KR200165884Y1 - 번인보드의 얼라인장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 번인보드의 얼라인장치에 관한 것으로, 종래에는 수동식 운반기에서 작업자가 랙을 일일이 들어올리거나 또는 별도의 랙 엘리베이터가 구비된 수레형 운반기에 의해 번인 보드를 이동, 수납시키는 번인 보드 얼라인장치는, 작업장 바닥의 평탄도 및 장비의 설치상태 등 여러요인에 따라 여러개의 랙을 한꺼번에 적재할 수 없어 통상 한 번에 하나씩의 랙을 반송시키므로, 반도체의 번인작업시 생산성이 저하되거나 또는 제품의 안정성을 보장할 수 없다는 것은 물론 운반기 자체에 별도의 랙 엘리베이터가 장착되므로 운반장비의 비대화가 발생되는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 다수개의 번인보드가 수납된 랙을 수개 적재하여 이동시키는 번인 보드 카트가 밀폐, 삽입되어 소정의 번인작업이 진행되는 착탈공간이 구비되고, 그 착탈공간에 상기 번인보드 카트 전체를 상승 및 하강시켜 착탈시키기 위한 카트 이송수단이 내장된 번인 챔버로 구성함으로써, 작업장의 바닥상태 및 장비의 설치상태 등에 구애되지 않고 여러개의 랙을 한꺼번에 적재, 운반하여 수납할 수 있도록 하는 것은 물론 운반장비의 비대화를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

번인보드의 얼라인장치

본 고안은 반도체 칩의 실험장비중에서 번인 챔버에 관한 것으로, 특히 번인 챔버의 내부에 번인 보드가 다수개 담긴 랙을 여러개씩 자동으로 수납되도록 하여 생산성 향상에 적합한 번인보드의 얼라인장치에 관한 것이다.

도1은 일반적인 번인챔버 내에 번인 보드가 수납된 상태를 보인 종단면도로서 이에 도시된 바와 같이, 상기 번인 챔버(Burn-in Chamber)(1)가 네 개의 방으로 구획되어 있고, 그 각각의 방마다에는 다수개의 번인 보드(Burn-in Board)(2a)가 층층이 채워진 네 개의 랙(Lack)(2)이 하나씩 수납되어 소정의 번인작업이 수행되는 것이었다.

여기서, 상기 번인 챔버(1)에 각 랙(2)을 수납 및 반출시키기 위하여는 도2a 및 도2b에 도시된 바와 같은 장비가 사용되는데, 먼저 도2a는 수동식 랙 이동장비로서, 박스형의 운반기(3)에 작업자가 직접 랙(2)을 수개(도면에선 4개)적재시켜 번인 챔버(1)로 이송시키고, 그 번인 챔버(1)에 일일이 옮겨 수납시킨 다음에 소정의 번인작업을 진행하며, 소정의 번인작업을 마친 각 랙(2)을 작업자가 번인 챔버(1)로부터 박스형 운반기(3)에 다시 옮겨실어 소정위치로 반송시키는 것이었다. 그러나, 이는 대부분의 실제작업이 작업자에 의해서 이뤄지게 되어 작업자의 신체적 피로와 부상의 우려가 있었던 바, 최근에는 도2b에 도시된 바와 같은 자동화정비가 제시되었다.

즉, 별도의 랙 엘리베이터(4)가 구비된 수레형 운반기(5)에 하나의 랙(2)을 올려놓은 후에 그 운반기(5)를 상기 번인 챔버(1)에 이동시키게 되면, 그 운반기(5)의 랙 엘리베이터(4)가 랙(2)을 들어올려 챔버(1) 내의 해당 방에 수납시키는 반면에 소정의 번인작업을 마친 랙(2) 중에서 하나를 다시 반출시켜 소정위치로 반송한 다음에 전술한 반송작업을 반복하는 것이었다.

그러나, 상기와 같이 별도의 랙 엘리베이터(4)가 구비된 수레형 운반기(5)에 의해 번인 보드(2a)를 이동, 수납시키는 번이 보드 얼라인장치는, 작업장 바닥의 평탄도 및 장비의 설치상태 등 여러요인에 따라 여러개의 랙(2)을 한꺼번에 적재할 수 없어 통상 한 번에 하나씩 랙(2)을 반송시키므로, 반도체의 번인작업시 생산성이 저하되거나 또는 제품의 안정성을 보장할 수 없다는 것은 물론 운반기(5) 자체에 별도의 랙 엘리베이터(4)가 장착되므로 운반장비의 비대화가 발생되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 작업장의 바닥상태 및 장비의 설치상태 등에 구애되지 않고 여러개의 랙을 한꺼번에 적재, 운반하여 수납할 수 있도록 하는 것은 물론 운반장비의 비대화를 방지할 수 있는 번인 챔버의 번인 얼라인장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도1은 종래 번인 챔버의 구성을 개략적으로 보인 종단면도.

도2a 및 도 2b는 종래 번인 챔버에 번인 보드를 얼라인하기 위한 장치를 보인 것으로, 도2a는 수동식, 도2b는 자동식 얼라인장치의 개략도.

도3a 및 도3b는 본 고안에 의한 번인 챔버의 번인 보드 얼라인장치의 구성 및 동작을 보인 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 번인보드 카트 11,13 : 상,하부 플레이트

12 : 프레임 20 : 번인 챔버

21 : 카트 엘리베이터 22 : 착탈공간

23 : 카트 가이드

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 다수개의 번인보드가 수납된 랙을 수개 적재하여 이동시키는 번인보드 카트와; 그 번인보드 카트가 밀폐, 삽입되어 소정의 번인작업이 진행되는 착탈공간이 구비되고, 그 착탈공간에 상기 번인보드 카트 전체를 상승 및 하강시켜 착칼시키기 위한 카트 이송수단이 내장된 번인 챔버로 구성함을 특징으로 하는 번인보드의 얼라인장치가 제공된다.

이하, 본 고안에 의한 번인보드 이송장치를 첨부도면에 도시된 일실시예에 의거하여 상세하게 설명한다.

본 고안에 의한 번인보드 얼라인장치는 도3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 다수개의 번인보드(2a)가 수납된 수개(도면에선 4개)의 랙(2)을 적재, 운반하는 번인보드 카트(10)와, 그 번인보드 카트(10)의 하단면을 들어올려 내부에 밀폐되게 착탈되도록 카트 엘리베이터(21)가 내장된 번인 챔버(20)로 구성된다.

상기 번인보드 카트(10)는, 상부 플레이트(11)가 수개의 프레임(도면에선 8개)(12)에 의해 하부 플레이트(13)와 지지, 결합되고, 그 하부 플레이트(11,13)의 상단면에는 각각 두 개씩의 랙(2)이 적재되며, 상기 상부 플레이트(11)의 일측에는 가이드 홈(11a)이 형성되고, 상기 하부 플레이트(13)의 하단면에는 번인보드 카트(10)를 이동시키기 위한 이동부재(미도시)가 설치된다.

상기 번인 챔버(20)는, 그 하측에 번인보드 카트(10)가 출입할 수 있도록 개구되어 내부에 카트 착탈공간(22)이 형성되고, 그 카트 착탈공간(22)의 하측에는 상기 번인보드 카트(10)를 들어올리기 위한 카트 엘리베이터(21)가 설치되며, 그 카트 엘리베이터(21)의 상측 소정위치에는 번인보드 카트(10)의 상승높이를 제한함과 아울러 상승된 카트(10)의 하측과 말착되어 상기 착탈공간(22)을 밀폐하기 위한 카트 가이드(23)가 고정,설치되며, 그 카트 가이드(23)의 상단면에는 상기 가이드 홈(11a)과 착탈되어 번인보드 카트의 상승 및 하강을 유도하는 가이드 돌주(24)가 종방향으로 길게 형성된다.

도면중 종래와 동일한 부분에 대하여는 동일한 부호를 부여하였다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 의한 번인보드 얼라인장치는, 먼저 수개의 랙(2)이 적재된 번인보드 카트(10)를 작업자가 번인 챔버(20)의 착탈공간(22) 내부로 밀어넣는데, 이때 가이드 돌주가 가이드 홈에 삽입되도록 한다. 다음, 상기 카트 엘리베이터(21)를 작동시키게 되면, 그 엘리베이터(21)가 번인보드 카트(10)의 하부 플레이트(13) 하단면을 받친 상태에서 가이드 돌주(24)가 가이드 홈(11a)에 삽입, 상승하게 되고, 그 상승하는 번인보드 카트(10)는 하부 플레이트(13)의 상단면이 착탈 가이드(23)의 하단면에 밀착될때까지 들어올려지게 된 이후에 소정의 번인작업이 진행되는 것이다.

한편, 상기 카트 엘리베이터(21)에 올려져 소정의 번인작업을 마친 번인보드는, 다시 카트 엘리베이터(21)의 하강에 따라 작업장 바닥까지 내려지게 된 이후에 작업자가 카트를 밀면서 소정위치로 옮기게 되는 것이다.

본 실시예에서는 상기 번인보드 카트를 수동식으로 한정하였으나, 본 고안에서는 번인보드 카트의 이동방식을 권리범위로 한정하는 것이 아니므로, 수동식 번인보드 카트 이외에 자동식 등도 가능하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 번인보드의 얼라인장치는, 다수개의 번인보드가 수납된 랙을 수개 적재하여 이동시키는 번인보드 카트가 밀폐,삽입되어 소정의 번인작업이 진행되는 착탈공간이 구비되고, 그 착탈공간에 상기 번인보드 카트 전체를 상승 및 하강시켜 착탈시키기 위한 카트 이송수단이 내장된 번인 챔버로 구성함으로써, 작업장의 바닥상태 및 장비의 설치상태 등에 구애되지 않고 여러개의 랙을 한꺼번에 적재,운반하여 수납할 수 있도록 하는 것은 물론 운반장비의 비대화를 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 다수개의 번인보드가 수납된 랙을 수개 적재하여 이동시키는 번인보드 카트와; 그 번인보드 카트가 밀폐,삽입되어 소정의 번인작업이 진행되는 착탈공간이 구비되고, 그 착탈공간에 상기 번인보드 카트 전체를 상승 및 하강시켜 착탈시키기 위한 카트 이송수단이 내장된 번인 챔버로 구성함을 특징으로 하는 번인보드의 얼라인장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 카트 이송수단은 번인 챔버의 착탈공간과 착탈되는 번인보드 카트의 하단면을 들어올리거나 들어내리는 카트 엘리베이터인 것을 특징으로 하는 번인보드의 얼라인장치.