KR19980069167A - 웨이퍼 운반용 캐리어 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 운반용 캐리어 구조에 관한 것으로, 웨이퍼의 공정온도 변화에 따라 달리 사용되는, 메탈과 테프론을 지지부재의 수용부에 착탈식으로 교체 장착하여 캐리어의 교체비용을 절감시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조에 관한 것이다.

이를 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 운반용 캐리어 구조는, 반도체 웨이퍼를 보관/운반할 수 있도록 내부에 일정 간격으로 복수개의 지지부재가 형성된 캐리어에 있어서, 상기 캐리어의 몸체 내측면부에 일정간격으로 형성된 걸림턱과, 상기 걸림턱과 대응되게 일측 단부에 안내홈이 형성되어, 상기 걸림턱에 장착되는 지지부재를 포함한다.

Description

웨이퍼 운반용 캐리어 구조

본 발명은 웨이퍼 운반용 캐리어 구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 공정온도 변화에 따라 달리 사용되는, 메탈과 테프론을 지지부재의 수용부에 착탈식으로 교체 장착하여 캐리어의 교체비용을 절감시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼용 캐리어는 공정과 공정사이에서 반도체 웨이퍼를 이송할 때 사용되는 일종의 용기로써, 이 캐리어 내에는 복수개의 반도체 웨이퍼가 상호 격리된 상태로 수용되며, 반도체 웨이퍼는 차기 공정이 진행되고 있지 않을 때에는 항상 반도체 웨이퍼용 캐리어 내에 담겨져, 외부 환경의 이물질로부터 적절히 보호된다.

이와 같은 반도체 웨이퍼용 캐리어는, 단지 반도체 웨이퍼의 운송/보관 용도로 사용되며, 각 공정별로 적정 온도에 따른 고온용 메탈 캐리어(Metal Carrier)와, 저온용 테프론 캐리어(Teflon Carrier)로 분리 사용된다.

종래의 웨이퍼 운반용 캐리어(10) 구조는, 도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(20)의 공정단계가 교체되면서 웨이퍼(20)를 보관 운반하기 위하여, 웨이퍼(20)의 저면 일측면을 지지할 수 있도록 내면 양측에 일정간격으로 지지부재(30)를 형성하고, 이 지지부재(30)와 지지부재(30) 사이의 간격은 웨이퍼(20)를 장착 탈거시 불편함이 없도록 소정 간격으로 형성한다.

전술한 지지부재(30)는, 캐리어(10) 본체와 일체형으로 형성되고, 고온의 웨이퍼(20) 공정 단계에서 사용될 수 있도록 하는 메탈재질로 형성되거나, 저온의 웨이퍼(20) 공정 단계에서 사용될 수 있도록 하는 테프론재질로 형성된다.

그러나 이와 같은 종래의 웨이퍼 운반용 캐리어 구조는, 웨이퍼를 가공하는 공정마다 온도에 따라 메탈재질로 형성된 캐리어와, 테프론재질로 형성된 캐리어를 교체하여야 하기 때문에 교체 시에 불편함을 초래하는 문제점이 있었다.

또한, 메탈용과 테프론용의 캐리어를 별도로 제작하여야 하므로 제작원가가 상승하는 단점이 있었다.

따라서, 본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 웨이퍼의 공정 온도 변화에 따라 메탈과 테프론재질을 교체하여 대처할 수 있도록 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조를 제공하는 것에 있다.

도 1은 종래의 캐리어 내부의 지지부재를 나타낸 단면도,

도 2는 본 발명에 의한 지지부재의 지지편에 놓여진 웨이퍼를 나타낸 단면도,

도 3은 본 발명의 캐리어에 장착되는 지지부재를 나타낸 분해 단면도이다.

*도면의 주요부분에 사용된 부호의 설명*

100: 캐리어200: 웨이퍼

300: 지지부재400: 지지편

전술한 본 발명의 목적은, 반도체 웨이퍼를 보관/운반할 수 있도록 내부에 일정 간격으로 복수개의 지지부재가 형성된 캐리어에 있어서, 상기 캐리어의 몸체 내측면부에 일정간격으로 형성된 걸림턱과, 상기 걸림턱과 대응되게 일측 단부에 안내홈이 형성되어, 상기 걸림턱에 장착되는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조를 제공함에 의해 달성된다.

본 발명의 바람직한 특징에 의하면, 상기 지지부재는, 상기 웨이퍼의 온도와 상응되게 메탈과 테프론재질의 일정크기로 각각 형성된 지지편과, 상기 지지편과 대응되게 상기 지지부재의 상단 소정부에 홈형상의 수용부를 형성한다.

본 발명의 다른 특징과 효과는, 이하 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명할 본 발명의 바람직한 실시예에 의해 더욱 명확해질 것이다.

도 2는 본 발명에 의한 지지부재의 지지편에 놓여진 웨이퍼를 나타낸 단면도, 도 3은 본 발명의 캐리어에 장착되는 지지부재를 나타낸 분해 단면도이다.

본 실시예에 의한 웨이퍼 운반용 캐리어 구조는, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)의 일측면에 웨이퍼(200)가 위치하여 자유롭게 이동할 수 있는 일정간격으로 형성된 걸림턱(110)과, 이 걸림턱(110)에 착탈가능하게 장착될 수 있도록 일측 중심 내측에 길이방향의 안내홈(310)을 형성한 지지부재(300)를 구비한다.

전술한 지지부재(300)의 상단 소정부는, 웨이퍼(200)의 온도변화에 대처할 수 있는 지지편(400)이 수용될 수 있는 수용부(330)를 형성한다.

이 때, 수용부(330)에 장착되는 지지편(400)은, 고온에서 사용되는 메탈재질과, 저온에서 사용되는 테프론재질로 각각 형성하여, 웨이퍼(200)의 공정단계에서 고/저 온도 변화에 따라 교체 장착한다.

여기서, 수용부(330)에 장착된 지지편(400)의 상부에 웨이퍼(200)가 위치되면서, 지지부재(300)의 상단부에는 웨이퍼(200)가 직접적으로 접촉되지 않는다.

한편, 지지부재(300)에 수용부(330)를 형성하지 않은 상태에서, 안내홈(310)을 통해 적정온도에 따라 지지부재(300)를 교환 사용할 수 있다.

이하, 이와 같이 구성된 본 실시예의 작용을 설명한다.

먼저, 저온의 테프론재질의 캐리어(100)를 사용도중, 웨이퍼(200)의 공정상 고온으로 변화되는 경우에는, 캐리어(100)의 걸림턱(110)에 삽입 장착된 지지부재(300)를 탈거하고, 수용부(330)에 장착된 테프론재질의 지지편(400)을 메탈재질의 지지편(400)으로 교체한 후, 지지부재(300)를 걸림턱(110)에 장착한다.

그리고, 메탈재질로 교체가 이루어진 캐리어(100)에 웨이퍼(200)를 위치시키면, 웨이퍼(200)는 지지편(400)의 상부에 안정되게 보관이 이루어지게 된다.

또한, 캐리어(100)를 통해 이동된 웨이퍼(200)가, 공정상에서 다시 저온으로 바뀌는 경우에는 전술한 방법으로 지지부재(300)를 탈거시킨 후, 메탈재질의 지지편(400)을 테프론재질의 지지편(400)으로 교체하고, 지지부재(300)를 걸림턱(110)에 장착하여 웨이퍼(200)를 안정되게 보관하면 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 운반용 캐리어 구조에 의하면, 웨이퍼를 가공하는 공정마다 온도에 따라 캐리어를 교체하지 않으면서 지지부재의 수용부에 메탈재질의 지지편과, 테프론재질의 지지편으로 교체가 이루어져, 간단하게 교체가 이루어지는 효과가 있다.

또한, 메탈용과 테프론용의 지지편으로 캐리어의 지지부재에 교환 장착할 수 있으므로, 별도의 캐리어를 제작하지 않아도 되어 제작원가가 절감되는 이점도 있다.

Claims (2)

1. 반도체 웨이퍼를 보관/운반할 수 있도록 내부에 일정 간격으로 복수개의 지지부재가 형성된 캐리어에 있어서,

   상기 캐리어의 몸체 내측면부에 일정간격으로 형성된 걸림턱;

   상기 걸림턱과 대응되게 일측 단부에 안내홈이 형성되어, 상기 걸림턱에 장착되는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조.
2. 제 1항에 있어서, 상기 지지부재는,

   상기 웨이퍼의 온도와 상응되게 메탈과 테프론재질의 일정크기로 각각 형성된 지지편과, 상기 지지편과 대응되게 상기 지지부재의 상단 소정부에 홈형상으로 형성된 수용부로 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 운반용 캐리어 구조.