KR20000033838A - 작업 대상물의 절단 및 분류 자동화 시스템과 그 제어방법 - Google Patents

작업 대상물의 절단 및 분류 자동화 시스템과 그 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20000033838A
KR20000033838A KR1019980050882A KR19980050882A KR20000033838A KR 20000033838 A KR20000033838 A KR 20000033838A KR 1019980050882 A KR1019980050882 A KR 1019980050882A KR 19980050882 A KR19980050882 A KR 19980050882A KR 20000033838 A KR20000033838 A KR 20000033838A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
end plate
cassette
cutting
mode
Prior art date
Application number
KR1019980050882A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100309919B1 (ko
Inventor
변성준
안종범
허민영
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980050882A priority Critical patent/KR100309919B1/ko
Priority to TW088103944A priority patent/TW527495B/zh
Priority to US09/328,393 priority patent/US6577913B2/en
Priority to CNB2004100478541A priority patent/CN1242874C/zh
Priority to CNB99120347XA priority patent/CN1182424C/zh
Priority to JP11330593A priority patent/JP2000158388A/ja
Publication of KR20000033838A publication Critical patent/KR20000033838A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100309919B1 publication Critical patent/KR100309919B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4183—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by data acquisition, e.g. workpiece identification
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31311—Data are id, destination, number of pieces, alternative destination, process data
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
    • G05B2219/40078—Sort objects, workpieces
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Sorting Of Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Details Of Cutting Devices (AREA)

Abstract

본 발명의 자동화 시스템은 절단 및 분류 설비와 제어부로 이루어진다.
절단 및 분류 설비는 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하고, 이 단판을 소정의 모드에 따라 분류함과 동시에 언로딩한다. 제어부는 절단 및 분류 설비로부터 단판에 필요한 작업 데이터를 요청받으며 상기 요청에 대한 응답으로 단판에 필요한 작업 데이터 및 작업 지시를 절단 및 분류 설비에게 전송한다.
본 발명에 따르면, 기판의 절단 및 분류가 하나의 설비에서 하나의 프로세스로 행해지며, 기판의 절단 및 분류가 실시간으로 이루어진다. 또한, 사용자의 요구대로 절단된 기판을 분류할 수 있으며, 원하는 형태로 언로딩할 수 있다.

Description

작업 대상물의 절단 및 분류 자동화 시스템과 그 제어방법
본 발명은 작업 대상물의 절단 및 분류 자동화 시스템과 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게 말하자면 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin film transistor liquid crystal display; TFT-LCD) 제조 공정에서 불량 셀이 포함된 기판의 절단 및 분류를 동시에 수행하는 자동화 시스템 및 그 제어방법에 관한 것이다.
TFT-LCD는 두 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상 신호를 얻는 장치이다.
일반적으로 TFT-LCD의 두 기판 중 하나는 다수의 화소 전극과 박막 트랜지스터가 형성되어 있는 TFT 기판이며, 나머지 다른 기판은 원하는 색을 표시하기 위한 적, 녹, 청의 컬러 필터(color filter; CF) 및 블랙 매트릭스(black matrix)가 형성되어 있는 CF 기판이다.
근래 TFT-LCD 제조 공정에서는 생산성 향상을 위해 1매의 글래스 기판에 하나의 TFT-LCD를 형성하기 위한 패널(이를 '셀'이라 함)을 다수 개 형성한다.
즉, 근래 TFT-LCD 제조 공정에서는 TFT 기판과 CF 기판에 각각 다수의 셀 (예컨대, 4, 6, 8매의 셀)을 형성한 후, 다수의 셀이 형성된 TFT 기판과 CF 기판을 조립(assemble)한 후, 각 셀마다 절단하여 TFT-LCD를 제조한다.
한편, 각각 TFT 기판과 CF 기판을 제조하는 공정 중에 각 기판의 셀에 불량이 발생할 수 있는데, 이 불량이 생긴 기판을 조립한 후에 각 셀마다 TFT-LCD를 제조하는 경우에는 다음과 같은 문제점이 생길 수 있다.
즉, 조립된 두 기판 중 만일 어느 한쪽 기판의 셀은 정상이고 이에 대응하는 다른 기판의 셀은 불량이라고 하면, 이들 셀로 이루어지는 TFT-LCD는 불량으로 간주되어 폐기해야 하는 문제점이 있다.
따라서, 불량 셀을 가지는 TFT기판 또는 CF 기판을 예컨대, 1/2 크기, 1/3 크기 등으로 절단하고, 셀의 불량 여부에 따라 절단된 TFT 기판 또는 CF 기판을 조립한 후, 최종적으로 TFT-LCD를 제조하는 방법이 종래 사용되었다.
도1은 종래 불량 셀을 가지는 기판을 절단하고, 절단된 기판을 분류하는 설비를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도1에 도시한 바와 같이, 종래에는 기판의 절단 및 분류를 별도의 설비에서 독립된 프로세스를 통해 수행하였다. 즉, 기판의 절단은 기판 절단 설비(10)에서 수행하고, 절단된 기판의 분류는 기판 분류 설비(20)에서 수행하였다.
도1에 도시한 바와 같이, 기판 절단 설비(10)는 로더(11), 기판 절단 장치(12)와 언로더(13)로 이루어지며, 기판 분류 설비(20)는 로더(21), 판독 및 분류 장치(22)와 언로더(23)로 이루어진다.
도1에서, 불량 셀이 포함되어 있는 기판 (TFT 기판 및 CF 기판)은 먼저 기판 절단 설비(10)의 로더(11)에 원판 형태(절단되기 전의 기판 형태)로 놓이게 된다. 이 원판은 기판 절단 장치(12)에 이송되어 예컨대, 원판 크기의 1/2 (또는 1/3) 크기로 절단된다. (이하에서는 절단된 기판을 '단판'이라 칭한다.) 즉, 예컨대 원판이 6개의 셀을 가지고 있다면, 이 원판은 3개의 셀(또는 2개의 셀)을 갖는 단판으로 절단된다.
1/2 크기(또는 1/3 크기)의 단판은 언로더(12)에 이송되며, 언로더에 이송된 단판은 별도의 기판 반송 장치(30)를 통해 기판 분류 설비(20)로 이송된다.
기판 절단 설비(10)로부터 반송 장치(30)를 통해 이송된 단판은 기판 분류 설비(20)의 로더(21)에 놓이게 된다. 이 단판은 판독 및 분류 장치(22)에 이송되어 불량 셀의 그레이드가 판독되며, 각 불량 셀의 글레이드에 따라 분류된다. 분류된 단판은 언로더(23)에 이송되어, 각각 카세트(24a, 24b, 24c)에 보관된다.
이와 같이, 종래의 TFT-LCD 제조 공정에서 기판을 절단하고 절단된 기판을 분류하기 위해서는 2 종류의 설비(즉, 기판 절단 설비, 분류 설비)와, 이 설비 사이에서 기판을 반송하기 위한 반송 장치가 필요하였다. 따라서, 공정에 필요한 설비의 비용이 증가하는 문제점이 있었다.
또한, 기판의 절단 및 분류를 각각 개별적인 프로세스로 진행하였기 때문에, 기판의 절단이 끝난 후에 단판의 분류 작업을 실시간으로 수행하지 못하였으며, 이에 따라 작업 시간이 증가한다는 문제점이 있었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 절단 및 분류를 위한 공정을 단순화하여 원가 및 작업 시간을 줄이기 위한 것이다.
도1은 종래의 기판의 절단 설비 및 분류 설비를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 절단 및 분류 자동화 시스템을 나타내는 도면이다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비를 나타내는 블록도이다.
도4는 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비를 상세하게 나타낸 도면이다.
도5는 불량 그레이드의 예를 나타내는 도면이다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비의 제어 흐름도이다.
도7은 작업 모드가 그레이드 모드인 경우의 설비, 설비 서버, 호스트 사이의 메시지 흐름을 나타내는 도면이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 자동화 시스템은
불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하고 상기 단판을 소정의 모드에 따라 분류함과 동시에 언로딩하는 절단 및 분류 설비와; 상기 절단 및 분류 설비로부터 상기 단판에 필요한 작업 데이터를 요청받으며 상기 요청에 대한 응답으로 상기 단판에 필요한 작업 데이터 및 작업 지시를 상기 절단 및 분류 설비에게 전송하는 제어부를 포함한다.
여기서, 상기 절단 및 분류 설비는
상기 기판을 수납하고 있는 카세트를 스토카 또는 다른 설비로부터 이송받아, 상기 카세트를 대기시키기 위한 로더와; 상기 로더로부터 상기 카세트에 수납되어 있는 상기 기판을 이송받아 소정의 크기를 가지는 단판으로 절단하는 기판 절단 장치와; 상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 상기 단판의 ID를 판독하는 판독 장치와; 상기 판독 장치로부터 판독된 단판을 이송받아, 상기 판독 장치의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라 상기 단판을 분류하는 언로더를 포함한다.
또한, 상기 판독 장치는 상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 단판들을 올려놓기 위한 조작 테이블과, 상기 조작 테이블에 올려 놓여진 상기 단판의 ID를 확인하여 상기 단판의 위치 정보 또는 불량 그레이드를 확인하기 위한 단판 판독기를 포함하며, 상기 언로더는 상기 단판들을 수납하기 위한 다수의 카세트가 올려 놓여지는 카세트 대기소와, 상기 단판 판독기의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라 상기 판독된 단판을 상기 작업 대기소의 다수의 카세트 중 하나로 이송하여 수납하기 위한 제1 반송 로봇을 포함한다.
여기서, 상기 소정의 작업 모드는
상기 언로드 위에 놓여진 카세트 중 작업 가능한 카세트부터 상기 단판을 순차적으로 수납하는 순차 모드이나, 절단된 단판의 위치에 따라 상기 단판을 카세트에 수납하는 위치 모드이거나, 상기 단판의 불량 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 그레이드 모드 중 하나인 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 제어 방법은 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하는 기판 절단 장치와, 상기 단판을 소정의 모드에 따라 다수의 카세트 중 하나의 카세트에 탑재하는 언로더를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법에 관한 것이다.
상기 제어 방법은
상기 기판 절단 장치로부터 절단된 상기 단판의 작업 모드를 판단하는 제1 단계와; 상기 제1 단계에서 판단된 작업 모드에 따라 상기 단판을 분류함과 동시에 상기 다수의 카세트 중 하나의 카세트에 언로딩하는 제2 단계와; 상기 제1 단계 및 제2 단계의 작업을 하나의 작업 단위를 이루는 다수의 기판 집합(LOT)내의 모든 단판에 대하여 반복하여 수행하는 제3 단계를 포함한다.
여기서, 상기 작업 모드는
상기 언로드 위에 놓여진 카세트 중 작업 가능한 카세트부터 상기 단판을 순차적으로 수납하는 순차 모드이거나, 절단된 단판의 위치에 따라 상기 단판을 카세트에 수납하는 위치 모드이거나, 상기 단판의 불량 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 그레이드 모드 중 하나인 것이 바람직하다.
상기 작업 모드가 위치 모드인 경우에, 상기 제2 단계는
상기 단판의 ID을 판독하여 상기 단판의 위치 정보를 확인한 후, 각 단판의 위치 별로 해당 카세트에 수납한다.
또한, 상기 작업 모드가 그레이드 모드인 경우, 상기 제2 단계는
각 단판의 ID, 단판의 그레이드 ID 정보를 포함하는 상기 단판에 대한 정보를 호스트로부터 전송받는 단계와; 상기 단판의 ID를 판독하고, 상기 호스트로부터 전송된 정보를 기초로 하여 상기 단판의 그레이드를 확인하는 단계와; 상기 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 단계를 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 절단 및 분류 자동화 시스템을 나타내는 도면이다.
도2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판의 절단 및 분류 자동화 시스템은 절단 및 분류 설비(1000), 설비 서버(2200), 호스트(2400)와 데이터 베이스(3000)로 이루어진다. 도2에서, 설비 서버(2200)와 호스트(2400)는 제어부(2000)를 이룬다.
절단 및 분류 설비(1000)는 제어부(2000)(또는 작업자)로부터의 작업 지시에 따라 불량 셀을 가지는 기판을 절단한 후, 절단된 기판을 소정의 모드로 분류한다. 제어부(2000)는 절단 및 분류 설비(1000)로부터 기판에 대한 작업 정보의 요청을 받아, 작업 지시 및 필요한 작업 데이터를 설비(1000)로 전송한다. 각 기판에 대한 작업 데이터들은 데이터 베이스(3000)에 저장되어 있다.
본 발명의 실시예에서 제어부(2000)는 호스트(2400)와 설비 서버(2200)로 이루어지는 데, 호스트(2400)는 각 기판에 대한 작업 데이터를 설비 서버(2200)를 통해 각 설비로 전송하고, 각 설비로부터의 작업 결과를 전송받는다. 즉, 설비서버(2200)는 호스트(2400)와 절단 및 분류 설비(1000)를 인터페이스한다.
도3은 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비를 나타내는 블록도이며, 도4는 도3의 설비를 보다 상세하게 나타낸 도면이다.
도3 및 도4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비(1000)는 로더(100), 기판 절단 장치(200), 판독 장치(300), 언로더(400)와 설비 제어기(500)로 이루어진다.
로더(100)는 카세트를 올려놓게 위한 포트(110a, 110b)와 반송 로봇(120)으로 이루어지며, 불량 셀을 가지는 기판 (TFT 기판 및 CF 기판)이 수납되어 있는 카세트를 스토카(또는 다른 설비)로부터 이송받아 포트(110a, 110b) 위에 올려놓는다.
기판 절단 장치(200)는 카세트에 보관된 기판(원판)을 로더(100)의 반송 로봇(120)을 통해 이송받아, 작업자의 지시 또는 호스트의 작업 지시에 따라 소정의 크기를 가지는 단판으로 절단한다. 이하에서는 원판(이를, 1/1 기판이라 함)이 6개의 셀을 가지고 있으며, 기판 절단 장치(200)는 이 원판을 2개의 셀을 가지는 단판(즉, 원판의 1/3 크기를 가지는 단판)으로 절단한다고 가정한다.
판독 장치(300)는 조작 (handling) 테이블(320)과 단판 판독기(310)로 이루어진다. 기판 절단 장치(200)에 의해 절단된 1/3 크기의 단판(A, B, C)은 조작 스테이션(320) 위에 놓여지며, 단판 판독기(310)는 이들 단판의 ID를 판독하여 단판의 위치(즉, 원판의 해당 위치) 및 불량 그레이드를 확인한다. 이들 단판에 대한 정보는 설비 제어기(500)를 통해 제어부(2000)로 전송된다.
언로더(400)는 반송 로봇(410)과 카세트 대기소(420)로 이루어진다. 단판 판독기(310)에 의해 판독된 단판들은 반송 로봇(310)의 의해 카세트 대기소(420) 위에 놓인 카세트(430a, 430b, 430c) 중 하나에 수납된다. 이때, 반송 로봇(410)은 단판 판독기(300)의 판독 결과와 소정의 분류 모드에 따라 3개의 카세트(430a, 430b, 430c) 중 하나에 단판을 수납한다. 따라서, 언로더는 단판을 자동으로 분류하게 된다.
설비 제어기(500)는 로더(100), 글래스 절단 장치(200), 판독 장치(300) 및 언로더(400)의 전체 동작을 제어하며, 제어부(2000)(보다 구체적으로 설비 서버)와 작업 데이터 등을 주고받는다.
한편, 본 발명의 실시예에서 언로더(400)는 다음의 3가지 작업 모드 중 하나로 단판을 카세트에 수납한다.
첫 번째 작업 모드는 단판을 순차적으로 카세트에 수납하는 모드이다. (이하에서는 이를 '순차 모드'라 한다) 이 순차 모드에 따르면, 판독 장치(300)로부터 이송된 단판은 언로더(400)에 놓인 카세트 중 작업이 가능한 카세트부터 차례대로 수납되며, 상기 카세트에 단판의 수납이 완료되면 작업이 가능한 다음 카세트에 수납이 계속된다.
두 번째 작업 모드는 단판의 위치에 따라 단판을 카세트에 보관하는 모드이다. (이를 '위치 모드'라 한다) 예컨대, 단판이 원판의 좌측 부분에 해당하는 경우에는 카세트(430a)에 수납하고, 원판의 중앙 부분 및 우측 부분에 해당하는 경우에는 각각 카세트(430b, 430c)에 적재하는 방법이다. 이 위치 모드는 기판의 위치별로 불량이 발생하거나 검토가 필요한 작업이 발생한 경우 유용한 작업 모드이다.
세 번째 작업 모드는 불량 그레이드(유형)에 따라 단판을 카세트에 수납하는 방법이다. (이를 '그레이드 모드'라 한다.) 도5에 도시한 바와 같이, 2개의 셀을 가지는 단판은 4가지의 불량 그레이드가 생길 수 있다. 즉, 2개의 셀이 모두 정상인 경우 (O, O), 위의 셀이 정상이고 아래 셀이 불량인 경우 (O, X), 위의 셀이 불량이고 아래 셀이 정상인 경우 (X, O), 두 셀 모두 불량인 경우 (X, X)의 4가지 불량 그레이드가 생길 수 있다.
그레이드 모드에 따르면, 이 불량 그레이드에 따라 3개의 카세트 중 하나에 단판을 수납한다. 이때, 불량 그레이드에 따라 단판을 수납하는 방법(이하 '수납 모드'라 함)도 여러 가지가 있을 수 있는데, 아래의 표는 이러한 수납 모드의 예를 나타낸다.
제1 수납모드 제2 수납모드 제3 수납모드
제1 카세트 (O,O) (O,O) (O,O)
제2 카세트 (O,O) (O,X) (X,O)
제3 카세트 (O,X),(X,O),(X,X) (X,O),(X,X) (O,X),(X,X)
위의 표에 나타낸 바와 같이, 예컨대 제1 수납 모드에 따르면 제1 카세트(430a)와 제2 카세트(430b)에는 두 셀이 모두 정상인 단판(O, O)이 수납되며, 제3 카세트(430c)에는 그 외의 단판이 수납된다. 또한, 제2 모드에 따르면 제1 카세트(410)에는 두 셀이 모두 정상인 단판(O, O)이 수납되고, 제2 카세트(430a)에는 위의 셀이 정상이고 아래 셀이 불량인 단판(O, X)이 수납되며, 제3 카세트(430c)에는 그 외의 단판이 수납된다.
이러한 수납 방법은 단판의 그레이드 중 어느 그레이드가 많은 가에 따라 결정될 수 있다. 예컨대, 두 셀 모두 정상인 단판이 많은 경우에는 제1 수납모드를 사용하여 단판을 수납한다면 효과적으로 단판을 수납할 수 있다.
다음은 도4 및 도5에 도시한 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비(1000)의 동작을 설명한다.
도6은 본 발명의 실시예에 따른 절단 및 분류 설비의 제어 흐름도이다.
먼저, 기판 절단 장치(200)로부터 작업 대상물인 단판이 판독장치(300)로 도착하면, (S100) 설비는 이 단판의 작업 모드가 순차 모드인지, 위치 모드인지, 그레이드 모드인지를 판단한다. (S110) 여기서, 상기 S100 단계와 S110 단계는 서로 바뀔 수도 있다. 즉, 이미 단판의 작업 모드가 판단된 상태에서 작업 대상물인 단판이 판독장치로 도착할 수도 있다.
위의 단계에서, 판단된 작업 모드가 순차 모드인 경우에는 단판의 ID를 판독한 후, 판독한 단판을 순차적으로 언로딩한다. (S200, S210) 즉, 작업이 가능한 카세트부터 판독한 단판을 순차적으로 적재한다.
한편, 판단된 작업 모드가 위치 모드인 경우에는 단판의 ID를 판독하여 이 단판의 위치 정보를 확인한 후,(S300) 각 단판의 위치별로 해당 카세트에 적재한다. (S310)
마지막으로, 판단된 작업 모드가 그레이드 모드인 경우에 설비는 작업 대상물인 단판에 대한 정보를 호스트에 요구하여, 호스트로부터 전송된 상기 작업 대상물에 대한 정보를 참조한다. 그리고 나서, 단판의 ID를 판독한 후(S420) 상기 호스트 정보에 기초하여 판독된 정보를 검색하여(S430), 단판의 그레이드를 확인한다.(S440) 다음에, 수납 모드를 확인하여 수납 모드에 따라 적재할 카세트를 선택한 후, (S450, S460) 각 단판의 그레이드에 따라 해당 카세트에 적재한다. (S470)
각 작업 모드에 따라 하나의 단판에 대한 언로딩을 끝내면, 다음 단판에 대하여 상기한 과정을 반복한다. 이러한 반복 과정은 하나의 작업 단위를 이루는 다수의 기판 집합(이를 LOT 이라 함)내의 모든 단판에 대하여 작업을 완료하거나 카세트가 풀 상태인 경우 종료한다. (S220, S240, S240), (S320, S330, S340), (S480, S490, S500)
다음은 작업 모드가 그레이드 모드인 경우, 설비(1000), 설비 서버(2200)와 호스트(2400) 사이의 메시지 흐름을 도7을 참조하여 설명한다.
먼저, 작업 대상물인 단판이 판독 장치(300)에 도착하면, 설비 제어기(500)는 설비에 도착한 단판에 대한 정보를 설비서버에 보고하면서, 상기 단판에 대한 작업 정보를 줄 것을 설비 서버에게 요청한다. (S700) 이때, 설비 제어기에 보고하는 정보에는 카세트가 놓여진 포트 ID, 카세트 ID, LOT ID 등이 포함된다.
설비 서버(2200)는 상기 설비 제어기(500)로부터 보고된 작업 정보에 대한 요청을 호스트(2400)에게 전송하며, 호스트(2400)는 상기 단판에 대한 작업 정보를 설비 서버(2200)에게 전송한다.(S710, S720) 설비 서버(2200)는 이 작업 정보를 설비 제어기(500)에게 전송하며, 설비 제어기(500)에게 작업 지시를 내린다. (S730) 이때 작업 정보에는 LOT ID, 기판 ID, 그레이드 등이 포함된다.
설비 제어기(500)는 판독 장치(300) 및 언로더(400)에 작업 지시를 내리며, (S740) 판독 장치 및 언로더는 제어기로부터 작업 지시에 따라 앞서 도6을 참조하여 설명한 작업을 단판의 수만큼 반복한 후, 작업이 완료되면 설비 제어기에 작업 완료를 보고한다. (S750, S760, S770)
그러면, 설비 제어기(500)는 작업 대상물인 단판의 수납 내용 및 작업 완료 보고를 설비 서버(2200)로 전송하며, 설비 서버(2200)는 이를 호스트(2400)에게 전송한다. (S780, S790) 이때, 호스트(2400)에 전송되는 정보에는 언로더의 포트 ID, 기판 ID, LOT ID, 단판의 ID, 그레이드 등이 포함된다.
호스트(2400)가 상기 정보를 설비 서버(2200)로부터 받으면, 기판 반송 장치에게 상기 작업이 완료된 카세트의 반송을 명령한다.
이상에서 설명한 본 발명의 실시예에 따르면, 기판의 절단 및 분류가 하나의 설비에서 하나의 프로세스로 행해지기 때문에, 설비의 제조 원가를 절감할 수 있다. 또한, 기판의 절단 및 분류가 실시간으로 이루어지기 때문에 공정시간을 단축시킬 수 있다.
그리고, 사용자의 요구대로 절단된 기판을 분류할 수 있으며, 또한 원하는 형태로 언로딩할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명이 상기한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 그 외의 다양한 변형이나 변경이 가능한 것은 물론이다.
예컨대, 본 발명의 실시예에서는 TFT-LCD를 제조하기 위한 기판의 절단 및 분류에 대하여 설명하였으나, 이외에도 플라즈마 디스플레이 패널 등과 같이 기판의 절단 및 분류가 필요한 다른 공정에서도 적용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 기판의 절단 및 분류를 위한 공정을 단순화하여 원가 및 작업 시간을 줄일 수 있으며, 다양한 형태로 기판을 분류하고 언로딩할 수 있다.

Claims (18)

  1. 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하고, 상기 단판을 소정의 모드에 따라 분류함과 동시에 언로딩하는 절단 및 분류 설비와;
    상기 절단 및 분류 설비로부터 상기 단판에 필요한 작업 데이터를 요청받으며, 상기 요청에 대한 응답으로 상기 단판에 필요한 작업 데이터 및 작업 지시를 상기 절단 및 분류 설비에게 전송하는 제어부를 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기 절단 및 분류 설비는
    상기 기판을 수납하고 있는 카세트를 스토카 또는 다른 설비로부터 이송받아, 상기 카세트를 대기시키기 위한 로더와;
    상기 로더로부터 상기 카세트에 수납되어 있는 상기 기판을 이송받아, 소정의 크기를 가지는 단판으로 절단하는 기판 절단 장치와;
    상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 상기 단판의 ID를 판독하는 판독 장치와;
    상기 판독 장치로부터 판독된 단판을 이송받아, 상기 판독 장치의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라 상기 단판을 분류하는 언로더를 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  3. 제2항에서,
    상기 판독 장치는
    상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 단판들을 올려놓기 위한 조작 테이블과,
    상기 조작 테이블에 올려 놓여진 상기 단판의 ID를 확인하여, 상기 단판의 위치 정보 또는 불량 그레이드를 확인하기 위한 단판 판독기를 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  4. 제3항에서,
    상기 언로더는
    상기 단판들을 수납하기 위한 다수의 카세트가 올려 놓여지는 카세트 대기소와,
    상기 단판 판독기의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라, 상기 판독된 단판을 상기 작업 대기소의 다수의 카세트 중 하나로 이송하여 수납하기 위한 제1 반송 로봇을 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  5. 제4항에서,
    상기 로더는
    스토카 또는 다른 설비로부터 이송 받은 상기 카세트를 올려놓기 위한 다수의 포트와,
    상기 포트 위에 올려 놓여진 카세트로부터 상기 기판을 빼내어, 상기 절단 장치로 이송하기 위한 제2 반송 로봇을 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  6. 제4항에서,
    상기 소정의 작업 모드는
    상기 언로드 위에 놓여진 카세트 중 작업 가능한 카세트부터 상기 단판을 순차적으로 수납하는 순차 모드인 것을 특징으로 하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  7. 제4항에서,
    상기 소정의 작업 모드는
    절단된 단판의 위치에 따라, 상기 단판을 카세트에 수납하는 위치 모드인 것을 특징으로 하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  8. 제4항에서,
    상기 소정의 작업 모드는
    상기 단판의 불량 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 그레이드 모드인 것을 특징으로 하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  9. 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하는 기판 절단 장치와, 상기 단판을 소정의 모드에 따라 다수의 카세트 중 하나의 카세트에 탑재하는 언로더를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법에 있어서,
    상기 기판 절단 장치로부터 절단된 상기 단판의 작업 모드를 판단하는 제1 단계와;
    상기 제1 단계에서 판단된 작업 모드에 따라 상기 단판을 분류함과 동시에 상기 다수의 카세트 중 하나의 카세트에 언로딩하는 제2 단계와;
    상기 제1 단계 및 제2 단계의 작업을 하나의 작업 단위를 이루는 다수의 기판 집합(LOT)내의 모든 단판에 대하여 반복하여 수행하는 제3 단계를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 작업 모드는
    상기 언로드 위에 놓여진 카세트 중 작업 가능한 카세트부터 상기 단판을 순차적으로 수납하는 순차 모드인 것을 특징으로 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
  11. 제9항에서,
    상기 작업 모드는 절단된 단판의 위치에 따라 상기 단판을 카세트에 수납하는 위치 모드이며,
    상기 제2 단계는
    상기 단판의 ID을 판독하여 상기 단판의 위치 정보를 확인한 후, 각 단판의 위치 별로 해당 카세트에 수납하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
  12. 제9항에서,
    상기 작업 모드는
    상기 단판의 불량 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 그레이드 모드인 것을 특징으로 하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 제2 단계는
    각 단판의 ID, 단판의 그레이드 ID 정보를 포함하는 상기 단판에 대한 정보를 호스트로부터 전송받는 단계와;
    상기 단판의 ID를 판독하고, 상기 호스트로부터 전송된 정보를 기초로 하여 상기 단판의 그레이드를 확인하는 단계와;
    상기 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 단계를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
  14. 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 수납하고 있는 카세트를 스토카 또는 다른 설비로부터 이송받아, 상기 카세트를 대기시키기 위한 로더와;
    상기 로더로부터 상기 카세트에 수납되어 있는 상기 기판을 이송받아, 소정의 크기를 가지는 단판으로 절단하는 기판 절단 장치와;
    상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 상기 단판의 ID를 판독하는 판독 장치와;
    상기 판독 장치로부터 판독된 단판을 이송받아, 상기 판독 장치의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라 상기 단판을 분류하는 언로더를 포함하는 기판의 절단 및 분류 설비.
  15. 제14항에서,
    상기 판독 장치는
    상기 기판 절단 장치에 의해 절단된 단판들을 올려놓기 위한 조작 테이블과,
    상기 조작 테이블에 올려 놓여진 상기 단판의 ID를 확인하여, 상기 단판의 위치 정보 또는 불량 그레이드를 확인하기 위한 단판 판독기를 포함하는 기판의 절단 및 분류 설비.
  16. 제15항에서,
    상기 언로더는
    상기 단판들을 수납하기 위한 다수의 카세트가 올려 놓여지는 카세트 대기소와,
    상기 단판 판독기의 판독 결과와 소정의 작업 모드에 따라, 상기 판독된 단판을 상기 작업 대기소의 다수의 카세트 중 하나로 이송하여 수납하기 위한 제1 반송 로봇을 포함하는 기판의 절단 및 분류 설비.
  17. 제16항에서,
    상기 로더는
    스토카 또는 다른 설비로부터 이송 받은 상기 카세트를 올려놓기 위한 다수의 포트와,
    상기 포트 위에 올려 놓여진 카세트로부터 상기 기판을 빼내어, 상기 절단 장치로 이송하기 위한 제2 반송 로봇을 포함하는 작업 대상물의 절단 및 자동화 시스템.
  18. 불량 셀을 포함하는 다수의 셀로 이루어지는 기판을 절단하여 단판을 형성하는 기판 절단 장치와, 상기 단판을 다수의 카세트 중 하나의 카세트에 탑재하는 언로더를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법에 있어서,
    각 단판의 ID, 단판의 그레이드 ID 정보를 포함하는 상기 단판에 대한 정보를 호스트로부터 전송받는 단계와;
    상기 단판의 ID를 판독하고 상기 호스트로부터 전송된 정보를 기초로 하여 상기 단판의 그레이드를 확인하는 단계와;
    상기 그레이드에 따라 단판을 카세트에 수납하는 단계와;
    상기 단계들의 작업을 하나의 작업 단위를 이루는 다수의 기판 집합(LOT)내의 모든 단판에 대하여 반복하여 수행하는 단계를 포함하는 기판 절단 및 분류 설비의 제어 방법.
KR1019980050882A 1998-11-26 1998-11-26 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법 KR100309919B1 (ko)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980050882A KR100309919B1 (ko) 1998-11-26 1998-11-26 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법
TW088103944A TW527495B (en) 1998-11-26 1999-03-15 System for automatic workpiece cutting and sorting and method for controlling same
US09/328,393 US6577913B2 (en) 1998-11-26 1999-06-09 Cutting and sorting automation system and method for manufacturing a liquid crystal device using the same
CNB2004100478541A CN1242874C (zh) 1998-11-26 1999-09-21 控制切割及分类设备的方法
CNB99120347XA CN1182424C (zh) 1998-11-26 1999-09-21 工件的切割及分类的自动化系统,和切割及分类设备
JP11330593A JP2000158388A (ja) 1998-11-26 1999-11-19 作業対象物の切断及び分類自動化システムとその制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980050882A KR100309919B1 (ko) 1998-11-26 1998-11-26 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000033838A true KR20000033838A (ko) 2000-06-15
KR100309919B1 KR100309919B1 (ko) 2002-10-25

Family

ID=19559784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980050882A KR100309919B1 (ko) 1998-11-26 1998-11-26 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6577913B2 (ko)
JP (1) JP2000158388A (ko)
KR (1) KR100309919B1 (ko)
CN (2) CN1242874C (ko)
TW (1) TW527495B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100978259B1 (ko) * 2005-06-20 2010-08-26 엘지디스플레이 주식회사 액정패널 절단시스템 및 이를 이용한 액정표시소자제조방법

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100817134B1 (ko) * 2002-03-25 2008-03-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 패널의 제조장치 및 방법
KR100797944B1 (ko) * 2006-08-28 2008-01-25 주식회사 탑 엔지니어링 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를기록한 기록매체
CN101511709B (zh) * 2006-10-03 2013-03-20 株式会社Ihi 基板输送系统
WO2009154022A1 (ja) * 2008-06-18 2009-12-23 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板加工システム
CN102744798A (zh) * 2011-04-22 2012-10-24 上海闽盛机械设备制造有限公司 一种对锯切机切割硬质材料的控制方法
CN103869519B (zh) * 2012-12-13 2016-06-01 京东方科技集团股份有限公司 制造薄膜晶体管液晶显示器的方法
CN104924349B (zh) * 2014-03-20 2017-01-04 博斯特（上海）有限公司 一种用于模切机下部清废框的调节装置
CN105196345A (zh) * 2014-06-26 2015-12-30 德阳市利通印刷机械有限公司 一种松纸边机
US10520932B2 (en) * 2014-07-03 2019-12-31 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Transport system and method
CN104760078A (zh) * 2015-04-14 2015-07-08 青海电子材料产业发展有限公司 铜箔分切过程中铜屑的清理装置
CN105034070B (zh) * 2015-06-30 2017-06-30 东莞市钲晟电子科技有限公司 一种信号屏蔽板材的加工系统
CN106890804B (zh) * 2015-12-19 2021-04-09 北京中船信息科技有限公司 一种基于套料图解析的零件智能分拣设备
CN110378646B (zh) * 2019-06-17 2023-07-28 北海惠科光电技术有限公司 管控异常玻璃基板的方法和玻璃基板生产控制系统

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3897626A (en) * 1971-06-25 1975-08-05 Ibm Method of manufacturing a full capacity monolithic memory utilizing defective storage cells
US4027246A (en) * 1976-03-26 1977-05-31 International Business Machines Corporation Automated integrated circuit manufacturing system
US5378145A (en) * 1992-07-15 1995-01-03 Tokyo Electron Kabushiki Kaisha Treatment system and treatment apparatus
JPH07281142A (ja) * 1994-04-13 1995-10-27 Hitachi Ltd 液晶表示素子の製造方法および製造装置
JPH07297258A (ja) * 1994-04-26 1995-11-10 Tokyo Electron Ltd 板状体の搬送装置
US5806574A (en) * 1995-12-01 1998-09-15 Shinko Electric Co., Ltd. Portable closed container
JP3501896B2 (ja) * 1996-03-21 2004-03-02 トーヨーエイテック株式会社 ウェハ製造装置
TW353772B (en) * 1996-09-09 1999-03-01 Tokyo Electron Ltd Workpiece relaying apparatus
JPH1096882A (ja) * 1996-09-19 1998-04-14 Hitachi Ltd 物流制御システム
US5844803A (en) * 1997-02-17 1998-12-01 Micron Technology, Inc. Method of sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing
US5915231A (en) * 1997-02-26 1999-06-22 Micron Technology, Inc. Method in an integrated circuit (IC) manufacturing process for identifying and redirecting IC's mis-processed during their manufacture
JPH1123659A (ja) * 1997-07-07 1999-01-29 Nec Corp 半導体装置のテストシステム
KR100305527B1 (ko) * 1998-07-09 2001-11-01 니시무로 타이죠 반도체장치의 제조방법 및 제조장치
KR100299685B1 (ko) * 1998-10-02 2001-10-27 윤종용 작업대상물의결합처리자동화시스템및그제어방법
US6222145B1 (en) * 1998-10-29 2001-04-24 International Business Machines Corporation Mechanical strength die sorting
US6286685B1 (en) * 1999-03-15 2001-09-11 Seh America, Inc. System and method for wafer thickness sorting

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100978259B1 (ko) * 2005-06-20 2010-08-26 엘지디스플레이 주식회사 액정패널 절단시스템 및 이를 이용한 액정표시소자제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN1550303A (zh) 2004-12-01
KR100309919B1 (ko) 2002-10-25
CN1261163A (zh) 2000-07-26
CN1182424C (zh) 2004-12-29
CN1242874C (zh) 2006-02-22
US20020173871A1 (en) 2002-11-21
TW527495B (en) 2003-04-11
US6577913B2 (en) 2003-06-10
JP2000158388A (ja) 2000-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100309919B1 (ko) 작업대상물의절단및분류자동화시스템과그제어방법
US6473664B1 (en) Manufacturing process automation system using a file server and its control method
US7363107B2 (en) Substrate transfer system
US6131052A (en) Semiconductor manufacturing non-processing apparatuses with storage equipment
KR100309920B1 (ko) 기판의언로딩장치및언로딩방법
US6190224B1 (en) Automation system and a method for assembling a workpiece
US8712569B2 (en) System for determining potential lot consolidation during manufacturing
US20030083766A1 (en) System for selectively managing workpieces and a method for controlling the same
US7409257B2 (en) System and method for moving substrates in and out of a manufacturing process
JP3588331B2 (ja) 液晶ディスプレイのインライン作業プロセス及びその装置
JPH11111801A (ja) 連続処理工程の搬送システム及びその制御方法
JP2013200353A (ja) 搬送方法及び搬送装置
KR100989169B1 (ko) 글라스 이재기 제어 시스템
JP2002229619A (ja) 生産ライン管理システムおよび生産ライン管理方法
JP2003108213A (ja) 自動管理システム
KR100650338B1 (ko) 소자의 분류방법
JPS58109256A (ja) 自動加工工程におけるワークのプリセットシステム装置
KR100686222B1 (ko) 기판의 결합 처리 자동화 시스템 및 그 제어방법
KR100796496B1 (ko) 액정표시장치 제조용 패널 소팅 장치 및 방법
KR20040087375A (ko) 글라스 이재기
JPH0574675A (ja) リフアレンスウエハ枚葉管理装置
KR20040054831A (ko) 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120814

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130830

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140901

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee