KR200169512Y1 - 반도체 증착 장치용 웨이퍼 보트 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트(wafer boat)에 관한 것으로, 이물 발생 및 자연 산화막의 생성을 효과적으로 억제하기 위하여 종래 기류 정체의 원인이었던 캡을 제거하고, 보트 몸체(21)의 하부에 적어도 하나 이상의 방열판(22)을 일체형으로 장착하여 종래 캡을 사용함에 따른 기류 정체에서 오는 이물 발생 및 자연 산화막의 생성을 방지할 수 있도록 구성한 것이다.

Description

반도체 증착장치용 웨이퍼 보트

제1도는 일반적인 웨이퍼 보트의 구조를 보인 분해 사시도.

제2도는 일반적인 웨이퍼 보트를 이용한 웨이퍼 반송 방법 설명도.

제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 보트의 구조를 보인 사시도.

제4도는 본 고안의 웨이퍼 보트에 의한 이물 발생 억제 효과를 보인 비교 그래프.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

21 : 보트 몸체 22 : 방열판

본 고안은 반도체 증착 장치용 웨이퍼 보트(wafer boat)에 관한 것으로, 특히 이물발생 및 자연 산화막의 생성 억제에 적합하도록 한 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼 보트는 제1도에 도시한 바와 같이, 다수개의 웨이퍼가 차례로 수납되는 보트 몸체(1)와, 상기 보트 몸체(1)의 하부 지지판(1a)에 핀(2, 2')으로 고정 설치되어 보트 몸체(1)가 반응로(도시되지 않음)내의 온도 균일장내에 위치하도록 안내하는 캡(3)과, 상기 캡(3)내에 위치하여 반응로내의 열이 하부로 방출되는 것을 방지하는 수개의 방열판(4)과, 상기 방열판(4)을 고정 지지하기 위한 홀더(5)로 이루어져 있다.

상기와 같이 구성된 웨이퍼 보트에 다수개의 웨이퍼를 차례로 수납한 후 반응로내에 인입하여 소정의 공정을 진행하게 되는 바, 웨이퍼 반송 방법을 살펴보면 다음과 같다.

제2도에 도시한 바와 같이 웨이퍼 보트가 엘리베이터(10)에 올려지게 되면, 웨이퍼 반송기(11)가 카세트 선반(12)의 웨이퍼(13)를 트위저(14)로 잡아 보트 몸체(1)로 옮기게 된다.

상기 웨이퍼 반송기(11)는 회전함과 아울러 상, 하 및 좌, 우로 이동하도록 되어 있다.

상기의 동작을 반복하여 카세트 선반(12)위의 웨이퍼(13)를 모두 보트로 옮기게 되면, 엘리베이터(10)가 보트 몸체(1)와 캡(3)을 받친 상태에서 위로 이동하여 웨이퍼가 수납된 보트를 반응로내로 이동시켜 공정을 진행하게 되는 것이다.

이러한 일련의 동작은 지정한 명령에 따라 자동으로 진행되며, 여기서 상기 캡(3)은 보트가 반응로내의 온도 균일장내에 위치하도록 안내하는 받침대 역할 및 반으로내의 열이 아래로 방출되는 것을 막아주는 홀더(5)와 방열판(4)이 위치할 수 있는 공간을 제공하는 역할을 하게 된다.

그러나 상기한 바와 같은 종래의 웨이퍼 보트에 있어서는 최근 웨이퍼가 고집적화됨에 따라 미세한 이물질의 관리가 요구되고 있는 시점에서 이물 발생 및 자연 산화막의 생성을 효과적으로 억제할 수 없다는 문제가 있었다.

즉, 종래의 웨이퍼 보트에 있어서는 캡(3)을 사용함으로써 캡(3)내의 기류는 외부의 공기흐믈과 차단되어 정체되어 있게 되므로 웨이퍼가 수납된 보트를 반응로내로 이동시킴에 있어서 캡(3)의 정체된 기류에 의해 이물 발생의 원인이 되고 있으며, 특히 저압화학증착장치는 큰 영향을 주고 있었다.

또 정체된 캡(3)내의 기류에 의해 반응로내를 저압 상태로 조성하는 동안 캡(3)내의 기류가 밖으로 빠져나옴으로써 웨이퍼에 자연 산화막이 성장되는 문제가 발생되는 것이다.

이를 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 정체된 기류로 인한 이물 발생 및 자연 산화막의 생성을 효과적으로 억제할 수 있도록 한 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트에 있어서, 보트 몸체의 하부에 적어도 하나 이상의 평판형 방열판을 장착하여 보트 몸체의 하단에서의 기류 정체 공간이 형성되지 않도록 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트가 제공된다.

상기와 같이 본 고안의 웨이퍼 보트에 의하면 정체 기류의 원인이 된 캡을 제거함으로써 종래 캡을 사용함에 따른 기류 정체에서 오는 이물 발생 및 자연 산화막 생성을 방지할 수 있게 된다.

이하, 상기한 바와 같은 본 고안에 의한 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트를 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명한다.

첨부한 제3도는 본 고안에 의한 웨이퍼 보트의 구조를 보인 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트는 다수개의 웨이퍼가 차례로 수납, 지지되는 보트 몸체(21)의 하부에 반응로내의 열방출을 방지하기 위한 수개의 방열판(22)이 일체로 부착된 구조로 되어 있다.

즉, 본 고안에 의한 웨이퍼 보트는 종래 기류의 정체 원인이었던 캡을 제거하고, 보트 몸체(21)의 하단부에 적어도 하나 이상의 방열판(22)을 일체로 부착하여 구성한 것으로, 이때 상기 보트 몸체(21)의 길이는 종래의 캡 높이만큼 길게 형성하여 캡을 사용하지 않은 상태에서도 웨이퍼가 반응로내의 온도 균일장에 위치하도록 함이 바람직하다.

그리고 상기 보트 몸체(21)의 재질은 종래와 같이 석영(HR, HRP) 또는 SiC로 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 웨이퍼 보트의 웨이퍼 반송 방법 및 사용 방법은 종래와 동일하므로 여기서는 상세한 설명을 생략하기로 한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 보트에 의하면 정체 기류의 원인이 된 캡을 제거함으로써 종래 캡을 사용함에 따른 기류 정체에서 오는 이물 발생 및 자연 산화막의 생성을 방지할 수 있는 효과가 있게 된다.

Claims (1)

1. 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트에 있어서, 보트 몸체의 하부에 적어도 하나 이상의 평판형 방열판을 장착하여 보트 몸체의 하단에서의 기류 정체 공간이 형성되지 않도록 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 증착장치용 웨이퍼 보트.