KR20010020744A - 모놀리식 전자 부품의 제조 방법 - Google Patents

모놀리식 전자 부품의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

복수의 진공구가 분포된 흡착면을 가지는 척 헤드(chuck head)를 적층 테이블 위에 고정하고, 세라믹 그린 시트의 반송 단계를 반복하여 적층체를 얻고자 할 때, 흡착구에 인가된 부압(negative pressure)으로 인해 세라믹 그린 시트에 원하지 않는 변형 또는 파손이 생기게 되고, 변형 또는 파손을 가지는 부분이 적층 방향으로 정렬하여, 얻어진 모놀리식 세라믹 전자 부품은 불량이 된다.
이 문제를 해결하기 위해, 적층 단계에서 세라믹 그린 시트의 반송이 반복될 때, 제 1 반송 단계와 이어지는 제 2 반송 단계동안, 흡착구가 동일한 위치로 옮겨지도록, 척 헤드와 적층 테이블의 상대적 위치는 이동하게 된다.

Description

모놀리식 전자 부품의 제조 방법{Manufacturing method of monolithic electronic components}
본 발명은 모놀리식 전자 부품의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 복수의 세라믹 그린 시트가 서로의 상부에 적층되는 개선된 방법에 관한 것이다.
모놀리식 세라믹 커패시터와 같은 모놀리식 세라믹 전자 부품을 제조하는 경우, 대개 캐리어 필름으로 안을 댄 상태로 내부 도체가 인쇄된 마더 세라믹 그린 시트를 준비하는 단계; 이 마더 세라믹 그린 시트로부터 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트를 절삭하는 단계; 이 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트를 캐리어 필름으로부터 박리하는 단계; 및 캐리어 필름으로부터 박리된 세라믹 그린 시트를 서로의 위에 적층하는 단계;가 잇따른다.
상술한 세라믹 그린 시트를 이용하여 모놀리식 세라믹 전자 부품을 제조하는데, 도 3에 그 일부를 자세히 도시한 제조 장치(1)가 사용되었다.
제조 장치(1)는, 캐리어 필름(2; 도 3)으로 안을 댄 마더 세라믹 그린 시트(3)를, 캐리어 필름(2)를 사이에 두고, 위치 결정하기 위한 커팅 테이블(4)을 구비한다. 마더 세라믹 그린 시트(3)의 표면에는, 내부 전극(도시안함)과 같은 내부 도체가 복수 부분에 분포하여 인쇄되어 있다.
캐리어 필름(2) 및 마더 세라믹 그린 시트(3)는, 예를 들면, 커팅 테이블(4)의 상면을 따라 간헐적으로 반송된다. 커팅 테이블(4)에는, 진공 흡입에 의해 캐리어 필름(2)을 흡착하기 위한 부압(negative pressure)을 제공하는 복수의 흡입구(도시 안함)가 형성되어 있고, 그에 따라 캐리어 필름(2)은 커팅 테이블에 대해 위치 결정된다.
커팅 블레이드(5)는, 커팅 테이블(4)의 상부에 위치하고, 또한 커팅 테이블(4)에 대해 근접·이격 가능하게 형성되며, 따라서, 커팅 블레이드(5, 도 3 참조)에 의해, 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트(6)가 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 절삭된다.
커트 블레이드(5)에 의해 둘러싸인 공간 내에 척 헤드(7)가 위치한다. 척 헤드(7)는 커팅 블레이드(5)와 함께 커팅 테이블(4)에 대해 근접·이격 가능하게 형성된다. 척 헤드(7)의 바닥면은, 절삭된 세라믹 그린 시트(6)를 흡착하기 위한 흡착면(8)이다. 이 흡착면(8)의 상세한 설명이 도 4에 도시되어 있다.
흡착면(8)에는 복수의 진공구(9, 10)가 분포되어 있다. 이 진공구들에는 각각 부압이 인가된다. 이들 진공구(9, 10)를 통해 각각 인가되는 부압으로 인해 생겨난 진공에 의해, 절삭된 세라믹 그린 시트(6)가 흡착면(8) 위에 고정된다. 진공구(9, 10)는, 흡착면(8)의 중앙부에 위치하는 중앙 진공구(9)와, 주변부에 위치하는 주연 진공구(10)로 구분된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 주변 진공구(10)가 중앙 진공구(9)부다 높은 밀도를 가지도록 배치하는 것이 바람직하며, 주변부에서 세라믹 그린 시트(6)를 보다 강하게 흡착할 수 있게 된다.
이 제조 장치(1)는 다음과 같이 작용한다.
먼저, 커팅 블레이드(5)를 척 헤드(7)와 함께 하강시켜, 커팅 블레이드(5)에 의해, 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트(6)를 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 절삭한다. 이러한 결과를 얻기 위해, 적어도 이 절삭 단계에서는, 커팅 블레이드(5)의 날이 척 헤드(7)의 흡착면(8)으로부터 돌출된다. 돌출 정도는 마더 세라믹 그린 시트(3)의 두께보다 약간 길게 돌출되도록 선택된다. 커팅 블레이드(5)는, 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 세라믹 그린 시트(6)를 완전히 절단하는 반면, 캐리어 필름(2)을 완전하게는 절단하지는 않는다.
커팅 블레이드(5)와 함께 척 헤드(7)가 하강했을 때, 그 흡착면(8)을 세라믹 그린 시트(6)에 접착시킨다. 이 때, 진공구(9, 10)에 부압이 인가되어, 절삭된 세라믹 그린 시트(6)를 흡착면(8) 위에 고정한다. 계속해서, 커팅 블레이드(5)와 함께 척 헤드(7)를 상승시킴으로써, 캐리어 필름(2)으로부터 세라믹 그린 시트(6)가 박리되고, 척 헤드(7) 위에 세라믹 그린 시트(6)가 고정된다. 이 단계의 상태가 도 3에 도시되어 있다.
계속해서, 세라믹 그린 시트(6)를 고정한 척 헤드(7)를, 커팅 테이블(4)로부터 떨어진 장소에 위치되는 적층 테이블의 상방까지 이동한다(도시 안함). 계속해서, 적층 테이블 위에 세라믹 그린 시트(6)를 적층하도록 척 헤드(7)가 하강한다. 이 때, 적층 테이블 위의 세라믹 그린 시트(6)는, 척 헤드(7)에 의해 가볍게 프레스된다. 이 공정을 반복함으로써(또한 적층 테이블 위에 복수의 세라믹 그린 시트(6)를 서로 적층함으로써), 복수의 세라믹 그린 시트(6)로 이루어지는 적층체가 제조된다.
이 적층체는 프레스되고, 필요에 따라 각각의 모놀리식 세라믹 전자 부품으로 절단됨으로써, 복수의 모놀리식 세라믹 전자 부품을 위한 베어 칩으로서 생산된다. 이들 베어 칩은, 소성되고, 계속해서 외부 전극 등이 그 위에 형성되어, 바람직한 모놀리식 세라믹 전자 부품을 얻을 수 있다.
최근, 전자 장치의 소형화에 대한 요구에 따라, 그에 이용되는 모놀리식 세라믹 커패시터와 같은 모놀리식 세라믹 전자 부품의 소형화도 진행되고 있다. 특히, 모놀리식 세라믹 커패시터로서는, 소형화뿐만 아니라 대용량화가 요구된다. 모놀리식 세라믹 커패시터에서, 소형화 및 대용량화하기 위한 효과적인 방법은, 유전체층의 두께를 줄이면서, 층의 수를 증가시키는 것이다.
유전체층의 박층화는, 상술한 도 3에 도시한 제조 장치(1)에 사용되는 마더 세라믹 그린 시트(3) 또은 세라믹 그린 시트(6)의 두께를 얇게 함으로써 달성된다. 일반적으로, 세라믹 그린 시트가 얇을수록 그 취급은 곤란하다. 도 3에 도시한 제조 장치(1)는, 세라믹 그린 시트(6)가 얇아지더라도, 이를 취급하는데 적합한 구조를 가지고 있다.
그러나, 세라믹 그린 시트(6)가, 예를 들면 10㎛ 이하의 두께로 얇아지는 경우에는, 세라믹 그린 시트(6)에서 원하지 않는 변형 또는 파손이 일어날 수도 있다. 보다 구체적으로는, 진공구(9, 10)에 근접하게 위치한 영역에서 변형되거나, 진공구(9, 10)의 단부에 세라믹 그린 시트(6)가 접촉하는 영역에서 손상될 수 있다. 이 문제점들의 원인은 다음과 같다.
도 5는, 척 헤드(7)에 형성된 하나의 진공구, 예를 들면 중앙 진공구(9)의 하나를 분해한 단면도이다.
상술한 바와 같이, 척 헤드(7)에 의한 세라믹 그린 시트(6)의 고정은, 진공구(9, 10)에 부압을 공급함으로써 달성된다. 진공구(9, 10)를 덮는 세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)은, 도 5에 도시한 바와 같이 진공구(9, 10)의 안쪽으로의 오므라드는 경향이 있다. 이는 세라믹 그린 시트(6)의 두께, 진공구(9, 10)의 크기 및 부압의 밀도에 의존하여 발생한다. 더욱이, 진공구(9, 10)는 일반적으로 드릴 가공이나 레이저 가공 등을 시행함으로써 형성된 것이므로, 흡착면(8)내에 위치하는 흡인구(9, 10)의 에지(11)에는 상대적으로 날카로운 날이 남겨져 있다.
이러한 이유로, 세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)이 진공구(9, 10)의 안쪽으로 오므라드는 경우, 이 부분(6a)에 원하지 않는 변형이 생기고, 또는 보다 나쁜 경우에는, 날카로운 에지(11)가 세라믹 그린 시트(6)로 침범하여, 세라믹 그린 시트(6)에 파손을 가져오게 된다.
상술한 진공구(9, 10)내의 세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)이 오므라드는 현상은, 캐리어 필름(2)으로 안이 대어져 있는 상태에서는 보통 발생하지 않는다. 시트(2)가 캐리어 필름(2)으로부터 박리된 후에는 발생하기 쉽다.
세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)에 발생한 원하지 않는 변형 또는 파손은, 복수의 세라믹 그린 시트(6)가 적층 공정을 끝낸 후에도 일어난다. 도 6은 척 헤드(7) 및 적층 테이블(12)의 각 일부를 나타내는 단면으로, 복수의 세라믹 그린 시트(6)를 서로의 위에 적층하고 있는 상태를 나타낸다.
상술한 바와 같이, 내부 전극과 같은 내부 도체가, 마더 세라믹 그린 시트(3)의 표면의 복수 부분에 형성되어 있는 경우, 소정의 크기를 가지는 세라믹 그린 시트(6)를, 내부 도체에 대해 미리 정해진 위치 관계를 가지는 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 박리한다. 다음으로, 반송 단계에서, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12) 사이의 고정된 위치 관계를 유지하면서, 적층 테이블(12) 위에 세라믹 그린 시트(6)를 반송하는 것이 필요하다. 반송 공정에서, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 위치 관계에 갭이 있으면, 세라믹 그린 시트(6)에 배열된 내부 도체들의 사이에서 원하지 않는 위치적 갭이 발생할 것이다.
이러한 이유로, 반송 단계에서, 척 헤드(7)의 진공구(9, 10)는, 적층 테이블(12)에 대해 항상 동일한 위치에 위치한다. 따라서, 도 6에 도시한 바와 같이, 원하지 않는 변형 또는 파손이 생긴 세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)이 정열된다.
일반적으로, 적층 테이블(12) 위의 세라믹 그린 시트(6)는, 상술한 바와 같이, 척 헤드(7)에 의해 가볍게 프레스된다. 이는 적층 세라믹 그린 시트(6) 상호간에서 미끄러짐(slippage)이 발생하는 것을 방지하기 위한 것으로, 압력의 인가에 따란 열이 가해질 수도 있다. 그러나, 이와 같은 프레스를 실시하여도, 변형 또는 파손이 발생한 세라믹 그린 시트(6)의 부분(6a)에 항상 진공구(9, 10)가 위치하기 때문에, 이 부분(6a)에는 프레스가 미치치 않고, 원하지 않는 변형 또는 파손을 수정할 기회가 없다. 최악의 경우, 적층이 진행되는데 따라, 변형 또는 파손이 절단으로 발전하는 일도 있을 수 있다.
더욱이, 복수의 세라믹 그린 시트(6)를 적층하여 얻어진 적층체는 일반적으로 다시 프레스된다. 이 프레스의 단계에 의해 상술한 변형 또는 파손을 수정하는 일은 바랄 수 없다.
적층체가 각각의 모놀리식 세라믹 전자 부품의 크기로 절단됨으로써, 복수의 모놀리식 세라믹 전자 부품을 위한 베어 칩을 발생하게 된다. 이러한 이유로, 이 칩들 중, 진공구(9, 10)가 위치하고 있던 세라믹 그린 시트(6)로부터 가져와진 칩들은 모두 불량해진다.
따라서, 본 발명의 목적은, 상술한 문제를 해결할 수 있는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법은,
(A) 커팅 블레이드를 이용하여, 캐리어 필름으로 안을 댄 마더 세라믹 그린 시트로부터 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트를 절삭하는 단계;
(B) 척(chuck)의 흡착면에 분포하며 부압(negative pressure)이 인가된 복수의 진공구를 가지는 상기 척을 이용하여, 캐리어 필름으로부터 세라믹 그린 시트를 제거하는 단계;
(C) 척을 이용하여 적층 테이블 위에 세라믹 그린 시트를 적층하는 단계; 및
(D) 적층 테이블 위에 연속되는 세라믹 그린 시트를 적층하기 위해, (A)∼(C)를 반복하는 단계; 를 포함하며,
척이 상기 제 1 및 제 2의 연속되는 세라믹 그린 시트를 적층 테이블 위에 적층하는 경우, 척 및 적층 테이블의 상대적 위치가 서로에 대해 이동하여, 제 1 및 제 2의 연속되는 세라믹 그린 시트가 적층될 때 척의 진공구가 적층 테이블에 대해 동일한 위치에 위치하지 않게 한다.
바람직한 구현예에서, 커팅 단계는, 마더 세라믹 그린 시트를 커팅 테이블 위에 위치 결정하는 단계; 및 커팅 블레이드와 커팅 테이블 사이의 상대적인 이동에 의해, 마더 세라믹 그린 시트로부터 세라믹 그린 시트를 절삭하는 단계; 를 포함한다.
커팅 블레이드는 척을 둘러싸고 있는 것이 바람직하다.
바람직한 구현예에서, 연속되는 세라믹 그린 시트를 적층하는 경우, 척의 진공구들이 적층 테이블에 대한 동일한 위치에 위치하지 않도록, 척과 적층 테이블의 상대적인 위치가 적층 테이블 위에 배치된 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트에 대해 이동된다.
바람직한 구현예에서, 마더 세라믹 그린 시트 위에는 내부 도체가 패턴으로 형성된다. 연속되는 세라믹 그린 시트가 서로의 위에 연속적으로 적층되는 동안, 마더 세라믹 그린 시트에 형성된 내부 도체의 패턴에 대하여 마더 세라믹 그린 시트로부터 절삭되는 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트의 위치가, 척과 적층 테이블의 상대적 위치의 이동에 대한 양만큼 이동된다.
또한, 본 발명은 미리 적층된 세라믹 그린 시트와 함께 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트를 프레스하는 단계를 더 포함하며, 프레스 단계는, 미리 적층된 세라믹 그린 시트 위에, 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트가 적층된 후에 반복된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법을 도식적으로 나타내는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 장치(1)의 개략 정면도이다.
도 2는 본 발명의 이동 단계를 나타내는 도 1에 도시한 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 부분 분해 단면 조립도이다.
도 3은 도 1에 도시한 제조 장치(1)의 척 헤드(7)와 커팅 테이블(4)의 확대 단면 정면도이다.
도 4는 도 3에 도시한 척 헤드(7)의 흡착면(8)을 나타낸다.
도 5는 본 발명이 해결하고자 하는 과제를 설명하기 위한 것으로, 척 헤드(7)에 형성된 흡인구(9)가 원인이 되어 세라믹 그린 시트(6)에 변형 또는 파손이 생긴 부분(6a)의 분해 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시한 세라믹 그린 시트(6)의 적층을 수행하는 상태에서 척 헤드(7) 및 적층 테이블(12)의 일부 단면도이다.
*도면의 주요 부분을 나타내는 부호의 설명*
1 : 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 장치 2 : 캐리어 필름
3 : 마더 세라믹 그린 시트 4 : 커팅 테이블
5 : 커팅 블레이드 6 : 세라믹 그린 시트
6a : 변형 또는 파손이 생긴 부분 7 : 척 헤드
8 : 흡착면 9, 10 : 진공구
12 : 적층 테이블 14, 15 : 이동
이하에 설명하는 본 발명의 구현예에 따른 모놀리식 세라믹 전자 부품을 형성하기 위한 제조 방법은, 상술한 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명한 제조 장치(1)을 이용하여 기본적으로 실시된다. 도 1 및 도 2는 이 구현예에 따른 특징적 구성을 도시하며, 도 3 내지 도 6을 참조하여 제조 장치(1)를 도시한다. 따라서, 도 1 및 도 2에서, 도 3 내지 도 6에 도시한 요소에 상당하는 요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다.
도 1을 참조하면, 제조 장치(1)는, 상술한 바와 같이, 커팅 테이블(4), 커팅 블레이드(5), 척 헤드(7) 및 적층 테이블(12)을 구비하고 있다. 이와 같은 제조 장치(1)에 의해, 예를 들면 모놀리식 세라믹 커패시터와 같은 모놀리식 세라믹 전자 부품이 다음과 같이 제조된다.
캐리어 필름(2; 도 1에는 도시 안함)으로 안을 댄 마더 세라믹 그린 시트(3)는, 예를 들면, 커팅 테이블(4)의 상면을 따라 간헐적으로 반송되고, 반송 후, 커팅 테이블(4) 위에 위치 결정된다. 마더 세라믹 그린 시트(3)의 표면에는, 내부 전극(도시 안함)과 같은 내부 도체가, 복수의 분포 위치에 인쇄되어 있다.
다음으로, 커팅 블레이드(5)가 척 헤드(7)과 함께 하강함으로써, 커팅 테이블(4) 위의 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 소정의 크기를 가지는 세라믹 그린 시트(6)가 절삭된다.
커팅 블레이드(5)와 함께 척 헤드(7)가 하강했을 때, 그 흡착면(8)이 세라믹 그린 시트(6)에 접촉하게 되어, 진공구(9, 10; 도 3 참조)에 가해지는 부압에 의해, 세라믹 그린 시트(6)가 흡착면(8) 위에 고정된다.
계속해서, 척 헤드(7)가 커팅 블레이드(5)와 함께 상승함으로써, 캐리어 필름(2)으로부터 세라믹 그린 시트(6)를 박리하고, 척 헤드(7)에 의해 세라믹 그린 시트(6)를 고정한다. 다음으로, 세라믹 그린 시트(6)를 고정하는 척 헤드(7)는, 경로(13)에 따라 적층 테이블(12)의 상방으로 반송된다. 계속해서, 적층 테이블(12) 위에 세라믹 그린 시트(6)를 올려두기 위해 척 헤드(7)를 하강시킨다. 이 때, 적층 테이블(12) 위의 세라믹 그린 시트(6)는 척 헤드(7)에 의해 프레스된다.
척 헤드(7) 위에 고정된 세라믹 그린 시트(6)를, 경로(13)에 따라 적층 테이블(12) 위에 반송하는 단계를 반복 실시함으로써, 복수의 세라믹 그린 시트(6)로 이루어진 적층체가 제조된다.
이 적층체는 다시 프레스되고, 필요에 따라 각각의 모놀리식 세라믹 전자 부품의 크기로 절단되어 베어 칩을 생성한다. 이 베어 칩은, 소성되고, 외부 전극 등이 그 위에 형성되어, 바람직한 모놀리식 세라믹 전자 부품을 얻을 수 있다.
모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법에 대한 설명은, 종래의 경우와 실질적으로 동일하다. 이 구현예의 특징은, 적층체를 얻기 위해 복수의 세라믹 그린 시트(6)를 적층하는 단계에서, 적층 테이블(12) 위에 세라믹 그린 시트(6)를 반송하는 단계를 반복하는 동안, 척 헤드(7)의 각각의 진공구(9, 10)의 위치가, 제 1 반송 단계과 이에 이어지는 제 2 반송 단계 사이에서 동일한 위치에 가져와지지 않도록, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적인 위치가 이동된다.
도 2를 참조하여 상기 단계를 보다 구체적으로 설명한다. 척 헤드(7)는, 제 1 반송 공정에서는 2점쇄선으로 나타내는 지점에 위치하고, 이어지는 제 2 반송 공정에서는 실선으로 나타내는 제 2 지점에 위치한다. 이러한 방법으로, 척 헤드(7)의 진공구(9)는, 제 1 반송 단계와 제 2 반송 단계에서는 다르게 위치한다. 그 결과, 제 1 반송 공정에서의 진공구(9)가 원인이 되어 발생한 원하지 않는 변형 또는 파손이 발생한 부분(6a)은, 제 2 공정 단계 중, 진공구(9, 10)가 배치되지 않는 척 헤드(7)의 흡착면(8)의 부분에 대향하게 된다. 제 2 반송 단계에서, 세라믹 그린 시트(6)를 앞의 세라믹 그린 시트(6) 위에 적층했을 때, 이전의 세라믹 그린 시트(6)에서의 원하지 않는 변형 또는 파손이 유리하게 수정된다. 이 때, 세라믹 그린 시트(6)를 척 헤드(7)에 의해 프레스하는 경우, 상술한 수정이 더 조장된다. 예를 들면, 척 헤드(7)를 통해 가열할 경우, 수정이 더욱 원활하게 행해진다.
도 1에서, 상술한 바와 같이, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적 위치의 이동(14)을 양방향 화살표로 표시한다. 이러한 이동(14)은, 척 헤드(7)의 변위 또는 적층 테이블(12)의 변위에 의해 발생하거나, 또는 이들 양자의 변위에 의해 발생한다.
이 구현예에서, 마더 세라믹 그린 시트(3) 위에는 소정의 반복된 패턴으로 내부 도체가 이미 형성되어 있으므로, 여기서부터 절삭되고 척 헤드(7)에 의해 고정된 세라믹 그린 시트(6) 위에도 내부 도체가 형성된다. 따라서, 적층 단계에서, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 위치가 단지 옮겨진 것 만으로는, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적 위치의 이동(14)이, 적층체에서 내부 도체의 위치의 이동으로서 반영된다.
그러한 문제점를 피하기 위해, 절삭 단계는, 상술한 적층 단계에서 생겨난 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적 위치의 이동에 따른 양만큼, 마더 세라믹 그린 시트(3)의 위치 이동에 대한 커팅 블레이드(5)의 위치를 이동시킴으로써, 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트(6)를 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 절삭하도록 실시된다.
상술한 커팅 블레이드(5)와 마더 세라믹 그린 시트(3)의 상대적 위치의 이동은, 커팅 블레이드(5) 또는 커팅 테이블(4)의 변위에 의해 발생하고, 또는 커팅 테이블(4) 위에 위치 결정되는 마더 세라믹 그린 시트(3)의 위치 결정 상태를 변경함으로써 발생하기도 하고, 또는 이들의 조합에 의해 발생하기도 한다.
이상, 본 발명의 특정적인 구현예에 관련하여 설명하였지만, 본 발명의 범위내에서, 그 외, 여러 종류의 변형예가 가능하다.
예를 들면, 척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적 위치의 이동(14) 및 커팅 블레이드(5)과 마더 세라믹 그린 시트(3)의 상대적 위치의 이동(15)은, 세라믹 그린 시트(6)의 주면 방향을 따라 어느 방향으로 발생할 수 있다.
상술한 구현예에서, 마더 세라믹 그린 시트(3)를 생산하는 단계에서, 내부 전극과 같은 내부 도체가 인쇄된다. 그러나, 그러한 내부 도체는, 적층 테이블(12) 위에 각 세라믹 그린 시트(6)를 반송하는 단계, 또는 적층 테이블(12) 위에 세라믹 그린 시트(6)를 적층하는 모든 단계에서 인쇄될 수 있다. 이 경우,
척 헤드(7)와 적층 테이블(12)의 상대적 위치의 이동 단계에서, 세라믹 그린 시트(6) 위에 어느 내부 도체도 인쇄되어 있지 않기 때문에, 세라믹 그린 시트(6)를 마더 세라믹 그린 시트(3)로부터 절삭하는 공정에서, 상술한 이동 단계에 대응하는 양의 이동을 발생할 필요가 없다.
상술한 이동 공정은, 모든 반송 단계, 또는 모든 복수의 반송 단계에서 실시될 수 있다.
이동 공정에서, 제 1 반송 단계와 이에 이어지는 제 2 반송 단계까지, 척 헤드와 적층 테이블의 상대적인 위치를 이동시킴으로써 다른 위치에 가져와지는 진공구는 단지 중앙 진공구(9)뿐이어도 된다. 그 이유는, 주변 진공구(10)에 의한 변형 또는 파손이 생기는 경우에도, 모놀리식 세라믹 전자 부품을 위한 베어 칩을 얻는 경우, 적층체의 주변부는 제거되는 경우가 많기 때문이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 각각의 흡착면에 부압이 인가된, 복수의 진공구가 척 헤드의 흡착면에 분포되어 있는 상태에서, 세라믹 그린 시트를 적층 테이블 위에 반송하는 단계를 반복 실시함으로써, 복수의 세라믹 그린 시트로 이루어지는 적층체를 얻으려고 할 때, 제 1 반송 단계와 이에 이어지는 제 2 반송 단계의 사이에서, 척 헤드의 진공구가 동일한 위치에 가져와지지 않도록, 척 헤드와 적층 테이블의 상대적 위치가 이동된다. 따라서, 진공구가 원인이 되어 원하지 않는 변형 또는 파손이 발생한 세라믹 그린 시트의 부분이 적층 방향으로 서로 정렬되지 않을 것이고, 다음의 세라믹 그린 시트가 적층되는 경우, 변형 또는 파손을 수정할 수 있다.
따라서, 이와 같은 원하지 않는 변형 또는 파손이 남겨짐으로써, 모놀리식 세라믹 전자 부품이 불량품이 되는 것을 저감할 수 있다.
상술한 세라믹 그린 시트에서의 변형 또는 파손은, 특히 얇은 세라믹 그린 시트의 경우에 발생하기 쉽다. 따라서, 본 발명은, 특히 얇은 세라믹 그린 시트를 취급하는 경우에 유리하게 적용될 수 있다. 결과적으로, 모놀리식 세라믹 전자 부품의 층의 수가 증가하면서도 두께가 저감되어, 높은 수율 및 우수한 성능을 가지는 모놀리식 세라믹 전자 부품을 제조할 수 있게 된다. 특히, 적층 세라믹 커패시터의 제조에 적용된 경우에는, 소형임에도 불구하고 대용량을 유리하게 실현할 수 있다.
본 발명에 있어서, 이동 단계를 각 반송 공정의 사이에서 실시하도록 하면, 세라믹 그린 시트에 발생한 원하지 않는 변형 또는 파손 부분이 적층체의 내부에서 효과적으로 분산되기 때문에, 이와 같은 원하지 않는 변형 또는 파손에 의한 악영향을 보다 효과적으로 저감할 수 있다.
본 발명에 따르면, 내부 도체가 마더 세라믹 그린 시트상의 복수 개소에 분포하여 이미 형성되어 있는 경우에는, 마더 세라믹 그린 시트로부터 세라믹 그린 시트를 절삭하는 공정에 있어서, 상술한 이동 단계에서의 이동에 대응하는 양만큼 세라믹 그린 시트를 절삭한다. 이는, 적층체에서의 내부 도체의 원하지 않는 상대적 위치의 이동을 발생시키지 않을 수 있다.
본 발명에 따르면, 척 헤드에 따라 세라믹 그린 시트를 적층 테이블상에 반송할 때, 적층 테이블상의 세라믹 그린 시트가 척 헤드에 의해 프레스되면, 적층 세라믹 그린 시트에 대한 척 헤드의 프레스 작용에 의해, 원하지 않는 변형 또는 파손을 보다 효과적으로 수정할 수 있다. 따라서, 적층 전의 세라믹 그린 시트에 발생한 변형 또는 파손에 따른 악영향을 거의 없앨 수 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 이동 단계를 반송 공정의 사이에서 실시하도록 하면, 세라믹 그린 시트에서 발생한 원하지 않는 변형 또는 파손이 척 헤드에 의해 수정되는 것이 보다 용이해진다.
본 발명에는 특정한 구현예가 개시되었으나, 그 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능한 것은 자명하다. 따라서, 본 발명은 여기서 개시된 구현예 및 이하의 특허청구범위에 한정되는 것은 아니다.

Claims (14)

  1. (A) 커팅 블레이드를 이용하여, 캐리어 필름으로 안을 댄 마더 세라믹 그린 시트로부터 소정의 치수를 가지는 세라믹 그린 시트를 절삭하는 단계;
    (B) 척(chuck)의 흡착면에 분포하며 부압(negative pressure)이 인가된 복수의 진공구를 가지는 상기 척을 이용하여, 상기 캐리어 필름으로부터 상기 세라믹 그린 시트를 제거하는 단계;
    (C) 상기 척을 이용하여 적층 테이블 위에 상기 세라믹 그린 시트를 적층하는 단계; 및
    (D) 상기 적층 테이블 위에 연속되는 세라믹 그린 시트를 적층하기 위해, 상기 (A)∼(C)를 반복하는 단계; 를 포함하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법으로서,
    상기 척이 상기 제 1 및 제 2의 연속되는 세라믹 그린 시트를 적층 테이블 위에 적층하는 경우, 상기 척 및 상기 적층 테이블의 상대적 위치가 서로에 대해 이동하여, 상기 제 1 및 제 2의 연속되는 세라믹 그린 시트가 적층될 때 상기 척의 진공구가 상기 적층 테이블에 대해 동일한 위치에 위치하지 않게 하는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 커팅 단계는,
    상기 마더 세라믹 그린 시트를 상기 커팅 테이블 위에 위치 결정하는 단계; 및
    상기 커팅 블레이드와 상기 커팅 테이블 사이의 상대적인 이동에 의해, 상기 마더 세라믹 그린 시트로부터 상기 세라믹 그린 시트를 절삭하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 커팅 블레이드는 상기 척을 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 연속되는 상기 세라믹 그린 시트를 적층하는 경우, 상기 척의 진공구들이 상기 적층 테이블에 대한 동일한 위치에 위치하지 않도록, 상기 척과 상기 적층 테이블의 상대적인 위치가 상기 적층 테이블 위에 배치된 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트에 대해 이동되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 마더 세라믹 그린 시트 위에는 내부 도체가 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 연속되는 세라믹 그린 시트가 서로의 위에 연속적으로 적층되는 동안, 상기 마더 세라믹 그린 시트에 형성된 상기 내부 도체의 패턴에 대하여 상기 마더 세라믹 그린 시트로부터 절삭되는 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트의 위치가, 상기 척과 상기 적층 테이블의 상대적 위치의 이동에 대한 양만큼이동되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 마더 세라믹 그린 시트 위에는 내부 도체가 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트가 서로의 상부에 적층되는 경우, 상기 마더 세라믹 그린 시트에 형성된 상기 내부 도체의 패턴에 대하여 상기 마더 세라믹 그린 시트로부터 절삭되는 제 1 및 제 2의 연속되는 세라믹 그린 시트의 위치가, 상기 척과 상기 적층 테이블의 상대적 위치의 이동에 대한 양만큼 이동되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트가 서로의 위에 적층된 후, 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트를 프레스하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트를 프레스하는 단계는, 제 3의 연속되는 세라믹 그린 시트가 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트 위에 위치하기 전에 진행되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 척은 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트를 함께 프레스하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 척은 상기 제 1 및 제 2 세라믹 그린 시트를 함께 프레스하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  13. 제 4 항에 있어서, 미리 적층된 세라믹 그린 시트와 함께 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트를 프레스하는 단계를 더 포함하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법으로서,
    상기 프레스 단계는, 미리 적층된 세라믹 그린 시트 위에, 각각의 연속되는 세라믹 그린 시트가 적층된 후에 반복되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 척은 상기 연속되는 세라믹 그린 시트를 함께 프레스하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 모놀리식 세라믹 전자 부품의 제조 방법.
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