해 대강 건조상태로 유지되는 위치로 이동되고, 또 상기 스핀 건조시에는 상기 승강기구에 의해 상기 보유유지수단에 보유유지된 기판을 위요하는 위치로 이동되는 컵을 갖추는 액처리장치.
- 청구항 2의 액처리장치에 있어서, 상기 컵 외주벽에 배기기구가 설치되어 있는 액처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 3의 액처리장치에 있어서, 상기 배기기구는 상기 기판의 회전에 의해 발생되는 기류가 순방향(順方向)으로 흡기되고 배기되는 배기경로를 갖추는 액처리장치.
- 기판을 보유유지하는 보유유지기구와,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판에 소정의 처리액을 공급하는 처리액공급기구와,상기 보유유지수단을 회전시키는 회전기구와,상기 보유유지수단에 보유유지된 기판을 위요하도록 설치되고, 또 내측으로부터 외측을 향하여 차례로 높이가 높게된 내 컵, 중 컵, 외 컵에 의해 구성되는 3중 구조의 컵 유니트와,상기 컵 유니트의 승강기구를 구비하는 액처리장치.
- 청구항 5의 액처리장치에 있어서, 상기 외 컵의 외주벽에 배기기구가 설치되어 있는 액처리장치.
- 청구항 6의 액처리장치에 있어서, 상기 배기기구는 상기 기판의 회전에 의해 발생하는 기류가 순방향으로 흡기되어 배기되는 배기경로를 갖추는 액처리장치.
- 청구항 5 또는 청구항 6 또는 청구항 7의 액처리장치에 있어서, 상기 컵 유니트는 상기 내 컵, 상기 중 컵, 상기 외 컵이 일체적으로 형성되어 있는 액처리장치.
- 청구항 5 또는 청구항 6 또는 청구항 7의 액처리장치에 있어서, 상기 외 컵은, 상기 보유유지수단에 보유유지된 기판에 소정의 처리액을 공급하여 액처리를 행한 후에 상기 기판을 회전시켜 상기 기판을 스핀 건조시킬 때에, 상기 기판으로부터 비산하는 처리액을 회수하기 위한 상기 기판을 위요하는 위치로 이동되는 액처리장치.
- 대략 수평으로 보유유지된 기판을 회전시키면서 기판에 처리액을 공급하여 소정의 액처리를 행하는 액처리방법이고,상기 처리액의 공급 중에 기판으로부터 비산하는 처리액을 회수하기 위하여 1의 컵을 사용하고, 상기 처리액의 공급정지 후에 기판을 회전시켜 스핀 건조를 행하는 때에 기판으로부터 비산하는 처리액을 회수하기 위하여 내벽면이 대략 건조된 상태인 다른 컵을 사용하는 처리방법.
- 청구항 10의 액처리방법에 있어서, 상기 스핀 건조시에 사용되는 컵의 외주벽에 배기기구를 설치하고, 상기 배기기구를 동작시켜 상기 컵 유니트 내로부터의 배기를 행하면서 스핀 건조를 행하는 액처리방법.
- 대략 수평으로 보유유지된 기판을 회전시키면서 상기 기판에 처리액을 공급하여 소정의 액처리를 행하는 액처리방법이고,내측으로부터 외측으로 향하여 차례로 높이가 높아지고 있는 내 컵, 중 컵, 외 컵에 의해 구성되는 3중 구조의 컵 유니트를, 기판을 위요하도록 배치하고,상기 기판의 회전개시로부터 소정 시간을 경과할 때까지의 동안에 상기 기판으로부터 비산하는 처리액을 상기 내 컵에서 회수하는 제 1 공정과,상기 제 1 공정 후로부터 상기 처리액의 공급정지까지의 동안에 상기 기판으로부터 비산하는 처리액을 상기 중 컵에서 회수하는 제 2 공정과,상기 처리액의 공급을 정지시킨 후에 기판을 회전시켜 스핀 건조를 행하는 때에 상기 기판으로부터 비산하는 처리액을 상기 외 컵에서 회수하는 제 3 공정을 갖추는 액처리방법.
- 청구항 12의 액처리방법에 있어서, 상기 외 컵의 외주벽에 배기기구를 설치하고, 상기 배기기구를 동작시켜 상기 컵 유니트 내로부터의 배기를 행하면서 상기 제 3 공정을 행하는 액처리방법.
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