JPH06246576A - 非接触式チャック装置 - Google Patents
非接触式チャック装置Info
- Publication number
- JPH06246576A JPH06246576A JP3496993A JP3496993A JPH06246576A JP H06246576 A JPH06246576 A JP H06246576A JP 3496993 A JP3496993 A JP 3496993A JP 3496993 A JP3496993 A JP 3496993A JP H06246576 A JPH06246576 A JP H06246576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- chuck
- workpiece
- air
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャッキング時におけるワークとチャック部
との干渉を防止する。 【構成】 ワークＷを非接触で保持するに当たり、下側
チャック部３でワークＷを持ち上げる。上側チャック部
５で狭い間隙を介して挾み込む。このとき、空気噴出孔
３ｅ，３ｆ，５ｂより空気が常時噴出している。そして
ワークＷとチャック部３，５との干渉を生ずることな
く、空気による浮上状態でワークＷをチャッキングす
る。ワークＷの保持姿勢を変えて、ワークＷを垂直姿勢
としたり、反転姿勢としたりしても、ワークＷが脱落す
ることもない。
との干渉を防止する。 【構成】 ワークＷを非接触で保持するに当たり、下側
チャック部３でワークＷを持ち上げる。上側チャック部
５で狭い間隙を介して挾み込む。このとき、空気噴出孔
３ｅ，３ｆ，５ｂより空気が常時噴出している。そして
ワークＷとチャック部３，５との干渉を生ずることな
く、空気による浮上状態でワークＷをチャッキングす
る。ワークＷの保持姿勢を変えて、ワークＷを垂直姿勢
としたり、反転姿勢としたりしても、ワークＷが脱落す
ることもない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク、ウエ
ハ等のワークの非接触チャック装置に関するものであ
る。
ハ等のワークの非接触チャック装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク、ウエハ等は、製造工程
での異物の付着を嫌うため、その搬送時にチャック装置
により非接触状態で保持して搬送することが一般に行わ
れている。
での異物の付着を嫌うため、その搬送時にチャック装置
により非接触状態で保持して搬送することが一般に行わ
れている。
【０００３】このような非接触式チャック装置として、
例えば特開平４−１９９７３２号公報に記載されるよう
に、ワーク保持中心に対し開閉可能に配設された少なく
とも２つの爪と、該爪より突設されワーク保持中心側に
向かって延びる受台と、気体供給源から供給される気体
を吐出する気体吐出部を有し、各爪の閉じ位置で、気体
吐出部から吐出される気体により、爪内面と該爪内面に
対向するワーク外側面との間、及び受台上面と該受台上
面に対向するワークの下向き面との間にそれぞれ気体膜
を生成して、ワークを受台上に浮き上がらせる気体膜生
成手段とを備えるものが知られている。
例えば特開平４−１９９７３２号公報に記載されるよう
に、ワーク保持中心に対し開閉可能に配設された少なく
とも２つの爪と、該爪より突設されワーク保持中心側に
向かって延びる受台と、気体供給源から供給される気体
を吐出する気体吐出部を有し、各爪の閉じ位置で、気体
吐出部から吐出される気体により、爪内面と該爪内面に
対向するワーク外側面との間、及び受台上面と該受台上
面に対向するワークの下向き面との間にそれぞれ気体膜
を生成して、ワークを受台上に浮き上がらせる気体膜生
成手段とを備えるものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、そのような
ものでは、爪内面と該爪内面に対向するワーク外側面と
の間、及び受台上面と該受台上面に対向するワークの下
向き面との間の間隙はわずかであるため、爪の開閉動作
によるワークの挿入・離脱時に、ワークと受台とが干渉
するおそれがある。
ものでは、爪内面と該爪内面に対向するワーク外側面と
の間、及び受台上面と該受台上面に対向するワークの下
向き面との間の間隙はわずかであるため、爪の開閉動作
によるワークの挿入・離脱時に、ワークと受台とが干渉
するおそれがある。
【０００５】そこで、そのような間隙をある程度大きく
すれば、干渉しないと考えられるが、そのようにする
と、気体吐出部よりの気体の吐出量を多くする必要があ
り、このように吐出量が多い状態で安定した非接触状態
を保持することは困難である。
すれば、干渉しないと考えられるが、そのようにする
と、気体吐出部よりの気体の吐出量を多くする必要があ
り、このように吐出量が多い状態で安定した非接触状態
を保持することは困難である。
【０００６】本発明は、ワークとチャック部とが干渉を
生ずることなく、チャッキングできる非接触式チャック
装置を提供するものである。
生ずることなく、チャッキングできる非接触式チャック
装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを非接
触状態で保持する非接触式チャック装置であって、本体
に支持され、上方に開放された下側チャック部を有し、
開閉動作可能な１対の第１可動部材と、本体に支持さ
れ、下方に開放されかつ上記下側チャック部に対向する
上側チャック部を有し、左右に上下動可能である第２可
動部材と、上記両チャック部に形成され、これらに挟持
されるワークの上面及び下面に向けて流体を噴出する流
体噴出孔と、該流体噴出孔に流体を供給する流体供給手
段とを備える構成とする。
触状態で保持する非接触式チャック装置であって、本体
に支持され、上方に開放された下側チャック部を有し、
開閉動作可能な１対の第１可動部材と、本体に支持さ
れ、下方に開放されかつ上記下側チャック部に対向する
上側チャック部を有し、左右に上下動可能である第２可
動部材と、上記両チャック部に形成され、これらに挟持
されるワークの上面及び下面に向けて流体を噴出する流
体噴出孔と、該流体噴出孔に流体を供給する流体供給手
段とを備える構成とする。
【０００８】
【作用】下側チャック部でワークを持ち上げ、上側チャ
ック部で狭い間隙を介して挾み込み、そして流体による
浮上状態でワークを支持するようにし、ワークとチャッ
ク部との干渉が防止される。下側チャック部と上側チャ
ック部とで、ワークを囲むようにして保持するので、そ
の保持状態で、ワークを垂直姿勢にしたり、反転させる
こともできる。
ック部で狭い間隙を介して挾み込み、そして流体による
浮上状態でワークを支持するようにし、ワークとチャッ
ク部との干渉が防止される。下側チャック部と上側チャ
ック部とで、ワークを囲むようにして保持するので、そ
の保持状態で、ワークを垂直姿勢にしたり、反転させる
こともできる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
説明する。
【００１０】概略構成を示す図１及び図２において、１
は円板状のワークＷを非接触状態で保持する非接触式チ
ャック装置で、ハンド本体２に左右に開閉可能に支持さ
れ、下端部に上方に開放された下側チャック部３，３を
有する１対の第１可動部材４，４と、ハンド本体２に上
下動可能に支持され、下方に開放されかつ上記下側チャ
ック部３，３に対向する上側チャック部５を有する第２
可動部材６とを備える。
は円板状のワークＷを非接触状態で保持する非接触式チ
ャック装置で、ハンド本体２に左右に開閉可能に支持さ
れ、下端部に上方に開放された下側チャック部３，３を
有する１対の第１可動部材４，４と、ハンド本体２に上
下動可能に支持され、下方に開放されかつ上記下側チャ
ック部３，３に対向する上側チャック部５を有する第２
可動部材６とを備える。
【００１１】下側チャック部３，３は、内部に中空部３
ａ，３ａを有する中空形状で、ワークＷが係合する係合
部３ｂ，３ｂが形成され、該係合部３ｂ，３ｂが、外周
面に対応した形状の湾曲面３ｃ，３ｃと、ワークＷの下
面に対向する平坦面３ｄ，３ｄとを有する。そして、湾
曲面３ｃ，３ｃ及び平坦面３ｄ，３ｄにワークＷの外周
面及び下面に対し空気を噴出する空気噴出孔３ｆ，３
ｆ，３ｅ，３ｅが形成され、該空気噴出孔３ｅ，３ｅ，
３ｆ，３ｆが中空部３ａ，３ａに連通している。
ａ，３ａを有する中空形状で、ワークＷが係合する係合
部３ｂ，３ｂが形成され、該係合部３ｂ，３ｂが、外周
面に対応した形状の湾曲面３ｃ，３ｃと、ワークＷの下
面に対向する平坦面３ｄ，３ｄとを有する。そして、湾
曲面３ｃ，３ｃ及び平坦面３ｄ，３ｄにワークＷの外周
面及び下面に対し空気を噴出する空気噴出孔３ｆ，３
ｆ，３ｅ，３ｅが形成され、該空気噴出孔３ｅ，３ｅ，
３ｆ，３ｆが中空部３ａ，３ａに連通している。
【００１２】一方、上側チャック部５は、ワークＷに略
対応した形状を有し、下面中央部に凹部５ａが形成され
ている。そして、下面にワークＷの上面に空気を噴出す
る空気噴出孔５ｂ，５ｂが形成され、該空気噴出孔５
ｂ，５ｂが内部に形成された通路５ｃに連通されてい
る。
対応した形状を有し、下面中央部に凹部５ａが形成され
ている。そして、下面にワークＷの上面に空気を噴出す
る空気噴出孔５ｂ，５ｂが形成され、該空気噴出孔５
ｂ，５ｂが内部に形成された通路５ｃに連通されてい
る。
【００１３】上記両チャック部３，３，５にはそれぞれ
中空部３ａ，３ａ及び通路５ｃに連通する給気孔３ｇ，
３ｇ，５ｄが下面及び上面に形成され、該給気孔３ｇ，
３ｇ，５ｄに、空気噴出孔３ｅ，３ｅ，３ｆ，３ｆ，５
ｂ，５ｂにクリーンな空気を供給する流体供給手段とし
てのエアポンプ（図示せず）が接続されている。
中空部３ａ，３ａ及び通路５ｃに連通する給気孔３ｇ，
３ｇ，５ｄが下面及び上面に形成され、該給気孔３ｇ，
３ｇ，５ｄに、空気噴出孔３ｅ，３ｅ，３ｆ，３ｆ，５
ｂ，５ｂにクリーンな空気を供給する流体供給手段とし
てのエアポンプ（図示せず）が接続されている。
【００１４】上記のように構成すれば、第１可動部材
４，４が左右に拡がった状態で、第２可動部材６は上方
に位置する状態で、載置台Ｂ上のワークＷに接近する。
４，４が左右に拡がった状態で、第２可動部材６は上方
に位置する状態で、載置台Ｂ上のワークＷに接近する。
【００１５】それから、ワークＷの下面に沿うように第
１可動部材４，４を閉動作させて、下側チャック部３，
３の間隔を狭める。さらに、第２可動部材６が下降し
て、上側チャック部５がワークＷの上面に接近する。
尚、これらの動作が行われているときも、給気は常時行
われている。
１可動部材４，４を閉動作させて、下側チャック部３，
３の間隔を狭める。さらに、第２可動部材６が下降し
て、上側チャック部５がワークＷの上面に接近する。
尚、これらの動作が行われているときも、給気は常時行
われている。
【００１６】下側チャック部３，３と上側チャック部５
とにチャック部を上下に分離しているので、ワークＷと
チャック部３，３，５との間に生ずる間隙を広くしなく
ても、チャッキング時に、ワークＷとチャック部３，
３，５とが接触することがない。また、間隙を広くする
必要がないので、空気供給量を多くする必要もない。ま
た、非接触状態でチャッキングするので、発塵がなく、
ワークＷとの間の空気膜が薄くなるので、ワークＷの位
置決め精度もよくなる。
とにチャック部を上下に分離しているので、ワークＷと
チャック部３，３，５との間に生ずる間隙を広くしなく
ても、チャッキング時に、ワークＷとチャック部３，
３，５とが接触することがない。また、間隙を広くする
必要がないので、空気供給量を多くする必要もない。ま
た、非接触状態でチャッキングするので、発塵がなく、
ワークＷとの間の空気膜が薄くなるので、ワークＷの位
置決め精度もよくなる。
【００１７】そして、ワークＷとチャック部３，３，５
との間に空気膜が形成され、ワークＷが空気膜によって
囲まれ、チャック部３，３，５に対し浮上した状態とな
り、非接触状態でのチャッキングが行われる。
との間に空気膜が形成され、ワークＷが空気膜によって
囲まれ、チャック部３，３，５に対し浮上した状態とな
り、非接触状態でのチャッキングが行われる。
【００１８】このとき、ワークＷをそれの全方向におい
て空気膜を介して浮上させているので、ワークＷの保持
姿勢を変えて、ワークＷを垂直姿勢としたり、反転姿勢
としたりしても、ワークＷが脱落することもない。
て空気膜を介して浮上させているので、ワークＷの保持
姿勢を変えて、ワークＷを垂直姿勢としたり、反転姿勢
としたりしても、ワークＷが脱落することもない。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、上記のように、ワークを非接
触で保持するに当たり、下側チャック部と上側チャック
部とにチャック部を上下に分離しているので、ワークと
チャック部との間に生ずる間隙を広くしなくても、チャ
ッキング時に、ワークとチャック部とが干渉することが
ない。また、ワークとチャック部との間隙を広くする必
要がないので、空気供給量を多くする必要もなく、ワー
クＷとの間の空気膜が薄くなるので、ワークＷの位置決
め精度もよくなる。さらに、非接触状態でチャッキング
するので、発塵もない。
触で保持するに当たり、下側チャック部と上側チャック
部とにチャック部を上下に分離しているので、ワークと
チャック部との間に生ずる間隙を広くしなくても、チャ
ッキング時に、ワークとチャック部とが干渉することが
ない。また、ワークとチャック部との間隙を広くする必
要がないので、空気供給量を多くする必要もなく、ワー
クＷとの間の空気膜が薄くなるので、ワークＷの位置決
め精度もよくなる。さらに、非接触状態でチャッキング
するので、発塵もない。
【００２０】そして、ワークと上側及び下側チャック部
との間に空気膜が形成され、ワークが空気膜によって囲
まれて保持されるので、ワークの保持姿勢を変えて、ワ
ークを垂直姿勢としたり反転姿勢としたりしても、ワー
クが脱落することもない。
との間に空気膜が形成され、ワークが空気膜によって囲
まれて保持されるので、ワークの保持姿勢を変えて、ワ
ークを垂直姿勢としたり反転姿勢としたりしても、ワー
クが脱落することもない。
【図１】非接触式チャック装置の全体構成図である。
【図２】図１のII-II 線における断面図である。
1 非接触式チャック装置 2 ハンド本体 3 下側チャック部 3e 空気噴出孔（流体噴出孔） 3f 空気噴出孔（流体噴出孔） 4 第１可動部材 5 上側チャック部 5b 空気噴出孔（流体噴出孔） 6 第２可動部材
Claims (1)
- 【請求項１】 ワークを非接触状態で保持する非接触式
チャック装置であって、 本体に支持され、上方に開放された下側チャック部を有
し、左右に開閉動作可能な１対の第１可動部材と、 本体に支持され、下方に開放されかつ上記下側チャック
部に対向する上側チャック部を有し、上下動可能である
第２可動部材と、 上記両チャック部に形成され、これらに挟持されるワー
クの上面及び下面に向けて流体を噴出する流体噴出孔
と、 該流体噴出孔に流体を供給する流体供給手段とを備える
ことを特徴とする非接触式チャック装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3496993A JPH06246576A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 非接触式チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3496993A JPH06246576A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 非接触式チャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246576A true JPH06246576A (ja) | 1994-09-06 |
Family
ID=12428977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3496993A Withdrawn JPH06246576A (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | 非接触式チャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06246576A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6418999B1 (en) | 1997-12-26 | 2002-07-16 | Cannon Kabushiki Kaisha | Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method |
| KR20030083502A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-10-30 | 주식회사 디엠에스 | 분사 유체를 이용하는 액정 디스플레이 소자 제조방법 |
| WO2016177540A1 (de) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | Gea Food Solutions Germany Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum sortieren und/oder fördern von lebensmittelprodukten |
-
1993
- 1993-02-24 JP JP3496993A patent/JPH06246576A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6418999B1 (en) | 1997-12-26 | 2002-07-16 | Cannon Kabushiki Kaisha | Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method |
| US6521078B2 (en) | 1997-12-26 | 2003-02-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method |
| US6860963B2 (en) | 1997-12-26 | 2005-03-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Sample separating apparatus and method, and substrate manufacturing method |
| KR20030083502A (ko) * | 2002-04-23 | 2003-10-30 | 주식회사 디엠에스 | 분사 유체를 이용하는 액정 디스플레이 소자 제조방법 |
| WO2016177540A1 (de) * | 2015-05-07 | 2016-11-10 | Gea Food Solutions Germany Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum sortieren und/oder fördern von lebensmittelprodukten |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |