KR19980028287U

KR19980028287U - 웨이퍼 카세트

Info

Publication number: KR19980028287U
Application number: KR2019960041299U
Authority: KR
Inventors: 권정현
Original assignee: 문정환; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1996-11-22
Filing date: 1996-11-22
Publication date: 1998-08-05

Abstract

본 고안은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로서, 종래의 웨이퍼 카세트가 몸체의 길이방향으로 끊김이 없이 형성되어 있는 수납홈에 의해 웨이퍼가 수납지지되는 구조로 되어 있음에 따라, 웨이퍼와 수납홈 내부면의 접촉면적이 넓어, 웨이퍼 제조공정에서 피해야 할 정전기 및 먼지의 발생률이 높아 웨이퍼의 품질을 저하시키고 수율을 낮추는 문제점이 있는 것을 감안하여, 종래의 끊김이 없는 수납홈 대신 내측에 수납홈(3')을 구비하는 띠형상의 수납띠(4, 5)가 몸체(1')의 양측면에 일체로 형성되도록 하므로써, 웨이퍼와 수납홈(3') 내부면의 접촉면적을 줄임에 의해 정전기와 먼지의 발생을 억제하여 웨이퍼의 품질 및 수율을향상시키도록 한 것이다.

Description

웨이퍼 카세트

본 고안은 웨이퍼 카세트에 관한 것으로, 특히 수납시 웨이퍼와의 접촉면적을 최소로 하므로써 정전기 및 미세입자의 발새을 억제하여 웨이퍼의 품질을 향상시키도록 하는데 적합한 웨이퍼 카세트에 관한 것이다.

웨이퍼 카세트란 반도체 웨이퍼의 제조과정에서 웨이퍼를 수납하여 공정을 이동하는 용기를 말하는 것으로서, 웨이퍼 캐리어라고도 한다.

도 1a, b, c는 종래 웨이퍼 카세트의 구조를 보인 것으로, 도 1a는 전면을 보인 사시도이고, 도 1b는 후면을 보인 사시도이며, 도 1c는 웨이퍼(6)가 수납된 상태에서 도 1a의 A-A'선을 따라 자른 단면을 보인 종단면도이다.

이에 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 카세트는 몸체(1)와, 그 몸체(1)의 하부 양측에 상기 몸체와 일체로 형성되어 몸체를 지지하기 위한 받침대(2)와, 상기 몸체(1)의 내측에 형성되어 웨이퍼를 수납하는 수개의 수납홈(3)을 구비하는 구조로 되어 있었다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래의 웨이퍼 카세트는 상기 수납홈(3)에 웨이퍼를 수납하고 웨이퍼 제조공정에서 제조순서에 따라 공정을 이동하게 되며, 웨이퍼를 수납하거나 수납된 웨이퍼를 꺼내는 것은 로보트팔 등의 수치제어기를 이용하여 이루어짐이 보통이다.

반도체 웨이퍼는 정전기 및 먼지 등의 미세입자에 취약한 정밀소자이므로 웨이퍼의 제조공정중에서는 되도록 정전기와 먼지의 발생을 억제하여야 한다.

그런데 종래의 웨이퍼 카세트에서는 웨이퍼가 수납홈(3)에 수납되는 경우에 도 1C에서 도시한 바와 같이 수납홈(3)의 내부면과 넓은 범위에 걸쳐 접촉하게 되므로 정전기 및 먼지의 발생을 수반하게 되고 이는 제조된 웨이퍼의 품질을 저하시키는 하나의 요인이 될 수있는 문제점이 있었다.

상기한 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적을 수납홈에 웨이퍼가 수납되는 경우에 웨이퍼와 수납홈 내부면과의 접촉면즉을 줄임에 의해 완성된 웨이퍼의 품질을 높이고 수율을 향상할 수 있도록 하는데 적합한 웨이퍼 카세트를 제공함에 있다.

도 1a는 종래 웨이퍼 카세트의 전면을 보인 사시도.

도 1b는 종래 웨이퍼 카세트의 후면을 보인 사시도.

도 1c는 웨이퍼가 수납된 상태에서 도 1a의 A-A'선을 따라 자른 단면을 도시한 종단면도.

도 2a는 본 고안의 일실시례의 웨이퍼 카세트 전면을 보인 사시도.

도 2b는 본 고안의 일실시례의 웨이퍼 카세트 후면을 보인 사시도.

도 2c는 웨이퍼가 수납된 상태에서 도 2a의 B-B'선을 따라 자른 단면을 도시한 종단면도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1'; 몸체2;받침대

3'; 수납홈4; 상부수납띠

5; 하부수납띠6; 웨이퍼

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 몸체의 하측에는 받침대가 일체로 형성되고, 상기 몸체의 내측에는 웨이퍼를 수납하기위한 수납구조를 구비하는 웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 수납구조는 홈을 구비하는 띠의 형상으로 상기 몸체의 측면을 가로질러 일체로 형성되는 수납띠임을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 고안 웨이퍼 카세트를 첨부된 도면에 일실시례에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2a, b, c는 본 고안 웨이퍼 카세트의 일실시례를 도시한 도면으로서, 도 2a는 전면을 도시한 사시도이고, 도 2b는 후면을 도시한 사시도이며, 도 2c는 웨이퍼가 수납된 상태에서 도 2a의 B-B'선을 따라 절단한 단면을 도시한 종단면도이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안의 웨이퍼 카세트 몸체(1')의 하부 양측으로 일체로 형성되어 있는 받침대(2)와, 수납홈(3')을 구비하는 띠의 형상으로 몸체의 양측면을 가로질러 일체로 형성되는 수납띠(4, 5)를 구비하고 있다.

웨이퍼의 제조공정 중에 상기 몸체(1')의 상부로부터 웨이퍼를 삽입하고 제거하는 것을 감안할 때 상기 일실시례에서 도시한 바와 같이 수납띠(4, 5)는 몸체 양측면의 웨이퍼 수납시 웨이퍼 지름의 양단이 위치하는 부분에 하나씩 대칭으로 형성된 상부수납띠(4)와 상기 상부수납띠(4)와 받침대(2)의 사이로 양측면에서 하나씩 대칭으로 형성디어 있는 하부수납띠(5)인 것이 바람직하다.

상기한 구조를 가진 본 고안의 웨이퍼 카세트는 상기 수납띠(4, 5)에 구비된 수납홈(3')에 의해 웨이퍼를 지지 수납하여 웨이퍼 제조공정을 이동하게 되는데 일단 수납된 웨이퍼는 수납띠(4, 5)의 수납홈(3')에 의해 충분히 지지되므로 웨이퍼 카세트로부터 이탈되지 않고 이동가능하며, 웨이퍼의 수납과정과 제거과정은 로보트팔 등의 수치제어기기에 의해 이루어 지므로 종래와 같이 몸체 길이 방향으로 길쭉하게 형성된 수납홈(3)이 아닐지라도 정확한 위치에의 수납 및 제거과정을 수행에도 장애가 되지 않는다.

상기한 바와 같은 구조를 가진 본 고안의 웨이퍼 카세트는 제 2c에서 도시한 바와 같이 웨이퍼를 수납하는 상태에서 도 1c에서 나타낸 종래의 웨이퍼 카세트의 수납상태와 비교하면 보다 작은 접촉면적을 가지므로 웨이퍼와의 접촉에 의한 정전기와 미세입자의 발생이 억제되어 보다 우수한 품직의 웨이퍼를 얻는 것이 가능하며 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims

몸체의 하측에는 받침대가 일체로 형성되고, 상기 몸체의 내측에는 웨이퍼를 수납하기 위한 수납구조를 구비하는 웨이퍼 카세트에 있어서, 상기 수납구조는 홈을 구비하는 띠의 형상으로 상기 몸체의 측면을 가로질러 일체로 형성되는 수납띠임을 특징으로하는 웨이퍼 카세트.
제 1항에 있어서, 상기 수납띠는 상기 몸체 양측면의 웨이퍼 수납시 웨이퍼 지름의 양단이 위치하는 부분에 하나씩 대칭으로 형성된 상부수납띠와 상기 상부수납띠와 받침대의 사이로 양측면에 하나씩 대칭으로 형성되어 있는 하부수납띠인 것을 특징으로하는 웨이퍼 카세트.