KR20010014930A - 반도체장치 - Google Patents

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KR20010014930A
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마쓰시마히로노리
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다니구찌 이찌로오
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Abstract

패키지 구조의 반도체장치의 제조에 있어서, 반도체 칩에의 대미지를 회피하여, 방열 특성의 열화를 방지할 수 있는 반도체장치가 제공된다. 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 것에 있어서, 접착용 테이프 또는 링 부재에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한다.

Description

반도체장치{SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 발명은, 반도체소자를 패키지 구조로 수납한 반도체장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 예를 들면 히트 스프레더(heat spreader)나 캡을 갖고 반도체 소자를 중공층에 수납한 반도체장치의 구조 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
도 8은, 종래의 패키지 구조의 반도체장치의 구조의 일례를 나타낸 도면이다.
종래의 반도체장치는, 예를 들면, BGA 기판(7)과, BGA 기판(7)과 땜납 범프를 거쳐 플립칩 접합된 반도체 칩(5)과, 그것의 접합 신뢰성을 향상시킬 수 있는 밀봉부재와, 외부와 전기적 접속을 얻기 위해 BGA 기판(7)의 이면에 배치된 땜납 볼(8)과, 반도체 칩(5)에서 발생된 열을 외부로 방열하는 히트 스프레더(1)와, 반도체 칩(5)과 히트 스프레더(1)의 열전도를 촉진하는 방열성 수지(6)와, BGA 기판(7) 및 히트 스프레더(1) 사이에 소정의 간격을 설치하며 양자를 접합하기 위한 링(2) 및 접착용 테이프로 이루어진다.
이와 같은 반도체장치의 제조공정에 있어서는, 구리 등의 금속, 또는 세라믹, 유기재료로 만들어진, 히트 스프레더나 캡을 밀봉할 때의 승온시와, 그후, 리플로에 의해 예를 들면 땜납 볼을 탑재할 때나, 이 반도체장치를 실장 보드에 탑재할 때 등에 땜납이 용접하는 온도 이상으로 승온하지만, 그 때, 밀폐된 공기가 열팽창하는 것에 의해, 히트 스프레더의 변형 및 박리가 발생하는 문제가 있다.
도 9는 이와 같은 상태를 나타낸 것으로, 히트 스프레더(1)와 방열성 수지(6), 또는, 방열성 수지(6)와 반도체 칩(5)의 박리가 발생하여, 이 반도체장치의 방열 특성이 열화되는 문제가 있다.
또한, 반도체장치 위에 방열 휜(fin)을 부착하여 외부로의 방열 효과를 올릴 때에, 반도체장치로부터 방열 휜으로의 열전도를 더욱 향상시킬 필요가 있다.
또한, 반도체장치의 제조시, 가압 헤드를 사용한 열압착에 의해 부착시킬 때, 히트 스프레더와 링을 부착하지만, 그 때, 반도체 칩에 대미지를 미치는 문제가 있다. 또한, 상기한 방열성 수지의 경화가 순간적으로 시작되는 것에 의해, 방열성 수지 내부에 보이드(void)가 발생하여, 방열특성이 열화된다.
또한, 반도체장치의 제조시, 히트 스프레더와 링의, 예를 들면 열경화 특성의 접착 테이프가 부착되어 있는 측의 표면에 있는 커버 필름을 벗겨낼 필요가 있다.
본 발명은 전술한 것과 같은 종래의 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 반도체 칩으로의 대미지를 회피하여, 방열 특성의 열화를 방지할 수 있는 반도체장치와 그것의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예 1에 따른 반도체장치의 구조를 나타낸 단면도이고,
도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 접착용 테이프 및 링 부재를 나타낸 평면도이며,
도 3은 본 발명의 실시예 1에 따른 접착용 테이프의 다른 예를 나타낸 평면도이고,
도 4는 본 발명의 실시예 2에 따른 반도체장치의 링 부재의 형상을 나타낸 평면도이며,
도 5는 본 발명의 실시예 3에 따른 반도체장치의 중앙부 절단 사시도, 및 또 다른 반도체장치의 예의 중앙부 단면도이고,
도 6은 본 발명의 실시예 4에 따른 반도체장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이며,
도 7은 본 발명의 실시예 5에 따른 반도체장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 8은 종래의 패키지 구조의 반도체장치의 일례를 나타낸 단면도이며,
도 9는 종래의 반도체장치에서 발생하는 과제를 설명하기 위한 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1: 히트 스프레더 2: 링
3: 접착용 테이프 4: 슬릿
5: 반도체 칩 6: 방열성 수지
7: BGA 기판 8: 땜납 볼
9: 스루홀 10: 가압 헤드
11: 커버 필름 12: 박리용 테이프
13: 박리 스테이지
본 발명의 청구항 1에 관한 반도체장치는, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스트레더판을 적층하여 상기 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서, 상기 접착용 테이프에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 2에 관한 반도체장치는, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스트레더판을 적층하여 상기 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서, 상기 링 부재에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 청구항 3에 관한 반도체장치는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 것에 있어서, 상기 반도체 칩과 상기 히트 스프레더판 사이를 충전하는 방열성 수지를 구비하는 동시에, 상기 히트 스프레더판에 개구부를 설치하여 상기 방열성 수지를 노출시킨 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 일면에 따른 반도체장치의 제조방법은, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 접착시키는 공정에 있어서, 환형의 볼록부를 갖는 가압 헤드에 의해, 상기 환형의 접착 테이프 부분만을 가압하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 일면에 따른 반도체장치의 제조방법은, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 접착시키는 공정에 있어서, 커버 필름이 장착된 히트 스프레더 및 링 부재의 상시 커버 필름을 박리용 테이프에 접착한 후, 상기 박리용 테이프의 공급과 상기 히트 스프레더 및 링 부재의 들어올림에 의해, 상시 박리용 테이프에 접착된 상기 커버 필름으로부터 상기 히트 스프레더 및 링 부재를 제거하는 것을 특징으로 하는 것이다.
(실시예)
이하, 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 도면 중에서, 동일 또는 해당 부분에는 동일한 부호를 붙여 그것의 설명을 적절히 간략화 내지 생략한다.
실시예 1:
도 1 및 도 2는, 본 발명의 실시예 1에 따른 반도체장치에 대해 설명하기 위한 도면이다. 도 1은, 본 실시예에 의한 에어벤트를 구비한 반도체장치의 구조를 나타낸 단면도, 도 2a는 접착용 테이프의 슬릿을 나타낸 평면도, 도 2b는 링 부재를 나타낸 평면도이다.
도 1에 있어서, 도면부호 1은 평면 형태의 히트 스프레더(히트 스프레더판), 2는 사각 환형의 링(링 부재), 3은 슬릿을 갖는 사각 환형의 접착용 테이프, 4는 접착용 테이프(3)에 설치된 에어벤트로서 기능하는 슬릿, 5는 반도체 칩, 6은 방열성 수지, 7은 BGS 기판, 8은 땜납 볼을 나타낸다.
본 반도체장치는, BGA 기판(7)에 땜납 범프를 거쳐 반도체 칩(5)이 플립칩 접합되고, 반도체 칩(5)은 밀봉부재로 밀봉되어 있다. 반도체 칩(5)과 히트 스프레더(1) 사이에는 열전도를 촉진하는 방열성 수지(6)가 충전되어 접착되어 있다. 히트 스프레더(1)는, 반도체 칩(5)에서 발생한 열을 외부로 방열한다.
BGA 기판(7)과 히트 스프레더(1) 사이에는, 그것의 사면 외주부에 있어서 양자 사이에 소정의 간격을 설치하고 또한 양자를 접합하기 위한 링(2) 및 접착용 테이프(3)가 적층되어 있다. 그리고, 이 접착용 테이프(3)에는, 에어벤트로서 기능하는 슬릿(4)이 형성되어 있다.
이때, BGA 기판(7)의 이면에는 외부와 전기적 접속을 얻기 위해 땜납 볼(8)이 배열되어 있다.
도 2a는, 히트 스프레더(1)와 접착용 테이프(3)의 접합 상태를, 도 1의 하측(반도체 칩(5)측)에서 본 상태를 나타낸다. 도면에 나타낸 것과 같이, 히트 스프레더(1) 위에, 사각 환형의 접착용 테이프(3)가 접합되어 있으며, 접착용 테이프(3)의 한 개의 모서리부에는 슬릿(4)이 설치되어 있다.
도 2b는, 접착용 테이프(3)와 링(2)의 접합 상태를, 도 1의 하측(반도체 칩(5)측)에서 본 상태를 나타낸다. 도면에 도시된 것과 같이, 사각 환형의 접착용 테이프(3) 위에, 링(2)에 접합되어 있다.
도 2a 및 도 2b의 예를 들면 열경화성, 내열성, 절연성을 갖는 접착용 테이프(3)의 슬릿(4)은, 도 1에 나타낸 반도체장치의 제조 후의 에어벤트부가 된다.
본 실시예에 따르면, 반도체장치가 에어벤트부를 갖고 있기 때문에, 도 9의 종래예로서 설명한 것과 같은, 예를 들면 접착용 테이프(3)의 경화시나 리플로에 의한 가열에 의해 중공층의 공기가 팽창하여, 히트 스프레더(1)의 변형이나, 히트 스프레더(1)나 링(2)의 벗겨짐이 생긴다고 하는 일이 없다.
이때, 슬릿(4)을 넣은 접착용 테이프(3)는, 히트 스프레더(1)측에 접착되어 있는 것이라도, BGA 기판(7)측에 접착되어 있는 것이라도 좋다. 어느 한쪽이라도 좋으며, 또한 양쪽으로 넣어도 좋다.
또한, 도 2a 및 도 2b에 나타낸 것과 같이, 접착용 테이프(3)의 형상과 링(2)의 형상은 일치되어 있으며, 또한 히트 스프레더(1)의 외형과도 일치하고 있다, 따라서, 도 1에 나타낸 것과 같이 히트 스프레더(1)의 중앙부에는, 반도체장치 제조시에 방열성 수지(6)를 거쳐 반도체 칩(5)과 접착시키는 것에 의해, 반도체 칩(5)에서 발생한 열을 외부로 방열하기 쉽게 될 수 있다.
도 3은, 접착용 테이프(3)의 슬릿의 또 다른 배치예를 나타낸 것이다.
도 3에 나타낸 것과 같이, 접착용 테이프(3)의 슬릿을 2 코너, 4 코너, 또는 변 상에 설치하여도 된다.
이상과 같이, 본 실시예에 따르면, 히트 스프레더(1)와 반도체 칩(5)을 접착하여 열전도를 담당하는 방열성 수지(6)와의 박리, 또는 방열성 수지(6)와 반도체 칩(5)과의 박리에 의한, 반도체 장치의 방열 특성의 열화를 방지할 수 있다.
또한, 반도체장치의 변형에 의한 예를 들면 BGA 기판(7) 등의 클랙이나 내부 배선의 단선을 방지할 수 있다.
또한, 접착용 테이프(3)의 슬릿(4)은, 반도체장치 제조 후의 제품에서 잔존하기 때문에, 복수회의 가열에 있어서도 에어벤트부로서 작용한다.
또한, 본 실시예에 따르면, 히트 스프레더(1)의 기판에 구멍이나 슬릿 등 벤트부를 설치할 필요가 없다. 따라서, 방열 영역을 넓게 확보할 수 있는 것에 의해, 반도체장치의 방열 특성을 향상시킬 수 있어 유리하다.
덧붙여, 예를 들면, 반도체장치의 히트 스프레더(1) 위에 방열 휜(도시하지 않음)을 탑재할 때에 방열 휜과 접착 영역을 넓게 확보할 수 있어 방열 특성의 향상에 유리하고, 또한, 방열 휜과의 접착력을 높일 수 있다.
이상과 같이, 본 실시예에 따르면, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 편판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서, 상기 접착용 테이프에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한다.
이상 설명한 것과 같이, 본 실시예에 따르면, 반도체장치의 제조공정에서 승온되는 경우에도, 반도체장치 내부에 밀폐된 공기가 에어벤트를 통해 외기와 연통하고 있기 때문에, 내부 공기의 열팽창에 의해, 히트 스프레더를 변형시키거나 박리시키는 일이 없다. 따라서, 반도체장치의 특성 열화를 방지할 수 있다.
실시예 2:
도 4는, 본 발명의 실시예 2에 따른 반도체장치에 대해 설명하기 위한 도면으로, 도 1에 있어서 링 부재(2)의 또 다른 형상을 나타낸 평면도이다.
본 실시예에서는, 실시예 1과 같이 접착 테이프(3)에 슬릿을 설치하는 대신에, 링 부재(2)에 슬릿(4)을 설치한다. 링 부재(2)의 슬릿(4)의 위치, 형상은, 도 4에 나타낸 것과 같이, 링(2)의 코너라도, 또한, 변 상의 일부를 제거하는 것에 의해, 형상을 C 형상으로 하여도 좋은데, 이것을 반도체장치 제조후의 에어벤트부로 한다.
또한, 링 부재(2)에 설치되는 슬릿(4)은 2개소 이상이라도 된다.
반도체장치로서의 그 이외의 구성은, 실시예 1에서 설명한 것과 동일하기 때문에, 중복된 설명은 생략한다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 편판 형태의 기판의 거의 중앙부 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 상기 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서, 상기한 링 부재에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한다.
본 실시예에 있어서도, 실시예 1과 동일한 효과를 얻을 수 있다.
실시예 3:
도 5는, 본 발명의 실시예 3에 따른 반도체장치에 대해 설명하기 위한 도면으로, 도 5a는 반도체장치의 중앙부를 절단한 사시도, 도 5b는 반도체장치의 또 다른 예의 중앙부의 단면도이다.
도 5a에 나타낸 것과 같이, 본 실시예에서는, 히트 스프레더(1)와 링(2)의 2층 구조에 의해 중공층을 갖는 반도체장치에 있어서, 히트 스프레더(1)의 반도체 칩(5)과 접착하는 부위에, 비교적 크지만 반도체 칩(5)보다는 면적이 작은 스루홀(개구부)을 형성하고 있다. 이 스루홀(9)에는, 반도체 칩(5)을 덮는 방열성 수지(6)가 노출되어 있다.
또한, 도 5의 예에서는, 히트 스프레더(1)와 링(2)의 2층 구조에 의해 중공층을 갖는 반도체장치에 있어서, 히트 스프레더(1)의 반도체 칩(5)과 접착하는 부위에, 비교적 작은 스루홀(9)(개구부)을 복수개 형성하고 있다. 이 스루홀(9)에는, 반도체 칩(5)을 덮는 방열성 수지(6)가 노출되어 있다.
이와 같은 구조에 따르면, 방열 휜(도시하지 않음)을 히트 스프레더(1) 위에 탑재하였을 때, 반도체 칩(5)으로부터 방열 휜으로의 열전도를 촉진할 수 있다. 또한, 방열 휜의 탑재로 히트 스프레더(1)의 구멍이 막힌 후에도, 접착용 테이프(3)의 슬릿(4)에 의해 에어벤트를 보유하고 있다.
이상과 같이, 본 실시예에 따르면, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서, 상기한 접착용 테이프에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한다.
더구나, 히트 스프레더의 거의 중앙부에 스루홀을 설치하고, 반도체 칩과 히트 스프레더 사이를 충전하는 방열성 수지를 노출시키고 있다.
이것에 의해, 반도체장치의 방열 특성을 향상시키는 동시에, 방열성의 향상을 도모할 수 있다.
실시예 4:
도 6은, 본 발명의 실시예 4에 따른 반도체장치 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a에도 나타낸 것과 같이, 이 반도체장치의 제조방법은, 평판 형태의 기판(7)의 거의 중앙부에 반도체 칩(5)을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재(2) 및 접착용 테이프(3)와, 평판 형태의 히트 스프레더판(1)을 적층하여 접착시킨다.
본 실시예에서는, 이 공정에 있어서, 도 6b에 나타낸 것과 같은 환형의 볼록부를 갖는 가압 헤드(10)에 의해, 반도체 칩(5)의 외측에서, 환형의 접착 테이프(3)의 부분만을 가압한다.
이와 같은, 본 실시예에서는, 반도체장치의 구조에 있어서 히트 스프레더(1) 및 링(2)을 열압착하기 위한 가압 헤드(10)의 면을 링 형태로 한 것을 특징으로 한다.
이것에 의해, 반도체 칩(5)에의 가압에 의한 대미지를 회피할 수 있다. 또한, 방열성 수지(6)의 가열을 회피할 수 있기 때문에, 방열성 수지(6)의 순간적인 경화를 방지함으로써 방열성 수지(6) 내부의 보이드의 발생을 방지할 수 있다.
실시예 5:
도 7은, 본 발명의 실시예 5에 따른, 반도체장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
일반적으로, 히트 스프레더(1)나 링(2) 등의 부재는, 사용전에는 그것의 표면에 커버 필름이 접착되어 보호되고 있다. 반도체장치의 제조공정에서는, 이 커버 필름을 벗길 필요가 있다.
이것을, 본 실시예에서는, 먼저 도 7a에 나타낸 것과 같이, 박리 스테이지(13) 위에 박리용 테이프(12)를 올려놓고, 도 7b에 나타낸 것과 같이, 그 위로부터 커버 필름(11)을 갖는 히트 스프레더(1)를 가압한다. 그후, 박리용 테이프(12)를 슬라이드시켜, 히트 스프레더(1)를 예를 들면 흡착 툴 등을 이용하여 제거하면, 커버 필름(11)은 박리용 테이프(2)에 견고하게 접착되어 있기 때문에, 커버 필름(11)을 히트 스프레더(1)로부터 벗길 수 있다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 평판 형태의 기판(7)의 거의 중앙부에 반도체 칩(5)을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재(2) 및 접착용 테이프(3)와, 편판 형태의 히트 스프레더판(1)을 적층하여 접착시키는 공정에 있어서, 커버 필름(1)이 장착된 히트 스프레더(1) 및 링 부재(2)의 커버 필름(11)을 각각 박리용 테이프(12)에 접착한다. 그후, 박리용 테이프(12)의 공급과, 히트 스프레더(1) 및 링 부재(2)의 흡착 툴 등의 들어올림에 의한 힘을 이용하여, 상기한 히트 스프레더(1) 및 링 부재(2)를, 각각 박리용 테이프(12)에 접착된 커버 필름(11)으로부터 제거하도록 한다.
즉, 히트 스프레더(1) 및 링(2) 등의 캡의 접착 테이프가 접착되어 있는 면 위에 부착되어 있는 커버 필름(11)을, 박리용 테이프(12)를 사용하여, 접착력의 차이를 이용하여, 박리 스테이지(3) 위에서 박리하는 것을 특징으로 한다.
이상과 같이, 본 실시예에서는, 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스프레더판을 적층하여 접착시키는 공정에 있어서, 커버 필름이 장착된 히트 스프레더 및 링 부재의 커버 필름을 박리용 테이프에 접착한 후, 상기 박리용 테이프에 접착된 상기한 커버 필름으로부터 상기한 히트 스프레더 및 링 부재를 제거한다.
이것에 의해, 커버 필름을 용이하게 박리할 수 있다.
본 발명은 이상과 같이 구성되어 있기 때문에, 반도체장치의 반도체 칩에의대미지를 회피할 수 있다. 또한, 방열 특성의 열화를 방지할 수 있다. 또는, 커버 필름의 박리를 용이하게 행할 수 있다.

Claims (3)

  1. 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스트레더판을 적층하여 상기 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서,
    상기 접착용 테이프에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한 것을 특징으로 하는 반도체장치.
  2. 평판 형태의 기판의 거의 중앙부에 반도체 칩을 마운트하고, 이 위에 환형의 링 부재 및 접착용 테이프와, 평판 형태의 히트 스트레더판을 적층하여 상기 반도체 칩을 수용하는 중공부를 형성한 반도체장치에 있어서,
    상기 링 부재에 슬릿을 설치하여 에어벤트를 형성한 것을 특징으로 하는 반도체장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 반도체 칩과 상기 히트 스프레더판 사이를 충전하는 방열성 수지를 구비하는 동시에, 상기 히트 스프레더판에 개구부를 설치하여 상기 방열성 수지를 노출시킨 것을 특징으로 하는 반도체장치.
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