KR100797944B1

KR100797944B1 - 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를기록한 기록매체

Info

Publication number: KR100797944B1
Application number: KR1020060081592A
Authority: KR
Inventors: 김영민; 김종상
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2006-08-28
Filing date: 2006-08-28
Publication date: 2008-01-25
Also published as: TWI340736B; CN101134638B; TW200817295A; CN101134638A

Abstract

글라스 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 글라스 패턴을 입력하는 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체에 관한 것으로, 소정의 기판 패턴을 형성하기 위한 1차 정보를 입력받는 입력 수단, 입력 수단에서 입력된 1차 정보를 상기 소정의 기판 패턴에 대응하는 2차 정보로 처리하는 처리 수단과 처리 수단에 의해 처리된 2차 정보에 따라 기판에 소정의 패턴에 대응하는 가공을 실행하는 가공 유닛을 포함하는 구성을 마련한다.

상기와 같은 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체을 이용하는 것에 의해, 잘못 입력될 소지가 없어 패턴 데이터를 정확하게 생성할 수 있다.

패턴, 글라스, CAD, 데이터, 변환

Description

기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체{Substrate pattern input system, pattern forming method and recording medium}

도 1은 종래의 스크라이브 라인 형성장치의 개략을 나타내는 정면도,

도 2는 본 발명에 따른 기판 패턴으로서 글라스 패턴을 입력하기 위한 시스템의 블록도,

도 3은 도 2에 도시된 기판 패턴 입력 시스템의 동작을 설명하기 위한 흐름도,

도 4는 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 적용될 CAD 도면의 상태를 나타내는 도면,

도 5는 머더 기판 상에 형성된 스크라이브 라인의 패턴을 나타내는 도면,

도 6은 CAD 도면의 상태를 기판 상에 형성된 스크라이브 라인의 패턴으로 변환하는 과정을 설명하는 도면.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 : 글라스 기판 200 : 헤더 유닛

201 : 스크라이브용 휠 202 : 구동부

300 : 조작부 301 : 입력부

302 : 표시부 304 : 분류부

305 : 데이터 형성부 306 : 확인부

307 : 저장부 308 : 제어부

본 발명은 글라스 기판 등 취성 기판을 소정의 패턴으로 스크라이빙 하기위한 패턴을 입력하는 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체에 관한 것으로, 특히 글라스 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 글라스 패턴을 입력하는 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), OLED(Organic Light Emitting Display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등의 평판 디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조한 후 가공라인으로 운반하여 가공하고 있다.

이러한 글라스 기판 등의 취성 기판은 글라스 기판의 표면에 원하는 절단 방 향을 따라 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과 글라스 기판의 표면상에 형성된 스크라이브 라인을 따라 모멘트를 가함으로써 글라스 기판을 스크라이브 라인을 따라 절단하는 브레이크 공정을 실행함으로써 절단된다.

글라스 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정에서는 수직 크랙(crack)의 라인인 스크라이브 라인을 글라스 기판의 표면에 대하여 수직 아래로 깊게 침투시켜 형성한다.

이러한 스크라이브 라인 형성장치를 도 1에 따라 설명한다. 도 1은 종래의 스크라이브 라인 형성장치의 개략을 나타내는 정면도이다.

이 스크라이브 라인 형성장치는 도 1에 도시된 바와 같이 스크라이브 라인이 형성되는 머더 기판(mother substrate)이라고 불리는 큰 치수의 기판인 취성 재료기판(S)을 수평 상태로 고정하는 테이블(101)을 구비하고, 취성 재료기판이 고정되는 테이블(101)의 측방의 측벽에는 수평 방향(지면과 연직인 방향)을 따라 가이드 레일(103)이 설치된다. 이 가이드 레일(103)에는 내부에 구동 모터를 구비한 구동장치(11)의 일 단측이 접속되며, 구동장치(11)은 구동 모터의 구동에 의해 가이드 레일(103)이 연장되는 방향을 따라 일정 방향으로 슬라이드가 가능하도록 구성된다. 이 구동장치(11)의 타 단측에는, 서보 모터(2)가 설치되고, 이 서보 모터(2)는 구동장치(11)이 설치된 측의 반대측에 수평 방향으로 소정의 길이만큼 돌출한 회전축(3)을 구비하고, 이 회전축(3)은 서보 모터(2)에 의해 회전 구동하도록 되어 있고, 이 회전축(3)의 선단부에는 회전축(3)과 일체로 회전하는 지지 프레임(4)가 부착된다.

서보 모터(2)의 회전축(3)에 부착된 지지 프레임(4)는 평탄한 판자 모양으로 형성된 프레임 본체부와 이 프레임 본체부의 일단측에서 상방으로 소정의 높이만큼 돌출하는 돌출부를 구비하고, 돌출부가 형성된 일단측을 가이드 레일(103)을 따르는 진행 방향의 전방측으로 배치하여 돌출부의 상단이 서보 모터(2)의 회전축(3)에 부착되도록 구성된다.

또 지지 프레임(4)에 있어서 프레임 본체부의 후방측의 하면에는 글래스 커터가 부착되고, 이 글래스 커터는 초경합금 또는 소결 다이아몬드 등의 초경도를 구비하는 재질로 형성되는 휠 팁(5a)와 이 휠 팁(5a)를 회전 가능하도록 지지하는 홀더(5b)를 구비한다.

글래스 커터는 홀더(5b)의 상단이 지지 프레임(4)의 프레임 본체부(4a)의 하면에 부착됨으로써 지지 프레임(4)의 이동에 따라 일체로 이동하도록 되어 있고, 휠 팁(5a)는 하면을 개방한 홀더(5b)에 의하여 지지된다.

도 1에 도시된 바와 같은 스크라이브 라인 형성장치에 사용되는 스크라이브 라인을 형성하는 기술에 대한 일예가 대한민국 공개특허공보 2005-0113634호(2005년12월02일 공개), 특허공개공보 2005-0085135호(2005년08월29일 공개), 특허공개공보 2004-0005013, 특허 공개번호 2004-0007222호 등에 개시되어 있다.

예를 들어, 상기 공개특허번호 2004-0005013호에 있어서는 검사위치에 유리기판을 연속적으로 로딩하는 로딩 수단, 검사위치에 로딩되는 유리기판에 역광을 조명하는 조명수단, 유리기판의 상측 모서리를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제1 카메라, 유리기판의 하측 모서리를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 제2 카 메라, 유리기판의 좌측모서리 및 우측모서리를 촬영하여 이미지데이터를 출력하는 하나 이상의 제3 카메라, 제1 내지 제3 카메라들로부터의 이미지데이터를 프로세싱하여 유리기판을 양품과 불량품으로 선별하는 컴퓨터, 검사위치에서 제1 내지 제3 카메라들을 지지하는 카메라스탠드로 이루어지는 구성에 대해 개시되어 있다.

그러나, 상술한 문헌 등에 개시된 기술에 있어서는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 글라스의 패턴을 엑셀파일로 작성하거나 장비운용 프로그램에서 사용자가 직접 입력해야 하므로, 그 설정과정이 번잡하게 된다는 문제가 있었다.

또 종래의 기술에 있어서는 엑셀파일을 사용할 경우 잘못된 수식 입력 등에 의한 에러가 발생하기도 한다는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, CAD파일로 작성되어 있는 글라스의 패턴을 읽어들여 도면상에 각각의 패턴 위치를 인식한 뒤 좌표로 변환하여 데이터화 함으로써 사용자가 패턴 좌표를 수작업으로 입력할 필요가 없는 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 원하는 패턴을 글라스에 용이하게 적용할 수 있는 기판 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템은 기판에 소정의 패턴을 자동으로 입력하는 시스템에 있어서, 소정의 기판 패턴을 형성하기 위한 1차 정보를 입력받는 입력 수단, 상기 입력 수단에서 입력된 1차 정보를 상기 소정의 기판 패턴에 대응하는 2차 정보로 처리하는 처리 수단과 상기 처리 수단에 의해 처리된 2차 정보에 따라 상기 기판에 상기 소정의 패턴에 대응하는 가공을 실행하는 가공 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 기판은 LCD용 글라스 기판인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 기판은 반도체 장치 제조용 웨이퍼인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 가공 유닛은 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 유닛이고, 상기 소정의 패턴은 상기 스크라이브 라인인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 1차 정보는 소정의 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나인 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 처리 수단은 좌표에 따라 상기 패턴을 직선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류부, 상기 분류부에서 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성부 및 상기 데이터 형성부에 의해 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 기판 패턴 입력 시스템은 상기 확인부에 의해 확인된 도형을 조작자가 인식하게하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 패턴 입력 시스템에 있어서, 상기 표시부에 표시된 도형에 대응하는 스크라이브 라인이 상기 기판에 형성되도록 상기 가공 유닛을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법은 가공 유닛으로 기판에 소정의 패턴을 자동으로 형성하는 방법에 있어서, 소정의 기판 패턴을 형성하기 위한 1차 정보를 입력부를 통해 입력받는 입력 단계, 상기 입력 수단에서 입력된 1차 정보를 처리 수단에서 상기 소정의 기판 패턴에 대응하는 2차 정보로 처리하는 처리 단계 및 상기 처리 수단에 의해 처리된 2차 정보에 따라 상기 기판에 상기 소정의 패턴에 대응하는 스크라이브 라인을 형성하는 가공 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법에 있어서, 상기 1차 정보는 소정의 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나이며, 상기 처리 단계는 상기 좌표에 따라 상기 패턴을 직 선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류 단계, 상기 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성 단계 및 상기 데이터 형성 단계에서 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법에 있어서, 상기 패턴 형성 방법은 상기 확인 단계에서 확인된 도형을 조작자가 인식하게 하는 표시 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법에 있어서, 상기 가공 단계는 상기 표시 단계에서 표시된 도형에 대응하는 상기 스크라이브 라인이 상기 기판에 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법에 있어서, 상기 기판은 LCD용 글라스 기판인 것을 특징으로 하는 한다.

또 본 발명에 따른 기판 패턴 형성 방법에 있어서, 상기 기판은 반도체 장치 제조용 웨이퍼인 것을 특징으로 한다.

또한 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 기록 매체는 가공 유닛으로 기판에 소정의 패턴을 자동으로 형성하는 방법을 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 있어서, 소정의 기판 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나를 입력받는 입력 단계, 좌표에 따라 상기 패턴을 직선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류 단계, 상기 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성 단계, 상기 데이터 형성 단계에서 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인 단계 및 상기 확인 단계에서 확인된 도형을 조작자가 인식하게 하는 표시 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.

이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.

또 이하의 설명에 있어서는 설명의 편의상 스크라이브 라인을 형성하기 위한 글라스 패턴을 예로서 설명하지만 이에 한정되는 것은 아니다.

도 2는 본 발명에 따른 기판 패턴으로서 글라스 패턴을 입력하기 위한 시스템의 블록도 이다.

도 2에 있어서, (100)은 본 발명의 글라스 패턴 입력 시스템의 일 예로 적용되는 글라스 기판으로서, 이 글라스 기판(100)은 평판 디스플레이의 제조 분야에서 사용되는 머더 기판이며, 글라스 기판(100)에는 다수의 평판 디스플레이를 제조하기 위해 스크라이브용 휠(201)에 의해 스크라이브 라인(101)이 형성된다.

(200)은 스크라이브용 휠(201)을 지지하는 헤더 유닛이고, (202)는 헤더 유닛(200)을 구동하는 구동부이다.

또한 도 2에 있어서, (300)은 본 발명에 따른 글라스 패턴 입력 시스템을 조 작하기 위한 조작부로써, 글라스 패턴의 좌표를 조작 또는 입력하기 위해 통상의 컴퓨터 시스템의 키보드 또는 마우스 등으로 이루어지며, (301)은 조작부(300)의 조작에 의해 글라스 패턴을 시스템 내에 입력하는 입력부이며, 이 입력부에 의해 입력된 글라스 패턴은 CRT 또는 LCD로 이루어진 표시부(302)에 표시된다. 본 발명에 있어서의 입력부(301)에 입력되는 글라스 패턴은 미리 패턴이 그려진 AUTO CAD(computer-aided design) DRAWING FILE의 도면 파일로 입력된다.

입력부(301)로 입력된 패턴이 그려진 CAD파일은 *.dxf 파일, *. dwg파일, *.dwt 파일, *.dws 파일 중의 하나의 형태이다. 예를 들어 *.dxt(drawing exchange format) 파일은 도면 파일의 ASCII 또는 이진 파일이며, 응용프로그램 간에 도면 데이터를 공유하는 데 사용되며, 특정 형식으로 열어서 다른 응용프로그램의 도면이나 이미지로 사용할 수 있다. 즉 Auto CAD의 파일은 dxt 파일 형식으로 처리한다.

(304)는 분류부이며, 이 분류부(304)는 프로그램으로 저장된 파일을 읽어들인 좌표에 따라 글라스 패턴을 직선, 호, 다각형, 원, 폴리 라인(polyline) 등으로 분류한다.

(305)는 분류부(304)에서 분류된 좌표를 소팅(Sorting)하여 도면상의 정보들이 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성부이고, (306)은 데이터 형성부(305)에 의해 형성되어 정리된 데이터를 글라스 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인부이며, 이 확인부(306)에 의해 확인된 도형 등은 표시부(302)에 표시됨으로 조작자가 원하는 패턴 을 인식할 수 있게 된다. 즉, 만들어진 패턴 데이터를 이용하여 표시부(302)의 화면상에 패턴을 그려서 제대로 인식되었는지를 조작자가 확인할 수 있게 된다,

본 발명에 있어서 도 2에 도시된 분류부(304), 데이터 형성부(305), 확인부(306) 등은 마이크로 프로세서(400)에서 특정의 명령을 실행하도록 제어하는 것에 의해 실행되던가 또는 이러한 실행을 제어하는 프로 그램에 의해 실행될 수 있다.

(307)은 확인부(306)에서 확인된 글라스 패턴을 저장하고, 통상의 반도체 메모리 또는 CD 등으로 이루어진 저장부이며, (308)은 저장부(307)에 저장된 글라스 패턴에 따라 구동부(202)를 제어하여 헤더 유닛(200)을 구동시키는 제어부이며, 이 제어부(308)의 제어에 따라 확인부(306)에 의해 확인된 글라스 패턴이 글라스 기판(100)의 스크라이브 라인(101)으로 형성된다.

다음에 도 2에 도시된 글라스 패턴 입력 시스템의 동작에 대해 도 3 내지 도 6에 따라 설명한다.

도 3은 도 2에 도시된 기판 패턴 입력 시스템의 동작을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 4는 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템에 적용될 CAD 도면의 상태를 나타내는 도면이고, 도 5는 머더 기판 상에 형성된 스크라이브 라인의 패턴을 나타내는 도면이고, 도 6은 CAD 도면의 상태를 기판 상에 형성된 스크라이브 라인의 패턴을 변환하는 과정을 설명하는 도면이다.

먼저 조작자는 글라스 기판상에 스크라이브될 모든 글라스 패턴에 대응되는 소정 형식의 1차 정보로서 CAD 데이터 형식의 정보를 마련한다(S10). 이 1차 정보 는 이미지 형식의 데이터를 작성할 수 있는 프로그램 또는 프로그램이 내장된 마이크로 프로세서를 이용하여 조작자가 조작부(300)을 통해 작성할 수도 있지만, 통상의 기록 매체에 CAD 데이터 형식의 정보를 생성시킬 수 있도록 저장된 CAD 프로그램을 사용하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에서 1차 정보는 CAD 데이터 형식, 즉 CAD 프로그램을 사용하여 작성한 이미지 형식의 데이터를 의미하지만 이에 한정되는 것은 아니며, 기존에 존재하는 그림이나 사진 등을 인식하여 이미지 형식의 데이터로 작성할 수 있는 것이면 모두 가능하다.

이러한 1차 정보의 작성은 본 발명에 따른 기판 패턴 입력 시스템과 별도로 구비된 개인용 컴퓨터에 내장되는 것이 바람직하지만, 기판 패턴 입력 시스템에 내장될 수도 있다. 또한, CAD 데이터 형식으로 작성된 각각의 기판 패턴인 글라스 패턴은 도 4에 도시된 바와 같이 표시부(302)에 표시되도록 리드 된다(S20). 이 실시예에 있어서는 글라스 기판(100)에 4각형으로 12개의 평판 디스플레이용 스크라이브 라인이 형성되는 예를 나타내었으며, 스크라이브 라인의 종류, 라인의 색깔 등에 의하여 스크라이브의 형태를 구분되도록 설계되는 것이 바람직하다.

이 글라스 패턴에 대응되는 CAD 데이터 형식의 1차 정보는 기판 패턴 입력 시스템에서 사용되는 2차 정보로 자동 설정된다(S30). 2차 정보는 기판상에 스크라이브될 글라스 패턴에 대한 위치데이터를 좌표값으로 나타내는 것으로서 이하 패턴 데이터라고 한다.

본 발명에서 2차 정보 설정은 도 4에 도시된 바와 같은 CAD 프로그램을 사용하여 작성된 이미지 형식의 데이터를 수치화하는 프로그램 또는 프로그램이 내장된 마이크로 프로세서에 의해 실행된다.

또 입력부(301)은 상술한 바와 같이, 글라스 패턴에 대응하는 1차 정보를 저장하여 이동시킬 수 있는 것으로서 반도체 메모리, CD 또는 네트워크 서버 등이 사용된다.

그리고, 조작자는 CAD 프로그램에 의하여 설계된 1차 정보를 기판 패턴 입력 시스템에서 사용되는 패턴 데이터로 변환시킨다. 즉, CAD 데이터 형식의 1차 정보를 글라스 패턴의 위치를 나타내는 좌표값으로 수치화시킨다.

이때, CAD 데이터 형식으로 작성된 각각의 글라스 패턴은 분류부(304)에 의해 좌표에 따라 글라스 패턴을 직선, 호, 다각형, 원, 폴리 라인(polyline) 등으로 분류한다(S40). 즉 글라스 패턴의 선, 색깔 등에 따라서 고유한 패턴 번호를 가지게 되고, 글라스 패턴에 대한 패턴 데이터는 패턴 번호에 대응하는 각각의 데이터 시트에 기록된다.

다음에, 데이터 형성부(305)에서는 분류부(304)에서 분류된 좌표를 소팅(Sorting)하고 글라스 패턴에 대한 도면상의 정보들이 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 패턴 데이터를 형성한다(S50). 이때 확인부(306)에 의해 패턴 데이터가 도 5에 도시된 바와 같은 글라스 기판(100)에서 12개의 평판 디스플레이용 스크라이브 라인 데이터를 글라스 외곽(111) 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성한다(S60).

이 후 조작자는 확인부(306)를 통해 표시부(302)에 표시된 글라스 패턴을 확인하고, 확인부(306)에 의해 확인된 도형 등은 저장부(307)에 저장된다(S70).

확인부(306)에서 수치적으로 확인하는 방법은 글라스 패턴에 따라 설정된 조작 정보에 관한 데이터 시트(Data sheet)를 표시부(302)에 디스플레이 시켜서 조작자가 육안으로 데이터를 직접 확인할 수 있는 방법이다.

또, 스크라이빙 시뮬레이션 방법은 실제 스크라이브 라인을 기판상에 스크라이브하는 기판 패턴 입력 시스템과 동일한 작동 정보하에서 시뮬레이션 프로그램을 사용하여 프로그램상으로 스크라이브하는 방법이다. 이 시뮬레이션 프로그램에 의하여 스크라이브 라인이 형성된 이미지 형식의 결과에 대하여 조작자는 육안으로 글라스 패턴의 적합 여부를 확인할 수 있다.

물론, 스크라이빙 시뮬레이션의 결과인 이미지를 수치화하여 작동 정보의 데이터와 수치적으로 비교할 수도 있을 것이다. 그리고, 본 실시예에 있어서는 작동 정보를 수치적으로 확인하는 방법과 이미지 형식으로 확인하는 방법 중 적어도 하나를 사용하는 것이 바람직하다.

또 확인부(306)에 의해 패턴 데이터가 확인되면 조작자는 조작부(300) 등을 통해 제어부(308)를 제어하며 기판 패턴 입력 시스템을 작동시켜서 실제 기판 위에 도 5에 도시된 바와 같은 스크라이브용 글라스 패턴이 형성되도록 한다(S80). 그리고, 글라스 패턴에 대한 스크라이빙이 종료되면, 조작자가 도 5에 도시된 바와 같은 운전정보가 기록된 데이터 시트에 관리 번호를 부여하고, 이 데이터 시트를 별도의 저장장치에 저장하여도 좋다. 이 저장부(307)는 글라스 패턴 입력 시스템에 설치될 수도 있고, 글라스 패턴 입력 시스템 외부의 일반 저장장치에 보관될 수도 있다.

다음에 도 6에 따라 CAD 데이터 형식의 1차 정보가 도 5에 도시된 스크라이브 패턴의 위치 데이터인 2차 정보로 설정되는 과정을 설명한다.

도 5에 도시된 스크라이브 패턴(111)에 대응하는 CAD 데이터 형식의 1차 정보는 각각 스크라이브 패턴(111)에 대한 위치 데이터를 나타내는 수치 형식의 2차 정보로 변환된다. 즉 도 5에 도시된 각각의 디스플레이용 스크라이브 패턴(111)에 대응되는 패턴 번호가 부여된다.

상술한 바와 같이, 패턴 번호는 스크라이브 패턴(111)의 선의 종류나 색깔 등에 의해서 결정된다. 구체적으로, 변환부(303)에는 미리 패턴 번호와 선의 종류 및 색깔이 대응되도록 설정된다. 예를 들면, 노란색을 가지는 실선은 패턴 번호가 1 이 되고, 노란색을 가지는 점선은 패턴 번호가 2가 되고, 검은색을 가지는 실선은 패턴 번호 3과 같이 순차적으로 기록된다. 따라서, 이 패턴 번호의 개수는 스크라이브 패턴의 개수와 일치된다.

스크라이브 패턴(111)에 대한 패턴 데이터를 구성하는 좌표값의 개수는 각각의 스크라이브 패턴에 존재하는 직선 또는 곡선의 수에 따라서 달라진다. 예를 들면, 스크라이브 패턴(111)이 도 5에 도시된 바와 같이 12개의 사각형상의 패턴이라면, 패턴데이터에는 각각의 사각형의 직선부를 나타내는 좌표를 나타내는 값이 기록된다. 이때 각각의 포인트의 좌표값은 한 개의 기준 좌표를 가지고 있는 것이 바람직하다.

일반적으로 하나의 사각형의 스크라이브 패턴(111)에 대한 패턴 데이터에는 4개의 포인트와 각각의 포인트가 연결될 때의 반경이 자동으로 설정된다. 그러나, 이러한 패턴 데이터는 다른 형태로도 설정될 수 있다.

예를 들면, 하나의 사각형의 스크라이브 패턴(111)을 형성하는데 있어서, 스크라이브하고자 하는 시작점이 직선부에 위치하는 임의의 점으로 설정되고, 이 직선부를 나타내는 포인트의 개수와 각각의 직선부가 연결되는 선분이 설정될 수도 있다. 즉, 사각형의 스크라이브 패턴인 경우에도 시작점의 위치가 직선부의 임의의 점으로 설정되고, 종료점이 시작점과 동일하게 설정된다면, 스크라이브 패턴을 형성하는데 필요한 포인트는 4개의 꼭지점과 시작점을 합쳐서 5개가 설정된다.

또한, 직선부의 임의의 점이 시작점으로 설정되고, 이 스크라이브 패턴의 일정부분이 겹쳐지도록 종료점이 설정된다면, 이 스크라이브 패턴을 형성하는데 필요한 포인트는 4개의 꼭지점, 시작점, 종료점을 합쳐 6개가 설정된다.

본 실시예에 있어서는 도 6에서와 같이, 글라스 패턴은 한 개의 기판상에 12개의 패턴(P1~ P12)으로 구성된 예로서 설명하였다.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.

즉 상기 실시예에 있어서는 기판이 평판 디스플레이의 제조 분야에서 사용되는 머더 기판을 예로서 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 반도체 장치 제조용 웨이퍼 또는 취성 재료를 사용하는 유리 제품에 적용 가능함은 물론이다.

또 상기 실시예에 있어서는 취성 재료를 사용하는 기판에 사각형상의 스크라 이브 라인의 형성에 대해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 원형, 타원형, 다각형의 형상으로 스크라이브 라인을 형성할 수 있음은 물론이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 글라스 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체에 의하면, CAD파일에서 패턴의 데이터를 읽어들이므로 데이터 생성 시간을 단축할 수 있다는 효과가 얻어진다.

또, 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 글라스 패턴 입력 시스템 및 그 패턴 형성 방법과 이를 기록한 기록매체에 의하면, CAD파일의 정보에서 읽어들이므로 값이 잘못 입력될 소지가 없어 패턴 데이터를 정확하게 생성할 수 있다는 효과가 얻어진다

Claims

기판에 소정의 패턴을 자동으로 입력하는 시스템에 있어서,

소정의 기판 패턴을 형성하기 위한 1차 정보를 입력받는 입력 수단,

상기 입력 수단에서 입력된 1차 정보를 상기 소정의 기판 패턴에 대응하는 2차 정보로 처리하는 처리 수단과

상기 처리 수단에 의해 처리된 2차 정보에 따라 상기 기판에 상기 소정의 패턴에 대응하는 가공을 실행하는 가공 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 기판은 LCD용 글라스 기판인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 1항에 있어서,

상기 기판은 반도체 장치 제조용 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 2항 또는 제3항에 있어서,

상기 가공 유닛은 상기 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 유닛이고,

상기 소정의 패턴은 상기 스크라이브 라인인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 4항에 있어서,

상기 1차 정보는 소정의 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 5항에 있어서,

상기 처리 수단은 좌표에 따라 상기 패턴을 직선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류부,

상기 분류부에서 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성부 및

상기 데이터 형성부에 의해 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 6항에 있어서,

상기 기판 패턴 입력 시스템은 상기 확인부에 의해 확인된 도형을 조작자가 인식하게하는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
제 7항에 있어서,

상기 표시부(302)에 표시된 도형에 대응하는 스크라이브 라인이 상기 기판에 형성되도록 상기 가공 유닛을 제어하는 제어부(308)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 입력 시스템.
가공 유닛으로 기판에 소정의 패턴을 자동으로 형성하는 방법에 있어서,

소정의 기판 패턴을 형성하기 위한 1차 정보를 입력부를 통해 입력받는 입력 단계,

상기 입력 수단에서 입력된 1차 정보를 처리 수단에서 상기 소정의 기판 패턴에 대응하는 2차 정보로 처리하는 처리 단계 및

상기 처리 수단에 의해 처리된 2차 정보에 따라 상기 기판에 상기 소정의 패턴에 대응하는 스크라이브 라인을 형성하는 가공 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형성 방법.
제 9항에 있어서,

상기 1차 정보는 소정의 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나이며,

상기 처리 단계는 상기 좌표에 따라 상기 패턴을 직선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류 단계,

상기 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성 단계 및

상기 데이터 형성 단계에서 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형성 방법.
제 10항에 있어서,

상기 기판 패턴 형성 방법은 상기 확인 단계에서 확인된 도형을 조작자가 인식하게 하는 표시 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형성 방법.
제 11항에 있어서,

상기 가공 단계는 상기 표시 단계에서 표시된 도형에 대응하는 상기 스크라이브 라인이 상기 기판에 형성되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형성 방법.
제 12항에 있어서,

상기 기판은 LCD용 글라스 기판인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형성 방법.
제 12항에 있어서,

상기 기판은 반도체 장치 제조용 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 기판 패턴 형 성 방법.
가공 유닛으로 기판에 소정의 패턴을 자동으로 형성하는 방법을 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 있어서,

소정의 기판 패턴이 그려진 CAD파일로서 dxf(drawing exchange format) 파일, dwg파일, dwt 파일, dws 파일 중의 하나를 입력받는 입력 단계,

좌표에 따라 상기 패턴을 직선, 호, 다각형, 원 또는 폴리 라인으로 분류하는 분류 단계,

상기 분류된 좌표를 소팅하고 소팅된 정보가 폐 루프인지 또는 오픈 루프인지를 판별하고 이에 대응하는 데이터를 형성하는 데이터 형성 단계,

상기 데이터 형성 단계에서 형성되어 정리된 데이터를 기판의 외곽 및 패턴으로 분류하여 필요한 정보를 재생성하는 확인 단계 및

상기 확인 단계에서 확인된 도형을 조작자가 인식하게 하는 표시 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.