KR100487297B1 - 화물보관설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 용기 등의 화물을 보관하는 화물보관설비에 있어서, 화물을 유지하는 선반부재의 수를 줄이는 것을 목적으로 하는 것으로서, 그 구성상의 특징은 상부에 걸어맞춤부(8)를 가지는 용기(2)를 지지하는 선반부재(12)와, 선반부재(12)에 대하여 용기(2)를 출입시키는 출입수단(4)이 설치되고, 선반부재(12)의 상측에 용기(2)를 얹어놓기가능한 화물얹어놓기부(20)가 형성되고, 선반부재(20)의 하측에 용기(2)의 걸어맞춤부(8)와 걸어맞춤하여 당해 용기(2)를 선반부재(12)에 매단 상태로 유지하는 좌우 한쌍의 피걸어맞춤부(16)가 설치되고, 용기(2)의 출입방향에 있어서 상기 걸어맞춤부(8)와 피걸어맞춤부(16)가 걸어맞춤 및 걸어맞춤해제 가능하게 구성되어 있는 점에 있다.

Description

화물보관설비{ARTICLE STORAGE SYSTEM}

본 발명은 예를들면 반도체(웨이퍼)를 넣은 용기를 화물로서 취급하는 화물보관설비에 관한 것이다.

종래, 이러한 종류의 화물보관설비로서, 예를들면 화물을 복수 보관하는 선반장치와, 당해 선반장치에 대하여 상기 화물을 출입시키는 출입수단으로 구성되는 것이 알려져 있다.

상기 출입수단으로서는 예를들면 일본 특개평5-294410호 공보에 개시되는 바와같이, 선반의 전면(前面)을 따라서 주행자유로운 기체와, 이 기체에 세워 설치된 포스트에 지지 안내되는 승강체와, 이 승강체에 설치된 출입기구로 구성된 것이 있다.

상기 출입기구는 승강체의 회전테이블에 부착된 중간접기 암장치와, 중간접기 암장치의 자유단에 연결된 화물지지부(포크)를 구비하고, 상기 회전테이블의 회전에 의해, 상기 화물지지부가 중간접기 암장치를 통해서 선반에 대하여 출퇴이동하도록 구성되어 있다.

또한, 취급되는 화물로서는, 예를들면, 도 11에 도시하는 바와같이, 반도체(웨이퍼)를 넣은 용기(101)를 들 수 있다. 이 용기(101)는 반도체를 수납하는 수납부를 구비한 용기본체부(102)와, 용기본체부(102)의 상단에 형성된 폭이 좁은 목부(103)와, 목부(103)의 상단으로부터 확대된 헤드부(104)로 구성되어 있다. 그래서, 상기 폭이 좁은 목부(103)의 횡측방에서 용기본체부(102)와 헤드부(104)사이에서 걸어맞춤부(105)가 형성되어 있고, 이 걸어맞춤부(105)가, 일반적으로, 용기(101)의 반송과정에 있어서 로봇 등의 옮겨싣기기구가 용기(101)를 잡는 경우 등에 이용된다.

더욱이, 상기 선반장치로서는, 예를들면 도 11∼도 13에 도시하는 바와같이, 상하방향 복수단 또한 수평방향 복수열로 배열설치된 선반부재(107)로 구성된 것이 있다. 각 선반부재(107)의 상측에는 용기(101)를 얹어놓아 지지하는 화물얹기부(108)가 형성되어 있다. 또한, 선반부재(107)에는 상기 출입기구의 화물지지부(109)(포크)가 상하방향으로 상대이동가능한 스페이스(110)가 형성되어 있다.

상기의 구성의 선반장치(111)에는 용기(101)가 출입수단에 의해 입출고된다. 예를들면, 용기(101)를 입고하는 경우, 도 11a에 도시하는 바와같이, 용기(101)를 출입기구의 화물지지부(109)로 지지한 상태로, 화물지지부(109)를 승강체의 회전테이블(112)위로부터 목적의 선반부재(107)의 상방으로 진출시킨다(도 13의 가상선참조). 그 후, 출입수단의 승강체를 소정량만큼 하강시키므로써, 도 11b에 도시하는 바와같이, 화물지지부(109)가 선반부재(107)의 상방으로부터 스페이스(110)를 통과해서 하방으로 하강하고, 용기(101)가 화물지지부(109)로부터 목적의 선반부재(107)의 화물얹어놓기부(108)로 옮겨 싣고, 당해 용기(101)가 목적의 선반부재(107)상에 보관된다. 그 후, 도 13의 실선으로 도시하는 바와같이, 빈 화물지지부(109)를 목적의 선반부재(107)의 하측에서 승강체의 회전테이블(112)상으로 퇴입한다.

또한, 용기(101)를 선반부재(107)에서 출고하는 경우는 상기의 입고수순과는 역의 순서로 화물지지부(109)를 동작시키면 된다.

그러나, 상기의 종래구성에서는, 도 12에 도시하는 바와같이, 1개의 선반부재(107)에 대하여 1개의 용기(101)를 얹어놓는 것으로 되기 때문에, 선반장치(111)에 보관되는 용기(101)와 동수의 선반부재(107)가 필요하게 되고, 선반장치(111)에 다수의 용기(101)를 보관하는 경우, 다수의 선반부재(107)를 설치하여야 하고, 코스트가 높게 된다고 하는 문제가 있었다.

또한, 선반장치(111)에 상하방향 3단으로 용기(101)를 보관할 경우, 최상단(a)의 선반부재(107)와 최하단(b)의 선반부재(107)의 사이에 중간단(c)의 선반부재(107)를 설치할 필요가 있기 때문에, 최상단(a)의 선반부재(107)와 최하단(b)의 선반부재(107)의 상하 간격(d)이 크게 되고, 이것에 의해, 선반장치(111)의 높이가 대형화한다고 하는 문제가 생기고 있었다.

더욱이, 도 13에 도시하는 바와같이, 출입수단의 화물지지부(109)의 폭(W1)이 선반부재(107)의 폭(W2)보다도 좁게 형성되어 있기 때문에, 상기 화물지지부(109)에서 용기(101)를 지지한 상태에서, 출입수단의 승강체를 승강시키거나 기체를 주행시킨 경우, 상기 화물지지부(109)(포크)상의 용기(101)(화물)의 안정성이 저하한다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은 선반부재의 수를 줄일 수 있고, 또한 복수의 선반부재로 구성되는 선반장치의 높이를 낮출 수 있고, 더욱이 포크로 지지된 화물의 안정성이 향상되는 화물보관설비를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 화물보관설비는 걸어맞춤부를 가지는 화물을 보관하는 화물보관설비로서, 상기 화물을 지지하는 선반부재와, 상기 선반부재에 대하여 화물을 출입시키는 출입수단을 구비하고, 상기 선반부재의 상측에는 상기 화물을 얹어놓기가능한 화물얹어놓기부가 설치되고, 상기 선반부재의 하측에는 화물의 상기 걸어맞춤부와 걸어맞춤하여 당해 화물을 선반부재의 하측에 유지하는 피걸어맞춤부가 설치되고, 상기 걸어맞춤부와 피걸어맞춤부는 화물의 출입하는 방향에 있어서 서로 걸어맞춤 및 걸어맞춤해제 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 구성에 의하면, 화물을 목적의 선반부재에 입고시킬 경우, 당해 선반부재의 위에 화물을 얹어놓거나 또는, 당해 선반부재의 하측으로 매달도록 유지시킬 수 있다. 즉, 상기 출입수단에 의해 지지된 화물을 목적의 선반부재의 상측의 화물얹어놓기부에 얹어놓거나 또는, 상기 출입수단에 의해 지지된 화물의 걸어맞춤부를 목적의 선반부재의 하측의 피걸어맞춤부에 걸어맞춤시킨다. 이것에 의해, 2개의 화물을 1개의 선반부재의 상측과 하측으로 나누어 지지할 수 있고, 종래에 비하여 선반부재의 수를 대폭 줄여서 코스트다운을 도모할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 화물의 저부에 위치결정구멍을 형성하고, 상기 출입수단과 상기 선반부재의 상측의 화물얹어놓기부에 각각, 상기 위치결정구멍에 대하여 삽입이탈가능한 위치결정 돌기부를 설치할 수 있다.

이 구성에 의하면, 화물이 목적의 선반부재의 화물얹어놓기부에 얹어놓일 때, 화물얹어놓기부의 위치결정 돌기부를 화물의 위치결정구멍에 삽입시켜서, 당해 화물을 화물얹어놓기부상에 확실히 위치결정할 수 있으므로, 지진발생시 등에 있어서 진동으로 화물얹어놓기부상의 화물이 위치어긋남을 일으켜서 낙하사고로 이어질 염려가 없게 된다. 또한, 화물이 출입수단으로 화물이 출입될 때, 출입수단의 위치결정 돌기부를 화물의 위치결정구멍으로 삽입시켜, 상기 화물을 출입수단에 대하여도 확실히 위치결정될 수 있으므로, 화물의 입출고작업에 있어서, 출입수단의 동작진동으로 화물이 위치어긋남을 일으켜서 선반부재측으로의 정상적인 옮겨싣기가 이루어지지 않게 되거나, 화물의 낙하사고로 이어질 염려가 없게 된다.

더욱이, 본 발명에서는, 상기 선반부재는 상하방향 복수단 또한 수평방향 복수열로 배열설치되고, 상기 출입수단은 상하방향과 수평방향으로 이동가능한 가동체와, 이 가동체에 설치되고 또한 상기 선반부재에 대하여 출퇴하여 화물을 들어 올리는 포크로 구성되고, 상기 포크에 상기 위치결정 돌기부를 설치해 놓을 수 있다.

이 구성에 의하면, 목적의 선반부재에 대하여 화물을 입출고하는 경우, 출입수단의 상기 가동체를 상하방향 및 수평방향으로 이동시켜서, 포크를 목적의 선반부재에 대응시킨다. 그 후 포크에, 목적의 선반부재측으로의 진출, 소정량의 승강, 및 상기 가동체측으로의 퇴입의 일련의 화물 이동 얹어놓기 동작을 행하므로써, 화물을 목적의 선반부재의 상측 또는 하측으로 입고하거나, 또는, 목적의 선반부재의 상측 또는 하측에서 화물을 출고할 수 있다. 이와같이 화물을 포크로 지지하여 출입시킬 경우, 포크의 상기 위치결정 돌기부가 화물의 위치결정구멍에 삽입되기 때문에, 상기 화물이 포크로 위치결정되고, 포크이동시의 진동으로 포크상의 화물이 위치어긋남을 일으켜서 선반부재측으로의 정상적인 옮겨싣기가 행해지지 않거나, 화물의 낙하사고로 이어질 염려가 없게 된다.

또한, 상하방향 3단으로 화물을 보관하는 경우, 최상단의 선반부재와 최하단의 선반부재의 사이에 종래와 같이 중간단의 선반부재를 설치할 필요가 없기 때문에, 중간단의 선반부재를 없앤 분량 만큼, 최상단의 선반부재와 최하단의 선반부재 사이의 상하간격을 축소할 수 있다. 따라서, 상하방향 복수단의 선반부재로 구성되는 선반장치의 높이를 낮게 할 수 있다.

본 발명에서는 상기 포크의 폭은 선반부재의 폭보다 넓게 형성되고, 당해 포크에, 상기 선반부재가 상하방향으로 상대이동할 수 있는 스페이스부가 형성될 수 있다.

이 구성에 의하면, 출입수단의 상기 포크를 사용하여, 선반부재에 대한 화물을 출입시킬 경우, 선반부재가 포크의 상기 스페이스부를 상하방향으로 상대이동시키므로, 포크의 동작중에 선반부재에 간섭하는 일이 없음에도 불구하고, 상기 포크의 폭은 선반부재의 폭보다도 넓게 형성되어 있기 때문에, 포크로 화물을 지지한 경우의 화물의 안정성이 향상된다.

본 발명의 구체적인 구성과 작용은, 이하에 첨부도면에 근거하여 설명하는 본 발명의 바람직한 실시형태에서 용이하게 이해될 수 있다.

(발명의 실시의 형태)

이하, 본 발명에 있어서 실시의 형태를 도 1∼도 10에 근거하여 설명한다.

도 7에 있어서, 1은 다수의 용기(2)(화물의 일예)를 보관하는 화물보관설비이고, 이 화물보관설비(1)는 복수의 용기(2)(앞면열기 일체화 포드(pod) 또는 후프 등이라고 부른다)를 보관하는 전후한쌍의 선반장치(3)와, 양 선반장치(3)에 대하여 용기(2)를 출입시키는 출입수단(4)으로 구성되어 있다.

상기 용기(2)는, 도 4에 도시되어 있는 바와같이, 복수의 반도체(웨이퍼)를 수납하는 용기본체부(5)와, 용기본체부(5)의 상단에 형성된 폭이 좁은 목부(6)와, 목부(6)의 상단으로부터 확대된 헤드부(7)로 구성되어 있다. 상기 목부(6)의 횡측방에서 용기본체부(5)와 헤드부(7) 사이의 공간이 걸어맞춤부(8)로 되어 있고, 이 걸어맞춤부(8)는 일반적으로, 용기(2)의 반송과정에 있어서 로봇 등의 옮겨싣기 기구가 용기(2)를 잡는 경우 등에 이용되는 것이다. 또한, 도 3에 도시하는 바와같이, 용기본체부(5)의 저면에는 복수(도 3에서는 3개)의 내측 위치결정구멍(9)과, 그 외측에 위치하는 복수(도 3에서는 2개)의 외측 위치결정구멍(10)이 설치되어 있다.

도 7에 도시하는 바와같이, 상기 선반장치(3)는 복수의 지주나 횡재(19) 등으로 이루어지는 선반프레임(11)과, 선반프레임(11)내에 설치된 선반부재(12)를 구비하고 있다. 도 6에 도시하는 바와같이, 상기 선반부재(12)는 용기(2)를 지지하는 것이고, 상하 또한 좌우로 각각 소정간격을 두고 복수 배열설치되어 있다.

상기 선반부재(12)는, 도 1, 도 2에 도시하는 바와같이, 수평 평판형상의 선반판(13)과, 선반판(13)의 뒷변에서 기립되는 상측 부착판(14)과, 선반판(13)의 양측변에서 늘어뜰여지는 좌우한쌍의 측판(15)과, 양측판(15)의 아랫변으로부터 안쪽으로 향해 수평으로 뻗는 좌우한쌍의 피걸어맞춤판(16)(피걸어맞춤부의 일예)과, 양측판(15)의 윗변으로부터 바깥쪽으로 향해 수평으로 뻗는 좌우한쌍의 수평판(17)과, 양 피걸어맞춤판(16)의 뒷변으로부터 늘어뜰여지는 하측 부착판(18)으로 구성되어 있다.

상기 상측 부착판(14)과 하측 부착판(18)이 각각 볼트 등으로 선반프레임(11)의 횡재(19)에 연결되고, 이것에 의해, 각 선반부재(12)가 선반프레임(11)에 고정된다. 또한, 상기 양측판(15)의 대략 전반분은 선반판(13)보다도 전방으로 뻗어 있고, 이 측판(15)의 뻗은 부분의 윗변으로부터 상기 수평판(17)이 연설되어 있다. 상기 선반판(13)의 상면과 양 수평판(17)의 상면은 동일한 높이에 있고, 이들 선반판(13)의 상면과 양 수평판(17)의 상면이 용기(2)를 얹어놓기가능한 화물얹어놓기부(20)를 구성하고 있다.

상기 양 피걸어맞춤판(16)은 용기(2)의 걸어맞춤부(8)에 걸어맞춤하여 당해 용기(2)를 선반부재(12)에 매달아 유지하는 것이고, 이 피걸어맞춤판(16)과 걸어맞춤부(8)는 전후방향(F)(즉, 용기(2)의 출입방향)에 있어서 걸어맞춤 및 걸어맞춤해제 가능하게 구성되어 있다. 또한, 상기 화물얹어놓기부(20)에는 용기(2)의 내측 위치결정구멍(9)(도 3참조)에 대하여 상하방향으로 삽입이탈가능한 3개의 내측 위치결정핀(21)(위치결정 돌기부의 일예)이 설치되어 있다. 이 중에서, 1개는 선반판(13)의 앞부상면에 설치되고, 나머지 2개는 양 수평판(17)의 앞부상면에 설치되어 있다.

또한, 도 7에 도시하는 바와같이, 상기 한쌍의 선반장치(3)사이에는 통로(23)가 형성되어 있다. 또한, 어느 한쪽의 선반장치(3)의 일부에는, 용기(2)의 입출고를 위한 화물분별부(24)가 형성되어 있다. 상기 출입수단(4)은 통로(23)내에 배열설치되고 또한 통로길이의 대략 전장의 길이로 형성된 승강가능한 승강체(25)와, 이 승강체(25)측으로 지지안내되어 좌우방향(G)(통로길이의 방향)으로 왕복이동가능한 가동체(26)와, 이 가동체(26)에 설치된 출입장치(27) 등에 의해 구성되어 있다.

상기 승강체(25)는 통틀형상이고, 그 좌우방향(길이방향)의 중앙부분에는 상자형상 틀체(38)가 설치되어 있다. 상기 승강체(25)를 승강구동하는 승강구동장치(28)는 복수의 가이드휠체(29)와, 이들 가이드휠체(29)사이에 걸리고 또한 일단이 상기 상자형상 틀체(38)에 상방으로부터 연결됨과 동시에 타단이 밸런스웨이트(30)에 상방으로부터 연결되는 승강용 벨트(31) 및 보조 와이어(32)와, 마루측에 설치된 구동풀리(33)와, 이 구동풀리(33)를 정역(正逆) 회전구동하는 모터(34)와, 상기 구동풀리(33)에 걸리고 또한 일단이 상기 상자형상 틀체(38)에 하방으로부터 연결됨과 동시에 타단이 밸런스웨이트(30)에 하방으로부터 연결되는 와이어(35)와, 이 와이어(35)를 구동풀리(33)에 감게 하는 복수의 체(36)와, 상기 와이어(35)를 상자형상 틀체(38)측으로 안내하기 위한 가이드휠체(37) 등으로 구성되어 있다.

상기 구성에 의하면, 모터(34)에 의해 구동풀리(33)를 정역으로 회전구동시키므로써, 와이어(35)와 승강용 벨트(31)를 통해서 승강체(25)를 승강구동할 수 있다. 그 때에 승강체(25)는 적당한 가이드수단(도시생략)에 의해 선반장치(3)측으로 승강가능하게 안내된다. 상기 밸런스웨이트(30)는 승강체(25)의 상승구동시의 부하를 경감하는데 유용하다.

도 7, 도 8에 도시하는 바와같이, 상기 가동체(26)는 승강체(25)내에 설치된 슬라이드가이드(39)로 안내되고, 왕복구동장치(40)에 의해 왕복이동된다. 즉, 상기 왕복구동장치(40)는 승강체(25)내에서 또한 길이방향의 양단부분에 축지지된 안내풀리(41)와, 상기 상자형상 틀체(38)내에 설치된 구동풀리(42)와, 이 구동풀리(42)를 정역으로 회전구동할 상자형상 틀체(38)내에 설치된 모터(43)와, 양 안내풀리(41)와 구동풀리(42)에 걸쳐 팽팽히 걸린 타이밍벨트(44)와, 텐션풀리(45) 등에 의해 구성되고, 상기 타이밍벨트(44)의 한곳이 상기 가동체(26)에 연결되어 있다. 이 구성에 의하면, 왕복구동장치(40)의 모터(43)를 정역으로 구동시켜 타이밍벨트(44)를 정역으로 회전운동시키므로써, 가동체(26)를 왕복이동시킬 수 있다.

도 8∼도 10에 도시하는 바와같이, 상기 가동체(26)의 상부에는, 수직축심(47)의 주위에서 회전운동가능한 회전테이블(48)이 설치되어 있다. 또한, 가동체(26)의 내부에는 상기 회전테이블(48)에 타이밍벨트(49) 등을 통해서 연동되는 테이블 구동장치(50)가 설치되어 있다.

상기 출입장치(27)는 암(51)과 플레이트형상의 포크(54)로 구성된 중간접기 암형식의 것이고, 암(51)은 그 기단부가 회전테이블(48)상에 고정됨과 동시에, 자유단부에는 축받이(53)를 통해서 수직인 작동축(52)이 지지되어 있다. 포크(54)는 그 기단부가 상기 암(51)의 자유단부에 지지된 상기 작동축(52)에 고착되어 있다. 더욱이, 출입장치(27)를 구동시키기 위해서, 상기 가동체(26)내에, 암구동장치(서보모터 등)(58)가 배열설치되어 있다. 이 암구동장치(58)의 출력축(59)은 상기 수직축심(47)과 동심으로 위치하여 회전테이블(48)을 관통하고 있다. 상기 암(51)은 중공케이스형상으로 되고, 그 내부에 전동기구(60)가 개재되어 있다. 이 전동기구(60)는 상기 출력축(59)에 고정된 제 1 휠체(61)와, 상기 포크(54)에 고착된 상기 작동축(52)의 하부에 동심으로 고정된 제 2 휠체(62)와, 제 1 휠체(61)와 제 2 휠체(62)를 연동시키는 타이밍벨트(63) 등에 의해 구성되어 있다.

도 2에 도시하는 바와같이, 상기 포크(54)는 그 자유단부의 폭(W1)이 상기 선반부재(12)의 폭(W2)보다도 넓게 되도록 구성되고, 당해 포크(54)의 자유단부에는 좌우한쌍의 화물지지부(54a,54b)가 형성되고, 이들 양 화물지지부(54a,54b) 사이에는 앞측과 상하 양방으로 개방된 스페이스부(55)가 형성되어 있다. 이 스페이스부(55)는 그 폭(W3)이 상기 선반부재(12)의 폭(W2)보다도 넓고 또한 포크(54)의 자유단부의 폭(W1)보다도 좁게 되도록 구성되어 있고, 상기 스페이스부(55)와 선반부재(12)가 상하방향으로 상대이동할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 포크(54)의 양 화물지지부(54a,54b)의 상면에는 용기(2)의 양 외측 위치결정구멍(10)에 대하여 상하방향으로 삽입이탈가능한 외측 위치결정핀(56)(위치결정 돌기부의 일예)이 설치되어 있다. 더욱이, 도 8∼도 10에 도시하는 바와같이, 포크(54)의 양 화물지지부(54a,54b)로부터 벗어난 기단부에는 중공케이스형상의 가대(架臺)(64)가 설치되어 있다. 이 가대(64)에는 양 화물지지부(54a,54b)상에 지지된 용기(2)의 횡 이동을 저지하는 횡이동저지체(65)가 좌우 한쌍 설치되어 있다.

이하, 상기 구성의 화물보관설비의 작용을 설명한다.

도 8 및 도 9의 실선으로 도시하는 바와같이, 테이블 구동장치(50)의 작동에 의해, 타이밍벨트(49) 등을 통해서 회전테이블(48)과 일체로 암(51)을 수직축심(47)의 주위를 회전시켜서, 이 암(51)의 자유단을 승강체(25)의 상방으로 위치시킴과 동시에, 암구동장치(58)의 작동에 의해, 전동기구(60) 등을 통해서 포크(54)를 작동축(52)과 일체로 암(51)에 대하여 회전시켜서, 출입장치(27)(암(51)과 포크(54))를 굴곡운동시키고, 상기 포크(54)를 암(51)상에 겹치는 퇴입위치(A)까지 퇴입시킬 수 있다.

또한, 상기 테이블 구동장치(50)의 역작동에 의해, 회전테이블(48)과 일체로 암(51)을 수직축심(47)의 주위를 회전시켜서, 이 암(51)의 자유단을 선반장치(3)쪽으로 이동시킴과 동시에, 암구동장치(58)의 역작동에 의해, 포크(54)를 작동축(52)과 일체로 암(51)에 대하여 역회전시켜, 굴곡 겹치기 상태의 출입장치(27)(암(51)과 포크(54))를 신장운동시켜서, 도 9의 가상선으로 도시하는 바와같이, 상기 포크(54)의 화물 지지부(54a,54b)를 선반부재(12)의 상 또는 하에 위치시키는 돌출위치(B)까지 전후방향(F)으로 이동시킬 수 있다.

용기(2)를 선반부재(12)의 상측에 얹어놓은 상태에서 입고시킬 경우, 상기 퇴입위치(A)(도 9의 실선참조)의 포크(54)의 양 화물지지부(54a,54b)상에 입고해야할 용기(2)를 지지한 상태로, 승강체(25)를 승강시킴과 동시에 가동체(26)를 좌우방향(G)으로 이동시키고, 포크(54)를 목적의 선반부재(12)에 대응하는 위치에서 또한 당해 목적의 선반부재(12)의 상측레벨에서 정지시킨다. 이 때, 포크(54)의 양 외측 위치결정핀(56)이 용기(2)의 양 외측 위치결정구멍(10)에 삽입되어 있기 때문에, 용기(2)는 포크(54)에 대하여 위치결정되고, 포크(54)의 이동에 의해서도 위치어긋남되지 않는다.

다음에, 포크(54)를 퇴입위치(A)로부터 돌출위치(B)(도 9의 가상선참조)까지 이동시키므로서, 도 4a에 도시하는 바와같이, 양 화물지지부(54a,54b)로 지지된 용기(2)를 목적의 선반부재(12)의 상측으로 이동시킨다. 다음에, 도 4b에 도시하는 바와같이, 승강체(25)를 소정량 하강시키므로써, 포크(54)의 스페이스부(55)내에서 하방으로부터 목적의 선반부재(12)가 상대적으로 상승이동하고, 당해 포크(54)의 양 화물지지부(54a, 54b)상에 지지되어 있는 용기(2)가 당해 양 화물지지부(54a, 54b)상으로부터 목적의 선반부재(12)의 화물얹기부(20)상으로 바꿔 탄다. 이 때, 포크(54)의 양 외측 위치결정핀(56)이 용기(2)의 양 외측 위치결정구멍(10)에서 빠짐과 동시에, 목적의 선반부재(12)의 내측 위치결정핀(21)이 용기(2)의 내측 위치결정구멍(9)에 삽입되기 때문에, 용기(2)는 화물얹어놓기부(20)상에 위치결정되어, 위치 어긋나는 일이 없다. 이상에서 목적의 선반부재(12)의 상측으로의 용기(2)의 입고가 완료하므로, 그 후, 빈 포크(54)를 돌출위치(B)로부터 퇴입위치(A)까지 퇴입이동시키면 된다.

또한, 용기(2)를 선반부재(12)의 하측에 매다는 상태로 입고할 경우, 상기와 같이 용기(2)를 지지하고 있는 포크(54)를 목적의 선반부재(12)에 대응하는 위치에서 또한 당해 목적의 선반부재(12)의 하측레벨에서 정지시키고, 포크(54)를 퇴입위치(A)에서 돌출위치(B)까지 진출이동시키므로써, 포크(54)의 양 화물지지부(54a, 54b)에서 지지된 용기(2)가 목적의 선반부재(12)의 하측으로 이동한다. 이 때, 도 5a에 도시하는 바와같이, 용기(2)의 헤드부(7)가 전방으로부터 선반부재(12)의 양측판(15)사이로 삽입된다. 환언하면, 이와같이 용기(2)의 헤드부(7)가 선반부재(12)의 양측판(15)사이에 삽입되도록, 포크(54)의 레벨이 결정된다.

다음에, 승강체(25)와 함께 포크(54)를 소정량만큼 하강시키므로써, 도 5b에 도시하는 바와같이, 당해 포크(54)상에 지지되어 있는 용기(2)의 걸어맞춤부(8)가 목적의 선반부재(12)의 양 피걸어맞춤판(16)에 상방에서 걸어맞춤되고, 용기(2)가 목적의 선반부재(12)의 하측에 매달려 지지된다. 이 때, 포크(54)의 양 외측 위치결정핀(56)이 용기(2)의 양 외측 위치결정구멍(10)에서 빠진다. 이상에서 목적의 선반부재(12)의 하측으로의 용기(2)의 입고가 완료되므로, 이 후, 빈 포크(54)를 돌출위치(B)로부터 퇴입위치(A)까지 퇴입이동시키면 된다.

이상과 같이 하여, 도 6에 도시하는 바와같이, 2개의 용기(2)를 1개의 선반부재(12)의 상측과 하측으로 나누어 유지할 수 있으므로, 상하 3단으로 용기(2)를 보관할 경우, 도 12에 도시하는 종래의 보관설비와 같이, 최상단(a)의 선반부재(12)와 최하단(b)의 선반부재(12) 사이에 중간단(c)의 선반부재를 설치할 필요가 없다.

또한, 선반부재(12)의 상측에 보관되어 있는 용기(2)를 출고할 경우, 빈 포크(54)를, 출고목적의 용기(2)를 지지하고 있는 선반부재(12)의 중간레벨에서 정지시킴과 동시에, 당해 포크(54)를 퇴입위치(A)로부터 돌출위치(B)까지 진출이동시키고, 도 4b에 도시하는 바와같이, 당해 포크(54)의 스페이스부(55)내에 선반부재(12)를 상대적으로 진입시키므로써, 양 화물지지부(54a, 54b)를 선반부재(12)의 양 외측방으로 또한 목적의 용기(2)의 하측으로 위치시킨다. 이러한 상태에서, 승강체(25)에 의해 포크(54)를 소정량만큼 상승시키므로써, 도 4a에 도시하는 바와같이, 선반부재(12)의 화물얹어놓기부(20)상에 지지되어 있는 목적의 용기(2)가 포크(54)의 양 화물지지부(54a, 54b)에서 지지되어 들어 올린다. 이것에 의해, 선반부재(12)의 내측 위치결정핀(21)이 용기(2)의 내측 위치결정구멍(9)에서 빠짐과 동시에, 포크(54)의 양 외측 위치결정핀(56)이 목적의 용기(2)의 양 외측 위치결정구멍(10)에 삽입되기 때문에, 상기 용기(2)는 포크(54)에 위치결정되고, 위치어긋나는 일은 없다. 이 후, 상기 용기(2)를 지지한 포크(54)를 돌출위치(B)로부터 퇴입위치(A)까지 퇴입이동시키므로써, 목적의 용기(2)가 선반부재(12)의 상측에서 앞측으로 출고된다.

또한, 선반부재(12)의 하측에 매달린 상태에서 보관되어 있는 용기(2)를 출고할 경우, 빈 포크(54)를 출고목적의 용기(2)보다 하측레벨에서 정지시킨다. 그리고, 포크(54)를 퇴입위치(A)로부터 돌출위치(B)까지 진출이동시켜서, 도 5b에 도시하는 바와같이, 목적의 용기(2)의 하측에 양 화물지지부(54a, 54b)를 위치시킨다. 이러한 상태에서, 승강체(25)와 함께 포크(54)를 소정량만큼 상승시키므로써, 도 5a에 도시하는 바와같이, 목적의 용기(2)가 양 화물지지부(54a, 54b)에서 지지되어 약간 들어 올려진다. 이것에 의해, 목적의 용기(2)의 헤드부(7)가 선반부재(12)의 피걸어맞춤판(16)으로부터 약간 부상하므로, 상기 용기(2)를 지지한 포크(54)를 돌출위치(B)로부터 퇴입위치(A)까지 퇴입이동시키므로써, 목적의 용기(2)의 걸어맞춤부(8)가 선반부재(12)의 피걸어맞춤판(16)의 앞측으로 빠지고, 목적의 용기(2)가 선반부재(12)의 하측으로부터 앞측으로 출고된다.

상기의 실시형태에서는, 출입장치(27)에 있어서, 용기(2)를 하방으로부터 들어올리고, 용기(2)의 저면을 지지하는 포크(54)를 사용하고 있는데, 포크(54) 대신에, 용기(2)의 용기본체부(5)를 양측방에서 끼워 들어올리는 좌우한쌍의 용기 지지용 암을 사용한 형식이더라도 좋다.

또한, 상기의 실시형태에서는, 도 7에 도시하는 바와같이, 출입수단(4)을, 선반장치(3)측으로 안내하여 승강하는 승강체(25)와, 이 승강체(25)에 설치되어 좌우방향(G)으로 이동하는 가동체(26)와, 가동체(26)에 설치된 포크형식의 출입장치(27)로 구성되어 있는데, 자동창고의 스태커 크레인을 출입수단(4)으로 하여도 좋다. 즉, 출입수단(4)을 통로(23)내의 마루를 주행하는 주행체와, 이 주행체에 설치된 승강가능한 화물대와, 이 화물대에 설치된 출퇴가능한 포크로 구성할 수도 있다.

더욱이, 상기의 실시형태에서는, 도 2, 도 3에 도시하는 바와같이, 선반부재(12)에 3개의 내측 위치결정핀(21)을 설치하고, 용기(2)에 3개의 내측 위치결정구멍(9)을 형성하고 있지만, 이들 내측 위치결정핀(21)과 내측 위치결정구멍(9)의 수는, 3개 이외의 복수개 또는 단수개이더라도 좋다. 또한, 포크(54)에 2개의 외측 위치결정핀(56)을 설치하고, 용기(2)에 2개의 외측 위치결정구멍(10)을 형성하고 있지만, 이들 외측 위치결정핀(56)과 외측 위치결정구멍(10)의 수는, 2개 이외의 복수개 또는 단수개이더라도 좋다. 물론, 이들 위치결정핀(21,56)을 위치결정 돌기부의 일예로서 사용하고 있지만, 핀이외의 돌기나 돌편 등을 위치결정돌기부로 설치할 수도 있다.

또한, 상기의 실시형태에서는, 화물의 일예로서, 반도체(웨이퍼)를 수납하는 용기(2)를 들었지만, 반도체이외의 것을 수납하는 용기이더라도 좋다. 용기이외의 다른 물품을 화물로서 취급할 수도 있다.

본 발명은 선반부재의 수를 줄일 수 있고, 또한 복수의 선반부재로 구성되는 선반장치의 높이를 낮출 수 있고, 더욱이 포크로 지지된 화물의 안정성이 향상되는 화물보관설비를 제공하고, 2개의 화물이 1대의 선반부재의 상측과 하측으로 분할되어 유지되기 때문에, 종래에 비하여 선반부재의 수를 줄일 수가 있어, 비용절감을 도모할 수 있다.

또, 화물이 목적의 선반부재의 화물 얹어놓기부에 얹어놓였을 때, 화물 얹어놓기부의 위치결정 돌기부가 화물의 위치결정구멍에 삽입되기 때문에, 상기 화물이 화물 얹어놓기부에 위치결정되고, 따라서 화물의 위치어긋남을 방지할 수가 있다. 또, 화물이 출입수단에서 출입될 때, 출입수단의 위치결정 돌기부가 화물의 위치결정구멍에 삽입되기 때문에, 상기 화물이 출입수단에 위치결정되고, 따라서 화물의 위치어긋남을 방지할 수가 있다.

본 발명에 의하면, 화물을 포크로 지지하여 출입하는 경우, 포크의 위치결정 돌기부가 화물의 위치결정구멍에 삽입되기 때문에, 상기 화물이 포크에 위치결정되어, 포크이동시에 포크상의 화물의 위치어긋남을 방지할 수가 있다.

또, 상하 3단에 화물을 보관하는 경우, 상위의 선반부재와 하위의 선반부재와의 사이에 종래와 같은 중간위의 선반부재를 설치할 필요가 없기 때문에, 중간위의 선반부재를 없앤 만큼, 상위의 선반부재와 하위의 선반부재와의 상하 간격을 축소할 수가 있다. 따라서 복수의 선반부재로 구성되는 선반장치의 높이를 낮게 할 수가 있다. 그리고, 출입수단의 포크를 이용하여, 선반부재에 대해서 화물을 출입하는 경우, 선반부재가 포크의 결여부에 돌입함으로써, 포크가 작동중에 선반부재에 간섭하는 일은 없다. 또, 포크의 폭은 선반부재의 폭보다도 넓게 형성되어 있기 때문에, 포크로 화물을 지지했을 때의 화물의 안정성이 향상한다.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 있어서 화물보관설비의 선반부재의 사시도이다.

도 2는 동 화물보관설비의 선반부재와 출입수단의 포크의 평면도이다.

도 3은 동 화물보관설비에서 취급되는 용기의 저면도이다.

도 4는 동 화물보관설비의 선반부재의 상측에 용기를 입고하는 경우의 포크의 움직임을 도시하는 도면이고, a도는 용기를 선반부재의 화물얹어놓기부의 상방까지 이동시킨 상태를 도시하고, b도는 용기를 선반부재의 화물얹어놓기부에 얹은 상태를 도시한다.

도 5는 동 화물보관설비의 선반부재의 하측에 용기를 입고하는 경우의 포크의 움직임을 도시하는 도면이고, a도는 용기의 헤드부를 선반부재의 양측판사이에 삽입한 상태를 도시하고, b도는 용기를 선반부재의 하측으로 매달은 상태를 도시한다.

도 6은 동 화물보관설비에 있어서 복수의 선반부재의 상측과 하측에 각각 용기를 유지한 상태를 도시하는 선반장치의 정면도이다.

도 7은 동 화물보관설비의 일부 절결 사시도이다.

도 8은 동 화물보관설비의 출입수단에 있어서 출입장치의 일부 절결 측면도이다.

도 9는 동 출입장치의 평면도이다.

도 10은 동 출입장치의 배면도이다.

도 11은 종래의 화물보관설비의 선반부재상에 용기를 입고하는 경우의 화물지지부(포크)의 움직임을 도시하는 도면이고, a도는 용기를 선반부재의 화물얹어놓기부의 상방까지 이동시킨 상태를 도시하고, b도는 용기를 선반부재의 화물얹어놓기부에 얹어놓은 상태를 도시한다.

도 12는 종래의 화물보관설비의 복수의 선반부재상에 용기를 유지한 상태를 도시하는 선반장치의 정면도이다.

도 13은 종래의 화물보관설비의 선반부재와 화물지지부(포크)를 도시하는 평면도이다.

Claims (4)

1. 걸어맞춤부를 가지는 화물을 지지하는 선반부재와, 상기 선반부재에 대하여 화물을 출입시키는 출입수단을 구비하고, 상기 선반부재의 상측에는 상기 화물을 얹어놓기가능한 화물얹어놓기부가 설치되고, 상기 선반부재의 하측에는, 화물의 상기 걸어맞춤부와 걸어맞춤하여 당해 화물을 선반부재의 하측에 유지하는 피걸어맞춤부가 설치되고, 상기 걸어맞춤부와 피걸어맞춤부는, 화물의 출입하는 방향에 있어서 서로 걸어맞춤 및 걸어맞춤해제 가능하도록 구성되어 있고, 상기 화물의 저부에 위치결정구멍이 설치되고, 상기 출입수단과 상기 선반부재의 화물얹어놓기부에는, 상기 위치결정구멍에 대하여 삽입이탈가능한 위치결정 돌기부가 설치되어 있는 화물보관설비에 있어서,

   상기 선반부재는 상하방향 복수단 또한 수평방향 복수열로 배열설치되고,

   상기 출입수단은, 상하방향과 수평방향으로 이동가능한 가동체와, 이 가동체에 설치되고 또한 상기 선반부재에 대하여 출퇴하여 화물을 들어올리는 포크로 구성되고, 상기 포크에 상기 위치결정 돌기부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화물보관설비.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 포크의 폭은 선반부재의 폭보다 넓게 형성되고, 당해 포크에, 상기 선반부재와의 상하방향 상대이동을 허락하는 스페이스부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 화물보관설비.
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