KR19990015097A - 광개시제 성분을 측쇄에 함유하는 감광성 수지조성물 - Google Patents

Abstract

본 발명은 터치패널의 도트 스페이서(DOT SPACER)용으로 사용되는 네가티브형 포토레지스트 제조에 사용되는 고감도 감광성 수지조성물에 관한 것으로서, 특히 고감도이고 알카리 수용액에서 현상이 가능하며 고내열성이고 패턴모양이 양호한 도트스페이서의 제조가 가능한 감광성 수지조성물에 관한 것이다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 특정구조를 지닌 단량체들을 중합시켜 얻어진 바인더 수지에 이소시아네이트기를 둘이상 함유하는 화합물과 하이드록시기를 하나이상 함유하는 화합물을 합성반응시켜 얻어진 광개시제 함유 화합물과 반응시켜 제조되는 감광성 수지와 다관능성아크릴레이트 올리고마 및 모노머, 다관능성티올계 화합물, 광중합개시제 및 증감제, 기타 첨가제 및 유기용제로 구성된 특징을 지닌 감광성 수지조성물을 제시하였으며, 이와 같이 본 발명에 따른 감광성 수지조성물을 터치패널의 도트 스페이서용으로 사용시 특히 우수한 성능을 나타낸다.

Description

광개시제 성분을 측쇄에 함유하는 감광성 수지조성물

본 발명은 터치패널(TOUCH PANEL)의 도트 스페이서(DOT SPACER)용으로 사용되는 네가티브형 포토레지스트 제조에 사용되는 고감도 감광성수지조성물에 관한 것으로서, 특히 고감도이고 알칼리 수용액에서 현상이 가능하며 고내열성이고 패턴 모양이 양호한 도트 스페이서의 제조가 가능한 감광성수지조성물에 관한 것이다.

기존에 사용되는 감광성수지조성물은 대체로 아크릴수지를 주성분으로 하는 바인더 수지에 다관능성 아크릴레이트 올리고머 및 모노머, 광중합개시제, 증감제, 열중합금지제, 유기용제 및 기타 첨가제로 구성되는데, 근래 들어서는 특히 고감도를 실현하는 방법으로 티올 및/또는 엔계 화합물을 첨가하는 방법등이 제안되어 있다.

그러나, 상기와 같은 조성물로 된 감광성 수지조성물의 경우 감도, 현상성과 같은 제반 물성면에서 그리 만족할만한 수준에는 이르고 있지 못한 실정이다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 감광성 수지조성물 중 바인더 수지에 직접 광반응화가 일어날 수 있는 광개시제 유도체를 도입하여 감도, 현상성 등의 제반물성이 우수한 특성을 지닌 감광성수지조성물을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.

본 발명은 하기식(1),(2),(3)으로 표현되는 단량체를 공중합시켜 제조되는 화합물을 바인더 수지로 하고 여기에 이소시아네이트기를 둘이상 함유하는 화합물과 하이드록시기를 하나이상 함유하는 화합물을 합성반응시켜 얻어지는 광개시제 함유 화합물과 반응시켜 제조되는 감광성 수지를 사용하는 것을 특징으로 한 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.

(여기서, R₁는 H, CH₃이며, n은 2, 3, 4이며,

R₂는 C가 1-5인 알킬, 페닐, 벤질, 또는 Br, 혹은 Cl이 치환된 벤질임)

이하에서 본 발명을 구체적으로 설명한다.

본 발명의 감광성수지조성물에서 사용하는 바인더수지는 상기의 단량체(1),(2),(3)을 사용하여 용액중합에 의해 중합하여 얻어지며, 두번째 반응으로서 둘이상의 이소시아네이트기를 함유하는 화합물 하나 이상과 하이드록시기를 하나 이상 함유하는 광개시제를 반응시켜 광개시제 함유 화합물을 합성한 후, 세번째 반응으로 상기 바인더 수지와 광개시제 함유 화합물을 반응시킴에 의해 본 발명에 따른 광개시제 성분을 함유하는 감광성 수지가 합성되는 것이며, 여기에 다관능성 아크릴레이트 모노머 및 올리고머, 다관능성티올계 화합물, 광중합 개시제 및 증감제, 기타 첨가제 및 유기용제를 혼합하여 감광성 수지조성물이 얻어지는 것이다.

화학식 (2)로 표현되는 단량체인 불포화 유기산으로서는 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산 등이 사용될 수 있으며, 화학식 (1)로 표현되는 불포화 유기산 에스테르로서는 메틸메타크릴레이트, 에틸메타크릴레이트, 프로필메타크릴레이트, 부틸메타크릴레이트, 2-에틸헥실메타크릴레이트, 라우릴메타크릴레이트, 스테아릴메타크릴레이트, 메톡시에틸메타크릴레이트, 에톡시에틸메타크릴레이트, 부톡시에틸메타크릴레이트, 시클로헥실메타크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, 메틸아미노메타크릴레이트, 메틸아크릴레이트, 에틸아크릴레이트, 프로필아크릴레이트, 부틸아크릴레이트, 2-에틸헥실아크릴레이트, 라우릴아크릴레이트, 스테아릴아크릴레이트, 메톡시에틸아크릴레이트, 에톡시에틸아크릴레이트, 부톡시에틸아크릴레이트, 시클로헥실아크릴레이트, 글리시딜아크릴레이트, 메틸아미노아크릴레이트, 아크릴로니트릴, 탄소수가 1이상인 지방족 알킬 아크릴레이트 또는 메타크릴레이트와 방향족 알킬 아크릴레이트 또는 메아크릴레이트 등이 사용가능하다. 방향족 알킬 아크릴레이트의 구체적인 예로서는 페닐 아크릴레이트, 2 또는 4-클로로페닐아크릴레이트, 2 또는 4-니트로페닐아크릴레이트, 2 또는 4-디메틸아미노페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트, 2 또는 4-클로로벤질아크릴레이트, 2 또는 4-니트로벤질아크릴레이트, 2 또는 4-디메틸아미노벤질아크릴레이트 등이 있고, 방향족 알킬 메타크릴레이트로는 페닐메타크릴레이트, 2 또는 4-클로로 페닐메타크릴레이트, 2 또는 4-니트로페닐메타크릴레이트, 2 또는 4-디메틸아미노페닐메타크릴레이트, 벤질메타크릴레이트, 2 또는 4-니트로벤질메타크릴레이트, 2 또는 4-디메틸아미노벤질메타크릴레이트 등이 있다. 또한 비닐기 1개와 수산기를 갖는 화합물(화학식 3)로는 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시옥틸(메타)아크릴레이트, N-메틸롤아크릴아미드, 알릴알콜 등이 사용될 수 있다.

이 때 각 단량체의 바람직한 사용 몰비는 화학식(1)의 단량체 10-70몰%, 화학식(2)의 단량체 10-70몰% 및 화학식(3)의 단량체 5-50몰% 범위이다.

본 발명에서 사용되는 이소시아네이트기를 둘이상 함유하는 화합물로서는 크실렌 디이소시아네이트, 2,4-톨루엔 디이소시아네이트, 2,6-톨루엔 디이소시아네이트, 4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트, 헥사메틸렌 디이소시아네이트, 이소포론 디이소이시아네이트, 수첨 4,4'-디페닐메탄 디이소시아네이트, 수첨 톨루엔 디이소시아네이트, 고급 다가 폴리이소시아네이트 화합물 등이 있으며, 하이드록시기를 하나 이상 함유하는 광개시제로는 벤조인, 1-하이드록시-시클로헥실-페닐 케톤, α,α-디메톡시-α-하이드록시 아세토페논, 1-(4-이소프로필레닐)-2-하이드록시-2-메틸-프로판-1-온, 1-[4-(2하이드록시에톡시)페닐]-2-하이드록시-2-메틸-프로판-1온, 올리고[2-하이드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]-프로파논, 메틸디에탄올아민, 트리에탈올아민 등이 있다.

본 발명의 감광성수지조성물은 전술한 방법에 의해 얻어지는 감광성수지 100중량부에 대하여 다관능성 아크릴레이트계 모노머 또는 올리고머를 5-150 중량부 첨가하고, 다관능성 티올계 화합물은 0.01-50중량부 범위에서 첨가할 수 있으며, 여기에 광중합개시제 및 증감제, 접착성향상제, 열중합금지제와 같은 첨가제와 유기용제를 소량 혼합하여 제조된다.

본 발명에서 사용되는 다관능성 아크릴레이트계 올리고머로는 올리고 에스테르 아크릴레이트, 에폭시 아크릴레이트, 우레탄 아크릴레이트 등이 있으며, 상기 올리고머를 단독으로 또는 둘이상을 혼합하여 사용할 수 있으며, 또한 다관능성 아크릴레이트계 모노머로는 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 1,3-부탄디올디아크릴레이트,. 1,4-시클로헥산디아크릴레이트, 트리메틸롤트리아크릴레이트, 트리메닐롤프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라아크릴레이트, 솔비톨트리아크릴레이트, 솔비톨테트라아크릴레이트, 솔비톨펜타크릴레이트, 솔비톨헥사크릴레이트, 테트라메틸렌 글리콜디메타크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 1,3-부탄디올디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨디메타크릴레이트, 솔비톨트리메타크릴레이트, 솔비톨테트라메타크릴레이트, 2-에틸헥사아크릴레이트, 2-히드록시에틸아크릴레이트 등을 사용할 수 있으며, 이들 단량체 이외에 이량체 및 삼량체와 같은 프리폴리머도 효과적으로 사용할 수 있다.

본 발명에서는 다관능성 티올계 화합물을 이용하여 고감도를 실현하고 있는데, 즉 티올계 화합물을 이용한 광경화수지 조성물은 일반적인 방향족 케톤이나 기타 여러 다른 종류의 라디칼 광개시제를 이용하여도 경화시 산소에 의해 영향을 받지 않는 매우 우수한 물성의 감광성 포토레지스트를 제조할 수 있다. 이러한 다관능성 티올 화합물로서는 글리콜 디머캅토아세테이트, 트리메틸올프로판 트리스(3-머캅토프로피오네이트), 트리메틸올프로판 트리스(2-머캅토프로피오네이트), 트리메틸올프로판 트리스(2-머캅토아세테이트), 펜타에리트리톨 테트라키스(티오글리콜레이트), 펜타에리트리톨 테트라키스(2-머캅토아세테이트), 알킬머캅탄, 에틸렌글리콜 디머캅토프로피오네이트, 트리티오시아누릭 애시드(1,3,5-트리아진-2,4,6-트리티올), 3-디티오페닐 에테르, 1,3-디메티오메틸벤젠, 펜타에리트리톨 테트라키스 머캅토 프로피오네이트, 1,4-부탄디티올, 1,5-펜탄디티올, 1,6-펜탄디티올, 테트라 메틸렌글리콜-비스-머캅토 프로피오네이트, 1,6-헥실디올-비스-머캅토 프로피오네이트, 펜타에리트리톨 비스 머캅토 프로피오네이트, 펜타에리트리톨 트리스 머캅토 프로피오네이트, 트리메틸롤프로판 비스머캅토 프로피오네이트, 트리메틸롤프로판 트리스머캅토 프로피오네이트, 디펜타에리트리톨 트리스머캅토 프로피오네이트, 솔비톨 트리스머캅토 프로피오네이트, 솔비톨테트라키스 머캅토 프로피오네이트, 솔비톨 헥사키스 머캅토 프로피오네이트, 디티오에틸테레프탈레이트, 1,6-헥산디올 디티오에틸에테르, 1,5-펜탄디올 디티오에틸에테르, 펜타에리트리톨-테트라-(β-티오에틸에테르) 등이 있다. 상기 티올계 화합물의 가교기구는 노광받은 부분에서의 다관능성 폴티올과 폴리엔 화합물이 반응하여 선형 및 입체형 망목구조를 형성함으로서 원하는 패턴 형성을 얻을 수 있는 방법으로, 이 가교기구는 산소에 의한 광개시속도의 감소가 없어 공기중에서 보호막(산소차단막)없이도 고감도를 실현할 수 있는 장점이 있다.

광중합 개시제 및 증감제로는 벤조페논계, 아세토페논계, 티오크산톤계 등의 화합물들을 하나이상 혼합 사용할 수 있으며, 그 구체적인 예로서는 벤질, 벤조인, 벤조일메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 벤질디메틸케탈, 벤질디에틸케탈, 벤질디메톡시에틸케탈, 2,2'-디에톡시아세토페논, 2,2'-디부톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸프로리오페논, p-t-부틸트리클로로아세토페논, p-t-부틸디클로로아세토페논, 벤조페논, 4-클로로아세토페논, 4,4'-디클로로벤조페논, o-벤조일안식향산메틸, 3,3'-디메틸-2-메톡시벤조페논, 4-벤조일-4' 메틸페닐, 티오크산톤, 2-클로로티오크산톤, 2-메틸티오크산톤, 2-이소부틸티오크산톤, 2-도데실티오크산톤, 2,4-디메틸티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-에틸안트라퀴논, 2-프로필안트라퀴논, 2,2-디클로로-4-페녹시아세토페논, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모포리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모폴리노페닐)-부탄-1-온, p-디메틸아미노안식향산이소아밀에스테르, p-디메틸아미노안식향산, p-디메틸아미노안식향산메틸에스테르, p-디메틸아미노안식향산에틸에스테르, p-디메틸아미노안식향산부틸에스테르, p-디메틸아니노안식향산이소펜틸에스테르, o-디메틸아미노안식향산에틸에스테르, p-디메틸아미노아세토페논, 4,4-디메틸아미노벤조페논, 4,4'-디에틸아미노벤조페논, 9-플로오레논, 2-클로로-9-플루오레논, 2-메틸-9-플루오레논, 9-안트론, 2-브로모-9-안트론, 2-에틸-9-안트론, 9,10-안트라퀴논, 2-에틸-9,10-안트라퀴논, 2-t-부틸-9,10-안트라퀴논, 2,6-디클로로-9,10-안트라퀴논, 크산톤, 2-메틸-크산톤, 2-메톡시크산톤, 디벤즈알락톡, p-(디메틸아미노)페닐스티릴케톤, p-(디메틸아미노)페닐-p-메틸스티릴케톤, p-(디메틸아미노)벤조페논(또는 미쉘케톤), p-(디에틸아미노)벤조페논, 벤즈안트론, 벤조티아졸 화합물 등이 있다. 또한 증감제로서 포스핀 및 포스페이트계 화합물을 소량 첨가함으로서 광중합속도를 유효하게 빠르게 할 수도 있다. 그 구체적인 예로서는 트리-o-톨릴포스핀, 트리-m-폴리포스핀, 트리-p-톨릴포스핀, 트리톨릴포스페이트 등이 있다. 상기 화합물들은 특히 경화된 수지의 기계적 물성 향상에 크게 영향을 주는데, 즉, 경화된 수지의 유리 전이 온도를 상당히 높여줄 뿐더러, 산소의 광중합 억제 효과를 거의 완전히 제거할 수 있는 특징을 가지고 있다. 한편, 산발생 광개시제를 사용할 수도 있는데, 이의 예로는 오늄염, 트리아진계 유도체 등이 있다.

본 발명의 감광성수지조성물은 안료분산물이 첨가되지 않는 상태에서는 포토리소그라피 공정기술을 활용하여 터치 패널의 도트 스페이서 제조에 사용되어 질 수 있으며, 또한 이 감광액에 안료, 고분자분산제, 안료유도체 분산제, 계면활성제, 소포제, 레벨링제, 슬립제, 유기용제 등이 함유되어 있는 안료분산조성물을 적당량으로 혼합 사용하면 칼라필터 제조에도 이용할 수가 있다.

본 발명에 의한 감광성수지 조성물은 유리기판위에 수미크론에서 수십미크론까지의 막두께로 도포시키기 위해 용제로 희석하여 사용한다. 용제로서는 시클로헥사논, 에틸셀로솔브아세테이트, 부틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸벤젠, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 에틸에톡시프로피오네이트, 크실렌, 에틸셀로솔브, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 에틸프로피오네이트, 메틸-3-메톡시 프로피오네이트, 2-헵타논, 3-메톡시부틸 아세테이트 등을 단독 또는 혼합하여 사용한다. 이외에 저장안정성을 위해 중합금지제로서 하이드로퀴논, 하이드로퀴논 모노메틸에테르 등을 조금 가하거나, 접착성 향상제로서 벤즈이미다졸, 2-메캅토 벤즈이미다졸, 벤즈티아졸, 벤조옥사졸, 2-머캅토 벤조옥사졸, 벤조트리아졸이나 각종의 실란커플링제 등을 소량 첨가할 수 있다.

본 발명의 감광성수지 조성물은 유리기판위에 스핀 코팅, 롤 코팅 등의 도포방법에 의해 도포되며, 건조된 막은 소정의 패턴을 갖는 네가의 마스크를 접촉 또는 비접촉을 통하여 자외선 노광을 행한다. 이후 알칼리 현상액에 침적 또는 스프레이에 의한 분무로 미경화부를 제거하는 포토리소그라피공정을 행한다. 또한, 감광성수지의 중합을 촉진하기 위해 가열하는 것도 필요에 따라 행한다. 본 발명의 현상액은 알칼리 현상액으로서 탄산소다, 가성소다 등의 수용액이 사용될 수 있다.

다음의 실시예 및 비교실시예는 본 발명을 좀 더 구체적으로 설명하는 것이지만, 이들로부터 본 발명이 제한되는 것은 아니다.

(실시예 1-4)

첫번째 반응으로서 화학식 1, 2, 3으로 각각 표현되는 표 1의 단량체(1),(2),(3)을 아래의 표1과 같은 몰비로 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 용매로 하고 아조비스이소부티로니트릴을 개시제로 하여 90℃에서 5시간 반응시켜 바인더수지를 합성하였으며, 두번째 반응으로서 표2와 같이 40℃에서 스태너스옥토에이트 0.1몰% 첨가하여 이소시아네이트기와 하이드록시기를 합성반응시켜 화합물을 얻었으며, 세번째 반응으로서 첫번째 반응물과 두번째 반응물을 90℃에서 스태너스옥토에이트 0.5몰% 첨가하여 반응시켜 표3과 같은 4종류의 감광성수지를 얻었다. 이 수지를 이용하여 실시예1-4에 해당하는 감광액을 표4와 같이 조액하였다. 본 발명의 감광성수지조성물은 총고형분이 20중량%가 되도록 제조하여 점도가 1000센티포아즈가 되도록 유기용제를 가하여 소정의 기판 위에 스핀 코팅 또는 코팅으로 수에서 수십미크론까지의 두께를 가지는 막을 형성시키고 건조한 후 마스크를 통하여 포토리소그라피법으로 원하는 패턴을 형성시키고 각종 평가를 실시하였다.

단위 : 몰
	수지(1)	수지(2)	수지(3)	수지(4)
단량체(1)	벤질메타크릴레이트 70	벤질아크릴레이트 50	메틸메타크릴레이트 30	메틸메타크릴레이트 50
단량체(2)	이타콘산10	메타크릴산20	메타크릴산30	아크릴산40
단량체(3)	히드록시에틸아크릴레이트20	히드록시부틸메타크릴레이트30	히드록시프로필아크릴레이트40	히드록시에틸메타크릴레이트10

	합성물(1)	합성물(2)	합성물(3)	합성물(4)
이소시아네이트계 화합물	2,4-톨루엔디이소시아네이트	이소포론디이소시아네이트	크실렌디이소시아네이트	헥사메틸렌디이소시아네이트
하이드록시계광개시제	벤조인	1-하이드록시-시클로헥실-페닐케톤	1-(4-이소프로필페닐)-2-하이드록시-2-메틸-프로판-1-온	올리고[2-하이드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]-프로파논

	감광성수지(1)	감광성수지(2)	감광성수지(3)	감광성수지(4)
합성예1의수지	수지(1)	수지(2)	수지(3)	수지(4)
합성예2의합성물	합성물(1)	합성물(2)	합성물(3)	합성물(4)

감광성수지조성물	실시예1	실시예2	실시예3	실시예4
감광성수지(1)감광성수지(2)감광성수지(3)감광성수지(4)펜타에리트리톨테트라아크릴레이트펜타에리트리톨테트라키스(2-머캅토아세테이트)P-(디메틸아미노)벤조페논2,4-디에틸티오산톤트리-O-톨릴포스핀γ-글리시독시프로필트리메톡시실란히드로퀴논프로필레글리콜모노메틸에테르아세테이트	36.00---5.001.005.003.990.500.500.0148.00	-25.00--13.003.005.003.992.000.100.0148.00	--40.00-3.001.003.002.990.800.200.0148.00	---20.006.0015.001.997.003.001.000.1046.00

(비교실시예 1)

벤질메타크릴레이트와 메타크릴산 공중합수지(73:27몰비)에 펜타에리트리톨테트라크릴레이트, 4-p-N,N-(클로로에틸)페닐-2,6-디(디클로로메틸)-s-트리아진, 하이드로퀴논모노메틸에테르 및 에틸셀로솔브아세테이트를 혼합하여 감광성 수지조성물을 얻고 또한 이 감광액에 안료분산물을 첨가하고 각종 물성을 평가하였다.

상기의 실시예와 비교실시예에 의해 제조된 감광성수지조성물을 내열성, 분광특성, 해상도, 수분 저항성, 저장 안정성, 색재현성, 감광도, 내약품성, 점착성, 열수축율, 균일도포성 등의 평가를 행한 결과, 본 발명에 따른 실시예에 의해 얻어진 감광성수지조성물을 사용하는 것이 기존의 조성물(비교실시예)를 사용한 경우보다 전반적으로 모든 물성면에서 우수한 성능을 나타내었으며, 특히 수지자체에 광개시제유도체를 도입하고 또한 산소방해효과가 전혀 없는 고감도의 경화제를 채용함에 의해 감도면에서 기존보다 월등히 우수한 특성을 나타내는 것으로 나타났으며, 이러한 본 발명에 따른 감광성수지조성물은 터치 패널의 도트 스페이서용에서 특히 우수한 성능을 나타내는 등의 유용한 효과가 있다.

Claims (5)

1. 하기 화학식 (1),(2),(3)으로 표현되는 단량체를 공중합하여 얻어지는 바인더 수지를 이소시아네이트기를 둘이상 함유하는 화합물과 하이드록시기를 하나이상 함유하는 화합물의 합성반응으로 얻어지는 광개시제 함유 화합물과 반응시켜 제조되는 감광성수지와 다관능성아크릴레이트 올리고머 및 모노머, 다관능성 티올계 화합물, 광중합 개시제 및 증감제, 기타 첨가제 및 유기용제로 구성된 것임을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.

   (화학식 1)

   (화학식 2)

   (화학식 3)

   (여기서, R₁는 H, CH₃이며, n은 2, 3, 4이며,

   R₂는 C가 1-5인 알킬, 페닐, 벤질, 또는 Br, 혹은 Cl이 치환된 벤질임)
2. 제 1 항에 있어서, 바인더수지에 사용되는 각 단량체의 반응몰비를 화학식(1)의 단량체 10-70몰%, 화학식(2)의 단량체 10-70몰% 및 화학식(3)의 단량체 5-50몰% 범위에서 사옹하는 것을 특징으로 하는 감광성수지조성물.
3. 제 1 항에 있어서, 다관능성 아크릴레이트계 올리고머로 올리고에스테르아크릴레이트, 에폭시아크릴레이트, 우레탄아크릴레이트 중에서 선택된 단독 또는 2이상의 혼합물이 사용되는 것을 특징으로 하는 감광성수지조성물.
4. 제 1 항에 있어서, 다관능성 아크릴레이트계 올리고머는 감광성수지 100중량부에 대하여 5-150중량부 범위에서 사용하는 것을 특징으로 하는 감광성수지조성물.
5. 제 1 항에 있어서, 다관능성 티올계 화합물은 감광성 수지 100중량부에 대하여 0.01-50중량부 범위에서 사용되는 것을 특징으로 하는 감광성수지조성물.