KR20070048937A - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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KR20070048937A
KR20070048937A KR1020050106030A KR20050106030A KR20070048937A KR 20070048937 A KR20070048937 A KR 20070048937A KR 1020050106030 A KR1020050106030 A KR 1020050106030A KR 20050106030 A KR20050106030 A KR 20050106030A KR 20070048937 A KR20070048937 A KR 20070048937A
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Abstract

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부, 상기 핸드부를 동작하는 아암부, 상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 웨이퍼 가이드를 포함하되, 상기 웨이퍼 가이드는 웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓, 그리고 상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼를 안착시키는 가이드부를 포함한다. 그리하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼와 실질적으로 접촉하여 마모되는 가이드부가 웨이퍼 이송 장치로부터 용이하게 탈착이 가능하므로, 웨이퍼 가이드 교체에 따른 유지 보수 시간을 감소시키고 작업자의 유지 보수 부담을 줄여준다.
웨이퍼 이송 장치, 웨이퍼 처리 장치, 로봇암, 웨이퍼 가이드, 가이드부, 가이드부재,

Description

웨이퍼 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFER WAFER}
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시한 단면(A-A')을 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 가이드의 구성 및 효과를 설명하기 위한 도면들이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 웨이퍼 이송 장치 130 : 웨이퍼 가이드
110 : 아암부 132 : 브라켓
120 : 핸드부 134 : 가이드부
122 : 파암 134a : 체결부재
124 : 제 1 핑거 136 : 체결부
126 : 제 2 핑거 138 : 고정부재
본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 양산공정에서 단위공정을 진행하기 위해서는 각각의 공정 특성에 맞는 복수의 설비들을 구비하게 되며, 이들 각기 다른 설비에는 웨이퍼의 이송을 위한 웨이퍼 이송 장치들을 구비한다.
반도체 제조 설비의 인터페이스에서 이송 장치는 로드락 챔버에서 웨이퍼 수납부재(예컨대, FOUP,카세트)로 또는 웨이퍼 수납부재에서 로드락 챔버로 웨이퍼를 이송시켜주는 역할을 한다.
이런 역할을 하는 웨이퍼 이송 장치는 내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부, 상기 핸드부를 동작하는 아암부를 포함한다. 상기 핸드부는 상기 핸드부로부터 연장되는 제 1 핑거 및 상기 제 1 핑거와 대칭되는 제 2 핑거를 포함하며, 상기 핸드부의 내주면에는 웨이퍼의 가장자리 일부가 안착되는 웨이퍼 가이드를 포함한다. 웨이퍼 가이드는 복수개가 구비되고, 상기 핸드부로부터 내측으로 연장되도록 형성되어 상부면에 웨이퍼의 가장자리 일부가 안착되도록 제작된다.
상술한 구성을 갖는 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 수행한다. 웨이퍼 이송장치가 상술한 공정을 수행하면, 웨이퍼가 안착되는 상기 웨이퍼 가이드에는 점차 마모가 진행된다. 웨이퍼 가이드가 마모되면, 웨이퍼의 하부면에 스크래치를 일으킬 수 있어 웨이퍼에 손상을 발생시킨다. 이를 방지하기 위해, 웨이퍼 가이드는 정기적으로 교체해주어야 한다.
그러나, 웨이퍼 가이드의 교체는 웨이퍼 이송 장치의 공정이 중단된 상태에서 진행되어야 하므로, 웨이퍼 가이드의 교체 시간을 줄여주는 것은 반도체 제조 공정의 효율을 높일 수 있다. 또한, 웨이퍼 가이드의 교체는 핸드부로부터 완전히 분리하여 이루어지는 작업이므로, 웨이퍼 가이드를 용이하게 교체할 수 있는 웨이퍼 이송 장치가 요구된다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 웨이퍼 가이드의 교체를 용이하게 수행할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 가이드의 교체시간을 단축할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부, 상기 핸드부를 동작하는 아암부, 상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 적어도 하나의 웨이퍼 가이드를 포함하되, 상기 웨이퍼 가이드는 웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓, 그리고 상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼의 가장자리 일부를 안착시키는 가이드부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 웨이퍼 가이드는 복수가 상기 핸드부에 배치된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드부는 상기 브라켓과 체결하기 위한 체결부를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 핸드부는 파암(palm) 및 상기 파암로부터 연장되는 제 1 핑거 및 상기 제 1 핑거와 대칭되는 제 2 핑거를 포함하고, 상기 웨이퍼 가이드는 상기 파암부 및 상기 제 1 핑거, 그리고 제 2 핑거 각각에 배치되어 웨이퍼를 안착시킨다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 상세히 설명한다. 본 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되서는 안 된다. 본 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
(실시예)
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치(100)는 아암부(110), 핸드부(120), 그리고 웨이퍼 가이드(130)를 포함한다. 아암부(110)는 핸드부(120)와 결합한다. 아암부(110)는 일단이 핸드부(120)와 결합되고, 타단은 구동부(미도시됨)와 결합된다. 그리하여, 아암부(110)는 상기 구동부에 의해 동작하여 핸드부(120)를 이동시킨다.
아암부(110)는 상기 구동부에 의해 작동되며, 아암부(110)의 작동에 의해 핸드부(120)는 웨이퍼의 로딩부(미도시됨) 및 언로딩부(미도시됨) 상호간에 이동된다. 이를 위해, 아암부(110)는 상기 구동부에 의해 핸드부(120)를 직선왕복 이동시 키거나, 소정의 회전운동을 병행할 수도 있다.
여기서 본 발명의 다른 실시예로서, 아암부(110)는 서로 연동되어 동작하는 복수의 아암(미도시됨)을 포함하는 구성일 수도 있다. 예컨대, 아암부(110)는 바(bar) 형상으로 제작되는 제 1 내지 제 3 아암을 포함하고, 각각의 상기 제 1 내지 제 3 아암은 끝단이 소정의 회전축에 의해 결합되어, 상기 제 1 내지 제 3 아암은 상기 회전축을 중심으로 소정의 회전운동하여 동작한다. 보다 상세하게 설명하면, 상기 제 1 아암의 일단은 핸드부(120)와 결합되고 타단은 상기 제 2 아암의 일단과 상기 회전축에 의해 체결되며, 상기 제 2 아암의 타단은 제 3 아암의 일단과 다른 회전측에 의해 체결된다. 또한, 제 3 아암의 타단은 상기 구동부(미도시됨)와 결합된다. 그리하여, 상기 제 1 내지 제 3 아암은 상기 구동부에 의해 서로 연동되어 회전 및 직선운동하고, 이러한 상기 제 1 내지 제 3 아암의 연동에 의해 핸드부(120)가 동작하는 것이다.
핸드부(120)는 파암(palm)(122), 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)을 포함한다. 파암(122)은 일측이 아암부(110)와 결합되고, 타측은 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)가 파암(122)으로부터 연장된다. 핸드부(120)는 내측에 웨이퍼(W)를 수용하는 공간을 제공하며, 이를 위해 상기 파암(122), 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)의 내주면은 웨이퍼(W)의 가장자리면과 상응하도록 형성된다.
또한, 파암(122)은 후술할 웨이퍼 가이드(130)가 결합된다. 즉, 웨이퍼 가이드(130)는 파암(122)의 내측으로부터 연장되도록 배치되어 웨이퍼(W)의 가장자리 일부가 안착되도록 한다. 웨이퍼 가이드(130)는 복수가 제공되며, 제 1 및 제 2 핑 거(124, 126)에 결합되는 웨이퍼 가이드(130)들과 서로 같은 구성 및 결합방식을 갖는다. 웨이퍼 가이드(130)에 대한 상세한 설명은 도 2를 참조하여 후술하겠다.
제 1 및 제 2 핑거(124, 126)는 파암(122)으로부터 연장된다. 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)는 내측에 웨이퍼가 수용될 수 있는 공간을 제공한다. 이를 위해, 제 1 핑거(124)는 아암부(110)의 일단으로부터 연장되되 내주면이 웨이퍼의 가장자리 면과 상응한 형상으로 제작되고, 제 2 핑거(126)는 아암부(110)의 타단으로부터 연장되되 제 1 핑거(124)와 대칭되도록 제작된다. 또한, 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)의 내측에는 후술할 웨이퍼 가이드(130)가 결합되어 웨이퍼가 안착되도록 한다. 그리하여, 제 1 및 제 2 핑거(124, 126)는 서로 마주보도록 제작되고, 사이에 웨이퍼를 수용하는 공간을 제공하며, 내측에 웨이퍼 가이드(130)가 결합되어 웨이퍼의 가장자리 일부가 안착되도록 한다.
웨이퍼 가이드(130)는 복수가 구비되어, 핸드부(120)의 내측에 배치되어 웨이퍼를 안착시킨다. 웨이퍼 가이드(130)에 대한 상세한 설명은 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.
이하 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 웨이퍼 가이드를 상세히 설명한다.
도 2는 도 1에 도시한 단면(A-A')을 도시한 단면도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 가이드(130)는 브라켓(132), 가이드부(134), 그리고 체결부(136)을 포함한다. 브라켓(132)은 핸드부(120)에 결합 및 고정된다. 예컨대, 브라켓(132)은 핸드부(120)의 파암(122), 제 1 및 제 2 핑거(124, 126) 각각에 결합되어 고정된다. 또한, 브라켓(132)에는 후술할 체결부(134)가 탈착가능하도록 체결된 다.
브라켓(132)은 소정의 고정부재(도 3의 참조번호(138))에 의해 핸드부(120)에 고정된다. 예컨대, 핸드부(120)에는 상기 고정부재(134a)가 삽입되는 홀이 형성되며, 브라켓(132)에는 상기 홀에 상응하는 고정홀이 형성되어 상기 고정부재(134a)가 상기 홀 및 상기 고정홀에 제공되어 브라켓(132)과 핸드부(120)가 결합된다. 상기 고정부재(138)는 볼트와 같은 결합수단을 포함한다.
가이드부(134)는 웨이퍼(W)의 가장자리 일부가 안착된다. 이때, 가이드부(134)는 핸드부(120) 일측에 결합되되, 핸드부(120)의 내측으로부터 소정의 구간이 연장되도록 체결된다. 가이드부(134)의 상부면은 실질적으로 웨이퍼(W)가 안착되는 부분이므로 웨이퍼(W)와 스크래치를 방지하는 재질로 제작되거나, 표면에 스크래치를 방지하는 재질로 코팅된다.
또한, 가이드부(134)는 핸드부(120)와 탈착가능하도록 체결되며, 이를 위해 가이드부(134) 일측에는 상술한 결합부(132)와 탈착가능하도록 체결되는 체결부(136)가 제공된다.
체결부(136)는 가이드부(134)의 일측으로부터 연장되어, 결합부(132)와 소정의 체결부재(도 3의 참조번호(134a)에 의해 체결된다. 즉, 체결부(136)는 일측이 가이드부(134)와 연결되어 있으며, 타측에는 상기 결합부(132)와 소정의 체결부재(134a), 예컨대, 볼트 등에 의해 체결될 수 있도록 체결홀이 형성된다. 그리하여, 체결부(136)는 상기 체결홀에 체결부재(134a)가 제공됨으로서 결합부(132)와 탈착가능하도록 체결된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치(100)는 웨이퍼(W)가 안착되는 가이드부(134)가 웨이퍼 가이드(130)의 결합부(132)로부터 탈착가능하다. 그러므로, 웨이퍼(W)와 잦은 접촉에 의해 마모되는 가이드부(134)를 용이하게 교체할 수 있다.
이하, 본 발명에 웨이퍼 가이드의 체결 과정 및 효과를 설명한다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 가이드의 구성 및 효과를 설명하기 위한 도면들이다. 도 3 내지 도 4를 참조하면, 웨이퍼 가이드(130)는 결합부(132)에 의해 핸드부(도 2의 참조번호(132))와 결합한다. 즉, 결합부(132)는 결합부재(138)에 의해 핸드부(120)와 결합 및 고정된다. 그리고, 결합부(132)와 가이드부(136)는 체결부(134)에 의해 서로 분리가능하도록 제작된다. 즉, 소정의 체결부재(134a)에 의해 결합부(132)와 체결부(134)가 탈착가능하도록 체결된다. 그러므로, 가이드부(136)는 결합부(132)와 용이하게 분리가 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 핸드부에 웨이퍼가 안착되도록 결합되는 웨이퍼 가이드들 중 실질적으로 웨이퍼와 접촉하는 가이드부만을 분리가능하도록 제작된다. 그리하여, 정기적인 웨이퍼 가이드의 교체에 있어서, 웨이퍼와 실질적으로 접촉하는 가이드부만을 교체해줌으로써 작업자의 유지 보수 부담을 줄여주고, 웨이퍼 가이드의 교체 비용을 감소시킬 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이 다. 예컨대, 본 실시예에서 웨이퍼 가이드의 가이드부의 배치 및 체결방식은 다양하게 응용될 수 있다.
본 발명의 기술적 사상은 웨이퍼 이송 장치에 있어서 실질적으로 웨이퍼와 접촉하는 가이드부만을 웨이퍼 이송 장치로부터 분리가능하도록 제작하여 가이드부의 교체를 용이하도록 함에 있다. 그러므로, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 이송하기 위한 다양한 방식의 로봇암 및 웨이퍼 처리 장치에 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼와 실질적으로 접촉하여 마모되는 가이드부가 웨이퍼 이송 장치로부터 용이하게 탈착이 가능하므로, 웨이퍼 가이드 교체에 따른 유지 보수 시간을 감소시키고 작업자의 유지 보수 부담을 줄여준다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼를 이송하는 장치에 있어서,
    내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부와;
    상기 핸드부를 동작하는 아암부와;
    상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 적어도 하나의 웨이퍼 가이드를 포함하되;
    상기 웨이퍼 가이드는,
    웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓과;
    상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼의 가장자리 일부를 안착시키는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 브라켓과 체결하기 위한 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140003992U (ko) * 2012-12-20 2014-06-30 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 유지 부재
KR101595885B1 (ko) * 2015-04-01 2016-02-19 주식회사 넥서스원 웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치

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