JPH04225244A - 平行だし簡易ホルダ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［発明の目的］

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はいわゆるボンディング技
術に使用するツールと被加工物表面の平行度を簡単に調
整できる平行だし簡易ホルダーに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の組立工程としては、リード
フレームを利用する手法が多用されてきたが、集積度の
増大に伴っていわゆるＴＡＢ（Ｔａｐｅ　　Ａｕｔｏｍ
ａｔｅ−ｄ　　Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式も利用されている
。

【０００３】このＴＡＢ方式に利用する半導体素子では
、ペレットに不純物を導入・拡散することにより形成し
た能動素子または受動素子と電気的に接続したバンプ電
極を設け、これとインナーリードをいわゆるボンディン
グ法により固着する手段が採られている。

【０００４】インナーリードを構成するポリイミド樹脂
には、パターニングした銅箔が設けられており、インナ
ーリードと接続し、かつ組立工程に備えて中央部分に半
導体ペレットが挿入できる孔部を設置している。

【０００５】両者の固定に当たってはこの孔部に半導体
ペレットを下方から挿入後、バンプ電極とインナーリー
ドの位置だしを行った後、いわゆるツールによるボンデ
ィングを行っている。

【０００６】このツール先端には工業用ダイヤモンドが
取付けられているのが一般的である。

【０００７】ボンディングツールと被処理物間の位置精
度即ちボンディングツールの先端部に形成する工業用ダ
イヤモンドから成る平坦部と被処理物から成る基準面で
作られる平行度に要求される精度は、±数μｍとかなり
厳しい。

【０００８】このような要求精度を満たすことは平坦部
表面が保有する平滑度と被処理物から成る基準面では、
できないために平行度をだす機構を使用しており、これ
を第１図ａ、ｂを参照して説明する。

【０００９】図１ａは、機構の側面図、図１ｂは、違う
側面で切断した断面図であり、両者の位置関係は等しい
。

【００１０】図１ｂに示すように、本体ベース４に機械
的手段により取付けるホルダーベース５は、本体ベース
４に取付ける部分Ａとボンディングツール１を取付ける
部分Ｂから成るｕ字状の部品で構成されている。このよ
うな２分割方式を採ったのは、平行だし簡易ホルダーの
他に必要な製造機器に対応するためであり不可欠な要件
でない。

【００１１】部分Ａに設置したＹ方向固定ねじ６などの
機械的手段により本体ベース４にホルダーベース５を固
定すると共に、この固定ねじ６に隣接した位置にはＹ方
向調整ねじ７を併設する。また一方のホルダーベース６
の部分Ｂに接触配置したボンディングツール１は、固定
板８により押えると共にねじ９により一体に固定してい
る。

【００１２】これに対して図１ａはＸ方向のねじ側から
みた側面図であり、図１ｂに示したラインＣとＤの位置
にＸ方向のねじ１０を設置する。

【００１３】更に、Ｙ方向の調整はＹ方向調整ねじ７に
より行うのに対して、Ｘ方向のそれにはネジ１０と基準
ピン１１（図１ｂ参照）とにより行い、その量をマイク
ロメータ１２により記録して事後の調整に利用する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ツールと被加工物表面
の平行度を調整するのに利用する機構では、調整及び確
認をマニュアル作業により何度も繰返して行わなければ
ならないので、作業時間がかかる上に、平行度確認を個
人の目視に頼っているために個人差による信頼性の低下
が否目ない。

【００１５】本発明はこのような事情により成されたも
ので、特に繰返して行う基準面とボンディングツール先
端の平坦部の平行だしを一度にしかも均一した状態で実
施できる機能を備えた平行だし簡易ホルダーを提供する
ことを目的とするものである。

【００１６】［発明の構成］

【００１７】

【課題を解決するための手段】支持台に取付けるフロー
ティングロットホルダーと，鉛直方向に向いた前記フロ
ーティングロットホルダーの一面に形成する球面状の凹
部と，前記フローティングロットホルダーの一面に対向
して配置し鉛直方向に延長するフローティングロットと
，前記フローティングロットの一端に設置され球面状の
凹部に嵌合する球面状の凸部と，前記球面状の凸部のほ
ぼ中心に形成する長径部を備える長孔と，前記長孔の短
径を埋めフローティングロットホルダーに固定する棒体
と，前記フローティングロットホルダー及び球面状の凸
部を囲みかつ、フローティングロットホルダーとの接触
面に調整機構を形成するロックナットと，前記フローテ
ィングロットの他端に固定するツールと，前記ロックナ
ットと一定の距離をもって配置しフローティングロット
を固定するフローティングロット固定部と，前記ツール
他端に形成する平坦部を具備し，前記棒体と長孔により
フローティングロットの回転方向の運きを防止すると共
に２次元方向のみの運動に制御して、両者間の平行度を
一定に維持することに本発明に係わる平行だし簡易ホル
ダーの特徴がある。

【００１８】

【作用】本発明に係わる平行だし簡易ホルダーでは、ロ
ックナットに設置した調整機構によりフローティングロ
ット即ちツールの鉛直方向を調整可能とする他に，フロ
ーティングロットホルダーに形成する球面状の凹部と、
フローティングロットに設ける球面状の凸部により両者
を嵌合させる。

【００１９】しかもフローティングロットの球面状の凸
部に形成する棒体と長孔によりフローティングロットの
回転方向の運きを防止すると共に２次元方向のみの運動
に制御して、ツール平坦部が被加工物表面に大きい摩擦
係数で接触した際に２次元方向に逃げることにより両者
間の平行度を一定に維持させている。

【００２０】このために従来技術と違って均一な平行度
が一度の作業により得られるので、生産性の向上に結び
付けることができる。

【００２１】

【実施例】本発明に係わる一実施例を図２ａ、ｂを参照
して説明するが、理解を助けるために従来と同一部品に
も新番号を付ける。

【００２２】図２ａは、平行だし簡易ホルダーの側面図
、図２ｂは、図２ａと違った側面で切断した断面図であ
る。

【００２３】図２ｂに明らかなように、ベース本体即ち
支持台２０には、ねじ２２によりホルダーベース２１を
固定し、ここにフローティングロットホルダー２３を機
械的に固定する。

【００２４】またフローティングロットホルダー２３の
端には、突部２４が形成されており、これをホルダーベ
ース２１に設置する孔部に挿入すると共に、ねじ２５に
より固定している。

【００２５】更に図示していないが、孔部に突部２４を
挿入する際キーを一緒に打込んで強固に固定する。

【００２６】フローティングロットホルダー２３は、鉛
直方向に向いた面に球面状の凹部２６（図面では後述す
る凸部と合致している）Ｒ＝１６が形成され、その外周
を囲んだロックナット２７が取付けられ、フローティン
グロットホルダー２３とロックナット２７が接触する面
にはねじ機構２８を形成して後述するツールの固定に利
用する。

【００２７】なおロックナット２７とフローティングロ
ットホルダー２３間には隙間Ｅが形成されている。

【００２８】球面状の凹部２６には、嵌合できる球面状
の凸部２９Ｒ＝１６を先端部に形成しかつ鉛直方向への
延長部３０を備えたフローティングロット３１を配置す
ると共に、延長部３０とツール３２をフローティングロ
ット固定部３３にねじ３４により一体とする。

【００２９】更に球面状の凸部２９の中央部分には鉛直
方向に沿って長さが４ｍｍの長径部３５を備えた長孔３
６を形成し、その短径を埋める直径が例えば２ｍｍの棒
体３７を設置する。

【００３０】更にまた、固定板３３とロックナット２７
間の距離は予め設定されており、例えば通常２ｍｍに維
持して平行だし簡易型ホルダーを構成する。

【００３１】ツール３２の先端には工業用ダイヤモンド
で構成される平坦部３５が形成されており、基準面３６
には、被処理物である半導体基板に形成したバンプ電極
（図示せず）に例えばポリイミド樹脂から成るインナー
リード（図示せず）を重ねて配置し、次いで平行だし簡
易型ホルダーによる両者間の平行度の調整と位置決め工
程を行ってから、ツール３２の平坦部３５によるボンデ
ィング工程により一体とする。

【００３２】平行だし簡易型ホルダーによる平行度の調
整に際しては、ロックナット２７のねじ２８を緩めて半
導体基板に形成したバンプ電極に積層したインナーリー
ドにツール３２の平坦部３５を接触させることにより、
フローティングロット３０に形成した凸部２９中心を基
にツール３２が移動して、基準面３６を構成するインナ
ーリードと平坦部３５の平行が得られる。

【００３３】もし平坦部３５と基準面３６間の摩擦係数
が大きい時には、凸部２９中心を中心とした運動により
平坦部３５が逃げるので、両者間の所定の平行度が容易
に得られる。

【００３４】

【発明の効果】本発明に係わる平行だし簡易型ホルダー
では、一度の平行度調整により必要な平行度が得られ、
従来技術のような数回の平行度調整及び確認が省けるの
で、生産性の向上が得られる。

【図面の簡単な説明】

図１ａ、ｂは、従来の平行だし機構の側面図及び断面図
である。図２ａ、ｂは、本発明に係わる平行だし簡易型
ホルダー側面図及び断面図である。

【符号の説明】

２０：支持台 ２３：フローティングロットホルダー ２６，２９：球面状の凹部と凸部 ３０：フローティングロット ３６：長孔 ３７：棒体 ２７：ロックナット ３２：ツール ３３：フローティングロット固定部 ３５：平坦部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】支持台に取付けるフローティングロットホ
   ルダーと，鉛直方向に向いた前記フローティングロット
   ホルダーの一面に形成する球面状の凹部と，前記フロー
   ティングロットホルダーの一面に対向して配置し鉛直方
   向に延長するフローティングロットと，前記フローティ
   ングロットの一端に設置され球面状の凹部に嵌合する球
   面状の凸部と，前記球面状の凸部のほぼ中心に形成する
   長径部を備える長孔と，前記長孔の短径を埋めフローテ
   ィングロットホルダーに固定する棒体と，前記フローテ
   ィングロッドホルダー及び球面状の凸部を囲みかつ、フ
   ローティングロットホルダーとの接触面に調整機構を形
   成するロックナットと，前記フローティングロットの他
   端に固定するツールと，前記ロックナットと一定の距離
   をもって配置しフローティングロットを固定するフロー
   ティングロット固定部と，前記ツール他端に形成する平
   坦部を具備し，前記棒体と長孔によりフローティングロ
   ットの回転方向の動きを防止すると共に２次元方向のみ
   の運動に制御して、両者間の平行度を一定に維持するこ
   とを特徴とする平行だし簡易ホルダー