KR19990044792A - 헤드 어셈블리용 서스펜션 및 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법 - Google Patents

헤드 어셈블리용 서스펜션 및 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법 Download PDF

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아끼구사 나오유끼
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

본 발명은 정전기 대책을 세운 헤드 어셈블리의 조립 작업을 용이하게 해서 제조 코스트를 낮추는 것에 관한 것이다.
코아 슬라이더를 접착제에 의해 접합해서 탑재하는 탑재부(20)를 형성한 짐벌부(110b)를 갖고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴(26)의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부(20)에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션(110)에 있어서, 상기 탑재부(20)의 상기 코어 슬라이더를 접합하는 영역 내에 탑재부(20)의 기재와 전기적으로 도통하는 볼록 형상으로 형성된 패드(40)가 형성된 것을 특징으로 한다.

Description

헤드 어셈블리용 서스펜션 및 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법
본 발명은 헤드 어셈블리용 서스펜션 및 이것을 사용한 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법에 관한 것이다.
도 8은 자기 디스크 장치의 구성을 나타낸다(일본국 특개평6-215513호). 자기 디스크 장치(100)는 엔클로져(102) 내에 자기 디스크(104) 및 헤드 위치 결정용의 액츄에이터(106)가 조합된 것이다. 112는 액츄에이터(106)에 의해서 구동되는 암(108)에 기단부가 지지된 헤드 어셈블리이다. 헤드 어셈블리(112)는 금속 박판으로 된 서스펜션(110)의 선단에 헤드 슬라이더(10)를 부착해서 조립한 것이다.
도 9에 서스펜션(110)과 슬라이더(10)를 확대해서 나타낸다. 서스펜션(110)은 기단이 암(108)에 부착되는 본체부(110a)와, 본체부(110a)의 선단측에 설치되는 짐벌부(110b)로 이루어진다. 짐벌부(110b)는 U자형의 슬릿 구멍(114)이 형성되고, 슬릿 구멍(114)에 둘러싸인 가운데 측에 헤드 슬라이더의 탑재부(116)가 설치된다. 헤드 슬라이더(10)는 접착제로 탑재부(116)에 접착해서 지지되고, 단자(118)와 헤드 슬라이더(10)의 전극이 금볼에 의해 접속된다.
120은 서스펜션(110)의 표면에 서스펜션(110)의 기재와 전기적으로 절연해서 형성한 배선 패턴이다. 서스펜션(110)의 표면에 배선 패턴(122)을 설치한 것을 CAPS(Cable Patterned Suspension)라고 부르고 있다.
그런데 근년에 와서 자기 디스크 장치의 대용량화, 고밀도화에 따라 자기 디스크 장치에 사용되는 헤드는 점점 소형화되고 있다. 헤드의 정전기 대책은 소자의 손상을 방지하기 위해 종래로부터 이루어지고 있지만, 헤드의 소형화와 함께 더 한층 충분한 대책을 취하는 것이 요구되어져 왔다.
헤드에 정전기가 생기는 것은 자기 디스크 장치를 운반하거나 할 때에 디스크가 회전하고, 디스크와 헤드가 마찰함으로써 발생하는 경우, 또 헤드를 패치로 운반할 때에 패치끼리가 서로 접촉함으로써 발생하는 경우가 있다.
상술하였듯이 헤드 슬라이더(10)는 접착제로 탑재부(116)에 접합해서 탑재된다. 헤드 슬라이더(10)의 변형을 억제하기 위해 헤드 슬라이더(10)의 접착에는 영률이 작은 비도전성 접착제가 사용된다. 종래의 헤드의 전기적 대책은 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(116)에 접합한 후에, 상기 접착제와는 다른 도전성 접착제를 사용해서 헤드 슬라이더(10)와 서스펜션(110)을 전기적으로 도통시켜, 대전한 정전기를 서스펜션(110)으로 방출하는 방법에 의한다. 이와 같이 비도전성 접착제와 도전성 접착제를 사용하는 이유는 도전성 접착제의 접착력이 비도전성 접착제의 접착력보다도 뒤떨어지기 때문에, 신뢰성이 요구되는 헤드 슬라이더(10)의 접착은 보다 접착력이 강한 비도전성 접착제를 사용해서 확실하게 헤드 슬라이더(10)를 서스펜션에 접할할 수 있도록 하기 위함이다.
도 10은 서스펜션(110)의 표면에 형성한 배선 패턴(120)의 단면도를 나타낸다. 배선 패턴(120)은 절연층(130)에 의해서 서스펜션(110)과 전기적으로 절연되고, 또한 절연층(132)에 의해서 표면이 보호되어 있다.
탑재부(116)의 표면은 도 10과 마찬가지로 절연층에 의해서 피복되어 있지만, 헤드 슬라이더(10)를 접합하는 영역의 주위 부분은 탑재부(116)의 금속면이 노출되어 있으므로, 이 금속 부분과 헤드 슬라이더(10)에 걸쳐서 도전성 접착제를 도포함으로써 헤드 슬라이더(10)와 서스펜션(110)을 전기적으로 도통시킬 수가 있다.
이와 같이 헤드 슬라이더(10)를 탑재부에 탑재할 경우에, 종래에는 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(116)에 접합하는 조작과 도전성 접착제를 도포하는 조작의 2공정에 의하므로 공정수가 증가한다는 문제가 있었다.
본 발명은 헤드의 정전기적 대책이 확실하게 가능해서 제조가 용이한 헤드 어셈블리용 서스펜션과 이 헤드 어셈블리용 서스펜션을 사용한 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션의 적절한 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 헤드 어셈블리용 서스펜션의 사시도.
도 2는 헤드 슬라이더의 탑재부의 평면도.
도 3은 헤드 어셈블리의 사시도.
도 4는 탑재부에 헤드 슬라이더를 접합한 상태의 단면도.
도 5는 탑재부의 패드 부분을 확대해서 나타내는 단면도.
도 6은 헤드 슬라이더의 탑재부의 다른 구성을 나타내는 평면도.
도 7은 탑재부에 헤드 슬라이더를 접합한 상태의 단면도.
도 8은 자기 디스크 장치의 개략 구성을 나타내는 도면.
도 9는 헤드 어셈블리용 서스펜션 및 헤드 슬라이더를 확대해서 나타내는 사시도.
도 10은 서스펜션에 형성한 배선 패턴의 단면도.
(부호의 설명)
10 헤드 슬라이더
20, 116 탑재부
22 팽출부
24 지지부
26, 120 배선 패턴
28, 118 단자
30 유출 방지부
32 절연층
40 패드
42 하부 절연층
44 동층
46 상부 절연층
50 도전성 접착제
60 노출 구멍
100 자기 디스크 장치
106 액츄에이터
108 암
110 서스펜션
110a 본체부
110b 짐벌부
112 헤드 어셈블리
114 슬릿 구멍
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해 다음의 구성을 구비한다.
즉 헤드 슬라이더를 접착제에 의해 접합해서 탑재하는 탑재부를 형성한 짐벌부를 갖고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션에 있어서, 상기 탑재부의 상기 헤드 슬라이더를 접합하는 영역 내에 탑재부의 기재와 전기적으로 도통하는 볼록 형상으로 형성된 패드가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 패드가 상기 배선 패턴을 형성해야할 피착 형성한 금속 박막에 의해 형성된 것은 서스펜션의 제조 공정상 패선 패턴등과 동시에 패드를 형성할 수 있는 점에서 바람직하다.
상기 패드가 상기 탑재부의 기재의 표면에 절연층이 섬 형상으로 패턴 형성되고, 상기 절연층의 표면에 상기 금속 박막이 피착 형성되어 이루어지는 것은 헤드 슬라이더와 탑재부가 확실하게 전기적으로 도통할 수 있는 점에서 바람직하다.
상기 패드가 복수개 배치되고, 인접하는 패드 사이가 오목부로 형성되는 것은 피착제를 사용해서 헤드 슬라이더를 탑재부에 강고하게 접합할 수 있는 점에서 바람직하다.
상기 탑재부에 상기 접착제가 상기 배선 패턴에 설치된 단자 상으로 유출하는 것을 방지하는 유출 방지부를 설치함으로써 헤드 슬라이더와 단자를 확실하게 전기적으로 접속할 수가 있다.
또 헤드 슬라이더를 접착제로 접합해서 탑재하는 탑재부를 형성한 짐벌부를 갖고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션에 있어서, 상기 탑재부의 표면이 절연층에 의해서 피복됨과 동시에 상기 탑재부의 상기 헤드 슬라이더가 접합되는 영역 내에 상기 탑재부의 기재를 노출시키는 노출 구멍이 형성된 것을 특징으로 한다.
또 상기 헤드 어셈블리용 서스펜션의 상기 탑재부에 상기 배선 패턴의 일단과 전기적으로 접속해서 헤드 슬라이더를 접합해서 이루어진 헤드 어셈블리로서, 상기 헤드 슬라이더와 상기 탑재부가 상기 패드를 거쳐서 전기적으로 도통해서 탑재된 것을 특징으로 한다.
상기 헤드 슬라이더가 도전성 접착제에 의해 상기 탑재부에 접합된 것 혹은 상기 헤드 슬라이더가 비도전성 접착제에 의해 상기 패드와 당접해서 상기 탑재부에 접합된 것은 헤드 슬라이더와 탑재부가 확실하게 전기적으로 도통해서 접합되는 점에서 바람직하다.
또 상기 헤드 어셈블리용 서스펜션의 상기 탑재부에 상기 배선 패턴의 일단과 전기적으로 접속해서 헤드 슬라이더를 접합해서 이루어진 헤드 어셈블리로서, 상기 헤드 슬라이더와 상기 탑재부가 도전성 접착제를 거쳐서 전기적으로 도통해서 접합된 것을 특징으로 한다.
또 헤드 슬라이더를 접착제로 접합해서 탑재하는 탑재부에 상기 헤드 슬라이더를 탑재부의 기재와 전기적으로 도통해서 접속하는 볼록 형상으로 형성한 패드가 설치되고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법에 있어서, 상기 서스펜션의 기재 표면에 제 1 전기적 절연층을 피착 형성하고, 상기 제 1 전기적 절연층을 패턴 형성해서 상기 탑재부의 상기 패드를 형성하는 부위에 섬형으로 하부 절연층을 형성한 후에, 상기 탑재부를 포함하는 상기 서스펜션의 표면에 금속층을 피착 형성하고, 상기 금속층을 패턴 형성함으로써 상기 하부 절연층의 표면 및 측면에 상기 탑재부와 전기적으로 도통시켜서 상기 금속층을 남김과 동시에 상기 제 1 전기적 절연층 위에 상기 배선 패턴을 형성하고, 또한 상기 탑재부를 포함하는 상기 서스펜션의 표면에 제 2 전기적 절연층을 피착 형성하고, 상기 제 2 전기적 절연층을 패턴 형성해서 상기 패드의 표면을 피복하는 제 2 전기적 절연층을 제거해서 패드 부분에서 상기 금속층을 노출시키는 것을 특징으로 한다.
상기 금속층을 패턴 형성할 때에 헤드 슬라이더를 상기 탑재부에 접합할 때에 상기 배선 패턴에 설치된 단자 상에 접착제가 유출하는 것을 방지하는 유출 방지부를 형성하고, 상기 제 2 전기적 절연층을 패턴 형성할 때에 상기 유출 방지부를 피복하는 제 2 전기적 절연층을 제거해서 상기 유출 방지부로 금속층을 노출시키는 방법은 유출 방지부를 갖는 서스펜션을 용이하게 제조할 수 있는 점에서 바람직하다.
헤드 슬라이더의 탑재부에 헤드 슬라이더를 탑재함으로써 헤드와 탑재부가 전기적으로 접속되고, 이에 의해서 헤드의 정전기 대책이 세워진다. 탑재부에 헤드 슬라이더를 탑재하는 1회의 접합 조작만으로 정전기 대책을 세워서 헤드 어셈블리를 구성할 수가 있고, 헤드 어셈블리를 구성하는 제조 공정수를 줄여서 헤드 어셈블리의 제조 코스트를 내릴 수가 있다.
(실시예)
이하 본 발명에 의한 헤드 어셈블리용 서스펜션 및 헤드 어셈블리의 실용례에 대해서 첨부 도면과 함께 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 서스펜션(110)의 전체도를 나타낸다. 서스펜션(110)의 전체 구성은 종래의 서스펜션의 구성과 마찬가지로서, 금속의 박판재로 형성한 서스펜션의 본체부(110a)와 짐벌부(110b)로 이루어진다. 짐벌부(110b)에는 주위에 슬릿 구멍(114)이 형성된 헤드 슬라이더의 탑재부(20)가 형성된다. 실시예의 서스펜션(110)은 2mm, 길이 약 9mm, 두께 약 25㎛의 스텐레스재로 이루어진다.
본 실시예의 서스펜션(110)에서 특징적인 구성은 짐벌부(110b)에 형성한 탑재부(20)의 구성이다. 도 2에 탑재부(20)를 확대해서 나타낸다. 22는 탑재부(20)의 가장자리로부터 바깥쪽으로 연장해서 형성한 팽창부이다. 24는 탑재부(20)를 편단 지지하는 지지부(beam section)이다.
26은 탑재부(20)로부터 지지부(24)를 경유해서 서스펜션(110) 상으로 끌어내어진 배선 패턴이다. 28은 배선 패턴(24)의 단부에 설치된 단자이다. 단자(28)는 탑재부(20)의 기부에 4개 배치되어 있다. 단자(28)의 배치수 및 배치 간격은 헤드 슬라이더(10)에 설치되어 있는 단자부와 동일하다.
30은 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합할 때에 접착제가 단자(28) 측에 유출하는 것을 방지하는 유출 방지부이다. 유출 방지부(30)는 단자(28)의 근방에 볼록 형상 패턴으로 탑재부(20)를 폭 방향으로 횡단하여 배치된다.
배선 패턴(24), 단자(28), 유출 방지부(30)는 동박막으로 형성된다. 32는 배선 패턴(24)등을 피복해서 보호하는 절연층이다. 절연층(32)은 단자(28), 유출 방지부(30)등의 외부로 노출되는 부위를 제외하고, 탑재부(20)의 표면을 피복하고 있다. 탑재부(20)의 가장자리에는 절연층(32)으로 피복되지 않은 부분이 가는 폭으로 노출되어 있다.
본 실시예의 탑재부(20)는 헤드 슬라이더(10)를 접합하는 탑재부(20)의 영역 내에 볼록 형상으로 패드(40)를 설치한 것을 특징으로 한다. 패드(40)는 배선 패턴(24), 단자(28)등을 형성할 때에 사용하는 동박막을 이용해서 탑재부(20)와 전기적으로 도통시켜서 형성한다. 본 실시예에서는 패드(40)를 종횡 배열로 12개 설치한다. 인접하는 패드(40) 사이는 오목부로 형성되어 있어, 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접착할 때에 접착제가 충만된다. 오목부에 접착제가 충만됨으로써 헤드 슬라이더(10)가 강고하게 접착된다.
도 3에 상기 서스펜션(110)의 탑재부(20)에 헤드 슬라이더(10)를 접합한 헤드 어셈블리(112)의 전체 구성을 나타낸다. 헤드 슬라이더(10)가 탑재부(20)의 접합 위치에 위치 맞춤해서 접합되어 있다.
본 실시예에서 사용되는 헤드 슬라이더(10)는 길이 방향이 약 1.0mm, 폭 방향이 약 0.8mm, 두께 약 0.3mm의 것이다.
도 4는 도전성 접착제(50)를 사용해서 탑재부(20)에 헤드 슬라이더(10)를 접합한 상태의 단면도(도 2의 A-A 선단면도)를 나타낸다. 패드(40) 및 유출 방지부(30)는 탑재부(20)의 표면 상에 약간 돌출해서 형성된다. 탑재부(20)의 표면으로부터의 패드(40)와 유출 방지부(30)의 높이는 동일해서, 탑재부(20)의 면에 평행하게 헤드 슬라이더(10)가 탑재된다.
도 5에 패드(40)의 단면 구조를 확대해서 나타낸다. 패드(40)는 하부 절연층(42)의 위에 동층(44)을 형성해서 단차를 형성하고, 동층(44)의 주위가 상부 절연층(46)으로 피복되어 있다. 하부 절연층(42)은 패드(40)의 평면 형상(원형, 타원형)에 맞춰서 탑재부(20) 상에 섬 형상으로 형성된다. 패드(40)에 형성된 동층(44)은 하부 절연층(42)의 주위에서 탑재부(20)와 전기적으로 도통하는 형태로 형성된다.
본 실시예에서 헤드 슬라이더(10)를 접착하는 접착제로서 도전성 접착제(50)를 사용하는 것은 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합할 때에, 패드(40)를 거쳐서 헤드 슬라이더(10)와 탑재부(20)가 확실하게 전기적으로 접속하도록 하기 위함이다. 패드(40)는 동층(44)에 의해 탑재부(20)에 전기적으로 접속되어 있으므로, 도전성 접착제(50)를 사용해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합함으로써, 헤드 슬라이더(10)와 도전체인 탑재부(20)를 전기적으로 도통시켜서 헤드 슬라이더(10)를 탑재할 수가 있다.
또한 유출 방지부(30)는 표면에 동층이 노출하지만, 탑재부(20)와는 전기적으로 접속하고 있지 않다. 도전성 접착제(50)로 헤드 슬라이더(10)를 접착할 때에, 유출 방지부(30)는 단자(28)측으로 도전성 접착제(50)가 유출하는 것을 방지한다.
이상 설명하였듯이, 본 실시예의 서스펜션(110)에 의하면, 도전성 접착제(50)를 사용해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접착함으로써, 1회의 접착 조작만으로 헤드의 정전기 대책을 세워서 헤드 어셈블리를 조립할 수가 있다. 이에 따라 헤드 어셈블리의 조립 작업이 효율화될 수 있고, 조립 코스트를 내릴 수가 있다.
본 실시예의 서스펜션(110)은 탑재부(20)에 볼록 형상의 패드(40)를 설치하고 있으므로, 도전성 접착제를 사용해서 탑재부(20)에 헤드 슬라이더(10)를 접착할 때에 접착 면적을 크게 할 수가 있고, 비도전성 접착제와 비교하면 접착력이 열화하는 도전성 접착제를 사용해서, 확실하게 헤드 슬라이더(10)를 접합할 수가 있다.
탑재부(20)에 패드(40)를 설치한 서스펜션(110)을 제조하는 방법은 이하의 방법에 의한다.
우선 탑재부(20)의 표면에 전기적 절연층을 형성하고, 전기적 절연층을 패턴 형성해서 패드(40)를 형성하는 부위에 하부 절연층(42)을 형성한다. 전기적 절연층으로서는 예를 들어 폴리이미드를 사용하고, 포토리소그래피 기술을 사용해서 하부 절연층(42)을 섬 형상배치등의 소정의 패턴으로 형성할 수가 있다.
하부 절연층(42)을 형성한 상태에서 탑재부(20)에서는 하부 절연층(42)을 빼고 탑재부(20)의 표면을 노출한다. 한편 탑재부(20)에서 단자(28), 유출 방지부(30)를 형성하는 부위, 서스펜션(110)의 표면에서 배선 패턴(26)을 형성하는 부위에서는 전기적 절연층은 하지로서 남아 있는다.
다음에 스퍼터링 혹은 도금 등으로 금속층으로서의 동박막을 탑재부(20)의 전면에 피착 형성한다. 이에 따라 하부 절연층(42)의 표면 및 측면, 탑재부(20)의 표면, 서스펜션(110)의 표면 전체에 동박막이 형성된다.
다음에 포토리소그래피 기술로 패드(40) 부분의 동박막을 남겨서 도 5에 나타내는 것과 같은 동층(44)을 형성한다. 또한 이 조작 시기와 동시에 배선 패턴(26), 단자(28), 유출 방지부(30)를 패턴 형성한다.
동층(44), 배선 패턴(26) 등을 형성하는 방법은 이하의 방법에 의한다.
우선 동박막의 표면 전체에 감광성 레지스트를 도포하고, 패드(40), 배선 패턴(26), 단자(28) 및 유출 방지부(30)가 되는 부위를 피복하는 레지스트 패턴을 형성한다. 이 레지스트 패턴은 패드(40), 배선 패턴(26) 등의 패턴에 따라서 감광성 레지스트를 감광하고, 레지스트 패턴으로서 남기는 레지스트 부분 이외의 감광성 레지스트를 용해 제거함으로써 얻어진다.
이어서 상기 레지스트 패턴을 마스크로서 화학 에칭 혹은 이온 밀링 등을 실시하여, 노출 부분의 동박막을 제거한다. 최후에 동박막 상의 레지스트를 제거함으로써 패드(40), 배선 패턴(26), 단자(28) 및 유출 방지부(30)의 배선 패턴을 형성한다.
다음에 배선 패턴(26)을 피복하는 전기적 절연층으로서 감광성 폴리이미드를 전면에 도포한다. 패드(40), 단자(28) 및 유출 방지부(30)는 동박막을 노출시킬 필요가 있으므로, 이들 부위에 대해서는 포토리소그래피 기술로 감광성 폴리이미드막을 제거해서 동박막을 노출시킨다. 이렇게 해서 도 5에 나타내듯이 상면에서 동층(44)이 노출되고, 주위가 상부 절연층(46)으로 피복되어서 볼록 형상으로 형성된 패드(40)가 얻어진다. 또한 패드(40), 단자(28), 유출 방지부(30)의 표면에는 금도금이 실시된다.
종래의 CAPS 제조 방법에서 서스펜션(110)의 표면에 배선 패턴 및 단자 등을 형성하는 방법은 상기 방법과 마찬가지이다. 즉 서스펜션의 표면에 전기적 절연층을 형성한 후에, 동박막을 피착 형성하고, 동박막을 패턴 형성함으로써 배선 패턴 등을 형성하고, 또한 전기적 절연층으로 배선 패턴 등을 피복한다. 본 실시예에서 탑재부(20)의 표면에 패드(40)를 형성하는 상기 방법은 종래의 공정을 바꾸는 일없이 그대로 적용할 수 있는 점에서 적절하다.
본 실시예에서는 패드(40)는 서스펜션(110)의 표면에 배선 패턴, 단자 등을 형성하기 위해서 피착 형성하는 동박막을 이용해서 형성하고 있다. 서스펜션(110)의 표면에 형성하는 배선 패턴 등을 예를 들어 알루미늄 등의 동 이외의 금속으로 형성하는 경우에는 패드(40)는 그들 금속에 의해서 형성되어진다.
상기 실시예에서는 도전성 접착제(50)를 이용해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합하였지만, 도전성 접착제(50)에 추가해서 에폭시계 접착제 등의 비도전성 접착제를 사용하는 것도 가능하다.
헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 탑재할 때에, 패드(40)의 동층에 헤드 슬라이더(10)의 하면을 당접시키고, 이에 의해서 헤드 슬라이더(10)와 탑재부(20)를 전기적으로 도통해서 당접하는 것도 가능하기 때문이다.
탑재부(20)에서 패드(40)는 간격을 두고서 배치되어 있고, 패드(40) 사이는 오목부로 되어 있으므로, 이 오목부 내에 비도전성 접착제를 채우고, 패드(40) 표면의 동층(44)을 비도전성 접착제로 피복하지 않게 해서 접합하면 된다.
도 6은 본 발명에 의한 서스펜션의 다른 구성을 나타내는 것으로서, 서스펜션의 탑재부(20)만을 확대해서 나타낸다. 이 탑재부(20)는 탑재부(20)를 피복하는 절연층(46) 내에, 헤드 슬라이더(10)를 접합하는 영역 내에 탑재부(20)의 기재를 노출시키는 노출 구멍(60)을 설치한 것을 특징으로 한다. 이 실시예의 서스펜션을 사용해서 헤드를 조립할 경우에는 도전성 접착제를 사용해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합하면 된다.
노출 구멍(60)은 CAPS의 제조 공정에서 탑재부(20)에 감광성 폴리이미드 등의 전기적 절연층을 형성하고, 포토리소그래피 기술로 부분적으로 원형, 타원형 등으로 전기적 절연층을 제거해서 탑재부(20)의 표면을 노출시킴으로써 형성할 수가 있다.
도 7은 노출 구멍(60)을 형성한 탑재부(20)로 도전성 접착제(50)를 사용해서 헤드 슬라이더(10)를 접합한 상태의 단면도(도 6의 B-B선 단면도)이다. 도전성 접착제(50)를 노출 구멍(60)으로 채워서 헤드 슬라이더(10)를 접합함으로써 탑재부(28)와 헤드 슬라이더(10)가 전기적으로 도통해서 접합된다.
이 실시예의 경우도 서스펜션(110)에 배선 패턴(26), 단자(28) 등을 형성하는 종래의 제조 공정을 그대로 이용해서 노출 구멍(60)을 형성할 수가 있는 점에서 유용하다. 그래서 도전성 접착제(50)를 이용해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재부(20)에 접합하는 1회의 접합 조작으로 헤드의 정전기 대책을 겸해서 헤드 슬라이더(10)를 탑재할 수가 있다. 이에 따라서 헤드의 조립 공정수를 줄일 수가 있고, 제조 코스트를 내릴 수가 있게 된다.
또한 상기 실시예에서는 자기 디스크 장치에 사용하는 헤드 어셈블리 및 헤드 어셈블리용 서스펜션에 대해서 설명했지만, 광학적인 방법으로 신호를 다루는 장치에서 사용하는 헤드 어셈블리에 대해서도 마찬가지로 적용 가능하다. 이 의미에서 상기 헤드는 자기 헤드에 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 의한 헤드 어셈블리용 서스펜션에 의하면 탑재부에 헤드 슬라이더를 접착하는 1회의 접착 조작만으로 헤드와 서스펜션을 전기적으로 도통시킬 수가 있고, 확실한 정전기 대책이 세워진 헤드 어셈블리를 용이하게 조립할 수가 있다. 헤드 어셈블리를 조립하는 공정수를 줄임으로써 헤드 어셈블리의 제조 코스트를 낮출 수가 있다.
또 본 발명에 의한 헤드 어셈블리는 헤드 슬라이더와 서스펜션의 탑재부가 확실하게 전기적으로 도통되고, 정전기 대책에 세워진 신뢰성이 높은 제품으로서 제공된다.
또 본 발명에 의한 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법에 의하면, 서스펜션에 배선 패턴 등을 형성하는 종래의 제조 공정을 그대로 이용할 수 있고, 탑재부에 패드를 용이하게 형성할 수 있고, 확실한 정전기 대책이 될 수 있어, 조립 작업을 용이하게 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션을 제공할 수가 있다.

Claims (12)

  1. 헤드 슬라이더를 접착제에 의해 접합해서 탑재하는 탑재부를 형성한 짐벌부를 갖고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션에 있어서,
    상기 탑재부의 상기 헤드 슬라이더를 접합하는 영역 내에 탑재부의 기재와 전기적으로 도통하는 볼록 형상으로 형성된 패드가 형성된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 헤드가 상기 배선 패턴을 형성해야할 피착 형성한 금속 박막에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 패드가 상기 탑재부의 기재의 표면에 절연층이 섬 형상으로 패턴 형성되고, 상기 절연층의 표면에 상기 금속 박막이 피착 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한항에 있어서, 상기 패드가 복수개 배치되고, 인접하는 패드 사이가 오목부로 형성되는 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  5. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한항에 있어서, 상기 탑재부에 상기 접착제가 상기 배선 패턴에 설치된 단자 상으로 유출하는 것을 방지하는 유출 방지부가 설치되는 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  6. 헤드 슬라이더를 접착제로 접합해서 탑재하는 탑재부를 형성한 짐벌부를 갖고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션에 있어서,
    상기 탑재부의 표면이 절연층에 의해서 피복됨과 동시에 상기 탑재부의 상기 헤드 슬라이더가 접합되는 영역 내에 상기 탑재부의 기재를 노출시키는 노출 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션.
  7. 제 1항 내지 제 5항중 어느 한항에 기재된 헤드 어셈블리용 서스펜션의 상기 탑재부에 상기 배선 패턴의 일단과 전기적으로 접속해서 헤드 슬라이더를 접합해서 이루어진 헤드 어셈블리로서, 상기 헤드 슬라이더와 상기 탑재부가 상기 패드를 거쳐서 전기적으로 도통해서 탑재된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 헤드 슬라이더가 도전성 접착제에 의해 상기 탑재부에 접합된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 헤드 슬라이더가 미도전성 접착제에 의하여 상기 패드와 당접해서 상기 탑재부에 접합된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리.
  10. 제 5항에 기재된 헤드 어셈블리용 서스펜션의 상기 탑재부에 상기 배선 패턴의 일단과 전기적으로 접속해서 헤드 슬라이더를 접합해서 이루어진 헤드 어셈블리로서, 상기 헤드 슬라이더와 상기 탑재부가 도전성 접착제를 거쳐서 전기적으로 도통해서 접합된 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리.
  11. 헤드 슬라이더를 접착제로 접합해서 탑재하는 탑재부에 상기 헤드 슬라이더를 탑재부의 기재와 전기적으로 도통해서 접속하는 볼록 형상으로 형성한 패드가 설치되고, 기재와 전기적으로 절연해서 피착 형성된 배선 패턴의 일단이 상기 헤드 슬라이더와 접속 가능하게 상기 탑재부에 배치된 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법에 있어서,
    상기 서스펜션의 기재 표면에 제 1 전기적 절연층을 피착 형성하고,
    상기 제 1 전기적 절연층을 패턴 형성해서 상기 탑재부의 상기 패드를 형성하는 부위에 섬 형상으로 하부 절연층을 형성한 후에,
    상기 탑재부를 포함하는 상기 서스펜션의 표면에 금속층을 피착 형성하고,
    상기 금속층을 패턴 형성함으로써 상기 하부 절연층의 표면 및 측면에 상기 탑재부와 전기적으로 도통시켜서 상기 금속층을 남김과 동시에 상기 제 1 전기적 절연층 위에 상기 배선 패턴을 형성하고,
    또한 상기 탑재부를 포함하는 상기 서스펜션의 표면에 제 2 전기적 절연층을 피착 형성하고,
    상기 제 2 전기적 절연층을 패턴 형성해서 상기 패드의 표면을 피복하는 제 2 전기적 절연층을 제거해서 패드 부분에서 상기 금속층을 노출시키는 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 금속층을 패턴 형성할 때에 헤드 슬라이더를 상기 탑재부에 접합할 때에 상기 배선 패턴에 설치된 단자 상에 접착제가 유출하는 것을 방지하는 유출 방지부를 형성하고,
    상기 제 2 전기적 절연층을 패턴 형성할 때에 상기 유출 방지부를 피복하는 제 2 전기적 절연층을 제거해서 상기 유출 방지부로 금속층을 노출시키는 것을 특징으로 하는 헤드 어셈블리용 서스펜션의 제조 방법.
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