KR20000029159A

KR20000029159A - 반사형 액정 표시 장치

Info

Publication number: KR20000029159A
Application number: KR1019990045195A
Authority: KR
Inventors: 노리따께가즈또; 오가와신지
Original assignee: 다카노 야스아키; 산요 덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1998-10-20
Filing date: 1999-10-19
Publication date: 2000-05-25
Also published as: JP2000122095A; EP0996026A2; US6621540B2; EP0996026A3; US20030137623A1; KR100602546B1

Abstract

각 표시 화소의 휘도를 높이고, 밝은 표시를 넓은 시야각에서 얻는 것이 가능한 반사형 액정 표시 장치를 얻을 수 있다.

TFT 및 그 TFT에 접속된 반사 표시 전극(50)을 구비한 절연성 기판(10)과, 컬러 필터(31), 대향 전극(34)을 적층하여 형성하고, 관찰측(101)에는 확산층(43), 위상차판(44) 및 편광판(45)을 구비한 대향 전극 기판(30)사이에 액정(21)을 협지함으로써, 밝은 표시를 넓은 시야각에서 얻을 수 있다.

Description

반사형 액정 표시 장치{REFLECTION TYPE LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은, 반사형 액정 표시 장치에 관한 것이다.

종래부터, 관찰 방향으로부터 입사한 광을 반사시켜 표시를 보는 이른바 반사형 액정 표시 장치가 제안되고 있다.

도 7에, 종래의 반사형 액정 표시 장치의 단면도를 나타낸다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 반사형 액정 표시 장치는, 석영 유리, 무알칼리 유리 등으로 이루어지는 절연성 기판(10) 상에, 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(이하, 「TFT」라고 칭함.)를 형성한다.

우선, 절연성 기판(TFT 기판 : 10) 상에, 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 등의 고융점 금속으로 이루어지는 게이트 전극(11), 게이트 절연막(12), 및 다결정 실리콘막으로 이루어지는 능동층(13)을 차례로 형성한다.

그 능동층(13)에는 게이트 전극(11) 상측의 채널(13c)과, 이 채널(13c)의 양측에, 채널(13c) 상의 스토퍼 절연막(14)을 마스크로 하여 이온 주입되어 형성되는 소스(13s) 및 드레인(13d)이 설치되어 있다.

그리고, 게이트 절연막(12), 능동층(13) 및 스토퍼 절연막(14) 상의 전면에, SiO₂막, SiN막 및 SiO₂막의 순으로 적층된 층간 절연막(15)을 형성하고, 드레인(13d)에 대응하여 설치한 컨택트 홀에 알루미늄(Al) 등의 금속을 충전하여 드레인 전극(16)을 형성한다. 또한, 전면에는 예를 들면 유기 수지로 이루어지며 표면을 평탄하게 하는 평탄화 절연막(17)을 형성한다. 그리고, 그 평탄화 절연막(17)의 소스(13s)에 대응한 위치에 컨택트 홀을 형성하고, 이 컨택트 홀을 통해 소스(13s)와 컨택트한 알루미늄(Al)으로 이루어지며 소스 전극(18)을 겸한 반사 전극인 반사 표시 전극(19)을 평탄화 절연막(17) 상에 형성한다. 그리고 그 반사 표시 전극(19) 상에 폴리이미드 등의 유기 수지로 이루어져 액정(21)을 배향시키는 배향막(20)을 형성한다.

또한, TFT 기판(10)에 대향하여 절연성 기판으로 이루어지는 대향 전극 기판(30)에는, TFT 기판(10)측에 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 각 색 및 차광 기능을 구비한 블랙 매트릭스(32)를 구비한 컬러 필터(31), 그 위에 형성된 수지로 이루어지는 보호막(33), 그 전면에 형성된 대향 전극(34) 및 배향막(35)을 구비하고 있고, 그 반대측 면에는 편광판(41)이 배치되어 있다. 그리고, 대향 전극 기판(30)과 TFT 기판(10)의 주변을 시일 접착제(도시하지 않음)에 의해 접착하고, 이에 따라 형성된 공극에 트위스트 네마틱(TN) 액정(21)을 협지한다.

상술된 반사형 액정 표시 장치를 관찰할 때의 광의 진행 방법을 설명한다.

외부로부터 입사되는 자연광(100)은, 파선 화살표로 나타낸 바와 같이, 관찰자(101)측의 편광판(41)으로부터 입사하고, 대향 전극 기판(30), 컬러 필터(31), 보호막(33), 대향 전극(34), 배향막(35), 배향막(20), TN 액정(21), TFT 기판(10) 상의 배향막(20)을 투과하여, 반사 표시 전극(19)에서 반사되고, 그 후 입사와 역의 방향으로 각 층을 투과하여 대향 전극 기판(30) 상의 편광판(41)으로부터 출사하여 관찰자의 눈(101)으로 들어간다.

그런데, 입사되는 자연광이 파선 화살표(102)로 나타낸 바와 같이 진행한 경우에는, 직진하여 반사 재료로 이루어지는 반사 표시 전극(19)에 의해 반사되었을 때, 반사된 광은 평행하게 직진한다. 그 때문에, 그 평행하게 직진한 광의 일부는, 컬러 필터(31)의 블랙 매트릭스(32) 등의 표시에 상관없는 곳으로 진행하게 된다.

따라서, 표시를 관찰했을 때, 표시와 관련없는 개소(個所) 밖으로 진행한 광에 의해 특정한 시야각에서의 표시는 밝게 관찰되지만, 전체적으로는 어두운 표시가 되어 관찰되게 된다고 하는 결점이 있었다.

그래서 본 발명은, 상기된 종래의 결점에 감안하여 이루어진 것으로, 각 표시 화소의 휘도를 높혀 밝은 표시를 얻는 것이 가능한 반사형 액정 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 반사형 액정 표시 장치는, 상호 대향하여 배치된 제1 및 제2 기판사이에 액정을 협지하고 있고, 상기 제1 기판에는 스위칭 소자, 및 상기 스위칭 소자에 접속되며 도전성 반사 재료로 이루어지는 표시 전극을 구비하고, 상기 제2 기판에는 상기 표시 전극에 대향한 대향 전극을 구비하고 있고, 상기 표시 전극의 표면은 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는다.

또한, 상호 대향하여 배치된 제1 및 제2 기판 간에 액정을 협지하고 있고, 상기 제1 기판에는 스위칭 소자, 및 상기 스위칭 소자 상에 설치되며 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는 절연막, 도전성 반사 재료로 이루어져 있고 상기 절연막 상에 형성됨으로써 실질적으로 표면이 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는 표시 전극을 구비하고, 상기 제2 기판에는 상기 표시 전극에 대향한 대향 전극을 구비하는 것이다.

또한, 상술된 반사형 액정 표시 장치의 상기 제2 기판에 광을 확산시키는 확산층이 설치되는 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 단면도.

도 2는 본 발명의 반사형 액정 표시 장치의 반사광 강도의 측정도.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 공정도.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 공정도.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 공정도.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 반사형 액정 표시 장치의 제조 공정도.

도 7은 종래의 반사형 액정 표시 장치의 단면도.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

10 : TFT 기판

13 : 능동층

21 : 액정

22 : 층간 절연막

26 : 평탄화 절연막

19, 50 : 반사 표시 전극

30 : 대향 전극 기판

43 : 확산층

본 발명의 반사형 액정 표시 장치에 대해 이하에 설명한다.

＜제1 실시예＞

도 1은 본 발명의 제1 실시예를 나타낸 단면도이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 경우, 석영 유리, 무알칼리 유리 등으로 이루어지는 절연성 기판(10) 상에, 스위칭 소자인 TFT를 형성한다.

한쪽 절연성 기판(10) 상에 Cr, Mo 등의 고융점 금속으로 이루어지는 게이트 전극(11)의 형성으로부터 평탄화 절연막(17)의 형성까지는 종래의 구조와 동일하므로 설명을 생략한다.

평탄화 절연막(17) 상에는, 다결정 실리콘막으로 이루어지는 능동층(13)의 소스(13s)에 접속된 Al, 은(Ag) 등의 도전성 반사 재료로 이루어지는 반사 표시 전극(50)을 형성한다. 또한, 이 반사 표시 전극(50)은 그 표면이 표시 전극의 거의 중앙부가 TFT 기판(10) 방향으로 오목한 곡면, 즉 표시 전극의 거의 중앙부가 TFT 기판(10) 방향으로 오목하게 되어 있는 곡면, 다시 말하면, 표시 전극의 거의 중앙부가 TFT 기판 방향으로 우묵하게 들어간 형상이다. 그 위에는 폴리이미드 등으로 이루어져 액정을 배향시키는 배향막(20)이 형성되어 있다.

다른쪽 대향 전극 기판(30)은, 액정(21)을 설치하는 측에는, R, G, B를 나타내는 각 색 및 차광 기능을 구비한 블랙 매트릭스를 구비한 컬러 필터(31), 그 컬러 필터(31)를 보호하는 아크릴 수지 등으로 이루어지는 보호막(33)을 설치한다. 그 보호막(33) 위에는 각 반사 표시 전극(50)에 대향한 대향 전극(34)이 전면에 설치되어 있다. 또한 그 전면에는 폴리이미드로 이루어지는 배향막(35)이 형성되어 있다.

또한, 대향 전극 기판(30)의 액정을 설치하지 않은 측, 즉 관찰측에는, 광을 확산하는 확산층(43), 위상차(λ/4)판(44) 및 편광판(45)이 대향 전극 기판(30)측에서부터 차례로 설치되어 있다.

또한, 액정(21)으로는, 예를 들면 TN 액정을 이용한다.

상술된 반사형 액정 표시 장치를 관찰할 때의 광의 진행 방법을 설명한다. 또, 상기 도면에서는, 설명의 편의상, 컬러 필터(31)의 R의 화소에는 입사광의 진행 방향을 나타내고, 마찬가지로 G의 화소에는 입사광 및 일부의 반사광의 진행 방향을 나타내고, 마찬가지로 B의 화소에는 반사광의 진행 방향을 나타내고 있지만, 실제로는 각 색에서 실선으로 나타내는 광(100)이 입사하고, 반사 표시 전극(50)에 의해 반사된 반사광이 파선과 같이 진행하여 출사한다.

외부로부터 입사되는 자연광(100)은, 도 1에서 실선 화살표로 나타낸 바와 같이, 관찰자(101)측의 편광판(45)으로부터 입사하고, 위상차판(44)을 투과하여 확산층(43)에 도달한다. 이 확산층(43)에 의해 광은 확산되고 그 확산된 광은, 대향 전극 기판(30), 컬러 필터(31), 보호막(33), 대향 전극(34), 배향막(35), 액정(21), TFT 기판(10) 상의 배향막(20)을 투과하여, 반사 재료로 이루어지며 곡면을 갖는 반사 표시 전극(50)에 도달한다. 그 도달한 광은 반사 표시 전극(50)에 의해 반사된다.

여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 반사 표시 전극(50)이 그 거의 중앙 부근이 오목형의 곡면으로 되어 있기 때문에, 도면 중의 파선 화살표로 도시된 바와 같이, 반사 표시 전극(50)의 주연부 근방에서 반사된 광은, 상호 평행하게 직진하여 블랙 매트릭스 등의 표시에 상관없는 곳으로 진행하지 않고, 전부 컬러 필터의 각 색(R, G, B)으로 진행하는 경로를 찾아간다. 반사된 광은 확산층(43)에 달하여 확산되어 위상차판(43) 및 편광판(45)을 통과하여 관찰자(101)에게 관찰된다. 물론 표시 전극의 중앙 부근에서 반사된 광도 상측을 향해 진행하고, 확산층(43)에서 확산된 후, 관찰자(101)에게 관찰된다.

이렇게 함으로써 반사 표시 전극(50)에 의해 반사된 광은, 액정(21), 배향막(35), 대향 전극(34), 보호막(33), 컬러 필터(31), 대향 전극 기판(30) 및 확산층(43)에 도달하여 확산되어, 위상차판(44) 및 편광판(45)을 통과하여 관찰자의 눈(101)으로 들어간다.

또, 확산층(43)을 설치한 경우에는, 집광되어 확산층(43)에 도달한 광이 이 확산층(43)에 의해 각 방향으로 확산되어 위상차판(44) 및 편광판(45)으로부터 출사하게 되므로, 비록 블랙 매트릭스 등으로 반사 표시 전극(50)에 의해 반사된 광이 진행하지 않았다고 해도 표시는 전면에 균일하게 또한 밝게 관측된다.

도 2에 따라, 반사형 액정 표시 장치의 반사광의 휘도 측정에 대해 설명한다.

도 2의 (a)는 반사형 표시 장치 표면의 휘도 측정 방법을 나타내고, 도 2의 (b)는 측정한 결과도를 나타낸다.

도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, TFT 기판(10) 및 대향 전극 기판(30)으로 이루어지는 반사형 액정 표시 패널은 그 표시면을 위로 하여 표시를 하게 한다. 그리고, 표시면에 대하여 수직 방향에 대해 어느 각도 예를 들면 θ 경사진 방향으로 표시 패널에 광을 입사시킨다. 이 입사광(105)이 반사 표시 전극에서 반사하여 나온 각각의 각도에서의 반사광을, 광강도 검지기(106)에 의해 측정한다. 광강도 검지기(106)는 도 2의 (a)의 액정 표시 패널의 수선(도면 중 파선으로 표시)으로부터 화살표 방향으로 이동되어 각 각도에서의 반사광을 검지하여 측정한다.

그 측정 결과를 도 2의 (b)에 나타낸다. 상기 도면 중 횡축은 검지 각도를 나타내고, 종축은 각 검지 각도에서의 반사광 강도를 나타낸다. 또한, 상기 도면 중의 실선의 곡선은 본 발명의 반사형 액정 표시 장치의 경우를 나타내고, 파선의 곡선은 종래의 반사형 액정 표시 장치의 경우를 나타낸다. 각도 θ는 도 2의 (a)에서 입사광(105)의 입사 각도이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 반사형 액정 표시 장치에 따르면, 반사광 강도는 어느 특정한 각도, 즉 입사광의 입사 각도에서는 강도가 강하지만, 본 발명의 반사형 액정 표시 장치에 따르면, 넓은 시야각에서 반사광이 표시 패널로부터 나오고, 표시 패널의 넓은 범위에서 밝은 표시를 관측할 수 있다는 것을 알 수 있다.

이어서, 곡면을 갖는 반사 표시 전극의 형성 방법에 대해 설명한다.

도 3에, 본 발명의 반사형 표시 장치의 제조 공정 단면도를 나타낸다.

절연성 기판(10) 상에, 일반적인 제조 방법에 의해 TFT를 형성한 후, 전면에 예를 들면 유기 수지로 이루어져 표면을 평탄하게 하는 평탄화 절연막(17)을 형성한다. 그리고, 그 평탄화 절연막(17)의 소스(13s)에 대응한 위치에 컨택트 홀을 형성하고, 이 컨택트 홀을 통해 소스(13s)와 컨택트한 Al로 이루어지며 소스 전극(18)을 겸한 반사 전극인 반사 표시 전극(50)을 평탄화 절연막(17) 상에 형성한다.

반사 표시 전극(50)의 형성에 있어서는, 우선 반사 표시 전극의 재료인 도전성 반사 재료의 Al(Ag라도 됨.)을 퇴적시킨다[도 3의 (a)]. 반사 표시 전극(50) 형성 영역에 레지스트가 잔존하는 레지스트 패턴(60)을 형성한다[도 3의 (b)]. 그리고, Al을 에칭하여 반사 표시 전극(50)을 형성한 후, 레지스트 패턴(60)을 제거한다. 그 후, 반사 표시 전극(50) 이외의 영역을 레지스트 패턴(61)으로 덮는다[도 3의 (c)]. 그리고, 습식 에칭(wet etching)에 의해 이방성 에칭을 행한 후, 레지스트 패턴(61)을 제거한다. 이렇게 함으로써 반사 표시 전극(50)의 표면에 오목 형상의 곡면을 갖게 할 수 있다(도 3의 (d)). 이 공정 후에는 그 표면에 배향막을 형성하여 TFT 기판(10)이 형성된다.

또한, 반사 표시 전극(50) 상에 형성하는 레지스트 패턴은 처음에 반사 표시 전극의 거의 중앙부만 개구한 패턴을 형성하여 Al을 에칭하고, 이어서 그 레지스트 패턴을 제거하여 새롭게 약간 큰 개구부를 구비한 레지스트 패턴을 형성하여 Al을 에칭하여, 단계적으로 반사 표시 전극을 에칭하여 곡면을 갖게 해도 좋다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이 함으로써, 반사 표시 전극 표면에 실질적으로 곡면을 갖게 해도 좋다.

도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 드레인 전극(16)을 형성한 후에, 전면에 예를 들면 스피너에 의해 평탄화 절연막(17)을 도포한다. 그렇게 하면, 드레인 전극(16)이나 게이트 전극(11) 등에 의한 TFT 기판면으로부터 돌기한 영역 A와 반사 표시 전극이 형성되는 영역의 대강 평탄한 영역 B의 이면에 평탄화 절연막(17)을 도포할 수 있다. 따라서, 평탄화 절연막(17)을 에칭하지 않고 평탄화 절연막(17) 자체의 표면을 TFT 기판(10)측을 향해 오목한 곡면을 설치할 수 있다. 그 후, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 반사 표시 전극(50)과 컨택트하기 위한 컨택트 홀을 평탄화 절연막(17) 및 층간 절연막(15)에 설치하고, 거기에 반사 표시 전극의 재료를 퇴적시키고, 그 재료를 성형하여 반사 표시 전극(50)을 형성한다. 이렇게 함으로써, 반사 표시 전극의 표면을 실질적으로 절연성 기판(10) 방향으로 오목한 곡면으로 할 수 있다. 또, 도 4에서, TFT의 돌기의 모습을 알기 쉽게 표현하기 위해, 영역 A와 영역 A 사이의 영역 B를 영역 A에 비해 작게 나타내고 있지만, 실제는 반사 표시 전극이 형성되는 영역이므로 더욱 크다.

＜제2 실시예＞

도 5에 본 발명의 반사형 표시 장치의 제2 실시예를 나타낸다.

제1 실시예와 다른 점은, 제1 실시예와 같이 반사 표시 전극 자신에게 오목 곡면을 설치하지 않으며, 이 반사 표시 전극(50)의 하층에 설치한 평탄화 절연막(17)에 곡면을 설치하고, 그 위에 형성하는 반사 표시 전극(50)이 실질적으로 곡면을 갖는 반사 표시 전극(50)이 되도록 한다는 점이다.

도 5의 (a)에 도시된, 석영 유리, 무알칼리 유리 등으로 이루어지는 한쪽 절연성 기판(10) 상에 Cr, Mo 등의 고융점 금속으로 이루어지는 게이트 전극(11)의 형성으로부터 평탄화 절연막(17)의 형성까지는 종래의 구조와 동일하므로 설명을 생략한다.

도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 형성한 평탄화 절연막(17)에 컨택트 홀을 형성한다. 그 후, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 평탄화 절연막(17) 상에, 반사 표시 전극(50)을 형성하는 영역에 개구부를 구비한 레지스트 패턴(60)을 형성한다. 그리고, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 평탄화 절연막(17)을 습식 에칭에 의해 이방성 에칭을 행한다. 그 후, 레지스트 패턴(60)을 제거한다. 그렇게 함으로써, 평탄화 절연막(17)에 절연성 기판(10)측에 오목한 곡면을 갖는 표면을 얻을 수 있다. 이렇게 함으로써 이루어진 평탄화 절연막(17)의 곡면을 포함하는 전면에 반사 표시 전극(50) 재료인 예를 들면 Al을 성막한다.

그리고, 도 5의 (d)에 도시된 바와 같이, 반사 표시 전극을 형성하는 영역에, 성막한 Al을 남겨 포토 공정을 실시하여 반사 표시 전극(50)을 형성한다. 그렇게 하면, 평탄화 절연막(17) 상에 형성된 곡면에 의해, 반사 표시 전극(50)은 실질적으로 곡면을 갖는 형상으로 할 수 있다. 반사 표시 전극(50)을 형성한 후, 전면에 폴리이미드 등의 유기 수지로 이루어져 액정(21)을 배향시키는 배향막(20)을 형성하여 TFT 기판(10)을 완성한다.

또, 상술된 제2 실시예에서는, 처음에 평탄화 절연막(17)에 컨택트 홀을 설치했지만, 반사 표시 전극 재료를 평탄화 절연막(17) 상에 형성하기 직전에 컨택트 홀을 설치하는 것도 가능하다. 그렇게 함으로써, 레지스트 패턴(60)의 형성시에 컨택트 홀 중에, 그 컨택트 홀로 들어온 레지스트를 제거하는 시간을 줄일 수 있다.

이렇게 해서 완성한 반사형 액정 표시 장치의 반사광 강도는, 도 2에 도시된 결과와 같이 넓은 시야각에서 밝은 표시를 보는 것이 가능하다.

또한, TFT 기판(10)과 대향 전극 기판(30)을 조립하여 LCD로 하고, 제1 실시예와 마찬가지로, 확산층(43)을 설치한 경우에는, 집광되어 확산층(43)에 도달한 광이 이 확산층(43)에 의해 각 방향으로 확산되어 위상차판(44) 및 편광판(45)으로부터 출사하게 되므로, 비록 블랙 매트릭스 등으로 반사 표시 전극(50)에서 반사된 광이 진행하지 않았다고 해도 표시는 전면적으로 균일하고 또한 밝게 관측된다.

또, 액정(21)의 동작은, 각 실시예에서, 액정에 전압이 인가되지 않은 경우에는, 외부로부터 입사한 광은 편광판(45)에 의해 직선 편광이 되고, 위상차판(44)에 의해 원 편광이 되어 액정(21)에 입사되고, 그리고 반사 표시 전극(50)에 의해 반사하여 위상이 더욱 λ/2변화하여, 다시 액정(21)을 통과하고, 위상차판(44)에 의해 위상이 λ/4 변화하여 편광판(45)에 의해 차광되어 흑색으로 보인다.

또한, 액정에 전압이 인가되는 경우, 외부로부터 입사한 광은 편광판(45)에 의해 직선 편광이 되고, 위상차판(44)에 의해 원 편광이 되어 액정(21)에 입사되고, 그리고 반사 표시 전극(50)에 의해 반사하여 위상이 더욱 λ/2변화하여, 다시 액정(21)을 통과한다. 이 때 타원 편광이 되어, 위상차판(44)에 의해 위상이 λ/4변화하여 편광판(45)으로부터 직선 편광이 되어 백색으로 보인다.

이렇게 해서 제작된 TFT를 구비한 절연성 기판(10)과, 이 기판(10)에 대향한 대향 전극(34) 및 배향막(35)을 구비한 대향 기판(30)을 주변을 시일 접착제(23)에 의해 접착하고, 형성된 공극에 액정(21)을 충전하여 LCD가 완성된다.

또, 상술된 각 실시예에서는, 확산층(43)을 대향 전극 기판(30)의 액정(21)을 설치하는 측과는 반대측, 즉 외측의 관찰자측에 설치한 경우를 나타냈지만, 본 발명은 그것에 한정되는 것은 아니며, 대향 전극 기판(30)의 액정(21)을 설치한 측에서, 예를 들면 대향 전극(34)과 보호막(33)사이에 설치해도 본 발명의 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 상술된 각 실시예에서는, TFT의 능동층으로서 다결정 실리콘을 이용했지만, 본 발명은 그것에 한정되는 것은 아니며, 비정질 실리콘은 반도체 재료를 이용해도, 본 발명의 효과를 발휘하는 것이다.

또한, 본 발명에서는, Al 외에도 은 등의 도전성 반사 재료를 반사 표시 전극재료로서 이용해도 좋다.

또한, 각 실시예에서는, 반사 표시 전극의 하층의 절연막으로서, 평탄화 절연막을 이용한 경우에 대해 설명했지만, 본 발명에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 상술된 각 실시예에서 평탄화 절연막을 에칭하여 오목한 곡면을 형성한 방법과 동일한 방법으로 층간 절연막에 곡면을 갖게 해도 좋다.

본 발명에 따르면, 각 표시 화소의 휘도를 높이고, 밝은 표시를 넓은 시야각에서 얻는 것이 가능한 반사형 액정 표시 장치를 얻을 수 있다.

Claims

상호 대향되게 배치된 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 협지하고 있고, 상기 제1 기판에는 스위칭 소자 및 상기 스위칭 소자에 접속되며 도전성 반사 재료로 이루어지는 표시 전극을 구비하고, 상기 제2 기판에는 상기 표시 전극에 대향한 대향 전극을 구비하고 있고, 상기 표시 전극의 표면은 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는 것을 특징으로 하는 반사형 액정 표시 장치.
상호 대향되게 배치된 제1 및 제2 기판 사이에 액정을 협지하고 있고, 상기 제1 기판에는 스위칭 소자, 및 상기 스위칭 소자 상에 설치되며 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는 절연막, 도전성 반사 재료로 이루어져 있으며 상기 절연막 상에 형성됨으로써 실질적으로 표면이 상기 제1 기판측 방향으로 오목한 곡면을 갖는 표시 전극을 구비하고, 상기 제2 기판에는 상기 표시 전극에 대향한 대향 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 반사형 액정 표시 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 제2 기판에 광을 확산하는 확산층이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반사형 액정 표시 장치.