KR20010063356A - 웨이퍼 이송용 캐리어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것으로서, 복수의 웨이퍼를 복렬로 수납시킬 수 있는 본체와, 상기 본체의 내측면에 각 웨이퍼의 배면 쪽을 지지함과 동시에 복수의 수납 홈이 형성되도록 소정 간격을 두고 돌출된 복수의 지지부재와, 상기 지지부재 상에 웨이퍼와의 접촉 면적을 줄일 수 있도록 돌출된 접촉 수단을 구비한다.

따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼의 적재시 캐리어와의 접촉 면적을 상당히 줄이게 됨으로써 비록 캐리어가 오염되었다 하더라도 웨이퍼로의 오염 전파를 효과적으로 저지할 수 있어서 공정 불량을 미연에 방지함과 동시에 반도체 제조 수율을 더욱 향상시키는데 기여할 수 있다.

Description

웨이퍼 이송용 캐리어{Carrier for Moving Wafer}

본 발명은 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어 내벽면과 웨이퍼와의 접촉 면적을 최소화시킴으로써 비록 캐리어가 오염되었다 하더라도 웨이퍼와의 접촉에 따른 동반 오염을 줄일 수 있도록 된 웨이퍼 이송용 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 자체는 물론 회로 소자를 이루기 위하여 웨이퍼 표면에 만들어지는 정교한 층들은 쉽게 손상을 받고 오염될 수 있기 때문에 웨이퍼의 취급에 각별한 주의를 기울여야 한다. 예를 들면, 식각, 확산 및 산화막 성장, 적층 등과 같은 여러 제조 공정들을 수행하기 위하여 매 공정마다 수 차례의 웨이퍼 이동이 필요하다. 이 때, 취급 부주의로 인하여 웨이퍼가 긁히거나 부스러지는 등의 손상이 유발되면 반도체의 제조 수율에 치명적인 영향을 미치게 된다.

이러한 웨이퍼(2)는, 도 1 에서 나타낸 바와 같이, 한꺼번에 여러 매씩 별도의 수납 용기, 즉 캐리어(Carrier)(1)에 담아서 소정의 공정 과정에 투입되기 위하여 이동된다. 이렇게 이동된 캐리어(1)는 도시 생략된 로봇 수단에 의하여 웨이퍼(2)를 한 매씩 또는 2 ~ 3 매씩 끄집어내게 되는 것이다.

도 2 는 종래의 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 평면도이고, 도 3 는 도 1 의 A - A 선 단면도이다.

도 2 및 도 3 에서 보면, 종래의 캐리어 본체(1)는 그 내벽면 둘레를 따라 복수의 수납 홈(1b)을 구획할 수 있는 복수의 지지부재(1a)가 돌출 형성된다. 이지지부재(1a)는 웨이퍼의 배면을 지지함과 동시에 접촉할 수 있는 것으로, 여기에는 지지부재(1a)의 폭을 넓지 않게 하면서도 웨이퍼(2)의 배면 가장자리 쪽과 접촉 가능하게 복수의 단턱(1c)이 다단으로 형성되어 있다.

그러나, 이러한 종래의 캐리어는 사용되는 과정에서 여러 오염원, 예를 들어 환경성으로 또는 설비 오염 등으로 그 자체가 오염될 우려가 많이 발생되고, 여기에 적재되는 웨이퍼(2)는 지지부재(1a)와 상호 면 접촉 상태를 이루게 되므로 특히 웨이퍼(2)의 배면이 오염에 노출될 우려가 상당히 높다. 이렇게 되면, 예를 들어 노광 공정을 진행할 때 오염된 부분과 오염되지 않은 부분 사이에서 단차가 발생될 수 있으므로 로컬 포커스(Local Focus)에 의하여 패턴(Pattern)의 형성이 제대로 이루어지지 못하게 된다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위하여 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 캐리어와 웨이퍼의 접촉 부분(면적)을 줄임으로써 캐리어의 오염에 의하여 웨이퍼도 동반 오염될 수 있는 현상을 예방할 수 있도록 된 웨이퍼 이송용 캐리어를 제공하는 데 있다.

도 1 은 일반적인 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 사시도.

도 2 는 종래의 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 평면도.

도 3 는 도 1 의 A - A 선 단면도.

도 4 은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 평면도.

도 5 는 도 4 의 B - B 선 단면도.

도 6 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 평면도.

도 7 은 도 6 의 C - C 선 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 본체, 12 : 지지 부재,

14 : 수납 홈, 20 : 웨이퍼,

30, 300 : 접촉 수단.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 캐리어는, 복수의 웨이퍼를 복렬로 수납시킬 수 있는 본체와, 상기 본체의 내측면에 각 웨이퍼의 배면 쪽을 지지함과 동시에 복수의 수납 홈이 형성되도록 소정 간격을 두고 돌출된 복수의 지지부재와, 상기 지지부재 상에 웨이퍼와의 접촉 면적을 줄일 수 있도록 돌출된 접촉 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 접촉 수단은 점 접촉 가능하게 복수개로 구비되는 것이 바람직하다.

상기 접촉 수단은 선 접촉 가능하게 일련으로 연결되는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.

도 4 은 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 캐리어를 나타낸 평면도이고, 도 5 는 도 4 의 B - B 선 단면도이다.

상기 도면에서, 부호 10 은 본 발명의 캐리어(Carrier) 본체를 나타낸 것으로서, 이는 소정의 공정 과정에 투입시키기 위하여 복수의 웨이퍼(20)를 복렬로 수납하여 이동시킬 수 있는 웨이퍼 적재 용기이다.

상기 본체(10)의 내측 벽면에는 복수의 지지부재(12)가 소정 간격을 두고 돌출 구비된다. 이 지지부재(12)에는 그 폭을 넓지 않게 하면서도 웨이퍼(20)의 가장자리쪽 면을 커버할 수 있도록 바닥면 쪽으로 갈수록 단턱(12a)이 다단으로 형성된다. 이러한 지지부재(12) 들 사이에는 각 웨이퍼(20)를 수납시킬 수 있는 수납 홈(14)이 형성된다. 또한 상기 지지부재(12)는 각 웨이퍼(20)의 배면 쪽을 지지하게 된다.

특히, 본 실시예에서는 상기 지지부재(12)에서 각 웨이퍼(20)들과 접촉되는 면 쪽에 접촉 수단(30)이 접촉 면적을 줄일 수 있도록 더 돌출 구비된다. 여기서,상기 접촉 수단(30)은 각 길이 방향을 따라 단턱(12a) 위치마다 1 ~ 2 개씩의 좌, 우 대칭적으로 복수개의 돌기 형태로 구비되면, 웨이퍼(20)와 접촉시 점 접촉을 이룰 수 있어서 바람직하다.

더욱이, 도 6 및 도 7 의 다른 실시예에서 나타낸 바와 같이, 접촉 수단(300)이 그 길이 방향을 따라 좌우로 일련으로 연결되어 리브(Lib) 형태를 이루게 되면, 웨이퍼(20)와의 접촉시 선 접촉되므로 역시 접촉 면적을 줄일 수 있어서 매우 바람직하다.

이와 같이 구비된 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 캐리어의 작용 관계를 살펴본다. 소정의 공정 작업에 투입되기 위하여 캐리어 본체(10)의 수납 홈(14) 내에 복수의 웨이퍼(20)를 대략 25 ~ 50 매 정도를 복렬로 수납시키면, 상기 웨이퍼(20)의 배면 쪽은 지지부재(12)에 의하여 지지된다. 이 때, 웨이퍼(20)의 배면 가장자리 쪽은 상기 지지부재(12) 상에 여러 형태로 돌출된 접촉 수단(30)(300)과 상호 직접 접촉된다. 여기서, 복수의 돌기 형태인 접촉 수단(30)은 점 접촉 상태가 되는 한편, 리브 형태의 접촉 수단(300)은 선 접촉 상태를 이루게 된다.

따라서, 이러한 점 접촉이나 선 접촉 상태를 이루게 되면, 종래와 같은 면 접촉 상태에 비하여 웨이퍼(20)의 접촉 면적을 현저하게 줄일 수 있다. 비록 캐리어가 오염되더라도 웨이퍼(20) 자체의 오염도는 상당히 낮아지게 되므로, 예를 들어, 노광 공정을 진행할 경우 오염 부분와 비오염 부분의 단차가 유발되지 않게 되므로 로컬 포커스(Local Focus) 현상은 생기지 않는다.

상술한 본 발명에 의하면, 웨이퍼의 적재시 캐리어와의 접촉 면적을 상당히 줄이게 됨으로써 비록 캐리어가 오염되었다 하더라도 웨이퍼로의 오염 전파를 효과적으로 저지할 수 있어서 공정 불량을 미연에 방지함과 동시에 반도체 제조 수율을 더욱 향상시키는데 기여할 수 있다.

Claims (3)

1. 복수의 웨이퍼를 복렬로 수납시킬 수 있는 본체와,

   상기 본체의 내측면에 각 웨이퍼의 배면 쪽을 지지함과 동시에 복수의 수납 홈이 형성되도록 소정 간격을 두고 돌출된 복수의 지지부재와,

   상기 지지부재 상에 웨이퍼와의 접촉 면적을 줄일 수 있도록 돌출된 접촉 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 캐리어.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉 수단은 점 접촉 가능하게 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 캐리어.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 접촉 수단은 선 접촉 가능하게 일련으로 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 캐리어.