KR20040054831A - 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법 - Google Patents

액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040054831A
KR20040054831A KR1020020081133A KR20020081133A KR20040054831A KR 20040054831 A KR20040054831 A KR 20040054831A KR 1020020081133 A KR1020020081133 A KR 1020020081133A KR 20020081133 A KR20020081133 A KR 20020081133A KR 20040054831 A KR20040054831 A KR 20040054831A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
crystal display
prompt
substrate
port
Prior art date
Application number
KR1020020081133A
Other languages
English (en)
Inventor
음노선
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020020081133A priority Critical patent/KR20040054831A/ko
Publication of KR20040054831A publication Critical patent/KR20040054831A/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는, 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는, 카세트 저장 장치인 스토커와, 스토커 제어 PC 및 카세트 저장용 선반과, 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇과, 분류기 제어용 PC로 이루어진 액정표시장치의 선분류 장치에 있어서, 상기 포트는 2개의 프롬 포트와 1개의 버퍼 포트가 포함되며, 상기 2개의 프롬 포트는 분류가 이루어질 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 분류 포트이고, 상기 버퍼 포트는 상기 2개의 프롬 포트 간의 기판 교환에 있어 상기 프롬 포트에서 기판을 운반해 이를 임시적으로 저장해 놓는 분류 포트임을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 액정표시장치 기판을 불량 타입에 알맞은 포트로 이동시키는 로봇의 작업 동선을 줄여, 생산 능력을 향상시키고, 적은 비용으로 분류기의 작업 능력을 증진시키며, 또한, 액정표시장치 기판 분류기의 구성을 보다 간소화 시켜 분류기가 청정실에서 차지하는 공간을 줄이는 장점이 있다.

Description

액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법{pre-sorter equipment for LCD and the method thereof}
본 발명은 액정표시장치의 구성요소인 박막트랜지스터 기판 및 컬러필터 기판의 양품과 불량품을 가려내는 분류기 및 분류 방법에 관한 것이다.
도 1은 종래의 액정표시장치 분류기의 전체적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하여, 종래의 액정표시장치 분류기의 구성과 동작에 관하여 설명하면, 상기 분류기는 통상적으로 카세트 저장 장치인 스토커(stocker)(101)와, 스토커 위에 설치된 스토커 제어 PC(102)와, 스토커의 하부에 설치된 카세트 저장 선반(103)과, 상기 저장 선반 위에 설치된 기판 운반용 로봇(104)과, 상기의 기판 운반용 로봇(104)의 상부에 설치된 분류기 제어용 PC(105)와, 상기의 로봇 바로 아래 기판의 상태에 따라 여러 타입으로 분류되는 분류 포트(port)(106)로 구성되어 있다.
상기 분류 포트(106)는 액정표시장치 기판의 불량 상태 즉, 상기 기판 내에 다수 형성된 패널 중 불량 패널의 수 및 불량 패널의 위치에 따라 여러가지 타입으로 분류가 이루어 질 수 있도록 10개의 분류 포트로 나누어져 있으며, 상기 액정표시장치 기판은 불량 타입에 따라 정해진 분류 포트로 옮겨지게 된다.
상기 액정표시장치 기판의 불량 상태에 따라 다음과 같은 타입으로 분류가 이루어질 수 있다 .
액정표시장치 기판 내의 다수 패널에 불량이 하나도 없는 양품인 경우에는 G-타입(106g)으로 분류되고, 액정표시장치 기판 내에 한 개의 불량 패널이 있을 경우에는 상기 불량 패널의 위치에 따라 A-타입(106a), B-타입(106b), C-타입(106c), D-타입(106d), E-타입(106e), F-타입(106f)으로 나누어지게 되며, 상기 불량 패널의 개수가 2개 이상 5개 이하인 경우에는 T-타입(106t)으로 분류된다. 또한, 액정표시장치 기판의 모든 패널이 불량인 경우에는 S-타입(106s)으로 분류가 이루어지고, 모든 포트는 일렬로 구성되어 있다.
상기 분류기의 동작은 도 1에 도시된 바와 같이 카세트가 프롬 포트(From port)(106i)로 들어오게 되면 분류기 제어용 PC(102)가 각각의 패널 불량을 체크하여 기판 운반용 로봇(104)에 명령을 내리게 되며, 명령을 받은 상기 로봇(104)은 이러한 명령에 따라 패널 불량 타입에 따라 해당하는 포트로 액정표시장치 기판을 옮기게 된다.
상기 카세트가 저장되어 있는 스토커(101)는 프롬 포트(106i)와 각각의 해당 포트로 카세트를 로딩/ 언로딩(loading/ unloading) 해 주어야 하며, 상기 스토커(101)는 스토커 제어 PC(105)에 의해 동작 명령을 받는다.
액정표시장치 기판의 생산량이 증가하게 되면 액정표시장치 기판 내 패널의 양품과 불량품을 분류하는 작업 물량도 이에 대응하여 증가하게 되며, 이에 따라 상기 액정표시장치 기판의 분류 작업량이 많아져 기존의 작업 분류기를 통한 작업 능력을 초과하게 되면 작업 능력을 향상시키기 위하여 액정표시장치 기판의 분류기를 늘려야 한다.
종래에는 기존의 분류기와 동일한 분류기의 투자를 통해 분류기의 작업능력을 향상시켰다.
도 2는 종래의 분류 작업을 향상시키기 위한 분류 작업 방법에 관한 도면이다.
도 2를 참조하면, 액정표시장치 기판의 생산량 증가로 인하여, 분류 작업량이 기존의 분류기로 수용할 수 없을 정도로 많아지게 되면, 기존의 분류기와 동일한 분류기를 투입하여 많아진 작업량을 수용하도록 하였다.
그러나, 상기와 같은 방법은 근본적인 해결책이 될 수 없으며, 액정표시장치 기판의 크기가 대형화 될수록 상기 액정표시장치 기판을 담을 수 있는 카세트의 크기가 커져야 하고 또한, 이에 대응하는 분류기의 장비 포트도 커지게 되는데, 이와 같은 상기 분류 포트가 커지게 되면 상기 액정표시장치 기판을 불량 타입에 알맞은 포트로 이동시키는 로봇의 작업 동선이 길어지게 되며, 아울러 생산 능력도 현저히 떨어지게 되는 단점이 발생하게 된다.
본 발명은 양품과 불량품을 미리 두 가지 타입으로 선별한 후, 일차적으로 선별된 불량품을 분류기에 재 투입하여 불량의 상태에 따라 정해진 타입으로 분류함으로써, 생산 능력을 향상시키고 적은 비용으로 분류기의 작업능력을 증진시키는 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법을 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 액정표시장치 분류기의 전체적인 구성을 나타내는 도면.
도 2는 종래의 분류 작업을 향상시키기 위한 분류 작업 방법에 관한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치를 나타낸 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
201, 201' : 프롬 포트 202 : 버퍼 포트
204 : 더블 암 기판 운반용 로봇
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는, 카세트 저장 장치인 스토커와, 스토커 제어 PC 및 카세트 저장용 선반과, 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇과, 분류기 제어용 PC로 이루어진 액정표시장치의 선분류 장치에 있어서,
상기 포트는 2개의 프롬 포트와 1개의 버퍼 포트가 포함되며, 상기 2개의 프롬 포트는 분류가 이루어질 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 분류 포트이고, 상기 버퍼 포트는 상기 2개의 프롬 포트 간의 기판 교환에 있어 상기 프롬 포트에서 기판을 운반해 이를 임시적으로 저장해 놓는 분류 포트임을 특징으로 한다.
또한, 상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 프롬 포트 간의 기판 교환이 이루어짐을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 방법에 있어서, 상기 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치에 대해 상기 2개의 프롬 포트에 각각 다수의 액정표시장치 기판이 놓이는 단계와, 상기 2개의 프롬 포트 중 하나에 놓인 다수의 액정표시장치 기판 중 불량품 또는 양품을 버퍼 포트로 이동시키는 단계와, 상기 버퍼 포트에 이동된 액정표시장치의 기판을 상기 2개의 프롬 포트 중 다른 하나의 프롬 포트로 이동시키는 단계와, 상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 단계를 반복하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프롬 포트에 놓인 다수의 액정표시장치의 기판에 대해 양품이 50%를 넘으면 불량품을 버퍼 포트로 이동시키고, 불량품이 50%를 넘으면 양품을 버퍼 포트로 이동시킴을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는, 카세트 저장 장치인 스토커와, 스토커 제어 PC 및 카세트 저장용 선반과, 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇과, 분류기 제어용 PC로 이루어진 액정표시장치의 선분류 장치에 있어서,
상기 기판 운반용 로봇은 두개의 팔을 가진 더블 암 기판 운반용 로봇이고, 상기 포트 2개의 프롬 포트로 구성되며, 상기 2개의 프롬 포트는 분류가 이루어질 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 분류 포트임을 특징으로 한다.
또한, 상기 더블 암 기판 운반용 로봇의 두 팔 중 일측에 상기 하나의 프롬 포트에 놓인 양품 기판을 부착하고, 타측에 다른 하나의 프롬 포트에 놓인 불량품 기판을 부착하여 이를 서로 다른 프롬 포트로 교환하여 놓으며, 상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 프롬 포트 간의 기판 교환이 이루어짐을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 방법에 있어서, 상기 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치에 대해 상기 2개의 프롬 포트에 각각 다수의 액정표시장치 기판이 놓이는 단계와, 상기 더블 암 기판 운반용 로봇의 두 팔 중 일측에 상기 하나의 프롬 포트에 놓인 양품 기판을 부착하고, 타측에 다른 하나의 프롬 포트에 놓인 불량품 기판을 부착하여 이를 서로 다른 프롬 포트로 교환하여 놓는 단계와, 상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 단계를 반복하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
본 발명에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는 액정표시장치 기판의 분류 작업량을 늘리기 위하여 고안된 것으로, 이러한 선 분류기는 포트 수를 2개 또는 3개로 구성하여 상기 액정표시장치 기판 내에 다수 형성된 패널의 양품과 불량품을 일차 선별하도록 한 후, 여기서 선별된 양품은 셀(cell) 공정으로 바로 들어가게 되고, 일차 선별 후 가려낸 불량품은 다시 기존의 분류기 장비로 투입되어 재 분류되도록 함으로써 분류기의 작업 능력을 향상시키는 역할을 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치 의 구조 및 그 방법을 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는 카세트 저장 장치인 스토커(101)와, 스토커 제어 PC(102) 및 상기 스토커 하부에 있는 카세트 저장용 선반(103)과, 상기 스토커 상부에 위치하여 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇(104)과, 분류기 제어용 PC(105)와, 3개의 분류 포트(201, 201 , 202)로 구성되어 있다.
이 때 상기 선 분류 장치는 상기 스토커(101)와 반드시 인 라인(in-line) 형태로 구성되어야 하며, 분류기 제어용 PC(105)에 의해 분류 명령을 받은 기판 운반용 로봇(104)이 상기 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키며, 카세트를 저장하는 상기 스토커(101)는 각각의 포트에 해당되는 카세트를 포트에 로딩 또는 언로딩 해주어야 하며, 스토커 제어 PC(102)의 명령에 의해 동작이 이루어 진다.
여기서, 상기 3개의 분류 포트는 액정표시장치 기판의 분류가 이루어지기 위해 처음 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 2개의 프롬 포트(from port)(201, 201')와 상기 양 프롬 포트(201, 201')간 액정표시장치 기판을 교환할 수 있도록 상기 액정표시장치 기판을 잠시 보관하는 버퍼 포트(buffer port)(202)로 구성된다. 이 때 상기 프롬 포트(201, 201')에 운반되는 액정표시장치 기판은 상기 기판들이 다수 적재된 하나의 카세트에 포함되어 운반된다.
일반적으로 상기 각각의 프롬 포트(201)에 운반되는 카세트에 적재된 액정표시장치 기판의 수는 각각 20개인데, 그 중 모든 패널이 양호한 양품인 기판은 통상 80% 이상이 된다. 따라서, 나머지 20%의 불량품만 다른 프롬 포트(201')에 운반된 양품의 액정표시장치 기판과 교환되면 상기 카세트에 적재된 액정표시장치는 모두 양품만 적재된 상태가 되어 곧바로 셀(cell) 공정으로 들어가게 되는 것이다.
이 경우, 다른 프롬 포트(201')는 40% 정도의 불량품 기판을 적재한 상태가 되며, 새롭게 비어 있는 프롬 포트(201)로 운반되는 카세트에 적재된 액정표시장치 기판과 앞서 설명한 것과 같은 방식으로 불량품 기판과 양품 기판을 교환하게 된다.
이는 한 카세트에 모두 양품만 또는 모두 불량품만 적재할 때 까지 계속되며, 상기 프롬 포트(201, 201')에 운반된 카세트에 적재된 기판이 모두 양품 또는 모두 불량품인 경우에는 앞서 설명한 바와 같이 곧바로 셀 공정으로 가거나 기존의 분류기로 가게 된다. 여기서, 상기 불량품은 액정표시장치 기판 내에 형성된 다수의 패널 중 하나라도 불량인 상태를 의미하는 것이다.
이 때, 양 프롬 포트(201, 201')에 처음 운반되는 카세트는 각각 20개씩의 액정표시장치 기판이 적재되어 있어, 상기 기판 운반용 로봇(104)에 의해 앞서 설명한 양품 및 불량품 기판의 동시 교환이 불가능하므로, 프롬 포트(201, 201')에서 기판을 운반해 이를 임시적으로 저장해 놓는 버퍼 포트(202)가 필요하다.
이와 같이 본 발명의 일 실시예에 의한 선 분류기는 3개의 분류 포트 즉, 2개의 프롬 포트(201, 201')와 1개의 버퍼 포트(202)에 의해 상기 액정표시장치의 기판을 양품과 불량품으로 선별할 수 있는 것이다.
이 때, 상기 프롬 포트(201, 201')에 놓인 다수의 액정표시장치의 기판에 대해 양품이 50%를 넘으면 불량품을 버퍼 포트(202)로 이동시키고, 불량품이 50%를 넘으면 양품을 버퍼 포트(202)로 이동시킨다. 즉, 종래의 경우에는 프롬 포트(201)에 단 1개의 불량품이 존재한 경우에도 카세트에 있는 나머지 양품이 모두 운반되어야 하는 문제점이 있었으나, 본 발명에 의할 경우 이 때 상기 1개의 불량품을 버퍼 포트(202)에 운반하고 다른 프롬 포트(201')에 있는 양품을 프롬 포트(201)로 옮김으로써 해결되므로 훨씬 효율적이라 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치는 카세트 저장 장치인 스토커(101)와, 스토커 제어 PC(102) 및 상기 스토커 하부에 있는 카세트 저장용 선반(103)과, 상기 스토커 상부에 위치하여 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 더블 암(double arm) 기판 운반용 로봇(204)과, 분류기 제어용 PC(105)와, 2개의 프롬 포트(201, 201')로 구성되어 있다.
이 때 상기 선 분류 장치는 상기 스토커(101)와 반드시 인 라인(in-line) 형태로 구성되어야 하며, 분류기 제어용 PC(105)에 의해 분류 명령을 받은 기판 운반용 로봇(204)이 상기 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키며, 카세트를 저장하는 상기 스토커(101)는 각각의 포트에 해당되는 카세트를 포트에 로딩 또는 언로딩 해주어야 하며, 스토커 제어 PC(102)의 명령에 의해 동작이 이루어 진다.
여기서, 상기 2개의 프롬 포트(201, 201')는 액정표시장치 기판의 분류가 이루어지기 위해 처음 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 포트를 말한다. 이 때 상기 프롬 포트(201, 201')에 운반되는 액정표시장치 기판은 상기 기판들이 다수 적재된 하나의 카세트에 포함되어 운반된다.
도 4에 도시된 본 발명의 실시예는 도 3에 도시된 실시예와 비교할 때 상기 기판 운반용 로봇(204)의 팔이 2개 형성되어 있다는 점과 버퍼 포트(도 3의 202)가 구비되지 않았다는 점인데, 이는 결국 상기 더블 암 기판 운반용 로봇(204)의 한 팔이 상기 버퍼 포트의 역할을 하는 것을 의미한다.
즉, 양 프롬 포트(201, 201')에 처음 운반되는 카세트는 각각 20개씩의 액정표시장치 기판이 적재되어 있는 경우 한 쪽 프롬 포트(201)에서 양품의 기판을 다른 쪽 프롬 포트(201')에서 불량품의 기판을 상기 더블 암 기판 운반용 로봇(204)의 두 팔로 각각 운반 할 수 있으므로, 양 프롬 포트(201, 201')간 기판의 교환이 도 3에서 설명된 버퍼 포트 없이 가능한 것이다.
이에 따라 일반적으로 상기 각각의 프롬 포트에 운반되는 카세트에 적재된 액정표시장치 기판 중 불량품인 20%의 불량품만 다른 프롬 포트에 운반된 양품의 액정표시장치 기판과 교환되면 상기 카세트에 적재된 액정표시장치는 모두 양품만 적재된 상태가 되어 곧바로 셀(cell) 공정으로 들어가게 되는 것이다.
이 경우, 다른 프롬 포트는 40% 정도의 불량품 기판을 적재한 상태가 되며, 새롭게 비어 있는 프롬 포트로 운반되는 카세트에 적재된 액정표시장치 기판과 앞서 설명한 것과 같은 방식으로 불량품 기판과 양품 기판을 교환하게 된다.
이는 한 카세트에 모두 양품만 또는 모두 불량품만 적재할 때 까지 계속되며, 상기 프롬 포트에 운반된 카세트에 적재된 기판이 모두 양품 또는 모두 불량품인 경우에는 앞서 설명한 바와 같이 곧바로 셀 공정으로 가거나 기존의 분류기로 가게 된다. 여기서, 상기 불량품은 액정표시장치 기판 내에 형성된 다수의 패널 중 하나라도 불량인 상태를 의미하는 것이다.
결국 본 발명에 의한 선 분류기에 의하면, 액정표시장치 기판을 먼저 양품과 불량품의 두가지 타입으로 선별하고, 일차적으로 선별된 불량품은 기존의 분류기로 재 투입되어 불량의 상태에 따라 정해진 타입으로 분류가 이루어 지도록 함으로써, 상기 액정표시장치 기판을 불량 타입에 알맞은 포트로 이동시키는 작업 동선을 줄여 생산 능력을 향상시킨다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 의한 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법에 의하면, 액정표시장치 기판을 불량 타입에 알맞은 포트로 이동시키는 로봇의 작업 동선을 줄여, 생산 능력을 향상시키고, 적은 비용으로 분류기의 작업 능력을 증진시키는 장점이 있다.
또한, 액정표시장치 기판 분류기의 구성을 보다 간소화 시켜 분류기가 청정실에서 차지하는 공간을 줄이는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. 카세트 저장 장치인 스토커와, 스토커 제어 PC 및 카세트 저장용 선반과, 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇과, 분류기 제어용 PC로 이루어진 액정표시장치의 선분류 장치에 있어서,
    상기 포트는 2개의 프롬 포트와 1개의 버퍼 포트가 포함되며, 상기 2개의 프롬 포트는 분류가 이루어질 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 분류 포트이고, 상기 버퍼 포트는 상기 2개의 프롬 포트 간의 기판 교환에 있어 상기 프롬 포트에서 기판을 운반해 이를 임시적으로 저장해 놓는 분류 포트임을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 프롬 포트 간의 기판 교환이 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 장치.
  3. 제 1항에 해당하는 액정표시장치의 선 분류 장치에 있어서,
    상기 2개의 프롬 포트에 각각 다수의 액정표시장치 기판이 놓이는 단계와,
    상기 2개의 프롬 포트 중 하나에 놓인 다수의 액정표시장치 기판 중 불량품 또는 양품을 버퍼 포트로 이동시키는 단계와,
    상기 버퍼 포트에 이동된 액정표시장치의 기판을 상기 2개의 프롬 포트 중 다른 하나의 프롬 포트로 이동시키는 단계와,
    상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 프롬 포트에 놓인 다수의 액정표시장치의 기판에 대해 양품이 50%를 넘으면 불량품을 버퍼 포트로 이동시키고, 불량품이 50%를 넘으면 양품을 버퍼 포트로 이동시킴을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 방법.
  5. 카세트 저장 장치인 스토커와, 스토커 제어 PC 및 카세트 저장용 선반과, 액정표시장치 기판을 소정의 포트에 운반시키는 기판 운반용 로봇과, 분류기 제어용 PC로 이루어진 액정표시장치의 선분류 장치에 있어서,
    상기 기판 운반용 로봇은 두개의 팔을 가진 더블 암 기판 운반용 로봇이고, 상기 포트 2개의 프롬 포트로 구성되며, 상기 2개의 프롬 포트는 분류가 이루어질 액정표시장치 기판이 놓이게 되는 분류 포트임을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 더블 암 기판 운반용 로봇의 두 팔 중 일측에 상기 하나의 프롬 포트에 놓인 양품 기판을 부착하고, 타측에 다른 하나의 프롬 포트에 놓인 불량품 기판을 부착하여 이를 서로 다른 프롬 포트로 교환하여 놓는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 장치.
  7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,
    상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 프롬 포트 간의 기판 교환이 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 장치.
  8. 제 5항에 해당하는 액정표시장치의 선 분류 장치에 있어서,
    상기 2개의 프롬 포트에 각각 다수의 액정표시장치 기판이 놓이는 단계와,
    상기 더블 암 기판 운반용 로봇의 두 팔 중 일측에 상기 하나의 프롬 포트에 놓인 양품 기판을 부착하고, 타측에 다른 하나의 프롬 포트에 놓인 불량품 기판을 부착하여 이를 서로 다른 프롬 포트로 교환하여 놓는 단계와,
    상기 프롬 포트에 놓인 액정표시장치 기판이 모두 양품이거나 모두 불량품이 될 때까지 상기 단계를 반복하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 선 분류 방법.
KR1020020081133A 2002-12-18 2002-12-18 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법 KR20040054831A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020081133A KR20040054831A (ko) 2002-12-18 2002-12-18 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020081133A KR20040054831A (ko) 2002-12-18 2002-12-18 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040054831A true KR20040054831A (ko) 2004-06-26

Family

ID=37347581

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020081133A KR20040054831A (ko) 2002-12-18 2002-12-18 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20040054831A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20110035912A (ko) 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법
US11682571B2 (en) Apparatus and methods for handling die carriers
JP2013221945A (ja) 半導体素子ハンドリングシステム
US8152431B2 (en) Stocking system
JP2000214427A (ja) 作業対象物の結合処理自動化システム及びその制御方法
US20020173871A1 (en) Cutting and sorting automation system and method for manufacturing a liquid crystal device using the same
KR20080002289A (ko) 스토커 시스템 및 이의 운용방법
KR20050038134A (ko) 기판 스토킹 시스템
KR20040054831A (ko) 액정표시장치의 선 분류 장치 및 방법
KR100966434B1 (ko) 카세트 적재장비
US20160225649A1 (en) Load port and method for loading and unloading cassette
KR20070112568A (ko) 스토커 시스템 및 그의 제어 방법
KR20030017933A (ko) 액정디스플레이의 선 분류 장비
KR102181492B1 (ko) 이송 장치의 동작 제어 방법
KR20060132165A (ko) 포트 모드를 변환하는 기판의 선분류 장치 및 이를 이용한기판의 선 분류방법
KR100959127B1 (ko) 스토커
KR20200039236A (ko) 이송 장치의 동작 제어 방법
KR20070120854A (ko) 카세트 반송 시스템 및 스토커
KR20080001944A (ko) 카세트 반송 시스템
JPS6123008A (ja) プリント板ユニット試験装置のスケジュール制御方式
JP2013200353A (ja) 搬送方法及び搬送装置
KR101243799B1 (ko) 카세트 반송장치 및 그 제어방법
KR100989169B1 (ko) 글라스 이재기 제어 시스템
KR20020054392A (ko) 소자의 분류방법
KR20090024412A (ko) 기판 이송장비

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination