KR20010082105A

KR20010082105A - 연속처리장치

Info

Publication number: KR20010082105A
Application number: KR1020010006426A
Authority: KR
Inventors: 나카츠카사에이지; 미카미간지; 가모토가츠토시
Original assignee: 후나 쯔모도아끼; 시마즈멕템가부시기가이샤
Priority date: 2000-02-10
Filing date: 2001-02-09
Publication date: 2001-08-29
Also published as: DE10105691A1; CN1308217A; CN1168948C; TW493006B; KR100393931B1; JP3479485B2; US6523676B2; JP2001226710A; US20010050212A1

Abstract

본 발명은 열충격 및 처리가스에 의한 영향을 받기 어렵고, 피처리물을 정확히 반송시키는 연속처리장치에 관한 것이다. 피처리물(W)을 탄지하는 탄지기구(9)가 처리실 (1), (2), (3), (4) 사이에 설치된 칸막이실(6)에 위치하도록 구성되어 있어 피니언(92)을 사용하여 래크부재(91)를 왕복시킴으로써 피처리물(W)을 반송하기에 적합하다. 이러한 장치를 사용하면 처리실내에 래크부재(91)들과 피니언(92)을 설치할 필요가 없게 된다.

Description

연속처리장치{Continuous Treatment Apparatus}

본 발명은 진공탈지, 소결, 급냉, 분체처리, 납땜, 접합, 피복, 표면처리, 열처리 및 고온압착 등을 포함한 다양한 처리를 실시하는 각종 처리에 이상적으로 제공할 수 있는 연속처리장치에 관한 것이다.

연속처리장치는 일련의 연속단계들에서 피처리물을 선결처리하기에 적합하도록 하기 위하여 피처리물이 다수의 처리실을 경유하여 처리되도록 설비되어진다. 통상적으로는 피처리물이 특정 처리실로부터 타처리실로 처리되도록 반송하기 위하여 체인형 톱니바퀴(sprocket)를 사용하여 체인을 구동시키는데 적합한 퓨셔 체인 방식 반송장치(pusher chain type transfer apparatus)를 사용하였다.

그러나, 이러한 형태의 반송장치 체인 말단으로부터 체인의 앞쪽(先端)이 각처리실 사이를 통과하는 위치까지 계속 이동하며, 이러한 위치이동으로 푸셔 체인의 일부가 고온처리가스에 노출되므로, 상기 체인은 열충격, 처리가스 등에 의해 악영향을 받기 쉽다. 체인형 톱니바퀴(sprockets) 또한 처리실들에 배치되므로 열충격, 처리가스 등에 의해 악영향을 받기 쉽다. 피처리물의 길이가 길수록 퓨셔 체인은 전방 더 멀리까지 이동한다. 따라서, 반송효율은 감퇴하는 것이 보통이다. 상기 문제점으로 인하여 장치의 수명기간은 더욱 단축되며 필요정비횟수는 증가하고신뢰성이 손상되는 문제점이 있었다.

앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 다수의 처리실 사이에 위치한 칸막이실에 탄지기구(urging mechanism)들이 위치하도록 구성함으로써 처리실들에는 래크부재와 피니언을 설치할 필요가 없게 되어 처리기구의 부품들은 고온노출로 인한 열충격이나 처리가스에 따른 손실로부터 보호될 수 있으며 수명기간이 길어지고, 필요정비횟수는 줄어들며 작동비용은 절감될 수 있는 하나의 처리실로부터 차순의 처리실로 피처리물을 반송하는 연속처리장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 도시한 개략적인 전단면도,

도 2는 도 1에 도시한 실시예의 부분확대도,

도 3은 도2와 대응하는 도면으로서 작동을 도시한 도면,

도 4는 도 2의 부분확대도,

도 5는 래크와 그 주변부의 평면확대도,

도 6은 도 5에 도시한 실시예의 부분단면도,

도 7은 도 5에 도시한 실시예의 작동을 도시한 도면,

도 8은 도 5에 도시한 실시예의 작동을 도시한 도면,

도 9는 본 발명의 변형예를 도시한 도면,

도 10은 본 발명의 다른 변형예를 도시한 도면,

도 11은 본 발명의 또 다른 변형예를 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 준비실 2 : 탈지실

3 : 소결실 4 : 냉각실

5 : 덮개 7 : 반송레일

9 : 탄지기구(urging mechanism) 81: 회전축

91: 래크부재(rack member) 92 : 피니언(pinion)

93, 94 : 래치수단(latching means) W : 피처리물(treated object)

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 연속처리장치에 있어서, 탄지기구(urging mechanism)는 반송방향으로 이동가능한 래크부재들, 상기 래크부재들을 구동시키는 피니언 및 상기 래크부재들과 피처리물을 선택적으로 맞물림시키는 래치수단들을 구비하며; 상기 래크부재들은 상기 래치수단들에 의해 상기 피처리물과 탈착하며 또한 상기 피니언을 통해 전후 처리실 사이를 왕복하는 다수의 처리실 사이에 탄지기구들을 사용함으로써 하나의 처리실로부터 차순의 처리실로 피처리물의 반송이 가능한 것을 특징으로 한다.

상기 탄지기구는 처리실들 사이에서 래크부재들을 왕복이동시켜 피처리물을 반송하므로, 처리실들에 래크부재와 피니언을 설치할 필요가 없게 된다. 이로 인하여, 래크부재들과 피니언이 고온처리가스에 노출될 우려는 적으며, 열충격 및 처리가스에 노출됨으로 인한 손상이 발생할 가능성 또한 감소하고, 장기간 동안 안정된 동작을 할 수 있다. 상이한 위치에서 래치수단들과 피처리물을 맞물림시키고서 다량의 피처리물을 수회 탄지하더라도 래크부재들을 대형화하지 않고서도 상기 피처리물을 효율적으로 반송할 수 있다.

본 발명의 상기한 구조에서 래크부재는 쌍으로 제공되며, 피니언은 상기 래크부재들과 맞물림과 더불어 그중 하나의 래크부재가 전방으로 이동하여 피처리물을 반송하는 동안 그외 다른 래크부재는 후방으로 이동하여 이후의 반송을 준비하는 작동 및 역작동을 반복실시하게 된다.

상기 구조에서 본 발명의 래치수단들은 래크부재들에 의해 피처리물의 반송방향을 따라 다수의 위치에 제공되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 상기 래치수단들은 피처리물의 반송방향에 따라 다수의 위치에서 피처리물과 맞물리는 것이 바람직하다.

상기 장치들이 상호 간섭하지 않도록 하면서 피처리물을 적절히 반송하기에 적합하도록 처리실들을 밀폐시키기 위하여, 각 처리실에는 덮개를 설치하여 개폐하며, 래크부재들은 덮개를 개방시킨 상태에서 전후 처리실을 연결하는 반송레일을 따라 이동가능하고, 덮개를 개방시킨 경우 상기 덮개는 반송레일 또는 래크부재와 간섭하지 않는 위치로 젖혀지는 작동 및 덮개를 밀폐시킨 경우 반송레일과 래크부재들은 덮개를 간섭하지 않는 반송레일과 래크부재 위치로 젖혀지는 반대의 작동이 회전축 주위에서 배반적으로 실행가능한 것이 바람직하다.

본 발명의 상기 덮개, 반송레일 및 래크부재들은 통상의 회전축을 사용하여장착되고 젖혀지는 것이 바람직하다.

본 발명의 로드(rod)는 상기 회전축에 수용되는 것이 바람직하며, 상기 로드는 덮개를 개폐시키기 위하여 승·하강한다.

본 발명에 있어서, 피니언은 상기 로드와 접속되는 것이 바람직하며, 상기 로드는 승·하강을 방해받지 않으면서 회전가능하다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 소위 연속식 탈지/소결로(continuous dewaxing/

sintering furnace)로 사용되는 연속처리장치는 피처리물(W)의 경로를 따라 선말단부로부터 준비실(1), 탈지실(2), 소결실(3) 및 냉각실(4)의 순서로 배치된 네 개의 처리실을 구비하고 있다. 덮개(5)는 처리실 (1∼4) 각각의 입구 및 출구 역할을 하는 개구(5a)에 설치된다. 준비실(1)과 탈지실(2)과의 사이, 탈지실(2)과 소결실(3)과의 사이, 및 소결실(3)과 냉각실(4)과의 사이에는 덮개(5)로 밀폐된 칸막이실(6; separating compartment)이 형성되어 있다.

칸막이실(6)에는 반송레일(7)을 설치함과 더불어 이 반송레일(7)을 덮개(5)와 함께 개폐기구(8)로 구동한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 덮개(5)는 개방시 반송레일(7)을 간섭하지 않도록 젖혀질 수 있다. 도 1에 도시한 바와 같이, 덮개 밀폐시 반송레일(7)은 덮개(5)를 간섭하지 않도록 젖혀지는 것이 가능하다.

더욱 상세하게는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이 개폐기구(8)는 중공회전축(81), 로드(82), 구동링크(83), 브래킷(84)과 L자형 링크(85)를 포함하여 구성된다. 상기 중공회전축(81)은 그 일부분에 슬릿(81a)을 가지며 저면부를 관통하여칸막이실(6)로 삽입된다. 로드(82)는 회전축(81)에 수용되어 상하로 이동하며, 그 말단은 슬릿(81a)을 통과하여 상향으로 연장된다. 상기 구동링크(83)는 로드(82)의 중간부에서 로드와 교차하도록 지지되며, 양말단에는 핀(83a)이 수평적으로 돌출되어 있다. 슬릿(81a)을 관통하는 블래킷(84)은 회전축(81)과 함께 수평으로 회전하도록 설치된다. L자형 링크(85)는 블래킷(84)상의 중심부에 접합되며, 그 기단부(基端部)에 홈(85a)이 설치되어 있고, 홈(85a)내에 핀(83a)이 슬라이드 가능하게 고정된다. 반송레일(7)은 회전축(81)에 의해 고정되고, 덮개(5)의 후방 중앙부는 L자형 링크(85)의 말단부(85b)와 접합된다. 레버(30)에 의하여 회전축(81)은 회전가능하게 되며, 제1 엑츄에이터(31)에 의해 로드(82)는 상하로 이동가능하게 된다. 로드(82)에는 턱(82a)들이 형성되어 있고, 그 사이에는 구동링크(83)가 수평으로 삽입되어 있다. 상기 턱(82a)들은 구동링크(83)를 승·하강시킨다. 회전축(81)의 하단에 전체적으로 매달린 하우징(H)의 일단부에는 래버(30)가 형성된다. 하우징(H)에 고정된 제 1 엑츄에이터(31)가 베어링(31a)상에 회전가능하게 접합된 로드(82)를 승·하강시킨다. 즉, 개폐기구(8)는 반송레일(7)과 덮개(5)를 동시에 구동시킬 수 있다. 예컨대 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 개폐기구(8)는 로드(82)를 하강시킴으로써 덮개(5)를 개방시킨다. 그러므로 상기 개폐기구(8)는 도 3에 도시한 바와 같이 반송방향에 대하여 직각으로 덮개(5)를 열고, 래버(30)를 작동시켜 하우징(H)와 함께 회전축(81)을 약 90° 회전시킨다. 덮개(5)가 열려 있는 동안, 상기 개폐기구(8)는 전후 처리실(1,2), (2,3) 및 (3,4)의 노(60;爐)들 사이에 반송레일(7)을 배치시킨다. 이와는 상반되게, 회전축(81)을 상기와는 반대로 약 90° 회전시킴으로써 덮개(5)를 처리실 (1), (2), (3) 및 (4) 각각의 개구(5a)를 향한 위치에 위치하게 된다. 동시에, 상기 개폐기구(8)는 반송레일(7)이 반송방향에 대하여 수직이 되도록 젖혀진다. 그에 따라 로드(82)는 상부로 이동하여 도 1에 도시한 바와 같이, 개구(5a)를 밀폐시킬 때까지 덮개(5)를 이동시킨다. 도 2에서, 도면부호 100은 내부에 개구(5a)를 형성한 벽과 덮개(5)와의 사이에 압력이 통과하지 않도록 접촉시키는 실(seal)을 나타낸다. 도 4에서, 도면부호 50a는 회전축(81)과 회전축(81)을 관통시키는 용기와의 사이에 압력이 통과하지 않도록 접촉시키는 실(seal)을 나타내며, 도면부호 50b는 로드(82)와 로드(82)를 관통시키는 하우징과의 사이에 압력이 통과하지 않도록 접촉시키는 실을 나타낸다. 상술한 바와 같은 설비를 사용할 뿐만 아니라 칸막이실(6)에 탄지기구(9)를 탄지함으로써, 본 발명에 따른 연속처리장치는 피처리물(W)을 연속하여 반송시킨다. 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 탄지기구(9)는 반송방향으로 이동가능한 한 쌍의 래크부재(91), 상기 래크부재(91)를 구동시키는 피니언(92) 및 상기 래크부재(91)와 피처리물을 선택적으로 맞물림시키는 래치수단(93, 94)들을 구비한다.

한쌍의 래크부재(91)는 그것의 하단부에서 반송레일(7)에 설치한 가이드홈(7a)을 슬라이드 가능하게 고정되도록 배치된다. 래크톱니부(91a)는 래크부재(91)들의 대향면상에 각인된다. 대향면상에서 래크톱니부(91a)와 연속적으로 맞물리는 피니언(92)은 래크부재(91)의 길이방향 중앙에 삽입되도록 배치된다. 상기 피니언(92)은 피니언을 회전시키는 로드(82)와 연결되어 있다. 즉, 하우징(H)내에서 상기 로드(82)는 구동기어(32b)와 맞물리는 구동기어(32a)에 고정된다. 상기구동기어(32b)는 제2 엑츄에이터(32)에 의해 구동된다. 즉, 제1 엑츄에이터(31)가 상기 로드(82)를 승·하강시킬 때, 기어(32a)와 (32b)간의 맞물림이 이동하므로 로드(82)의 이동을 방해하지 않게 된다. 상기 제2 엑츄에이터(32)가 로드(82)를 회전시킬 때, 상기 로드(82)는 베어링(31a)상에서 회전가능하도록 접합되어 있으므로 회전을 방해받지 않게 된다. 상기 로드(82)가 상부로 이동시, 이로 인하여 덮개(5)는 닫혀지며, 상기 피니언(92)도 래크톱니부(91a)로부터 이탈되지 않는 범위에서 상부로 이동가능하다.

도 6에 도시한 바와 같이, 래치수단(93, 94)은 래크부재(91)의 양단부에 내설된다. 상기 수단들은 반송방향에 대하여 직교하는 방향으로 설치된 축 (93a), (94a)에 회전가능하도록 장착되어 있다. 상기 수단들은 상기 래크부재(91)의 상면(91b)상에서 반송시단점 및 반송종단점의 측면상에 형성된 후크(93b, 94b)를 돌몰(突沒)시킬 수 있도록 하고 있다. 상기 후크(93b, 94b)는 피처리물이 놓여진 트레이(10)와 래크부재(91)와의 사이에 선택적으로 삽입되어 래크부재(91)와 피처리물(W)을 간접적으로 맞물림시킨다. 구체적으로 후크(93b, 94b)에는 반송시단측면으로부터 반송종단측면으로 갈수록 점차적으로 더 높게되는 테이퍼(93b1, 94b1)가 형성되어 있다. 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 테이퍼(93b1, 94b1)는 트레이(10) 하단에 배치되어 트레이(10)의 선두와 후미에 개설된 요부(凹部; 10a, 10b) 등에 그 표면을 고정시킨다. 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 래크부재(93, 94)의 내말단부는 판스프링(95)에 의해 하방으로 탄력적으로 밀려진다. 후크(93b, 94b)들이 하방으로 이동시 내말단부(93c, 94c)가 승강하게 되어 탄성에너지는 판스프링(95)에 축적된다.

이하, 본 발명의 실시예를 설명한다. 피처리물인 소결물(W)은 소결실(3)로부터 도 1에 도시한 바와 같이 비어있는 냉각실(4)로 이동할 것이다. 일단, 압력조절수단(도시하지 않음)들이 처리실(3), (4)과 칸막이실(6)의 압력을 조절하는데 사용된다. 그런 다음 도 2에 도시한 바와 같이 제 1 엑츄에이터(31)를 사용하여 로드(82)를 낮추고 L자형의 링크(85)를 사용하여 덮개(5)를 개방하게 된다. 이어, 하우징(H)을 약 90°회전시켜 덮개를 젖힘과 동시에 도 3에 도시한 바와 같이 처리실(3), (4) 사이에 반송레일(7)을 걸쳐 놓는다. 그런 다음, 제 2 엑츄에이터(32)를 사용하여 도 5에 점선으로 도시한 바와 같이 피니언(92)을 회전시켜 한쪽 래크부재(91)의 단부를 후방으로 이동시켜, 상기 단부들이 소결실(3)에 배치되도록 하였다. 이때, 도 7에 도시한 바와 같이, 래크부재(91)의 후단부에 제공된 래치수단(93)의 후크(93b)는 트레이(10)의 아래오 빠져나가 래크부재(91)의 전단부에 설치된 요부(10a)에 걸린다. 상기 제 2 엑츄에이터(32)를 역작동시킬 경우, 상기 피니언(92)은 반대방향으로 구동되어 후크(93b)에 의하여 상기 트레이(10)를 전방으로 이동시킨다. 상기 트레이(10)가 적정 위치에 도달하면 이번에는 다른쪽의 래크부재(91)가 순차적으로 앞의 짝부재(91)보다 후방으로 더 멀리 이동하여, 도 8에 도시한 바와 같이 짝부재(91)의 전단부에 제공된 래치수단(94)의 후크(94b)가 트레이(10)의 아래쪽으로 빠져 나가고, 전단부에서 요부(10a)에 걸린다. 그리고 다시, 제 2 엑츄에이터(32)를 반대방향으로 작동시키면, 피니언(92)은 반대방향으로 구동되어 트레이(10)는 전방 더 먼 곳으로 이동하게 된다. 이때, 한쪽 래크부재(91)의전단부에 제공된 래치수단(94)의 후크(94b)가 트레이(10)의 후단부에 설치된 요부(10b)에 걸릴 수 있다. 다시, 제 2 엑츄에이터(32)를 반대방향으로 작동시키면 피니언(92)이 반대방향으로 구동되어 상기 트레이(10)를 냉각실(4)로 이동시킨다. 그런 다음 두 래크부재(91)를 원위치로 되돌려 덮개(5)를 덮는다.

래크부재(91)들의 스트로크가 불충분한 경우, 트레이(10)에서 요부의 수를 증가시키고 래치수단(93, 94)을 걸러 피니언(92)의 회전방향을 단기 주기로 조금씩 변환시키게 되면 동일한 방식으로 피처리물을 반송시킬 수 있다.

상기에 설명한 바와 같이, 실시예에서, 래크부재(91)들은 래치수단(93)들에 의해 걸거나 벗김동작과 함께 피니언(92)을 통하여 처리실(4), (3) 사이, 처리실 (3), (2) 사이 및 처리실(2), (1) 사이에서 왕복이동하게 된다. 그에 따라 하나의 피처리물(W)은 피처리물(W)에 열충격을 발생시키지 않으면서 처리실(3)로부터 처리실(4)로, 처리실(2)로부터 처리실(3)로, 및 처리실(1)로부터 처리실(2)로 차례로 반송될 수 있다.

처리실(4), (3) 사이, 처리실(3), (2) 사이 및 처리실(2), (1) 사이에 위치한 칸막이실(6)에 존재하는 탄지기구(9)는 래크부재(91)들을 왕복이동시켜 피처리물(W)을 반송하는 것이며, 상기 래크부재(91)와 피니언(92)은 대체로 칸막이실(6)내에서 처리실 (4), (3), (2), (1)에 설치되지 않는다. 따라서, 상기 래크부재(91)와 피니언(92)이 고온처리가스에 노출될 가능성은 희박하며, 장시간동안 안정된 작동을 수행할 수 있고 열충격 및 처리가스에 따른 역효과에 대한 우려 또한 없다. 특히, 상기 엑츄에이터(31, 32) 전부를 용기 외측에 배치시킴으로써 상술한 문제점들을 제거할 수 있다. 서로 상이한 위치에서 래치수단(93, 94)들을 상기 피처리물과 맞물리고 다량의 피처리물을 수회 탄지하면 래크부재(91)를 대형화하지 않고도 상기 피처리물을 효율적으로 반송할 수 있다.

상기 실시예에서 래크부재(91)를 두개 사용하였다. 그중 하나는 상기 트레이(10)를 반송시키는 반면, 다른 하나는 차순의 반송을 준비한다. 이로 인하여 피처리물(W)을 효율적이면서 고속으로 반송할 수 있다.

상기 실시예에서, 덮개(5)는 처리실(4), (3), (2), (1)을 차단시킨다. 또 다른 실시예에서, 덮개(5)를 개방시킨 경우 상기 반송레일(7)은 반송실(4), (3), 반송실(3), (2), 및 반송실(2), (1)을 연결하여 래크부재(91)가 상기 반송레일(7)을 따라 이동가능하게 된다. 이러한 장치를 사용하는 경우, 회전축(81) 주변부에서는 다음과 같은 두 반대 작동이 실행된다; (1) 덮개(5)를 개방시킨 경우, 상기 덮개는 반송레일(7) 또는 래크부재(91)를 간섭하지 않는 위치로 젖혀지며 (2) 덮개(5)를 밀폐시킨 경우, 반송레일(7)과 래크부재(91)들은 덮개(5)를 간섭하지 않는 반송레일(7)과 래크부재(91) 위치로 젖혀진다. 이로 인하여 기구들 사이에 간섭없이 처리실(4), (3), (2), (1)을 밀폐시키고 피처리물(W)을 적절하게 반송하는 것이 서로에게 적합하게 된다. 이러한 장치는 또한 그 부분들을 조밀하게 합체시킨다. 게다가, 상기 반송레일(7)이 그 자리에 위치하거나 회전에 의해 젖혀지므로 전후 처리실의 노(60)들 사이의 갭이 최소화될 수 있으며 그 결과 반송은 더욱 원활해진다.

상기 회전축(81)은 덮개(5)를 개폐시키기 위한 용도, 덮개의 젖히기 위한 용도, 반송레일을 제 위치에 위치시키거나 젖히기 위한 용도, 탄지기구(9)를 구동시키기 위한 용도 등으로 로드(82)를 수용한다. 상기 회전축(81)은 한 점에서만 용기를 관통하도록 요구되므로, 복잡화된 밀폐기구(seal mechanism) 등을 사용함이 없이 장치를 배열할 수 있다. 이러한 장치에서 덮개(5)를 위한 개폐기구(8)와 회전축(81)은 서로를 지지하므로 덮개(5)를 닫았을 때 용기, 장치부품에 과도한 힘이 가해지지 않도록 한다.

특정 부위의 배치는 본 발명은 이들 실시예와 관련하여 설명된 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 피처리물의 반송을 위해 두 개가 아닌 단지 하나의 래크부재가 사용될 수 있다. 덮개는 처리실의 출구 또는 입구에 설치될 수 있다. 클러치 기구는 피니언과 반송레일 둘다를 회전시키는데 사용 가능하다. 상기 피니언과 반송레일을 위해 상이한 축이 사용될 수도 있다. 반송저항을 감소시키기 위하여 노(60)와 트레이(10)상에 흑연 등의 열저항성 물질로 구성된 롤러를 설치하는 것도 가능하다. 덮개(5) 개방시 밀폐부(100)가 열에 노출되는 것을 방지하기 위하여, 벽면상에 설치된 부분환상형 열보호판을 외측으로 젖히도록 배치시키는 것이 바람직하다.

덮개(5)를 냉각시킬 수 있도록 하기 위하여 회전축(52)에 냉각수 통로를 설치할 수 있다. 상술한 실시예에서, 덮개 개방시 래치수단들의 후크방향을 변환하기 위하여 회전축을 90° 반대방향으로 회전시키면 상기 트레이는 반송방향과는 반대방향으로 이동된다. 따라서, 이러한 배치는 두 개의 처리실을 구비한 장치를 사용하여 처리하는 경우 트레이를 내·외부로 보내는데 효율적이다.

이외 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다. 예를 들어, 상술한 실시예에 사용되는 탄지기구는 트레이가 칸막이실(6)에 있을 때 회전축(82)에 의해 트레이(10)의 방향을 용이하게 변화시킬 수 있다는 사실에 기초하여 다양하게 변형시킬 수 있다.

예를 들어, 열에 노출될 가능성이 희박한 준비실과 냉각실은 처리실로서가 아니라 칸막이실로서 설비될 수 있다. 도 9에 도시한 바와 같이, 트레이는 준비실 (A1) 또는 냉각실 (A2) 측면상의 개구(A3)를 거쳐 내부 및 외부로 이동하고 90° 회전 후에 반송하여도 된다. 상향으로 열린 힌지문 또는 상향으로 젖힌 덮개는 개구 A3에 설치되어야 한다. 다수의 처리실을 갖는 직선관통형 연속로의 경우 넓은 공간을 차지하므로 연속로 중심을 90° 굽히거나 도 10에 도시한 바와 같이 연속로를 두번 굽힘으로써 U자형으로 제조할 수도 있다. 도 10에서, 처리실은 준비실(101), 제 1 탈지실(102), 제 2 탈지실(103), 소결실(104) 및 냉각실(105)로 구성된다. 상기 굽힘부위에 상기한 실시예에서 사용한 회전축(82)에 의해 구동되는 반송레일(7)을 설치하고 반송레일(7)에 부착된 탄지기구(9)를 사용하여 트레이를 이동시키는 경우 트레이는 굽힘부위들에서 회전 후 연속하여 반송가능하다. 상기 굽힘부위들에 덮개를 상향으로 젖히는 기구를 사용할 수도 있다.

어떤 종류의 연속로는 중앙처리실(202)과 직면하는 개구(201a) 및 다수의 처리실(201)을 구비한다. 상기 연속로는 중앙처리실(202)을 경유하여 특정 처리실(201)로부터 그외 처리실(201)로 피처리물(W)을 반송한다. 트레이를 회전시키고 피처리물(W)을 반송하기 위하여 개폐기구(8)와 탄지기구(9)는 처리실(202)에 대하여 효율적으로 사용된다. 중앙처리실(202) 하나에 대하여 네 개 또는 그 이상의 처리챔버(201)를 설치할 수 있는 것은 당연하다. 그러한 경우에 덮개들은 상향으로만 젖혀지도록 설계되어야 한다.

대안으로서, 피처리물을 왕복이동시킬 수 있는 수단을 변형할 수 있다. 상기한 변형에 따르면 처리실들의 로상에 래치들을 갖는 바(bar)들이 배치되며 상기 바들은 전후로 이동가능하다. 칸막이실들의 래크들을 사이에 배치시킬 때 상기 바들은 칸막이실에서 결합되어 하나의 긴 바로 형성된다. 피처리물을 전방으로 반송하기 위하여 연속로의 입구 및 출구에 설치된 선형 실린더를 사용하여 모든 바를 동시에 왕복이동시키는 변형도 가능하다. 모든 바들이 동시에 상호이동하므로 모든 피처리물 또한 동시에 반송된다. 이로 인하여 전(前) 처리실이 텅빈 상태하에 상기 장치가 대기하는 것은 불가능하다. 그러나, 처리공정이나 노(爐) 적용하에 상기 변형은 효율적이다.

본 발명은 상술한 바와 같이 배치되므로, 푸셔체인방식 장치들에 비하여 처리기구의 부품들이 고온에 노출될 우려가 적다. 본 발명의 부품들은 열충격이나 처리가스에 따른 손실로부터 보호될 수 있으며 또한 수명기간이 길어지고, 필요정비횟수를 감소시키며 작동비용을 절감시킨다. 피처리물의 크기에 따라 래크부재들을 왕복이동시키면 다량의 피처리물을 사용하더라도 효율적으로 반송할 수 있다. 이로 인하여 장치의 대형화는 불필요하게 된다. 결국 초기비용을 절감시키고 공간 효율성이 커진다. 또한 리드와 레일이 상호 간섭하지 않도록 하기 위하여 축들을 회전시킴에 의해 리드를 개폐하고 반송레일을 출납시키는 배치는 반송안정성 및 신뢰성을 향상시키는 동시에 구동기구 및 그 주변부의 용량을 경량화시킨다.

Claims

탄지기구(urging mechanism)는 반송방향으로 이동가능한 래크부재들, 상기 래크부재들을 구동시키는 피니언 및 상기 래크부재들과 피처리물을 선택적으로 맞물림시키는 래치수단들을 구비하며; 상기 래크부재들은 상기 래치수단들에 의해 상기 피처리물과 탈착하며 또한 상기 피니언을 통해 전후 처리실 사이를 왕복하는 다수의 처리실 사이에 탄지기구들을 사용함으로써 하나의 처리실로부터 차순의 처리실로 피처리물의 반송이 가능한 것을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 1항에 있어서, 상기 래크부재는 쌍으로 제공되며, 상기 피니언은 상기 래크부재들과 맞물림과 더불어 그중 하나의 래크부재가 전방으로 이동하여 피처리물을 반송하는 동안 그외 다른 래크부재는 후방으로 이동하여 이후의 반송을 준비하는 작동 및 역작동이 반복실시되는 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 래치수단들은 래크부재들에 의해 피처리물의 반송방향을 따라 다수의 위치에 제공되는 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 래치수단들은 피처리물의 반송방향에 따라 다수의 위치에서 피처리물과 맞물리는 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 1항에 있어서, 상기 장치의 각 처리실은 덮개에 의하여 개폐 가능하며, 상기 래크부재들은 상기 덮개를 개방시킨 상태에서 전후 처리실을 연결하는 반송레일을 따라 이동가능하고, 덮개를 개방시킨 경우 상기 덮개는 반송레일 또는 래크부재를 간섭하지 않는 위치로 젖혀지는 작동 및 덮개를 밀폐시킨 경우 반송레일과 래크부재들은 덮개를 간섭하지 않는 상기 반송레일과 래크부재 위치로 젖혀지는 반대의 작동이 회전축 주위에서 실행가능함을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 5항에 있어서, 상기 덮개, 반송레일 및 래크부재들은 통상의 회전축을 사용하여 장착되고 젖혀지는 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 6항에 있어서, 상기 로드는 상기 회전축에 수용되며, 상기 로드는 덮개를 개폐시키기 위하여 승·하강하는 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.
제 7항에 있어서, 상기 피니언은 상기 로드와 접속되며, 상기 로드는 승·하강을 방해받지 않으면서 회전가능한 것임을 특징으로 하는 연속처리장치.