KR19980702610A - 적층형 근접장 광헤드 및 광정보기록재생장치 - Google Patents

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KR19980702610A
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도시미치 신타니
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가나이 츠토무
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Abstract

광디스크장치 및 그것을 사용하는 광정보처리장치에 관한 것으로서, 초고밀도이고 또한 소형의 공기록장치를 제공하는 것으로서, 반도체레이저, 광검출기, 격자소자, 커버층 등으로 이루어지는 초소형의 광헤드가 부상슬라이더상에 탑재되어 있는 구성으로 하였다.
이렇게 하는 것에 의해, 초고기록밀도의 광기록장치용 광헤드를 소형으로 구성하는 것이 가능하고, 이것을 부상 슬라이더에 탑재하고, 초점어긋남의 조정이 불필요한 광기록장치를 구성하는 것이 가능하게 된다.

Description

적층형 근접장 광헤드 및 광정보기록재생장치
광디스크장치는 지금까지 대용량의 가환(교체가능)매체로서 주목받아 왔다. 그러나, 최근의 자기디스크장치의 급속한 대용량화의 진전에 따라 1Gb/평방인치와 거의 동등하게 되고, 또 그 대용량화의 진전속도의 차로 인해 근래 수년동안 기록밀도의 점에서 자기디스크장치에 추월당한 것은 확실한 상황으로 되어 있다. 광디스크장치에 있어서의 기록마크의 크기는 대략 식 2로 나타내어진다.
[식 2]
여기서, λ는 기록재생에 사용하는 레이저광의 파장, NA는 개구수이고, 광축과 렌즈에 의해 집광되는 광중 광축과 최대의 각도를 이루는 광선의 광축에 대한 각도 θ를 사용해서 NA=sinθ로 나타내어진다. 그래서, 종래 광디스크장치의 고밀도화는 사용하는 반도체레이저광의 단파장화, 집광렌즈의 고NA화를 중심으로 미소한 정보기록마크를 형성하는 기술 및 광스폿직경보다 작은 정보기록마크를 정밀도 좋게 재생하는 기술의 4가지의 방향에서 추진되어 왔다. 제1의 접근에 대해서는 최근 Ⅱ-Ⅵ족의 반도체에 의한 녹색레이저의 실온연속발진, 갈륨질소계의 Ⅲ-Ⅴ족 반도체에 의한 청색 발광다이오드의 제품화등 획기적인 진보가 있고, 제3, 제4의 접근도 착실한 진보를 이루고 있지만, 이들을 종합해도 겨우 1자리수의 기록밀도향상이 도모되는 정도라고 추정되고 있다. 이 근본적인 원인은 광의 회절현상에 의해 광을 파장보다 작게 할 수 없기 때문이다.
이 한계를 타파하여 기록밀도를 현상보다 2자리수 향상시키는 방법으로서 근접장(감쇠장(evanescent field)을 이용한 광기록재생방법이 주목받고 있다. 예를 들면, Applied Physics Lettes, Vol. 61, No. 2, pp. 142-144, 1992에 기재되어 있는 바와 같이, 광파이버의 선단을 콘형상으로 가공하고, 그 선단의 수10㎚의 영역 이외를 금속의 피막으로 피복한 프로브를 제작하고, 이것을 피에조소자를 사용한 정밀액츄에이터에 탑재해서 위치를 제어하여 직경60㎚의 기록마크를 백금/코발트의 다층막상에 기록재생한 예가 보고되어 있다. 이 예의 경우, 기록밀도는 45Gb/평방인치에 달하며 현상의 약 50배로 할 수 있다. 또, 최근 Applied Physics Lettes, Vol. 65, No. 4, pp. 388-390, 1994에는 도 2에 도시한 고체액침렌즈(Solid Immersion Lens 이하, SIL이라 한다)를 사용해서 실효적으로 개구수 NA를 높히는 것에 의해 원리적으로 40Gb/평방인치를 달성할 수 있는 것이 보고되어 있다.
본 발명은 광디스크장치 및 그것을 사용한 광정보처리장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 1실시예를 도시한 단면도
도 2는 본 발명에서 사용하는 렌즈계와 종래의 SIL의 동작을 비교한 도면
도 3은 본 발명의 다른 실시예를 도시한 도면
도 4는 초점어긋남, 트랙어긋남 신호 발생용의 회절격자의 1예를 도시한 도면
도 5는 초점어긋남을 도시한 도면
도 6은 초점어긋남, 트랙어긋남 신호의 발생회로를 도시한 도면
도 7은 광자기검출용의 신호검출회로를 도시한 도면
도 8은 본 발명의 위치맞춤, 액세스구성계를 도시한 도면
도 9는 본 발명의 광헤드, 구성계를 탑재한 드라이브장치의 개념도
[발명의 개시]
그러나, 상기 종래예에는 다음과 같은 과제가 있다.
우선, 제1의 광프로브를 사용하는 예에서는 신호레벨이 작은 것을 들 수 있다.
상기 제1의 종래예에서는 검출파워는 불과 100㎻정도로 극히 작아 광디스크장치에 사용할 수 있는 레벨은 아니다. 이것을 개선하기 위해 예를 들면 Applied Physics Lettes, Vol. 63, No. 26, pp. 3550-3552, 1993에서는 Nd도프의 파이버레이저를 사용해서 45㎽의 입력에 의해 금의 반사막에 대해 0.3㎽의 출력을 얻는 데에는 성공하고 있지만, 파이버레이저를 사용하기 때문에 공진주파수가 92㎑로 작아 고속의 정보전송이 불가능하다는 문제가 발생하고 있다.
한편, 제2의 SIL을 사용하는 종래예에서는 SIL이외의 부분은 종래의 광학계를 그대로 사용할 수 있고, 재생신호 및 서보신호의 검출방식도 종래방식을 답습할 수 있으므로, 제1의 종래예와 달리 신호레벨, 전송속도 등 기본적인 성능은 종래형의 광디스크장치로 손색없다. 그러나 도 2에 도시한 바와 같이, 구형상의 SIL(21)을 매체로 매우 근접해서 설치할 필요가 있고, 우선 첫번째로 대물렌즈(22)와 SIL(21)의 위치맞춤이 곤란하다는 과제가 있다. 두번째로, SIL은 직경 0.3㎜로 극히 작으므로 그 실장방법에 과제가 있다. 세번째로, SIL은 광기록매체(23)에 거리 100㎚정도로 매우 근접해서 설치할 필요가 있으며 종래의 포커싱 서보방법은 사용할 수 없다. 따라서, 포커싱 서보를 필요로 하지 않는 구동기구가 필요하다는 과제가 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해 본 발명에서는 다음과 같은 수단을 강구한다.
우선, 기판, 상기 기판상 또는 상기 기판내 또는 상기 기판에 밀착해서 형성된 반도체레이저, 상기 반도체레이저에서 출사한 광을 집광하는 렌즈, 상기 렌즈에 대해 반도체레이저와는 반대측에서 입사하는 상기 집광광에 공액인 광을 상기 반도체레이저와는 다른 위치로 분기하는 분기수단 및 상기 분기수단에 의해서 분기된 광을 수광하는 광검출기에 의해서 구성된 광헤드에 있어서, 상기 렌즈를 적어도 2개 이상의 렌즈와 이 렌즈를 매립하는 고굴절율 재료로 구성하고, 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 이 고굴절율재료와 공기의 계면에 있어서의 전체반사각보다 크게 되도록 상기 렌즈계를 설계한다. 또, 집광렌즈를 격자렌즈에 의해서 구성한다.
또, 상기 광헤드의 상기 반도체레이저의 출사측 공진기미러와 집광렌즈의 공극을 투명재료로 충전하고, 일체구조로 한다. 또는 반도체레이저로서 공진기를 기판에 대해 수직방향으로 형성한 면발광형의 반도체레이저를 사용한다.
또, 상기 광헤드의 집광렌즈의 구경을 1㎜이하로 한다. 또, 상기 광헤드에 있어서 광출사측의 표면에 세라믹막을 코팅한다.
또, 광헤드에 있어서, 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 θmax, 반도체레이저의 파장이 λ, 고굴절율재료의 굴절율이 n일 때, 광기록매체를 상기 고굴율재료에서 식 1로 표시되는 거리d의 범위에 설치한다.
또, 상기 광헤드를 부상 슬라이더상에 탑재한다. 또는 또 광헤드 자신을 부상슬라이더로서 사용한다.
또, 상기 광헤드, 부상슬라이더, 광정보기록매체로 이루어지는 광정보기록재생장치를 구성하고, 또 광기록매체, 적층형 근접장 광헤드, 상기 광헤드를 이동시키는 액츄에이터, 그들을 내부에 포함하고 외기와 차단하는 케이스를 일체로 해서 떼어낼수 있도록 한다.
상기 수단은 다음과 같이 작용한다.
기판, 상기 기판상 또는 상기 기판내 또는 상기 기판에 밀착해서 형성된 반도체레이저, 상기 반도체레이저에서 출사한 광을 집광하는 렌즈, 상기 렌즈에 대해 반도체레이저와는 반대측에서 입사하는 상기 집광광에 공액인 광을 상기 반도체레이저와는 다른 위치로 분기하는 분기수단 및 상기 분기수단에 의해서 분기된 광을 수광하는 광검출기에 의해서 구성된 광헤드에 있어서, 상기 렌즈를 적어도 2매 이상의 렌즈와 상기 렌즈를 매립하는 고굴절율재료에 의해 구성하고, 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 상기 고굴절율재료와 공기와 계면에 있어서의 전체반사각보다 크게 되도록 상기 렌즈계를 설계하고, 특히 집광렌즈를 격자렌즈에 의해서 구성하고, 반도체 프로세스기술을 사용해서 제작가능하게 하는 것에 의해 SIL과 동등한 NA향상효과를 얻음과 동시에 렌즈계의 위치맞춤을 불필요하게 하고 또한 실장을 극히 용이하게 한다.
또, 상기 광헤드의 상기 반도체레이저의 출사측 공진기미러와 집광렌즈와의 공극을 투명재료로 충전하고, 일체구조로 한다. 또는, 또 반도체레이저로서 공진기를 기판에 대해 수직방향으로 형성한 면발광형 반도체레이저를 사용하는 것에 의해 모든 광학부품을 반도체레이저가 형성되어 있는 기판상에 적층해서 일괄형성하고, 전체 광학부품의 위치맞품도 불필요하게 하고 또한 광헤드의 대폭적인 소형화를 실현할 수 있다.
또, 상기 광헤드의 집광렌즈의 구경을 1㎜이하로 하는 것에 의해 수차에 대한 렌즈의 가공오차, 조정오차를 대폭으로 경감하고 실제로 격자렌즈의 사용을 가능하게 한다.
또, 상기 광헤드에 있어서 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 θmax, 반도체레이저의 파장이 λ, 고굴절율재료의 굴절율이 n일 때, 광기록매체를 상기 고굴절재료에서부터 식 1로 표시하는 거리d의 범위에 설치하는 것에 의해 감쇠광의 투과효율을 높이고 보다 작은 광스폿을 얻을 수 있다.
[식 1]
dλ/{2π√(n2sin2θmax-1)}
또, 상기와 같은 초소형의 적층형 광헤드를 실현하는 것에 의해 광헤드를 슬라이더상에 탑재할 수 있게 된다. 이것에 의해 포커싱 서보를 불필요하게 할 수 있다.
[발명의 실시하기 위한 최량의 형태]
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 사용해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예이다. 면발광레이저(1)에서 출사한 레이저광은 충전층(2)에 입사되는 콜리메이터렌즈(11)에 의해 평행하게 되고, 굴절율이 다른 그 밖의 재료로 구성된 격자소자(3)를 투과한다. 이것에 의해 약간의 광이 회절되지만 이것은 불필요하게 된다. 격자를 투과한 광은 제1, 제2의 격자렌즈(4), (5)에 의해 회절된 후, 또 제3의 격자렌즈(6)에 의해 집광된다. 이 때, 광축과 집광된 광이 이루는 최대각 θmax는 커버층(7)의 단면에 있어서의 전체반사각보다 큰 값으로 되어 있다. 또한, 커버층(7)의 단면은 렌즈계의 초점위치에 설정되어 있다. 또, 커버층(7)의 단면에서 약간 떨어진 근접장(近接場)영역에 광기록매체(8)을 배치하면, 전체반사각 θc이하의 각도로 입사해 온 광뿐만 아니라 θc이상의 각도로 입사해 온 광도 일부 투과하여 실효적으로 NA가 커지고, 보다 작은 스폿(9)에 집광된다. 광기록매체(8)로부터의 반사광은 렌즈계(4), (5), (6)을 재차 투과하고, 격자소자(3)에 의해서 회절되고, 면발광레이저(1)에 인접해서 마련된 포토다이오드(10)상에 집광되고 재차 신호 및 서보신호가 검출된다.
이하, 실시예 1의 동작에 대해서 도 2에 의해 더욱 상세하게 설명한다. 도 2b에 본 실시예와 도 2a에 도시한 종래의 SIL의 동작을 비교해서 설명한다.
종래의 SIL에서는 대물렌즈(22)의 집광점 부근에 SIL(21)을 설치한다. 대물렌즈(22)의 NA를 NA=sinθ0으로 한다. SIL(21)의 굴절율을 n, 반경을 r로 한다. 또, SIL(21)의 하부를 중심에서부터 길이 r/n의 위치까지 연마해서 깎고, SIL(21)의 중심을 대물렌즈(22)의 촛점위치에서부터 nr의 위치에 설치한다. 이때, 집광된 광은 SIL표면에서 굴절되고, 연마면(23)의 한점에 집광된다. 입사각을 θ1, 굴절각을 θ2로 하면, 스넬의 법칙(Snell's rule)에 의해 sinθ1=n·sinθ2가 성립한다. 삼각형의 상사에 의해 θ2=θ0, θ1=θmax로 된다. 따라서, 스폿직경은 식 3과 같이 나타내어진다.
[식 3]
이것에 의해, 실효적으로 NA가 n배로, 또 스폿직경이 1/n2로 된다. λ=780㎚, 대물렌즈(22)의 NA=0.5, n=1.9로 하면, 실효 NA는 0.95로, 스폿직경 σ=430㎚으로 되며 SIL을 사용하지 않은 경우에 비해 약 1/3.6으로 된다. 단, 지금까지는 전체반사각 θc=sin-1(1/n) 이상의 각도에서 입사한 광은 투과할 수 없으므로, SIL의 근접장영역에 광기록매체(8)을 배치하고, θc이상의 각도로 입사하는 광도 추출하는 것이 가능하게 된다.
한편, 본 실시예에서 사용한 격자렌즈에 있어서 NA는 전적으로 격자의 주기로 결정된다. 예를 들면, 제1의 격자렌즈는 평면파를 구면파로 변경하는 것으로 하고, 그 초점거리를 f1, 커버층(6)의 굴절율을 n1로 하면, 중심에서 m번째의 홈의 주기는 근사적으로 식 4로 나타내어진다.
[식 4]
본 실시예에서, 렌즈직경 0.1㎜, λ=780㎚, NA=0.5, n1=1.5로 하면, f1=0.086㎜이므로 렌즈의 홈의 최소주기는 890㎚로 된다. 이것은 통상의 리도그래피 프로세스에 의해 제작할 수 있는 주기이다.
다음에, 제2의 격자렌즈와 제1의 격자렌즈와의 거리를 a, 제1 및 제2의 격자렌즈의 2개의 렌즈계의 초점거리를 f2로 하면, 중심에서 m번째의 홈의 주기는 근사적으로 식 5로 나타내어진다.
[식 5]
a=0.04㎜, f2=0.024㎜로 하면, 렌즈의 최소의 홈의 주기는 680㎚이고, 통상의 리도그래픽 프로세스에 의해 제작할 수 있는 주기이다. 또, 제3의 격자렌즈와 제2의 격자렌즈와의 거리를 b, 3개의 격자렌즈의 합성렌즈의 초점거리를 f3, 최상 커버층의 굴절율을 n2로 하면, 중심에서 m번째의 홈의 주기는 마찬가지로 식6으로 나타내어진다.
[식 6]
b=0.02㎜, f3=0.02㎜, n2=1.9로 하면, 렌즈의 최소의 홈의 주기는 550㎚이고, 통상의 리도그래피 프로세스에 의해 제작할 수 있는 주기이다. 합성의 NA는 0.91, 스폿직경은 450㎚로 종래형의 SIL을 사용한 경우와 대략 동등하게 된다. 즉, 본 실시예에서는 2장의 현실적으로 제작가능한 격자렌즈를 사용해서 SIL을 사용하는 것과 동등한 NA 및 스폿직경을 실현하고 있다.
또, 본 실시예에서는 종래의 SIL을 사용하는 방식에 대해 다음과 같은 장점이 있다. 상기한 바와 같이 통상의 SIL에서는 구렌즈를 중심에서부터 r/n의 거리까지 연마하지 않으면 안된다. 초점어긋남△z가 존재해도 충분히 양호한 상이 얻어지는 범위, 즉 초점심도는 예를 들면 오노우에 모리오 편의 디스크기술(라디오기술자)의 60페이지에 의하면 식 7에 의해 얻어진다.
[식 7]
SIL을 사용하는 상기 예의 렌즈계에서는 NA는 0.95로 매우 크므로, △z=430㎚으로 매우 작다. 그러나, 연마에 의해서 구형상렌즈의 치수를 이 범위내에 맞추는 것은 극히 곤란하다. 또, 대물렌즈와 SIL의 위치맞춤정밀도도 대략 이 레벨이며, 위치맞춤, 또 위치맞춤후의 대물렌즈, SIL의 실장, 고정도 또한 극히 곤란하다. 이것에 대해 본 실시예에서는 △z=450㎚로 매우 작지만, 제작시에 커버층(6)을 CVD법 등의 박막성장법에 의해 2㎛성장시키면 좋다. 박막성장에서는 100㎚의 제어는 용이하고, 충분히 상기 초점심도내에 커버층(6)의 표면위치를 오도록 하는 것이 가능하다. 또, 3개의 격자렌즈의 거리 86㎛, 20㎛도 적당한 후막성장장치에 의해 성장가능하고, 또 매우 고정밀도로 상호의 거리를 제어하는 것도 가능하다.
또, 상기와 같은 구성은 수차에 관한 렌즈의 가공오차, 조정오차를 상대적으로 경감할 수 있다는 특징을 갖는다. NA가 일정한 상태에서 렌즈구경을 작게한다는 것은 광학계를 상사적으로 축소한다는 것에 상당한다. 광학계를 축소하면 수차도 상사적으로 축소되지만, 그곳을 통과하는 광의 파장은 축소되지 않으므로 파장에 대한 수차량은 이 배율만큼 작아진다. 광학계의 허용수차량은 통상 파장에 의해서 결정되므로 렌즈의 가공오차와 조정오차의 허용량도 크게 취할 수 있다.
예를 들면, 본 실시예에서는 면발광레이저(1)에서 출사한 1/e2의 반폭, 약 10°의 광을 레이저에서 거리 0.284㎜의 위치에 있는 콜리메이터렌즈에 의해서 평행하게 하므로, 빔의 직경은 0.1㎜로 통상 광학계의 1/10이하이고, 상기 효과는 현저하게 된다고 고려된다. 간단화를 위해 제1의 격자렌즈(4)에 대해서 고찰한다. 격자렌즈의 구면수차W는 입사광선의 높이를 h로 하면, 식 8에 의해 얻어진다.
[식 8]
W=Ah4
여기서, 특히 문제로 되는 입사광선의 파장의 변동에 수반되는 소위 색수차를 고려하면, 파장이 λ에서 λ+△λ로 된 경우, 식 8은 식 9로 된다.
[식 9]
반도체레이저의 파장변동량은 5㎚정도이므로, 본 실시예의 경우 최대의 광선높이 h=0.05㎜에 대해 0.013λ로 되며 광기록장치에 사용하는 것이 충분히 가능한 수차량으로 된다. 이것은 광선의 광축으로부터의 기울기에 의해서 생기는 코머수차등 그 밖의 수차에도 적용되어 본 광학계가 큰 가공오차나 조정오차의 허용량을 갖고 있는 것을 나타내고 있다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예를 도시한 도면이다. 본 발명에서는 제1 실시예중의 3매의 격자렌즈가 1매의 격자렌즈(31)(초점거리 0.02, NA 0.90)로 구성되어 있고, (31)상에 커버층(6)이 20㎛정도 후막형성법에 의해 제작되어 있다. 격자렌즈의 최소주기는 208㎚이며 포토리도그래피기술에서는 제작이 곤란하므로 전자빔리도그래피법을 사용해서 제작한다. 따라서, 현재의 가공기술의 수준에서는 스루풋의 관점에서 실시예 1쪽이 실현하기에는 용이하지만, 장래, 전자빔리도그래피법의 스루풋에 대폭적인 개선이 보여지는, 실시예 2는 보다 간결한 구성이고 이점이 많이 생길 것으로 예상된다.
또한, 지금까지의 실시에에서는 면발광형의 반도체레이저를 사용하고 있었지만, 통상의 단면(端面)발광형의 반도체레이저를 사용해도 물론 좋다. 또, 반도체레이저와 광검출기는 종래와 같이 각각의 부품을 실장하는 방식이라도 상기 효과는 변함없다.
도 4에 각종 신호검출용의 격자(3)와 포토다이오드(10)의 구성예를 도시한다. 격자(3)은 중앙선을 경계로 해서 양측모두 45°기울어지고, 서로 직교한 직선형상의 회절격자이다. 포토다이오드(10)은 광기록매체로부터의 반사광의 양측 각각의 회절격자에 의한 +1차광을 수광할 수 있도록 4개소에 배치되어 있다. 각각의 포토다이오드는 격자의 분할방향과 수직으로 또 2분할되어 있다. 또, 상기 분할선은 기록매체의 기록홈과 평행한 방향으로 배치되어 있다.
도 5는 포토다이오드에 의한 초점어긋남의 검출의 예를 도시한 도면이다. 4개의 검출기 각각에 입사하는 광의 후초점시(rear focus), 합초점시(in-focus), 전초점(front focus)시의 분포광을 나타낸다. 이것에 의해 4분할된 검출기 각각에 대해서는 2분할 포토다이오드의 출력의 차를 취하면 초점어긋남신호를 검출할 수 있다. 종래의 벌크광학부품을 어셈블리하는 경우에 크게 문제로 되는 포토다이오드의 조정정밀도는 본 실시예에서는 광축과 수직방향은 포트마스크의 정밀한 위치결정에 의해 충분히 대응할 수 있고 또 광축방향의 조정정밀도는 박막 내지 후막의 정밀한 막두께제어로 대응할 수 있다. 따라서, 종래와 같은 번잡한 부품위치조정은 불필요하게 된다.
또, 트랙어긋남신호는 광기록매체의 군으로부터의 회절광분포의 불균일로부터 얻어진다. 즉, 좌우양측의 격자(3)에 입사하는 광양의 차를 취한다.
도 6에 초점어긋남신호와 트랙어긋남신호의 제작방법을 도시한다. 트랙어긋남신호는 도면중 상단좌측 2개 및 하단우측 2개의 합과 하단좌측 2개 및 상단우측 2개의 합과의 차로서 얻어진다.
검출신호는 광기록매체가 컴팩트디스크와 같은 ROM매체 또는 상변화매체인 경우에는 전체 포토다이오드로부터의 출력의 총합을 취한다.
광자기신호를 검출하는 경우에는 또 도7과 같이 한다. 즉, 상기 포토다이오드상에 면발광레이저(1)의 편광방향(71)과 +45°경사진 방향에 투과편광방향을 갖는 편광자(偏光子)를 부착한다. 신호는 그들 편광자의 아래에 배치된 분할 포토다이오드의 출력의 합의 차를 취하는 것에 의해서 검출할 수 있다.
본 실시예가 종래예 도 2과 크게 다른 그 밖의 점으로서 광헤드의 크기가 매우 작은 것을 들 수 있다. 즉, 본 실시예에서는 면발광레이저(1)에서 커버층(7)까지 불과 0.4-0.5㎜의 크기이다. 따라서, 도 1에 도시한 광헤드를 케이스에 넣어 이것을 부상슬라이더상에 탑재하는 것이 가능하다.
도 8에 본 발명의 적층형의 광헤드를 부상형 슬라이더에 탑재한 예를 도시한다. (81)은 본 발명의 적층형 광헤드, (82)는 실장시에 광헤드와 광기록매체와의 거리를 미조절하기 위한 구동소자, (83)은 자기디스크용의 슬라이더, (84), (85)는 지지용 암, (86)은 암을 광기록매체의 트랙방향으로 미동시키기 위한 구동기구, (87)은 헤드스윙암, (88)은 슬라이더를 액세스하기 위한 구동기구이다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 광헤드에서는 초점심도는 고작 +200㎚정도이다. 현재의 표준적인 자기디스크장치의 부상량은 약70-80±10㎚이므로, 광헤드를 상기 초점심도내에 유지하면서 부상시키는 것은 충분히 가능하다. 단, 본 광헤드는 자기헤드와는 달리 자기슬라이더 중에 매립되어 있지는 않으므로, 연마에 의해서 헤드면을 노출시키는 것은 곤란하다. 여기서, 본 실시예에서는 광헤드(81)을 ±10㎚정도의 분해능을 갖는 구동기구, 예를 들면 압전소자(82)상에 탑재하고, 장치구동시에 상기의 초점어긋남 검출신호를 사용해서 부상량의 미세조정을 실행하고 상기 초점심도내에 광헤드위치를 유지한다. 일단, 위치제어가 종료하면, 그 후에는 슬라이더의 부상에 의해 광헤드의 위치는 ±10㎚이하의 변동으로 유지되고, 다이나믹한 초점어긋남 보정은 불필요하게 된다. 광헤드의 트랙킹동작은 상술한 트랙어긋남 출력신호를 사용해서 (86)의 미동기구에 의해 실행한다. 이와 같은 간단한 자기디스크와 마찬가지인 구동계가 사용되는 이유는 본 실시예의 광헤드가 일괄 적층된 극히 소형이고 경량인 광헤드이기 때문이며, 종래의 SIL을 사용하는 광헤드에 없는 특징이다.
도 9는 본 광헤드, 트랙킹 액츄에이터를 내장한 디스크패키지의 실시예를 도시한 도면이다. 외기와 내부를 차단하는 박스(91)내에는 광헤드, 슬라이더, 트랙킹, 액세스 구동기구가 수납되고, 박스 외부에는 전원입력단자. 신호단자를 구비한다. 이것을 (92)로 나타내는 기록, 재생장치에 삽입하는 것에 의해 정보의 기록/재생을 실행한다. 이와 같은 자기디스크장치와 동일한 밀폐구조로 하는 것에 의해 커버유리를 불필요하게 하고, 먼지를 차단해서 근접장 부상형의 광디스크장치를 실현할 수 있다.
이상에 의해, 본 발명에 의하면, 복잡한 신호처리, 광기록매체 구조를 사용하지 않아도 현상의 파장 780㎚의 반도체레이저를 사용해서 비트피치 400㎚, 트랙피치 400㎚, 면기록밀도 4Gbit/inch2을 달성할 수 있다. 장래의 청색광원을 사용하면, 또 4배의 16Gbit/inch2을 달성할 수 있다. 또, 상기 실시예에서는 커버층으로서 굴절율 1.9의 유리층을 사용하고 있지만, 예를 들면 굴절율이 2.5정도인 Ⅱ-Ⅵ족의 반도체를 사용하면, 상기와 같이 스폿직경은 커버층의 굴절율에 반비례하므로 기록밀도는 또 28Gbit/inch2로 할 수 있다. 이와 같이 본 발명에서는 커버층의 굴절율을 크게 취하는 것에 의해 고밀도화도 한층 가능하게 된다. 종래의 SIL은 구형상의 렌즈(21)을 형성할 필요가 있고 유리의 초석재(saltpeter material)의 굴절율의 상한이 19정도이므로, 그 이상의 고굴절율 물질을 사용하는 것은 매우 곤란하다.
이 점에서도 본 발명의 종래의 SIL을 사용하는 광헤드에 비해 큰 이점이 있다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 초고기록밀도의 광기록장치용의 광헤드를 소형으로 구성하는 것이 가능하고, 이것을 부상 슬라이더에 탑재하고, 초점어긋남의 조정이 불필요한 광기록장치를 구성하는 것이 가능하게 된다.

Claims (10)

  1. 기판, 상기 기판상 또는 상기 기판내 또는 상기 기판에 밀착해서 형성된 반도체레이저, 상기 반도체레이저에서 출사한 광을 집광하는 렌즈, 상기 렌즈에 대해 반도체레이저와는 반대측에서 입사하는 상기 집광광에 공액인 광을 상기 반도체레이저와는 다른 위치로 분기하는 분기수단 및 상기 분기수단에 의해서 분기된 광을 수광하는 광검출기에 의해서 구성된 광헤드에 있어서,
    상기 렌즈가 고굴절율 재료에 의해 매립되어 있고, 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 상기 고굴절율재료와 공기의 계면에 있어서의 전체반사각보다 큰 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    집광렌즈가 격자렌즈에 의해서 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반도체레이저의 출사측 공진기미러와 집광렌즈의 공극을 투명재료로 충전하고, 일체구조로 한 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  4. 제1항~제3항 중 어느 한항에 있어서,
    반도체레이저가 공진기를 기판에 대해 수직방향으로 형성한 면발광형의 반도체레이저인 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  5. 제1항~제4항 중 어느 한항에 있어서,
    집광렌즈의 구경이 1㎜이하인 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  6. 제1항~제5항 중 어느 한항에 있어서,
    광출사측의 표면에 세라믹막을 코팅한 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드.
  7. 기판, 상기 기판상 또는 상기 기판내 또는 상기 기판에 밀착해서 형성된 반도체레이저, 상기 반도체레이저에서 출사한 광을 집광하는 렌즈, 상기 렌즈에 대해 반도체레이저와는 반대측에서 입사하는 상기 집광광에 공액인 광을 상기 반도체레이저와는 다른 위치로 분기하는 분기수단 및 상기 분기수단에 의해서 분기된 광을 수광하는 광검출기에 의해서 구성된 광헤드에 있어서, 상기 렌즈가 고굴절율 재료에 의해 매립되어 있고, 상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 각의 최대값이 상기 고굴절율재료와 공기의 계면에 있어서의 전체반사각보다 큰 것을 특징으로 하는 적층형 근접장 광헤드에 의해 광기록매체의 액세스를 실행하는 광기록재생장치에 있어서,
    상기 렌즈에 의해 집광되는 광선과 광축이 이루는 최대값이 θmax, 반도체레이저의 파장이 λ, 고굴절율재료의 굴절율이 n일 때, 광기록매체가 상기 고굴절재료에서부터 다음식으로 표시되는 거리d의 범위에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 광기록재생장치.
  8. 청구항 7에 기재된 적층형 근접장 광헤드가 부상슬라이더상에 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 광기록재생장치.
  9. 청구항 7에 기재된 적층형 근접장 광헤드 자신을 부상슬라이더로서 사용하는 것을 특징으로 하는 광기록재생장치.
  10. 제7항에 있어서,
    광기록매체, 적층형 근접장 광헤드, 상기 광헤드를 이동시키는 액츄에이터 및 그들을 내부에 포함하고 외기와 차단하는 케이스를 일체로 해서 분리시키는 것을 특징으로 하는 광기록재생장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100429841B1 (ko) * 2001-07-19 2004-05-04 삼성전자주식회사 Ｇｒｉｎ 렌즈를 구비하는 광 기록헤드
KR100752815B1 (ko) * 2005-02-11 2007-08-29 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 한정된 광 전력 전달과 개선된 광 전송 효율성을 위한시스템

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5910940A (en) * 1996-10-08 1999-06-08 Polaroid Corporation Storage medium having a layer of micro-optical lenses each lens generating an evanescent field
WO1998036409A1 (fr) * 1997-02-17 1998-08-20 Seiko Epson Corporation Procede d'enregistrement magnetique
US6167016A (en) * 1997-04-11 2000-12-26 Aerial Imaging Corporation Optical head with a diffractive lens for focusing a laser beam
US6564009B2 (en) 1997-05-19 2003-05-13 Sony Corporation Apparatus for recording and/or reproducing data onto and/or from an optical disk and method thereof
WO1998058370A1 (en) * 1997-06-16 1998-12-23 Digital Papyrus Corporation Planar proximity lens element and disk drive using same
US6307827B1 (en) * 1997-08-29 2001-10-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical device and information recording and reproducing device
JPH11110812A (ja) * 1997-10-06 1999-04-23 Fujitsu Ltd 光磁気記録媒体及び光学的情報記憶装置
US6396789B1 (en) * 1998-02-27 2002-05-28 Calimetrics, Inc. Data storage system and methods using diffractive near-field optics
US6407975B1 (en) * 1998-03-16 2002-06-18 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Of Tokyo Optical disk drive
US6154326A (en) * 1998-03-19 2000-11-28 Fuji Xerox Co., Ltd. Optical head, disk apparatus, method for manufacturing optical head, and optical element
JP4109744B2 (ja) * 1998-03-24 2008-07-02 セイコーインスツル株式会社 近視野光ヘッド
US20080128844A1 (en) * 2002-11-18 2008-06-05 Tessera North America Integrated micro-optical systems and cameras including the same
US6426829B1 (en) 1998-03-26 2002-07-30 Digital Optics Corp. Integrated micro-optical systems
AU3365699A (en) * 1998-03-26 1999-10-18 Digital Optics Corporation Integrated micro-optical systems
KR100297764B1 (ko) * 1998-04-27 2001-08-07 윤종용 고밀도 기록/재생 가능한 광픽업장치
US6687196B1 (en) 1998-05-08 2004-02-03 Fuji Xerox Co., Lt.D. Method and apparatus for implementing high density recording on a recording medium and a method of manufacturing same
JP4020229B2 (ja) * 1998-05-11 2007-12-12 セイコーインスツル株式会社 近視野光学ヘッド
JP3426962B2 (ja) 1998-05-19 2003-07-14 株式会社日立製作所 光ヘッドおよびそれを用いた光学的情報記録再生装置
US6229782B1 (en) * 1998-07-06 2001-05-08 Read-Rite Corporation High numerical aperture optical focusing device for use in data storage systems
US6377535B1 (en) * 1998-07-06 2002-04-23 Read-Rite Corporation High numerical aperture optical focusing device having a conical incident facet and a parabolic reflector for use in data storage systems
JP4020225B2 (ja) * 1998-10-27 2007-12-12 セイコーインスツル株式会社 近視野光プローブ
US6324131B1 (en) * 1999-01-04 2001-11-27 Seagate Technology Llc Low glide magneto-optical recording medium
TW480479B (en) * 1999-02-25 2002-03-21 Hitachi Ltd Optical information processor
WO2000074048A1 (fr) 1999-05-31 2000-12-07 Fujitsu Limited Tete d'enregistrement, procede de fabrication d'une tete d'enregistrement, et dispositif d'enregistrement de donnees
KR100700509B1 (ko) * 1999-10-20 2007-03-28 엘지전자 주식회사 근접장 광 기록 재생 시스템의 트랙킹 장치
US6351443B1 (en) * 1999-11-04 2002-02-26 Industrial Technology Research Institute Diffractive stack pickup head for optical disk drives and method to fabricate the pickup head
US7265439B1 (en) * 1999-11-30 2007-09-04 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Low cost, high speed, high efficiency infrared transceiver
KR100657252B1 (ko) 2000-01-20 2006-12-14 삼성전자주식회사 근접장 기록재생용 광헤드 및 그 제조방법
US7177550B1 (en) * 2001-01-24 2007-02-13 Ball Aerospace & Technologies Corp. On-axis laser receiver wavelength demultiplexer with integral immersion lensed detectors
US7526158B2 (en) * 2001-02-07 2009-04-28 University Of Rochester System and method for high resolution optical imaging, data storage, lithography, and inspection
JP2003016683A (ja) * 2001-06-29 2003-01-17 Ricoh Co Ltd 光ピックアップ装置及び積層光学素子の作成方法及び光ディスクドライブ装置
JP2003057420A (ja) * 2001-08-08 2003-02-26 Minolta Co Ltd 光収束用光学素子
KR100813945B1 (ko) 2001-08-13 2008-03-14 삼성전자주식회사 광픽업장치 및 이에 적용되는 기록매체
US6914723B2 (en) * 2001-11-09 2005-07-05 Xradia, Inc. Reflective lithography mask inspection tool based on achromatic Fresnel optics
US6917472B1 (en) 2001-11-09 2005-07-12 Xradia, Inc. Achromatic fresnel optics for ultraviolet and x-ray radiation
JP2003156834A (ja) * 2001-11-19 2003-05-30 Fuji Photo Film Co Ltd 近接場光露光用マスク、露光装置および露光方法
CN1308918C (zh) 2002-01-07 2007-04-04 希捷科技有限公司 在数据存储介质上记录信息的写入头、磁盘驱动器存储系统和方法
EP1489440A4 (en) * 2002-03-18 2007-02-07 Nikon Corp OPTICAL BENDING ELEMENT AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE AND OPTICAL ESTABLISHMENT
US8059345B2 (en) 2002-07-29 2011-11-15 Digitaloptics Corporation East Integrated micro-optical systems
DE10303927B4 (de) * 2003-01-31 2005-03-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Sonde für ein optisches Nahfeldmikroskop mit verbesserter Streulichtunterdrückung und Verfahren zu deren Herstellung
JP4195352B2 (ja) * 2003-09-10 2008-12-10 三星エスディアイ株式会社 発光素子基板およびそれを用いた発光素子
JP4703108B2 (ja) * 2003-09-10 2011-06-15 三星モバイルディスプレイ株式會社 発光素子基板およびそれを用いた発光素子
US20050063431A1 (en) * 2003-09-19 2005-03-24 Gallup Kendra J. Integrated optics and electronics
JP2005144561A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Seiko Epson Corp 近接場光プローブ、近接場光の取出し方法並びに近接場光を用いた加工方法
JP4387982B2 (ja) 2005-05-24 2009-12-24 富士通株式会社 光照射素子および情報記録再生装置
US7830770B1 (en) 2006-03-15 2010-11-09 Emc Corporation Techniques for storing and retrieving data using a sphere-shaped data storage structure
WO2007145120A1 (ja) * 2006-06-13 2007-12-21 Panasonic Corporation 複合光学素子
JP5147693B2 (ja) * 2006-06-13 2013-02-20 パナソニック株式会社 複合光学素子
US7768657B2 (en) * 2007-08-07 2010-08-03 Seagate Technology Llc Optical fly height measurement
US8325566B2 (en) * 2009-03-19 2012-12-04 Tdk Corporation Thermally-assisted magnetic recording head having a light source at least inclined from an opposed-to-medium surface
US8194509B2 (en) * 2009-07-30 2012-06-05 Tdk Corporation Thermally-assisted magnetic recording head comprising light source with photonic-band layer
US8526575B1 (en) 2009-08-12 2013-09-03 Xradia, Inc. Compound X-ray lens having multiple aligned zone plates
JP5397200B2 (ja) * 2009-09-18 2014-01-22 ソニー株式会社 熱アシスト磁気ヘッド及び記録再生装置
US8223596B2 (en) * 2009-10-19 2012-07-17 Tdk Corporation Thermally-assisted magnetic recording head with plane-emission type light source
US8441895B2 (en) * 2009-11-20 2013-05-14 Tdk Corporation Thermally-assisted magnetic recording head with light detector in element-integration surface
US8654617B2 (en) 2012-03-21 2014-02-18 Tdk Corporation Thermally-assisted magnetic recording head with optically isolating waveguide, head gimbal assembly, head arm assembly, magnetic disk unit, and light transmission unit

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5125750A (en) * 1991-03-14 1992-06-30 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Optical recording system employing a solid immersion lens
US5121256A (en) * 1991-03-14 1992-06-09 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Lithography system employing a solid immersion lens
US5361244A (en) * 1991-04-10 1994-11-01 Hitachi, Ltd. Optical head and information recording apparatus
JPH0534129A (ja) * 1991-07-31 1993-02-09 Satoshi Kawada 光学プローブ
US5422870A (en) * 1991-09-27 1995-06-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical pickup for information recording/reproducing apparatus
US5199090A (en) * 1992-03-06 1993-03-30 Hewlett-Packard Company Flying magnetooptical read/write head employing an optical integrated circuit waveguide
US5410468A (en) * 1992-06-26 1995-04-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical pick-up apparatus
DE4404635C2 (de) * 1993-02-17 1998-06-18 Hitachi Ltd Schwimmender optischer Abtastkopf, der integral mit einer Lichtquelle und einem Photodetektor ausgebildet ist, und optisches Plattengerät mit einem solchen
FR2724042B1 (fr) * 1994-08-30 1997-01-03 Thomson Csf Systeme d'ecriture/lecture optique d'un support d'enregistrement et application a un disque d'enregistrement
US5835458A (en) * 1994-09-09 1998-11-10 Gemfire Corporation Solid state optical data reader using an electric field for routing control
JPH0954971A (ja) * 1995-08-11 1997-02-25 Sony Corp 光学ピックアップおよび再生装置
US5602820A (en) * 1995-08-24 1997-02-11 International Business Machines Corporation Method and apparatus for mass data storage

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100429841B1 (ko) * 2001-07-19 2004-05-04 삼성전자주식회사 Ｇｒｉｎ 렌즈를 구비하는 광 기록헤드
KR100752815B1 (ko) * 2005-02-11 2007-08-29 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 한정된 광 전력 전달과 개선된 광 전송 효율성을 위한시스템

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