KR19990030006U - 웨이퍼 홀더 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 홀더에 관한 것으로, 본 고안은 웨이퍼 홀더에 안착홈에 웨이퍼의 정확한 안착을 안내하는 한편 웨이퍼가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 이중 경사면이 형성된 것을 그 특징으로 한다.

따라서, 본 고안에 의하면, 로봇 아암에 부착되는 웨이퍼 홀더의 상부 전체 내주면에 이중 경사면이 형성되므로써 웨이퍼 홀더가 정확하게 흔들림이 발생됨이 없이 웨이퍼를 공정 처리실로 이송시켜 작업시의 불량 발생을 사전에 방지할수 있어서 생산성을 증대시킬수 있게 된다.

Description

웨이퍼 홀더

본 고안은 웨이퍼 홀더에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 로봇 아암에 부착되는 웨이퍼 홀더가 정확하게 흔들림이 발생됨이 없이 웨이퍼를 공정 처리실로 이송시킬 수 있도록 한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 장비들은 웨이퍼를 가공하기 위하여 카세트에서 웨이퍼를 이송하여 공정 처리실로 이송하는 작업을 로봇이 실행하게 되는데, 로봇의 로봇 아암(5)에는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같은 웨이퍼 홀더(1a)가 부착되어 웨이퍼(2)를 상기 웨이퍼 홀더(1a)의 상부 중앙에 형성된 안착홈(3)에 안착시켜서 공정 처리실로 이송시키게 된다.

이때, 상기 웨이퍼 홀더(1a)가 웨이퍼(2)를 흔들림이 발생됨이 없이 정확하게 공정 처리실로 이송시켜야만 하는데, 그렇지 않을 경우 공정에 이상을 일으켜 웨이퍼(2)에 손상을 주게 된다.

상기한 바와 같이 웨이퍼 홀더(1a)는 상부 중앙의 안착홈(3)에 웨이퍼(2)를 안착시켜 공정 처리실로 이송시키게 되는데, 모터(도시는 생략함)가 구동할 때의 충격이 웨이퍼 홀더(1a)에 전달되어 웨이퍼(2)의 흔들림 현상이 발생되는 것을 방지하기 위해 상기 안착홈(3)에 웨이퍼(2)가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 복수개의 실리콘 재질로 된 패드(4)를 부착시키게 된다.

그러나, 이와 같은 종래의 웨이퍼 홀더(1a)는 웨이퍼(2)를 안착홈(3)에 안착시킨 상태에서 도 1에 나타낸 바와 같이, 약 1 ㎜ 정도의 갭(Gap)(G)이 발생하게 되므로 인해 웨이퍼(2)의 이송 도중에 상기 갭(G)으로 인한 흔들림이 발생하게 되어 웨이퍼(2)를 정확하게 안착된 상태로 공정 처리실로 이송시킬수가 없어서 웨이퍼(2)의 가공시 불량이 발생하게 되는 등의 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상기한 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 로봇 아암에 부착되는 웨이퍼 홀더가 정확하게 흔들림이 발생됨이 없이 웨이퍼를 공정 처리실로 이송시킬수 있도록 하여 불량 발생을 사전에 방지할수 있는 웨이퍼 홀더를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 홀더를 나타낸 종단면도

도 2는 도 1의 평면도

도 3은 본 고안을 나타낸 종단면도

도 4는 도 3의 평면도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼 홀더2 : 웨이퍼

3 : 안착홈S : 이중 경사면

상기한 목적을 달성하기 위해 본 고안은 웨이퍼 홀더에 안착홈에 웨이퍼의 정확한 안착을 안내하는 한편 웨이퍼가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 이중 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더가 제공되므로써 달성된다.

여기서, 상기 이중 경사면은 웨이퍼 홀더의 상부 전체 내주면에 형성된 것을 그 특징으로 한다.

따라서, 본 고안에 의하면, 로봇 아암에 부착되는 웨이퍼 홀더의 상부 전체 내주면에 이중 경사면이 형성되므로써 웨이퍼 홀더가 정확하게 흔들림이 발생됨이 없이 웨이퍼를 공정 처리실로 이송시켜 작업시의 불량 발생을 사전에 방지할수 있어서 생산성을 증대시킬수 있게 된다.

이하, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안을 나타낸 종단면도이고, 도 4는 도 3의 평면도로서, 종래의 기술과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하여 본 고안을 설명한다.

본 고안은 웨이퍼 홀더(1)의 상부 중앙에 웨이퍼(2)가 안착되는 안착홈(3)이 형성되고, 안착홈(3)에는 웨이퍼(2)가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 복수개의 실리콘 재질로 된 패드(4)가 부착되며, 상기 웨이퍼 홀더(1)의 상부 전체 내주면에는 안착홈(3)에 웨이퍼(2)의 정확한 안착을 안내 및 웨이퍼(2)가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 이중 경사면(S)이 형성되어 구성된다.

상기와 같이 구성된 본 고안은 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 로봇 아암(5)에 부착되는 웨이퍼 홀더(1)의 상부 전체 내주면에 이중 경사면(S)이 형성되어 있으므로 상기 웨이퍼 홀더(1)상부 중앙의 안착홈(3)에 이중 경사면(S)의 안내에 의해 웨이퍼(2)가 안착된 상태에서 모터의 구동에 의해 상기 웨이퍼 홀더(1)에 충격이 전달되어 흔들려도 웨이퍼(2)가 항상 제자리에 정확하게 안착된 상태를 유지할수 있게 된다.

또한, 최초에 웨이퍼 홀더(1)의 안착홈(3)에 웨이퍼(2)를 안착시킬 때 정확하게 안착되지 않더라도 상기한 이중 경사면(S)의 안내에 의해 정확한 위치를 잡을수 있게 된다.

이상에서와 같이, 본 고안은 로봇 아암에 부착되는 웨이퍼 홀더의 상부 전체 내주면에 이중 경사면이 형성되므로써 웨이퍼 홀더가 정확하게 흔들림이 발생됨이 없이 웨이퍼를 공정 처리실로 이송시켜 작업시의 불량 발생을 사전에 방지할수 있어서 생산성을 증대시킬수 있는 등의 많은 장점이 구비된 매우 유용한 고안이다.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 도시하고 또한 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (2)

1. 웨이퍼 홀더에 안착홈에 웨이퍼의 정확한 안착을 안내하는 한편 웨이퍼가 안착된 상태에서 유동을 방지하기 위한 이중 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 이중 경사면은 웨이퍼 홀더의 상부 전체 내주면에 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 홀더.