KR102664207B1 - 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102664207B1
KR102664207B1 KR1020180119622A KR20180119622A KR102664207B1 KR 102664207 B1 KR102664207 B1 KR 102664207B1 KR 1020180119622 A KR1020180119622 A KR 1020180119622A KR 20180119622 A KR20180119622 A KR 20180119622A KR 102664207 B1 KR102664207 B1 KR 102664207B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
island
pad
display device
disposed
Prior art date
Application number
KR1020180119622A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200039973A (ko
Inventor
김은아
정현주
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020180119622A priority Critical patent/KR102664207B1/ko
Priority to US16/590,083 priority patent/US10964234B2/en
Priority to CN201910948993.8A priority patent/CN111009562B/zh
Publication of KR20200039973A publication Critical patent/KR20200039973A/ko
Priority to US17/184,252 priority patent/US20210183277A1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102664207B1 publication Critical patent/KR102664207B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/301—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements flexible foldable or roll-able electronic displays, e.g. thin LCD, OLED
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00—Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16—Constructional details or arrangements
    • G06F1/1613—Constructional details or arrangements for portable computers
    • G06F1/1633—Constructional details or arrangements of portable computers not specific to the type of enclosures covered by groups G06F1/1615 - G06F1/1626
    • G06F1/1637—Details related to the display arrangement, including those related to the mounting of the display in the housing
    • G06F1/1652—Details related to the display arrangement, including those related to the mounting of the display in the housing the display being flexible, e.g. mimicking a sheet of paper, or rollable
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/127—Active-matrix OLED [AMOLED] displays comprising two substrates, e.g. display comprising OLED array and TFT driving circuitry on different substrates
    • H10K59/1275—Electrical connections of the two substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F1/00—Details not covered by groups G06F3/00 - G06F13/00 and G06F21/00
    • G06F1/16—Constructional details or arrangements
    • G06F1/1613—Constructional details or arrangements for portable computers
    • G06F1/1626—Constructional details or arrangements for portable computers with a single-body enclosure integrating a flat display, e.g. Personal Digital Assistants [PDAs]
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/33—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being semiconductor devices, e.g. diodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/1201—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/127—Active-matrix OLED [AMOLED] displays comprising two substrates, e.g. display comprising OLED array and TFT driving circuitry on different substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H10K59/351—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels comprising more than three subpixels, e.g. red-green-blue-white [RGBW]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
    • H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
    • H10K77/111—Flexible substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301—Details of OLEDs
    • H10K2102/311—Flexible OLED
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549—Organic PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 발명으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는, 트랜지스터 및 표시 소자가 배치되고, 서로 이격된 복수의 아일랜드 기판, 복수의 아일랜드 기판 아래에 배치되는 하부 기판, 및 복수의 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에 배치되어, 복수의 아일랜드 기판 중 서로 이웃하는 아일랜드 기판에 배치된 패드를 전기적으로 연결하는 연결 배선을 포함한다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는 연결 배선이 단차없이 평평한 형상으로 형성될 수 있어 연결 배선의 단선을 방지하여 신뢰성이 향상된 스트레쳐블 표시 장치를 구현할 수 있다.

Description

스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법{STRETCHABLE DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}
본 발명은 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 휘어지거나 늘어나더라도 배선이 손상되는 것을 방지할 수 있는 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
컴퓨터의 모니터나 TV, 핸드폰 등에 사용되는 표시 장치에는 스스로 광을 발생하는 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display; OLED) 등과 별도의 광원을 필요로 하는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD) 등이 있다.
표시 장치는 컴퓨터의 모니터 및 TV 뿐만 아니라 개인 휴대 기기까지 그 적용 범위가 다양해지고 있으며, 넓은 표시 면적을 가지면서도 감소된 부피 및 무게를 갖는 표시 장치에 대한 연구가 진행되고 있다.
최근에는, 플렉서블(flexible) 소재인 플라스틱 등과 같이 유연성 있는 기판에 표시부, 배선 등을 형성하여 특정 방향으로 신축이 가능하고 다양한 형상으로 변화가 가능하게 제조되는 스트레쳐블 표시 장치가 차세대 표시 장치로 주목 받고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 복수의 화소가 정의된 복수의 아일랜드 기판의 하부에 배치된 하부 기판이 영역 별로 상이한 모듈러스를 가져 복수의 아일랜드 기판 상에 배치되는 표시 소자가 손상되지 않으면서 표시 장치가 휘어지거나 늘어날 수 있는 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 하부 기판 상에 연결 배선을 단차없이 평평한 형상으로 배치하고, 아일랜드 기판 및 표시 소자 하부에 배치된 절연층에 배치된 컨택홀을 통해 연결 배선과 패드가 전기적으로 연결되도록 함으로써, 단차에 의한 연결 배선의 손상을 방지할 수 있는 스트레쳐블 표시 장치및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는 트랜지스터 및 표시 소자가 배치되고, 서로 이격된 복수의 아일랜드 기판, 복수의 아일랜드 기판 아래에 배치되는 하부 기판 및 복수의 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에 배치되어, 복수의 아일랜드 기판 중 서로 이웃하는 아일랜드 기판에 배치된 패드를 전기적으로 연결하는 연결 배선을 포함할 수 있다. 따라서, 연결 배선이 단차없이 평평한 형상으로 형성될 수 있어 연결 배선의 단선을 방지하여 신뢰성이 향상된 스트레쳐블 표시 장치를 구현할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치 제조 방법은 임시 기판 상에 복수의 아일랜드 기판을 배치하는 단계, 복수의 아일랜드 기판의 일면 상에 트랜지스터 및 표시 소자를 형성하는 단계, 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 임시 기판을 제거하는 단계, 복수의 아일랜드 기판 및 복수의 아일랜드 기판과 게이트 패드 및 데이터 패드 사이에 배치된 절연층에 제1 컨택홀 및 제2 컨택홀을 형성하는 단계, 복수의 아일랜드 기판의 일면의 반대면 상에 제1 컨택홀 및 제2 컨택홀을 통해 게이트 패드 및 데이터 패드 각각과 전기적으로 연결되는 제1 연결 배선 및 제2 연결 배선을 형성하는 단계 및 복수의 아일랜드 기판과 중첩되도록 배치되는 제1 하부 패턴과 제1 하부 패턴을 둘러싸도록 배치된 제2 하부 패턴을 포함하는 하부 기판을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 표시 소자 하부에 배치된 절연층에 컨택홀을 형성한 후 아일랜드 기판 아래에 배치된 연결 배선을 형성함으로써 표시 소자의 측면을 따라 연결 배선을 형성함에 의해 발생된 연결 배선의 단선을 최소화하면서 보다 공정이 단순해질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는 복수의 화소가 정의된 아일랜드 기판, 아일랜드 기판의 하부에 배치되어 복수의 화소에 신호를 공급하는 전도성 컨택 패드, 아일랜드 기판 및 전도성 컨택 패드 아래에 배치되는 하부 기판 및 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에서 전도성 컨택 패드와 접하도록 배치된 연결 배선을 포함할 수 있다. 이에 따라, 평평한 형상을 갖는 연결 배선을 형성할 수 있어 연결 배선의 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법은 임시 기판 상에 전도성 컨택 패드를 형성하는 단계, 전도성 컨택 패드를 덮도록 아일랜드 기판을 배치하는 단계, 아일랜드 기판 상에 하나 이상의 절연층을 순차적으로 형성하는 단계, 복수의 아일랜드 기판, 하나 이상의 절연층에 전도성 컨택 패드의 상면을 노출시키는 컨택홀을 형성하는 단계, 컨택홀을 통해 전도성 컨택 패드와 접하는 패드를 형성하는 단계, 패드 상에 표시 소자를 형성하는 단계, 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 임시 기판을 제거하는 단계, 임시 기판을 제거하여 노출된 컨택 패드 및 아일랜드 기판의 하면과 접하는 연결 배선을 형성하는 단계 및 아일랜드 기판 및 연결 배선과 중첩되도록 하부 기판을 배치하는 단계를 포함할 수 있다. 이에 따라, 별도의 전도성 컨택 패드를 형성한 후, 전도성 컨택 패드에 의해 표시 소자와 전기적으로 연결될 수 있어 연결 배선을 보다 평평하게 형성하여 연결 배선의 단선을 방지할 수 있다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명은 복수의 아일랜드 기판 하부에 복수의 강성 패턴과 복수의 강성 패턴을 제외한 연성 패턴을 포함하는 하부 기판을 배치하여, 스트레쳐블 표시 장치가 쉽게 휘거나 늘어날 수 있게 하는 효과가 있다.
본 발명은 아일랜드 기판 하부에서 평평한 형상을 갖도록 연결 배선을 형성하고, 아일랜드 기판 및 절연층에 배치된 컨택홀을 통해 표시 소자와 연결 배선이 전기적으로 연결되도록 형성함으로써, 연결 배선에 단차가 발생하여 연결 배선이 손상되는 것이 최소화될 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 발명 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 확대 평면도이다.
도 3은 도 1의 하나의 서브 화소에 대한 일 실시예에 따른 개략적인 단면도이다.
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다.
도 6a 내지 도 6g는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 부분 확대 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 ‘직접’이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "위 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.
<스트레쳐블 표시 장치>
스트레쳐블 표시 장치는 휘거나 늘어나도 영상 표시가 가능한 표시 장치로 지칭될 수 있다. 스트레쳐블 표시 장치는 일반적인 표시 장치와 비교하여 높은 플렉서빌리티(flexibility)를 가질 수 있다. 이에, 사용자가 스트레쳐블 표시 장치를 휘게 하거나 늘어나게 하는 등 사용자의 조작에 따라 스트레쳐블 표시 장치의 형상이 자유롭게 변경될 수 있다. 예를 들어, 사용자가 스트레쳐블 표시 장치의 끝단을 잡고 잡아당기는 경우 스트레쳐블 표시 장치는 사용자의 힘에 의해 늘어날 수 있다. 또는, 사용자가 스트레쳐블 표시 장치를 평평하지 않은 벽면에 배치시키는 경우, 스트레쳐블 표시 장치는 벽면의 표면의 형상을 따라 휘어지도록 배치될 수 있다. 또한, 사용자에 의해 가해지는 힘이 제거되는 경우, 스트레쳐블 표시 장치는 다시 본래의 형태로 되돌아올 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 분해 사시도이다. 도 1을 참조하면, 스트레쳐블 표시 장치(100)는 하부 기판(110), 복수의 아일랜드 기판(111), 연결 배선(180), COF(130, Chip On Film), 인쇄 회로 기판(140), 상부 기판(120) 및 편광층(190)을 포함한다. 도 1에서는 설명의 편의를 위해 하부 기판(110)과 상부 기판(120)을 접착시키기 위한 접착층에 대한 도시를 생략하였다.
하부 기판(110)은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 여러 구성요소들을 지지하고 보호하기 위한 기판이다. 하부 기판(110)은 연성 기판으로서 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 하부 기판(110)은 폴리메탈실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 실리콘 고무(Silicon Rubber), 폴리우레탄(polyurethane; PU) 등의 탄성중합체(elastomer)로 이루어질 수 있으며, 이에, 유연한 성질을 가질 수 있다. 그러나, 하부 기판(110)의 재질은 이에 제한되는 것은 아니다.
하부 기판(110)은 연성 기판으로서, 팽창 및 수축이 가역적으로 이루어질 수 있다. 또한, 탄성 계수(elastic modulus)가 수 MPa 내지 수백 MPa일 수 있으며, 연신 파괴율이 100% 이상일 수 있다. 하부 기판의 두께는 10㎛ 내지 1㎜일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
하부 기판(110)은 연성 기판으로 이루어지되, 연성 기판보다 강성 재질로 이루어지는 강성 패턴을 더 포함하여 이루어질 수 있다. 즉, 하부 기판(110)은 모듈러스가 상이한 제1 하부 패턴과 제2 하부 패턴을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 하부 패턴은 제2 하부 패턴에 비해 상대적으로 모듈러스가 높을 수 있고, 제2 하부 패턴은 제1 하부 패턴에 비해 상대적으로 모듈러스가 낮을 수 있다. 이와 같은 하부 기판(110)에 대한 보다 상세한 설명은 다음 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.
하부 기판(110)은 표시 영역(AA) 및 표시 영역(AA)을 둘러싸는 비표시 영역(NA)을 포함할 수 있다.
표시 영역(AA)은 스트레쳐블 표시 장치(100)에서 영상이 표시되는 영역으로서, 표시 소자 및 표시 소자를 구동하기 위한 다양한 구동 소자들이 배치된다. 표시 영역(AA)은 복수의 서브 화소를 포함하는 복수의 화소를 포함한다. 복수의 화소는 표시 영역(AA)에 배치되며, 복수의 표시 소자를 포함한다. 복수의 서브 화소 각각은 다양한 배선과 연결될 수 있다. 예를 들어, 복수의 서브 화소 각각은 게이트 배선, 데이터 배선, 고전위 전원 배선, 저전위 전원 배선, 기준 전압 배선 등과 같은 다양한 배선과 연결될 수 있다.
비표시 영역(NA)은 표시 영역(AA)에 인접한 영역이다. 비표시 영역(NA)은 표시 영역(AA)에 인접하여 표시 영역(AA)을 둘러싸는 영역이다. 비표시 영역(NA)은 영상이 표시되지 않는 영역이며, 배선 및 회로부 등이 형성될 수 있다. 예를 들면, 비표시 영역(NA)에는 복수의 패드가 배치될 수 있으며, 각각의 패드는 표시 영역(AA)의 복수의 서브 화소 각각과 연결될 수 있다.
하부 기판(110)의 제1 하부 패턴과 중첩되는 영역 상에는 복수의 아일랜드 기판(111)이 배치된다. 복수의 아일랜드 기판(111)은 강성 기판으로서, 서로 이격되어 배치된다. 복수의 아일랜드 기판(111)은 하부 기판(110)의 제2 하부 패턴과 비교하여 강성일 수 있다.
복수의 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111)은 플렉서빌리티(flexibility)를 갖는 플라스틱 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 폴리이미드(polyimide; PI), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리아세테이트(polyacetate) 등으로 이루어질 수도 있다.
복수의 아일랜드 기판(111)의 모듈러스는 하부 기판(110) 제2 하부 패턴의 모듈러스보다 높을 수 있다. 모듈러스는 기판에 가해지는 응력에 대하여 응력에 의해 변형되는 비율을 나타내는 탄성 계수로서 모듈러스가 상대적으로 높을 경우 경도가 상대적으로 높을 수 있다. 따라서, 복수의 아일랜드 기판(111)은 하부 기판(110)과 비교하여 강성을 갖는 복수의 강성 기판일 수 있다. 복수의 아일랜드 기판(111)의 모듈러스는 하부 기판(110)의 모듈러스보다 1000배 이상 클 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
복수의 아일랜드 기판(111) 하부 및 하부 기판(110)의 상부에 연결 배선(180)이 배치된다. 즉, 연결 배선(180)은 복수의 아일랜드 기판(111)과 하부 기판(110) 사이에 배치될 수 있다. 연결 배선(180)은 복수의 아일랜드 기판(111) 및 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 표시 소자 하부의 절연층에 형성된 컨택홀을 통해 표시 소자와 전기적으로 연결될 수 있다. 이와 같은 연결 배선(180)에 대한 보다 상세한 설명은 도 2 및 도 3을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
COF(130)는 플렉서빌리티(flexibility) 재질로 이루어진 베이스 필름(131)에 각종 부품을 배치한 필름으로, 표시 영역(AA)의 복수의 서브 화소로 신호를 공급하기 위한 부품이다. COF(130)는 비표시 영역(NA)에 배치된 복수의 패드에 본딩될 수 있으며, 패드를 통하여 전원 전압, 데이터 전압, 게이트 전압 등을 표시 영역(AA)의 복수의 서브 화소 각각으로 공급한다. COF(130)는 베이스 필름(131) 및 구동 IC(132)를 포함하고, 이외에도 각종 부품이 배치될 수 있다.
베이스 필름(131)은 COF(130)의 구동 IC(132)를 지지하는 층이다. 베이스 필름(131)은 절연 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 플렉서빌리티를 갖는 절연 물질로 이루어질 수 있다.
구동 IC(132)는 영상을 표시하기 위한 데이터와 이를 처리하기 위한 구동 신호를 처리하는 부품이다. 도 1에서는 구동 IC(132)가 COF(130) 방식으로 실장되는 것으로 도시하였으나, 이에 제한되지 않고, 구동 IC(132)는 COG(Chip On Glass), TCP(Tape Carrier Package) 등의 방식으로도 실장될 수 있다.
인쇄 회로 기판(140)에는 IC 칩, 회로부 등과 같은 제어부가 장착될 수 있다. 또한, 인쇄 회로 기판(140)에는 메모리, 프로세서 등도 장착될 수 있다. 인쇄 회로 기판(140)은 표시 소자를 구동하기 위한 신호를 제어부로부터 표시 소자로 전달하는 구성이다.
인쇄 회로 기판(140)은 COF(130)와 연결되어 복수의 아일랜드 기판(111)의 복수의 서브 화소 각각과 전기적으로 연결될 수 있다.
상부 기판(120)은 하부 기판(110)과 중첩되어 스트레쳐블 표시 장치(100)의 여러 구성요소들을 보호하기 위한 기판이다. 상부 기판(120)은 연성 기판으로서 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 상부 기판(120)은 유연성을 갖는 재료로 이루어질 수 있으며, 하부 기판(110)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
편광층(190)은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 외광 반사를 억제하는 구성으로서 상부 기판(120)과 중첩되어 상부 기판(120) 상에 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 편광층(190)은 상부 기판(120) 하부에 배치될 수도 있고, 스트레쳐블 표시 장치(100)의 구성에 따라 생략될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에 대한 보다 상세한 설명을 위해 도 2 내지 도 3을 함께 참조한다.
<평면 및 단면 구조>
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 확대 평면도이다. 도 3은 도 1의 하나의 서브 화소에 대한 일 실시예에 따른 개략적인 단면도이다. 설명의 편의를 위하여 도 1을 참조하여 설명한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 스트레쳐블 표시 장치(100)의 구성요소들을 지지하는 하부 기판(110)이 배치된다. 보다 상세하게, 도 3을 참조하면, 하부 기판(110)은 복수의 제1 하부 패턴(110A) 및 제2 하부 패턴(110B)을 포함한다.
복수의 제1 하부 패턴(110A)은 하부 기판(110) 중 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩하는 영역에 배치된다. 복수의 제1 하부 패턴(110A)은 복수의 아일랜드 기판(111) 하부에 배치되어 상면이 복수의 아일랜드 기판(111)의 하면과 하부 접착층(119)에 의해 접착될 수 있다.
그리고, 제2 하부 패턴(110B)은 하부 기판(110) 중 복수의 제1 하부 패턴(110A)을 제외한 영역에 배치된다. 제2 하부 패턴(110B)은 복수의 제1 하부 패턴(110A)의 측면 및 하면을 둘러싸도록 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 제2 하부 패턴(110B)은 제1 하부 패턴(110A)과 동일 평면 상에 배치되도록 구성될 수도 있다. 또한, 제2 하부 패턴(110B)은 연결 배선(180) 및 상부 접착층(118)의 하부에 배치되어, 상면이 연결 배선(180)의 하면 및 상부 접착층(118)의 하면과 접할 수 있다.
이때, 복수의 제1 하부 패턴(110A)의 모듈러스는 제2 하부 패턴(110B)의 모듈러스보다 클 수 있다. 따라서, 복수의 제1 하부 패턴(110A)은 제2 하부 패턴(110B)과 비교하여 강성을 갖는 복수의 강성 하부 패턴일 수 있고, 제2 하부 패턴(110B)은 복수의 제1 하부 패턴(110A)과 비교하여 연성을 갖는 연성 하부 패턴일 수 있다. 복수의 제1 하부 패턴(110A)의 모듈러스는 제2 하부 패턴(110B)의 모듈러스보다 1000배 이상 클 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
복수의 제1 하부 패턴(110A)은 복수의 아일랜드 기판(111)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 플렉서빌리티(flexibility)를 갖는 플라스틱 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 폴리이미드(polyimide; PI) 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리아세테이트(polyacetate) 등으로 이루어질 수도 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 복수의 제1 하부 패턴(110A)은 복수의 아일랜드 기판(111)의 모듈러스와 같거나 작은 모듈러스를 갖는 물질로 이루어질 수도 있다.
그리고, 제2 하부 패턴(110B)은 연성 하부 패턴으로서 팽창 및 수축이 가역적으로 가능할 수 있으며, 탄성 계수(elastic modulus)가 수 MPa 내지 수 백 MPa일 수 있으며, 연신 파괴율이 100% 이상일 수 있다. 이에, 제2 하부 패턴(110B)은 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있으며, 제2 하부 패턴(110B)은 폴리 메탈 실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 실리콘 고무(Silicone Rubber), 폴리 우레탄(polyurethane; PU) 등의 탄성 중합체(elastomer)로 이루어질 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 하부 기판(110) 상에는 복수의 아일랜드 기판(111)이 배치된다. 복수의 아일랜드 기판(111)은 하부 기판(110)의 제1 하부 패턴(110A)과 중첩되는 영역에 배치된다. 복수의 아일랜드 기판(111)은 서로 이격되어 하부 기판(110) 상에 배치된다. 이때, 복수의 아일랜드 기판(111)의 이격 거리와 하부 기판(110)의 복수의 제1 하부 패턴(110A)의 이격거리는 동일할 수 있다. 이와 같이, 복수의 아일랜드 기판(111)은 일정거리 이격되어 배치됨으로써, 복수의 아일랜드 기판(111)은 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, 하부 기판(110) 상에서 매트릭스 형태로 배치될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
복수의 아일랜드 기판(111)에는 복수의 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 연결 배선(180)과 복수의 아일랜드 기판(111) 상부에 배치된 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173)를 전기적으로 연결시키기 위한 컨택홀(CT)이 형성될 수 있다.
도 3을 참조하면, 복수의 아일랜드 기판(111) 상에는 버퍼층(112)이 배치된다. 버퍼층(112)은 하부 기판(110) 및 복수의 아일랜드 기판(111) 외부로부터의 수분(H2O) 및 산소(O2) 등의 침투로부터 스트레쳐블 표시 장치(100)의 다양한 구성요소들을 보호하기 위한 복수의 아일랜드 기판(111) 상에 형성된다. 버퍼층(112)은 절연 물질로 구성될 수 있으며, 예를 들어, 그래파이트(graphite) 또는 실리콘 질화물(SiNx), 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 산화질화물(SiON) 등으로 이루어지는 무기층이 단층 또는 복층으로 구성될 수 있다. 다만, 버퍼층(112)은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 구조나 특성에 따라 생략될 수도 있다.
이때, 버퍼층(112)은 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에만 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이 버퍼층(112)은 무기물로 이루어질 수 있으므로, 스트레쳐블 표시 장치(100)를 연신하는 과정에서 쉽게 크랙(crack)이 발생하는 등 손상될 수 있다. 이에 버퍼층(112)은 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에는 형성되지 않고, 복수의 아일랜드 기판(111)의 형상으로 패터닝되어 복수의 아일랜드 기판(111) 상부에만 형성될 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 버퍼층(112)을 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에만 형성하여 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형되는 경우에도 버퍼층(112)의 손상을 방지할 수 있다.
버퍼층(112)에는 복수의 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 연결 배선(180)과 복수의 아일랜드 기판(111) 상부에 배치된 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173)를 전기적으로 연결시키기 위한 컨택홀(CT)이 형성된다. 버퍼층(112)에 형성된 컨택홀(CT)은 복수의 아일랜드 기판(111)에 형성된 컨택홀(CT)로부터 연장될 수 있다.
도 3을 참조하면, 버퍼층(112) 상에는 게이트 전극(151), 액티브층(152), 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154)을 포함하는 트랜지스터(150)가 형성된다. 예를 들어, 버퍼층(112) 상에 액티브층(152)이 형성되고, 액티브층(152) 상에 액티브층(152)과 게이트 전극(151)을 절연시키기 위한 게이트 절연층(113)이 형성된다. 게이트 전극(151)과 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154)을 절연시키기 위한 층간 절연층(114)이 형성되고, 층간 절연층(114) 상에 액티브층(152)과 각각 접하는 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154)이 형성된다.
그리고, 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)은 패터닝되어 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에만 형성될 수 있다. 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114) 또한 버퍼층(112)과 동일하게 무기물로 이루어질 수 있으므로, 스트레쳐블 표시 장치(100)를 연신하는 과정에서 쉽게 크랙이 발생되는 등 손상될 수 있다. 이에, 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)은 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에는 형성되지 않고, 복수의 아일랜드 기판(111)의 형상으로 패터닝되어 복수의 아일랜드 기판(111) 상부에만 형성될 수 있다.
또한, 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에는 복수의 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 연결 배선(180)과 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173)를 전기적으로 연결하기 위한 컨택홀(CT)이 형성될 수 있다. 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에 형성된 컨택홀(CT)은 복수의 아일랜드 기판(111) 및 버퍼층(112)에 형성된 컨택홀(CT)이 연장될 수 있다.
도 3에서는 설명의 편의를 위해, 스트레쳐블 표시 장치(100)에 포함될 수 있는 다양한 트랜지스터 중 구동 트랜지스터만을 도시하였으나, 스위칭 트랜지스터, 커패시터 등도 표시 장치에 포함될 수 있다. 또한, 본 명세서에서는 트랜지스터(150)가 코플래너(coplanar) 구조인 것으로 설명하였으나, 스태거드(staggered) 구조 등의 다양한 트랜지스터도 사용될 수 있다.
도 3을 참조하면, 게이트 절연층(113) 상에는 게이트 패드(171)가 배치된다. 게이트 패드(171)는 게이트 신호를 복수의 서브 화소(SPX)에 전달하기 위한 패드이다. 게이트 패드(171)는 게이트 전극(151)과 동일 층 상에 위치하고, 게이트 전극(151)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 게이트 패드(171)는 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 트랜지스터(150) 및 유기 발광 소자(160)를 이루는 도전성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 게이트 패드(171)는 게이트 전극(151), 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154), 애노드(161) 등 중 하나와 동일한 물질로 동일 층상에 이루어질 수 있고, 또는 게이트 전극(151), 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154), 애노드(161) 등 중 2개와 동일한 물질로 동일 층상에 이루어질 수도 있다. 게이트 패드(171)는 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112) 및 게이트 절연층(113)에 형성된 컨택홀(CT)에 의해 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 게이트 배선으로 기능하는 제1 연결 배선(181)과 전기적으로 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 층간 절연층(114) 상에는 데이터 패드(173)가 배치된다. 데이터 패드(173)은 데이터 배선으로 기능하는 제2 연결 배선(182)과 전기적으로 연결되고, 제2 연결 배선(182)으로부터 전달된 데이터 신호를 복수의 서브 화소(SPX)에 전달할 수 있다. 데이터 패드(173)는 트랜지스터(150)의 소스 전극(153)이 연장되는 영역으로 정의될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 데이터 패드(173)는 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 트랜지스터(150) 및 유기 발광 소자(160)를 이루는 도전성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 데이터 패드(173)는 게이트 전극(151), 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154), 애노드(161) 등 중 하나와 동일한 물질로 동일 층상에 형성될 수 있고, 또는 게이트 전극(151), 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154), 애노드(161) 등 중 2개와 동일한 물질로 동일 층상에 형성될 수도 있다. 데이터 패드(173)는 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112), 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에 형성된 컨택홀(CT)에 의해 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 게이트 배선으로 기능하는 제2 연결 배선(182)과 전기적으로 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 트랜지스터(150) 및 층간 절연층(114) 상에 평탄화층(115)이 형성된다. 평탄화층(115)은 트랜지스터(150) 상부를 평탄화한다. 평탄화층(115)은 단층 또는 복수의 층으로 구성될 수 있으며, 유기 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 평탄화층(115)은 아크릴(acryl)계 유기 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 평탄화층(115)은 트랜지스터(150)와 애노드(161)를 전기적으로 연결하기 위한 컨택홀을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 트랜지스터(150)와 평탄화층(115) 사이에 패시베이션층이 형성될 수도 있다. 즉, 트랜지스터(150)를 수분 및 산소 등의 침투로부터 보호하기 위해, 트랜지스터(150)를 덮는 패시베이션층이 형성될 수 있다. 패시베이션층은 무기물로 이루어질 수 있고, 단층 또는 복층으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3을 참조하면, 평탄화층(115) 상에는 유기 발광 소자(160)가 배치된다. 유기 발광 소자(160)는 복수의 서브 화소(SPX) 각각에 대응되도록 배치되고, 특정 파장대를 가지는 광을 발광하는 구성요소이다. 즉, 유기 발광 소자(160)는 청색 광을 발광하는 청색 유기 발광 소자, 적색 광을 발광하는 적색 유기 발광 소자, 녹색 광을 발광하는 녹색 유기 발광 소자 또는 백색 광을 발광하는 백색 유기 발광 소자 일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 유기 발광 소자(160)가 백색 유기 발광 소자인 경우, 스트레쳐블 표시 장치(100)는 컬러 필터를 더 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(160)는 애노드(161), 유기 발광층(162) 및 캐소드(163)를 포함한다. 구체적으로, 애노드(161)는 평탄화층(115) 상에 배치된다. 애노드(161)는 유기 발광층(162)으로 정공을 공급하도록 구성되는 전극이다. 애노드(161)는 일함수가 높은 투명 전도성 물질로 구성될 수 있다. 여기서, 투명 전도성 물질은 인듐 주석 산화물(ITO; Indium Tin Oxide), 인듐 아연 산화물(IZO; Indium Zinc Oxide), 인듐 주석 아연 산화물(ITZO; Indium Tin Zinc Oxide)을 포함할 수 있다. 이때, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 탑 에미션(top emission) 방식으로 구현되는 경우, 애노드(161)는 반사판을 더 포함하여 구성될 수도 있다.
애노드(161)는 서브 화소(SPX) 별로 이격되어 배치되어 평탄화층(115)의 컨택홀을 통해 트랜지스터(150)와 전기적으로 연결된다. 예를 들어, 도 3에서 애노드(161)는 트랜지스터(150)의 드레인 전극(154)과 전기적으로 연결되는 것으로 도시되었으나, 소스 전극(153)과 전기적으로 연결될 수도 있다.
애노드(161) 및 평탄화층(115) 상에 뱅크(116)가 형성된다. 뱅크(116)는 인접하는 서브 화소(SPX)를 구분하는 구성요소이다. 뱅크(116)는 인접하는 애노드(161)의 양측의 적어도 일부를 덮도록 배치되어 애노드(161)의 상면 일부를 노출시킨다. 뱅크(116)는 애노드(161)의 모서리에 전류가 집중됨으로 인해 애노드(161)의 측면 방향으로 광이 발광하게 되어, 의도하지 않은 서브 화소(SPX)가 발광하거나 혼색되는 문제점을 방지하는 역할을 수행할 수도 있다. 뱅크(116)는 아크릴(acryl)계 수지, 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene; BCB)계 수지, 또는 폴리이미드로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
애노드(161) 상에 유기 발광층(162)이 배치된다. 유기 발광층(162)은 광을 발광하도록 구성된다. 유기 발광층(162)은 발광 물질을 포함할 수 있으며, 발광 물질은 인광 물질 또는 형광 물질을 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
유기 발광층(162)은 하나의 발광층으로 구성될 수 있다. 또는, 유기 발광층(162)은 전하 생성층을 사이에 두고 적층되어 복수의 발광층이 적층된 스택(stack) 구조를 가질 수 있다. 그리고, 유기 발광층(162)은 정공 수송층, 전자 수송층, 정공 저지층, 전자 저지층, 정공 주입층 및 전자 주입층 중 적어도 하나의 유기층을 더 포함할 수도 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 캐소드(163)는 유기 발광층(162) 상에 배치된다. 캐소드(163)는 유기 발광층(162)으로 전자를 공급한다. 캐소드(163)는 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide; ITO), 인듐 주석 아연 산화물(Indium Tin Zinc Oxide; ITZO), 아연 산화물(Zinc Oxide; ZnO) 및 주석 산화물(Tin Oxide; TO) 계열의 투명 도전성 산화물 또는 이테르븀(Yb) 합금으로 이루어질 수도 있다. 또는, 캐소드(163)는 금속 물질로 이루어질 수도 있다.
캐소드(163)는 복수의 아일랜드 기판(111) 각각과 중첩되도록 패터닝되어 형성될 수 있다. 즉, 캐소드(163)는 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에만 형성되며, 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에는 형성되지 않도록 배치될 수 있다. 캐소드(163)는 투명 도전성 산화물, 금속 물질 등과 같은 물질로 이루어지므로, 캐소드(163)가 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에도 형성되는 경우, 스트레쳐블 표시 장치(100)를 신축하는 과정에서 캐소드(163)가 손상될 수도 있다. 이에, 캐소드(163)는 캐소드(163)는 평면 상에서 복수의 아일랜드 기판(111) 각각에 대응되도록 형성될 수 있다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 캐소드(163)는 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에서 연결 배선(180)이 배치된 영역과 중첩하지 않는 면적을 갖도록 형성될 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 유기 발광 소자(160) 상에 봉지층(117)이 배치된다. 봉지층(117)은 유기 발광 소자(160)를 덮으며 뱅크(116)의 상면 일부와 접하여 유기 발광 소자(160)를 밀봉할 수 있다. 이에 봉지층(117)은 외부에서 침투할 수 있는 수분, 공기 또는 물리적 충격으로부터 유기 발광 소자(160)를 보호한다.
봉지층(117)은 복수의 아일랜드 기판(111) 각각과 중첩되도록 패터닝된 캐소드(163) 각각을 덮으며, 복수의 아일랜드 기판(111) 각각마다 형성될 수 있다. 즉, 하나의 아일랜드 기판(111)에 배치된 하나의 캐소드(163)를 덮도록 봉지층(117)이 배치되며, 복수의 아일랜드 기판(111) 각각에 배치된 봉지층(117)은 서로 이격될 수 있다.
봉지층(117)은 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역에만 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 봉지층(117)은 무기층을 포함하도록 구성될 수 있으므로, 스트레쳐블 표시 장치(100)를 연신하는 과정에서 크랙이 발생되는 등 쉽게 손상될 수 있다. 특히, 유기 발광 소자(160)는 수분 또는 산소에 취약하므로, 봉지층(117)이 손상되는 경우 유기 발광 소자(160)의 신뢰성이 감소할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 봉지층(117)이 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에는 형성되지 않음으로써, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형되는 경우에도 봉지층(117)의 손상이 최소화될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 종래의 일반적인 플렉서블 유기 발광 표시 장치와 비교하면, 상대적으로 강성을 갖는 복수의 아일랜드 기판(111)이 서로 이격되어 상대적으로 연성을 갖는 하부 기판(110) 상에 배치되는 구조를 갖는 차이가 있다. 또한, 스트레쳐블 표시 장치(100)의 캐소드(163) 및 봉지층(117)은 복수의 아일랜드 기판(111) 각각에 대응되도록 패터닝되어 배치된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 사용자가 스트레쳐블 표시 장치(100)를 늘어나게 하거나 휘게 하는 경우 스트레쳐블 표시 장치(100)가 보다 쉽게 변형될 수 있는 구조를 가지며, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 변형되는 과정에서 스트레쳐블 표시 장치(100)의 구성요소들이 손상되는 것을 최소화할 수 있는 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 하부 기판(110)이 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 복수의 제1 하부 패턴(110A)과 복수의 제1 하부 패턴(110A)을 제외한 제2 하부 패턴(110B)을 포함하며, 복수의 제1 하부 패턴(110A)의 모듈러스는 제2 하부 패턴(110B)의 모듈러스보다 크다. 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형될 경우, 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111) 하부에 배치된 복수의 제1 하부 패턴(110A)은 강성 하부 패턴으로서 복수의 아일랜드 기판(111)을 지지할 수 있다. 이에, 복수의 아일랜드 기판(111) 상에 배치되는 다양한 소자들은 복수의 아일랜드 기판(111)과 함께 복수의 제1 하부 패턴(110A)으로 지지될 수 있고, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 변형됨에 따라 손상되는 것이 감소될 수 있다.
또한, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형될 경우 복수의 제1 하부 패턴(110A)이 복수의 아일랜드 기판(111)과 동일한 물질로 이루어지며 제2 하부 패턴(110B)의 모듈러스보다 높은 모듈러스를 가짐으로써, 복수의 제1 하부 패턴(110A)은 복수의 아일랜드 기판(111)보다 더욱 늘어나는 등 변형되지 않을 수 있고, 복수의 제1 하부 패턴(110A)과 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 접착은 견고하게 유지될 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 복수의 제1 하부 패턴(110A)과 복수의 아일랜드 기판(111)가 중첩되어 배치됨으로써, 표시 소자가 배치되는 영역이 보다 강성을 가질 수 있어 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형이 지속적으로 이루어지는 경우라도 스트레쳐블 표시 장치(100)의 불량 발생은 감소될 수 있다.
그리고, 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되지 않는 제2 하부 패턴(110B)은 복수의 제1 하부 패턴(110A)과 비교하여 연성 특성을 가짐으로써, 복수의 아일랜드 기판(111) 사이의 제2 하부 패턴(110B)이 배치된 영역은 자유롭게 휘거나 늘어날 수 있다. 이에, 제2 하부 패턴(110B)과 중첩되어 배치되는 연결 배선(180) 또한 보다 자유롭게 휘거나 늘어날 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)의 휘거나 늘어나는 등의 변형은 보다 용이하게 이루어질 수 있다.
<베이스 폴리머와 전도성 입자로 구성된 연결 배선>
연결 배선(180)은 복수의 아일랜드 기판(111)과 하부 기판(110) 사이에 배치된다. 보다 상세하게, 연결 배선(180)의 상면은 복수의 아일랜드 기판(111)의 일부 하부 영역 및 하부 기판(110)과 상부 기판(120)을 접착하는 상부 접착층(118)의 하면과 접하도록 배치될 수 있다. 다만, 상부 기판(120)이 도 3에 도시된 바와 상이하게 코팅 방식으로 형성되는 경우, 상부 기판(120)은 별도의 접착층을 사용함이 없이 배치될 수 있으므로, 연결 배선(180)의 상면은 복수의 아일랜드 기판(111)의 일부 하부 영역 및 상부 기판(120)의 하면과 접하도록 배치될 수 있다. 또한, 연결 배선(180)의 하면은 하부 기판(110)의 제1 하부 패턴(110A)의 일부 영역으로부터 제2 하부 패턴(110B) 영역으로 연장되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 하부 패턴(110A)의 일부 영역은 아일랜드 기판(111)에 형성된 컨택홀(CT)과 대응되는 영역일 수 있다.
연결 배선(180)은 아일랜드 기판(111) 및 표시 소자를 구성하는 구성 요소 중 연결 배선(180)과 전기적으로 연결되어야 하는 패드, 즉, 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173) 하부의 절연층들 및 아일랜드 기판(111)에 형성된 컨택홀(CT)을 통해 각각의 아일랜드 기판(111) 상부에 배치된 패드(171, 173)와 전기적으로 연결될 수 있다.
연결 배선(180)은 연결 배선 중 X 측 방향으로 연장되는 제1 연결 배선(181) 및 연결 배선 중 Y축 방향으로 연장되는 제2 연결 배선(182)을 포함한다. 제1 연결 배선(181)은 제1 컨택홀(CT1)을 통해 각각의 아일랜드 기판(111) 상부에 배치된 게이트 패드(171)와 전기적으로 연결되고, 제2 연결 배선(182)은 제2 컨택홀(CT2)을 통해 각각의 아일랜드 기판(111) 상부에 배치된 데이터 패드(173)와 전기적으로 연결된다.
일반적인 표시 장치의 경우, 복수의 게이트 배선, 복수의 데이터 배선 등과 같은 다양한 배선은 복수의 서브 화소 사이에서 연장되어 배치되며, 하나의 신호 배선에 복수의 서브 화소가 연결된다. 이에, 일반적인 표시 장치의 경우, 게이트 배선, 데이터 배선, 고전위 전원 배선, 기준 전압 배선 등과 같은 다양한 배선은 기판 상에서 끊김없이 표시 장치의 일측에서 타측으로 연장된다.
이와 달리, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 금속 물질로 이루어지는 게이트 배선, 데이터 배선, 고전위 전원 배선, 기준 전압 배선 등과 같은 다양한 배선은 복수의 아일랜드 기판(111) 상에 배치된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서 금속 물질로 이루어진 다양한 배선은 복수의 아일랜드 기판(111) 상에만 배치되고, 하부 기판(110)에 접하도록 형성되지 않을 수 있다. 이에, 다양한 배선들은 복수의 아일랜드 기판(111)에 대응하도록 패터닝되어 불연속적으로 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 이러한 불연속적인 배선들은 연결하기 위해 서로 인접하는 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 패드(171, 173)가 연결 배선(180)에 의해 연결될 수 있다. 즉, 연결 배선(180)은 인접하는 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 패드(171, 173)를 전기적으로 연결한다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 게이트 배선, 데이터 배선, 고전위 전원 배선, 기준 전압 배선 등과 같은 다양한 배선을 복수의 아일랜드 기판(111) 사이에서 전기적으로 연결하도록 복수의 연결 배선(180)을 포함할 수 있다. 예를 들면, X축 방향으로 인접하게 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상에는 게이트 배선이 배치될 수 있고, 게이트 배선의 양 끝단에는 게이트 패드(171)가 배치될 수 있다. 이때, X축 방향으로 인접하여 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 복수의 게이트 패드(171) 각각은 게이트 배선으로 기능하는 연결 배선(180)에 의해 서로 연결될 수 있다. 이에, 복수의 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 게이트 배선과 하부 기판(110) 상에 배치된 연결 배선(180)이 하나의 게이트 배선으로 기능할 수 있다. 또한, 데이터 배선, 고전위 전원 배선, 기준 전압 배선 등과 같이 스트레쳐블 표시 장치(100)에 포함될 수 있는 모든 다양한 배선 또한 상술한 바와 같이, 연결 배선(180)에 의해 하나의 배선으로 기능할 수 있다.
도 2를 참조하면, 제1 연결 배선(181)은 X축 방향으로 인접하여 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 패드 중 나란히 배치된 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 패드들을 서로 연결할 수 있다. 제1 연결 배선(181)은 게이트 배선 또는 저전위 전원 배선으로 기능할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다. 예를 들면, 제1 연결 배선(181)은 게이트 배선으로 기능할 수 있고, 게이트 패드(171)의 하부에 배치된 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 형성된 제1 컨택홀(CT1)을 통하여 X축 방향으로 나란히 배치된 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 게이트 패드(171)를 전기적으로 연결할 수 있다. 이에, 앞서 설명한 바와 같이, X축 방향으로 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 게이트 패드(171)는 게이트 배선으로 기능하는 제1 연결 배선(181)에 의해 연결될 수 있고, 하나의 게이트 신호가 전달될 수 있다.
도 2를 참조하면, 제2 연결 배선(182)은 Y축 방향으로 인접하여 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 패드 중 나란히 배치된 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 패드들을 서로 연결할 수 있다. 제2 연결 배선(182)은 데이터 배선, 고전위 전원 배선 또는 기준 전압 배선으로 기능할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다. 예를 들면, 제2 연결 배선(182)은 데이터 배선으로 기능할 수 있고, 층간 절연층(114), 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 형성된 제2 컨택홀(CT2)을 통하여 Y축 방향으로 나란히 배치된 두 개의 아일랜드 기판(111) 상의 데이터 패드(173)를 전기적으로 연결할 수 있다. 이에, 앞서 설명한 바와 같이, Y축 방향으로 배치된 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 데이터 패드(173)는 데이터 배선으로 기능하는 복수의 제2 연결 배선(182)에 의하여 연결될 수 있고, 하나의 데이터 신호가 전달될 수 있다.
일반적인 스트레쳐블 표시 장치에서는 게이트 패드 및 데이터 패드 상의 평탄화층 및 뱅크에 컨택홀을 형성하여 상부에서 하부로 연장되도록 연결 배선을 형성하였으나, 이러한 경우 연결 배선이 표시 소자, 즉 뱅크의 상부에서 하부 기판까지 연장되어 배치되기 때문에 연결 배선의 단차가 커지게 된다. 이에 따라, 게이트 패드 및 데이터 패드 상의 평탄화층 및 뱅크에 컨택홀을 형성하여 상부에서 하부로 연장되도록 형성된 연결 배선은 큰 단차로 인해 보다 쉽게 손상되는 문제점이 있었다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 연결 배선(180)은 하부 기판(110)의 제1 하부 패턴(110A)의 일부 영역으로부터 제2 하부 패턴(110B)이 배치된 영역으로 연장되도록 배치하고, 아일랜드 기판(111) 상에 형성된 게이트 패드(171) 하부의 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 컨택홀(CT)을 형성하거나, 데이터 패드(173) 하부의 층간 절연층(114), 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 컨택홀을 형성한 후 연결 배선(180)과 동일한 물질로 컨택홀을 채운 후 전기적으로 연결 배선(180)과 게이트 패드(171) 또는 데이터 패드(173)가 전기적으로 연결되도록 형성함으로써 연결 배선(180)의 단차를 줄여 연결 배선(180)의 손상을 보다 최소화할 수 있다.
도 2를 참조하면, 연결 배선(180)은 베이스 폴리머 및 전도성 입자를 포함한다. 구체적으로, 제1 연결 배선(181)은 베이스 폴리머 및 전도성 입자를 포함하며, 제2 연결 배선(182)은 베이스 폴리머 및 전도성 입자를 포함한다. 제1 연결 배선(181)은 아일랜드 기판(111) 하부와 접착층(118)의 하부와 접하며 하부 기판(110)의 상면으로 연장되어 형성될 수 있다.
제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머는 하부 기판(110)과 유사하게 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있다. 베이스 폴리머는, 예를 들어, 폴리메탈실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 실리콘 고무(Silicon Rubber), 폴리우레탄(polyurethane; PU) 등의 탄성중합체(elastomer), SBS(Styrene Butadiene Styrene) 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다. 이에, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어날 경우, 베이스 폴리머는 손상되지 않을 수 있다. 베이스 폴리머는 하부 기판(110) 상부 및 아일랜드 기판(111) 하부에 베이스 폴리머를 구성하는 물질을 코팅하거나 슬릿(slit)을 사용하여 도포하는 방식으로 형성될 수 있다.
제1 연결 배선(181)의 전도성 입자는 베이스 폴리머에 분산될 수 있다. 구체적으로, 제1 연결 배선(181)은 베이스 폴리머 내에 일정한 농도로 분산된 전도성 입자를 포함할 수 있다. 제1 연결 배선(181)은, 예를 들어, 베이스 폴리머에 전도성 입자를 균일하게 교반한 후, 전도성 입자가 분산된 베이스 폴리머를 하부 기판(111)의 상부, 아일랜드 기판(111) 하부 및 접착층(118)의 하부에 코팅 및 경화하는 방식으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 전도성 입자는 은(Ag), 금(Au), 탄소(Carbon) 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.
제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머에 분산되어 배치된 전도성 입자는 서로 이웃하는 아일랜드 기판(111)에 각각 배치된 게이트 패드(171)들을 전기적으로 연결하는 전도성 경로를 이룰 수 있다. 또한, 제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머에 분산되어 배치된 전도성 입자는 복수의 아일랜드 기판(111) 중 최외곽에 배치된 아일랜드 기판(111)에 형성된 게이트 패드(171)와 비표시 영역(NA)에 배치된 패드를 전기적으로 연결하는 전도성 경로를 이룰 수 있다.
도 2를 참조하면, 제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머 및 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자는 서로 인접하는 아일랜드 기판(111)에 배치된 게이트 패드(171) 사이를 직선 형상으로 연결할 수 있다. 이를 위해, 제조 공정에서 베이스 폴리머는 복수의 아일랜드 기판(111) 각각을 연결하는 직선 형상으로 형성될 수 있다. 이에, 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자가 이루는 전도성 경로 또한 직선 형상일 수 있다. 그러나, 제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머 및 전도성 입자의 형성 과정 및 형상은 이에 제한되지 않을 수 있다.
도 2를 참조하면, 제2 연결 배선(182)은 아일랜드 기판(111) 하부와 상부 접착층(118)의 하부와 접하며 하부 기판(110)의 제2 하부 패턴(110B)의 상면으로 연장되어 형성될 수 있다.
제2 연결 배선(182)의 베이스 폴리머는 하부 기판(110)과 유사하게 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있으며, 제1 연결 배선(181)의 베이스 폴리머와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 베이스 폴리머는, 예를 들어, 폴리메탈실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 실리콘 고무(Silicon Rubber), 폴리우레탄(polyurethane; PU) 등의 탄성중합체(elastomer), SBS(Styrene Butadiene Styrene) 등을 포함할 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다.
그리고, 제2 연결 배선(182)의 전도성 입자는 베이스 폴리머에 분산될 수 있다. 구체적으로, 제2 연결 배선(182)은 베이스 폴리머 내에 일정한 농도로 분산된 전도성 입자를 포함할 수 있다. 이때, 제2 연결 배선(182)의 베이스 폴리머의 상부에 분산된 전도성 입자의 농도와 베이스 폴리머의 하부에 분산된 전도성 입자의 농도는 실질적으로 동일할 수 있다. 또한, 제2 연결 배선(182)의 제조 공정은 제1 연결 배선(181)의 제조 공정과 동일할 수 있으며, 동시에 수행될 수도 있다.
도 2를 참조하면, 제2 연결 배선(182)의 베이스 폴리머 및 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자는 서로 인접하는 아일랜드 기판(111)에 배치된 데이터 패드(173) 사이를 직선 형상으로 연결할 수 있다. 이를 위해, 제조 공정에서 베이스 폴리머는 복수의 아일랜드 기판(111) 각각을 연결하는 직선 형상으로 형성될 수 있다. 이에, 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자가 이루는 전도성 경로 또한 직선 형상일 수 있다. 그러나, 제2 연결 배선(182)의 베이스 폴리머 및 전도성 입자의 형성 과정 및 형상은 이에 제한되지 않을 수 있다.
몇몇 실시예에서, 연결 배선(180)의 베이스 폴리머는 서로 이웃하는 아일랜드 기판(111) 사이에서 하부 기판(110) 상에 단일층으로 형성될 수도 있다. 구체적으로, 베이스 폴리머는 도 2에 도시된 것과 달리, X축 방향으로 서로 가장 인접하는 아일랜드 기판(111) 사이의 영역에서 하부 기판(110)과 접하며 단일층으로 배치될 수 있다. 베이스 폴리머는 하나의 아일랜드 기판(111) 상의 일 측에 나란히 형성된 복수의 패드 모두와 중첩되어 형성될 수 있다. 그리고, 전도성 입자는 하나의 층으로 배치된 베이스 폴리머상에 복수의 전도성 경로를 이루며 복수의 패드 각각과 대응하도록 별도로 형성될 수 있다. 이에, 전도성 입자가 이루는 전도성 경로는 서로 인접하는 아일랜드 기판(111)에 배치된 패드 사이를 직선 형상으로 연결할 수 있으며, 예를 들면, 복수의 아일랜드 기판(111) 사이에 하나의 층으로 배치된 베이스 폴리머 상면에서 전도성 입자가 4개의 전도성 경로를 이루도록 주입될 수 있다.
또한, 몇몇 실시예에서, 연결 배선(180)의 베이스 폴리머는 하부 기판(110)의 전체 영역 상에 배치될 수도 있다. 즉, 베이스 폴리머는 하부 기판(110) 상에서 단일 층으로 배치될 수 있다. 그리고, 전도성 입자는 베이스 폴리머에서 인접하는 복수의 아일랜드 기판(111) 상의 패드를 연결하는 전도성 경로를 형성할 수 있다.
베이스 폴리머가 하부 기판(110) 상에서 전체 영역에 단일 층으로 배치될 경우, 베이스 폴리머를 패터닝하기 위한 별도의 공정이 필요하지 않을 수 있다. 따라서, 베이스 폴리머 및 연결 배선의 제조 공정이 단순화될 수 있고, 공정 비용 및 시간이 감소할 수 있다.
또한, 베이스 폴리머가 하부 기판(110) 상에서 전체 영역에 단일 층으로 배치됨으로써, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 경우 가해지는 힘을 베이스 폴리머가 보다 효율적으로 분산시킬 수 있다.
도 3을 참조하면, 봉지층(117) 및 하부 기판(110) 상에는 상부 기판(120), 편광층(190) 및 접착층(118)이 배치된다.
상부 기판(120)은 상부 기판(120)의 아래에 배치되는 다양한 구성요소들을 지지하는 기판이다. 상부 기판(120)은 연성 기판으로서 휘어지거나 늘어날 수 있는 절연 물질로 구성될 수 있다. 상부 기판(120)은 연성 기판으로서, 팽창 및 수축이 가역적으로 가능할 수 있다. 또한 탄성 계수(elastic modulus)가 수 MPa 내지 수 백 MPa일 수 있으며, 연신 파괴율이 100% 이상일 수 있다. 상부 기판(120)의 두께는 10um 내지 1mm일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상부 기판(120)은 하부 기판(110)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 폴리 메탈 실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 실리콘 고무(Silicone Rubber), 폴리 우레탄(polyurethane; PU) 등의 탄성 중합체(elastomer)로 이루어질 있으며, 이에, 유연한 성질을 가질 수 있다. 그러나, 상부 기판(120)의 재질은 이에 제한되는 것은 아니다.
도 3을 참조하면, 상부 기판(120)이 단일 패턴으로 이루어지는 것으로 도시하였으나, 하부 기판(110)과 같이 모듈러스가 상이한 제1 상부 패턴과 제2 상부 패턴을 포함하도록 이루어질 수도 있다. 예를 들어, 상부 기판(120)이 제1 상부 패턴과 제2 상부 패턴을 갖는다면, 제1 상부 패턴은 하부 기판(120)의 제1 하부 패턴(110A)과 대응되도록 배치될 수 있고, 제2 상부 패턴은 하부 기판(120)의 제2 하부 패턴(110B)과 대응되도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 상부 패턴은 제2 상부 패턴에 비해 모듈러스가 높은 강성 재질로 이루어질 수 있고, 제2 상부 패턴은 제1 상부 패턴에 비해 모듈러스가 낮은 연성 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2 상부 패턴은 제1 상부 패턴을 둘러싸도록 배치될 수 있다.
상부 기판(120)과 하부 기판(110)에는 압력이 가해져 상부 기판(120)의 아래에 배치된 상부 접착층(118)에 의하여 상부 기판(120)과 하부 기판(110)은 합착될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 실시예에 따라 상부 접착층(118)이 생략될 수도 있다. 예를 들어, 상부 접착층(118)이 생략되고, 상부 기판(120)을 이루는 물질을 코팅한 후 경화하는 방식으로 스트레쳐블 표시 장치(100)가 제조될 수도 있다.
상부 기판(120) 상에는 편광층(190)이 배치된다. 편광층(190)은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 외부로부터 입사되는 광을 편광시킬 수 있다. 편광층(190)을 통과하여 스트레쳐블 표시 장치(100)의 내부로 입사된 편광된 광은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 내부에서 반사될 수 있고, 이에, 위상이 전환될 수 있다. 위상이 전환된 광은 편광층(190)을 통과하지 못할 수 있다. 이에, 스트레쳐블 표시 장치(100)의 외부로부터 스트레쳐블 표시 장치(100)의 내부로 입사된 광은 스트레쳐블 표시 장치(100)의 외부로 다시 방출되지 못하여 스트레쳐블 표시 장치(100)의 외광 반사는 감소될 수 있다.
<복수의 아일랜드 기판에 의한 연신 특성>
스트레쳐블 표시 장치는 쉽게 휘거나 늘어나는 성질을 가져야 하므로, 모듈러스가 작아 연성 특성을 갖는 기판을 사용하려는 시도가 존재하였다. 다만, 모듈러스가 작은 폴리 메탈 실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)과 같은 연성 물질을 표시 소자가 제조되는 동안 배치되는 하부의 기판으로 사용할 경우, 모듈러스가 작은 물질의 열에 약한 특성에 의하여 트랜지스터, 표시 소자를 형성하는 공정 중 발생하는 고온, 예를 들어, 100℃ 이상의 온도에 의해 기판이 손상되는 문제가 발생하였다.
이에, 고온에 견딜 수 있는 물질로 이루어진 기판 상에 표시 소자를 형성하여야, 표시 소자를 형성하는 공정에서 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이에, 폴리이미드(polyimide; PI)와 같이 제조 공정 중에 발생하는 고온에 견딜 수 있는 물질로 기판을 형성하는 시도가 있었으나, 고온에 견딜 수 있는 물질들은 모듈러스가 커서 연성 특성을 가지지 못하여 스트레쳐블 표시 장치를 연신하는 과정에서 기판이 휘거나 늘어나기 어려운 문제가 발생하였다.
이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 트랜지스터(150)나 유기 발광 소자(160) 등이 배치되는 영역에만 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111)을 배치하여 트랜지스터(150)나 유기 발광 소자(160)의 제조 공정에서의 고온에 의해 복수의 아일랜드 기판(111)이 손상되지 않도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 복수의 아일랜드 기판(111) 하부 및 상부에 연성 기판인 하부 기판(110) 및 상부 기판(120)을 배치할 수 있다. 이에, 복수의 아일랜드 기판(111)과 중첩되는 영역을 제외한 하부 기판(110) 및 상부 기판(120)의 나머지 영역은 쉽게 늘어나거나 휘어질 수 있으므로, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 구현될 수 있다. 또한, 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111) 상에 배치되는 트랜지스터(150), 유기 발광 소자(160) 등이 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어남에 따라 손상되는 것을 방지될 수 있다.
<연결 배선의 효과>
한편, 스트레쳐블 표시 장치가 휘거나 늘어나는 경우, 연성 기판으로 이루어진 하부 기판이 변형되며, 유기 발광 소자가 배치된 강성 기판으로 이루어진 아일랜드 기판은 변형되지 않을 수 있다. 이 경우, 복수의 아일랜드 기판에 배치된 각각의 패드를 연결하는 배선이 쉽게 휘거나 늘어나는 물질로 이루어지지 못한 경우, 배선은 하부 기판의 변형에 의하여 크랙이 발생되는 등 손상될 수 있다.
이와 달리, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 복수의 아일랜드 기판(111) 각각에 배치된 패드를 베이스 폴리머와 전도성 입자를 포함하는 연결 배선(180)이 전기적으로 연결할 수 있다. 베이스 폴리머는 쉽게 변형될 수 있는 연성을 가진다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)는 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형될지라도 베이스 폴리머를 포함하는 연결 배선(180)이 복수의 아일랜드 기판(111) 사이 영역이 쉽게 변형될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는, 연결 배선(180)이 전도성 입자를 포함함으로써, 전도성 입자로 이루어진 전도성 경로에 베이스 폴리머의 변형에 의하여도 크랙 등의 손상이 발생되지 않을 수 있다. 예를 들어, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형될 경우, 연성 기판인 하부 기판(110)은 강성 기판인 복수의 아일랜드 기판(111)이 배치된 영역을 제외한 나머지 영역에서 변형될 수 있다. 이때, 변형되는 하부 기판(110) 상에 배치된 복수의 전도성 입자 사이의 거리가 변화될 수 있다. 이때, 베이스 폴리머 상부에 배치되어 전도성 경로를 형성하는 복수의 전도성 입자의 농도는 복수의 전도성 입자 사이의 거리가 멀어지더라도 전기적 신호가 전달될 수 있도록 높게 유지될 수 있다. 따라서, 베이스 폴리머가 휘거나 늘어날지라도 복수의 전도성 입자에 의한 전도성 경로는 전기적 신호를 원활하게 전달할 수 있고, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형되더라도 각각의 패드 사이에서 전기적 신호를 전달할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 연결 배선(180)이 베이스 폴리머 및 전도성 입자를 포함함으로써, 서로 인접한 복수의 아일랜드 기판(111)에 배치된 각각의 패드 사이를 연결하는 연결 배선(180)이 최단 거리를 이루도록, 즉, 직선 형태로 배치될 수 있다. 즉, 연결 배선(180)은 굴곡진 형상으로 형성되지 않더라도 스트레쳐블 표시 장치(100)가 구현될 수 있다. 연결 배선(180)의 전도성 입자는 베이스 폴리머에 분산되어 전도성 경로를 형성한다. 그리고, 스트레쳐블 표시 장치(100)가 휘거나 늘어나는 등 변형됨에 따라 전도성 입자에 의한 전도성 경로가 휘거나 늘어날 수 있다. 이 경우, 전도성 입자 사이의 거리가 변화될 뿐, 전도성 입자가 형성하는 전도성 경로는 여전히 전기적 신호를 전달할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 연결 배선(180)이 차지하는 공간을 최소화할 수 있다.
한편, 하부 기판 상에 이격되어 배치된 복수의 아일랜드 기판 상의 다양한 구성 요소 상부, 예를 들어, 뱅크의 상면에 연결 배선이 배치되고, 연결 배선은 뱅크 및 뱅크 하부에 배치된 절연층에 형성된 컨택홀을 통해 패드와 연결되는 경우가 있다. 또한, 이 경우, 연결 배선은 아일랜드 기판의 엣지에서 하부 기판 측으로 연장하여 이웃하는 아일랜든 기판 측으로 연장하므로, 뱅크의 상면과 하부 기판의 상면 사이에서 연결 배선은 큰 단차를 가질 수 있다. 예를 들어, 아일랜드 기판은 약 6㎛ 의 매우 두꺼운 두께를 가질 수 있으므로, 연결 배선은 아일랜드 기판의 엣지에서 큰 단차를 가질 수 있다. 이 경우, 연결 배선을 이루는 베이스 폴리머의 단차에 의하여 베이스 폴리머 자체가 끊어질 수 있어, 인접하는 아일랜드 기판에 배치된 패드 사이의 전기적 경로가 차단될 수 있고, 이로 인해 스트레쳐블 표시 장치의 불량률은 증가될 수 있다.
이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)에서는 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173) 하부에 배치된 절연층(112, 113, 114) 및 아일랜드 기판(111)에 컨택홀(CT)을 형성한 후 아일랜드 기판(111) 하면에 배치된 연결 배선(180)이 컨택홀(CT)에 의해 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173)와 전기적으로 연결되도록 함으로써, 연결 배선(180)이 단차를 가지지 않을 수 있다. 이에, 연결 배선(180)의 단차에 의한 연결 배선(180)의 손상을 줄임으로써 스트레쳐블 표시 장치(100)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 3에서는 연결 배선(180)에 의해 연결되는 패드가 게이트 패드(171) 및 데이터 패드(173)인 것으로 설명하였으나, 이에 제한되지 않는다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)의 제조 방법을 설명하기 위해 도 4a 내지 도 4g를 함께 참조한다.
<일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법>
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
먼저, 도 4a를 참조하면, 임시 기판(TS) 상에 아일랜드 기판(111)이 배치되고, 아일랜드 기판(111) 상에는 버퍼층(112), 게이트 절연층(113), 층간 절연층(114), 평탄화층(115), 뱅크(116) 및 봉지층(117)이 순차적으로 형성된 복수의 절연층들과 트랜지스터(150) 및 유기 발광 소자(160)를 포함하는 표시 소자를 형성한다.
이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 임시 기판(TS)과 상부 기판(120)을 접착하기 위해, 상부 기판(120)의 하면에 상부 접착층(118)을 배치한 후, 상부 기판(120) 및 편광층(190)을 상부 접착층(118)을 사용하여 임시 기판(TS)과 접착시킨다. 다만, 이에 제한되지 않고, 별도의 상부 접착층(118) 없이 상부 기판(120) 용 물질을 임시 기판(TS) 상에 코팅한 후, 해당 물질을 경화하는 방식으로 상부 기판(120)을 형성한 후, 편광층(190)을 상부 기판(120) 상부에 배치시킬 수도 있다.
이때, 상부 기판(120) 및 편광층(190) 상부에는 스트레쳐블 표시 장치(100) 제조 공정 중에 상부 기판(120) 및 편광층(190)을 보호하기 위한 보호 필름(PF)이 배치될 수 있다. 보호 필름(PF)은 플라스틱 물질로 이루어지는 필름 형태로 구현될 수도 있으나, 유리와 같은 물질로 이루어지는 보호 글라스(glass)도 사용 가능하다.
이후, 도 4c에 도시된 바와 같이, 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118) 하부에 배치된 임시 기판(TS)을 제거하고, 유기 발광 소자(160), 트랜지스터(150), 아일랜드 기판(111), 상부 기판(120), 편광층(190) 및 보호 필름(PF) 등이 배치된 구성요소들을 반전시킨다. 다만, 이에 제한되지 않고, 구성요소들을 반전시킨 후 임시 기판(TS)을 제거하는 공정이 수행될 수도 있다.
이후, 도 4d에 도시된 바와 같이, 게이트 패드(171)가 배치된 영역에 대응하여 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112) 및 게이트 절연층(113)에 게이트 패드(171)가 노출되도록 제1 컨택홀(CT1)을 형성한다. 또한, 데이터 패드(173)가 배치된 영역에 대응하여 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112), 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에 데이터 패드(173)가 노출되도록 제2 컨택홀(CT2)을 형성한다. 이때, 컨택홀(CT)은 드라이 에칭(dry etching) 공정 또는 레이저 공정 등을 통해 형성될 수 있다. 이에, 컨택홀(CT)의 단면적은 연결 배선(180)으로부터 패드(171, 173) 방향으로 진행할수록 감소할 수 있다.
이후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 제1 컨택홀(CT1) 및 제1 컨택홀(CT1)이 형성된 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118)의 하부 영역에 제1 연결 배선(181)을 형성하고, 제2 컨택홀(CT2) 및 제2 컨택홀(CT2)이 형성된 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118)의 하부 영역에 제2 연결 배선(182)을 형성한다. 이에, 제1 연결 배선(181)은 게이트 패드(171)와 제1 컨택홀(CT1)을 통해 접하고, 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118)의 하면에서 연장할 수 있다. 또한, 제2 연결 배선(182)은 데이터 패드(173)와 제2 컨택홀(CT2)을 통해 접하고, 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118)의 하면에서 연장할 수 있다.
제1 연결 배선(181)과 제2 연결 배선(182)은 동시에 형성될 수 있다. 즉, 컨택홀(CT)을 형성한 상태에서, 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118)의 하면에 전도성 입자가 분산된 베이스 폴리머를 코팅한 후 경화하는 방식으로 제1 연결 배선(181)과 제2 연결 배선(182)이 동시에 형성될 수 있다.
이후, 도 4f에 도시된 바와 같이, 아일랜드 기판(111) 및 연결 배선(180)의 하면에 하부 접착층(119)을 사용하여 하부 기판(110)을 합착할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 하부 접착층(119)은 생략될 수도 있다.
이후, 도 4g에 도시된 바와 같이, 편광층(190) 상에 형성된 보호 필름(PF)을 제거한 후, 구성요소들을 다시 반전시키면 본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)가 완성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(100)의 제조 방법에서는 아일랜드 기판(111) 및 절연층들에 컨택홀(CT)을 형성하는 방식으로 용이하게 연결 배선(180)과 패드(171, 173)를 컨택시킬 수 있으므로, 매우 쉬운 공정으로 연결 배선(180)의 손상 가능성을 낮출 수 있다.
<다른 실시예에 따른 단면 구조>
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다. 도 5의 스트레쳐블 표시 장치(500)는 도 1 내지 도 3의 스트레쳐블 표시 장치(100)와 비교하여 연결 배선(580), 게이트 패드(571) 및 데이터 패드(573)가 상이하고, 전도성 컨택 패드(510)가 더 배치된다는 것을 제외하면 실질적으로 동일한 바, 중복 설명은 생략한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)는 하부 기판(110) 상에 전도성 컨택 패드(510)가 배치된다. 전도성 컨택 패드(510)는 아일랜드 기판(111)에 의해 덮이고, 전도성 컨택 패드(510)는 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 게이트 패드(571) 및 데이터 패드(573)와 대응되는 영역에 배치될 수 있다. 전도성 컨택 패드(510)를 덮도록 아일랜드 기판(111)이 배치됨에 따라, 전도성 컨택 패드(510)와 아일랜드 기판(111)의 하면은 동일 평면 상에 배치될 수 있다. 전도성 컨택 패드(510)는 전도성 물질로 이루어질 수 있다.
전도성 컨택 패드(510)는 게이트 패드(571)와 전기적으로 연결되는 제1 전도성 컨택 패드(511) 및 데이터 패드(573)와 전기적으로 연결되는 제2 전도성 컨택 패드(512)를 포함한다.
제1 전도성 컨택 패드(511)는 게이트 패드(571)와 제1 컨택홀(CT1)을 통해 전기적으로 연결될 수 있고, 제2 전도성 컨택 패드(512)는 데이터 패드(573)와 제2 컨택홀(CT2)을 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제1 전도성 컨택 패드(511)는 제1 연결 배선(581)과 연결되어 게이트 배선의 일부로 기능을 수행할 수 있고, 제2 전도성 컨택 패드(512)는 제2 연결 배선(582)과 연결되어 데이터 배선의 일부로 기능을 수행할 수 있다.
전도성 컨택 패드(510) 상에는 아일랜드 기판(111)이 배치되고, 아일랜드 기판(111) 상에는 버퍼층(112) 및 게이트 절연층(113)이 순차적으로 배치된다. 이때, 버퍼층(112) 상부에는 트랜지스터(150)의 액티브층(152)이 배치되고, 게이트 절연층(113) 상부에는 제1 전도성 컨택 패드(511)와 대응되도록 게이트 패드(571)가 배치되며, 트랜지스터(150)의 액티브층(152)과 중첩되도록 게이트 전극(151)이 배치된다. 이때, 게이트 패드(571)는 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112) 및 게이트 절연층(113)에 형성된 제1 컨택홀(CT1)에 의해 제1 전도성 컨택 패드(511)와 접하고, 제1 컨택홀(CT1) 내부에는 게이트 패드(571) 형성 시 게이트 패드 형성 물질이 배치될 수 있다.
게이트 패드(171) 및 게이트 전극(151)이 형성된 게이트 절연층(113) 상부에는 층간 절연층(114)이 배치되고, 층간 절연층(114) 상부에는 제2 전도성 컨택 패드(512)와 대응되도록 데이터 패드(573)가 배치된다. 이때, 데이터 패드(573)는 트랜지스터(150)의 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154)과 동일한 물질로 이루어질 수 있고, 소스 전극(153)이 연장되어 배치될 수 있다. 이때, 데이터 패드(573)는 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112), 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에 형성된 제2 컨택홀(CT2)에 의해 제2 전도성 컨택 패드(512)와 전기적으로 연결되고, 제2 컨택홀(CT2) 내부에는 데이터 패드(573) 형성 시 데이터 패드 형성 물질이 배치될 수 있다.
연결 배선(580)은 전도성 컨택 패드(510)와 접하도록 아일랜드 기판(111) 하부에 배치될 수 있다. 구체적으로 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 연결 배선(581)은 게이트 패드(571)와 연결되는 제1 전도성 컨택 패드(511)와 접하며, 아일랜드 기판(111) 하부에서 평평한 형상을 가질 수 있다. 또한, 제2 연결 배선(582)은 데이터 패드(572)와 연결되는 제2 전도성 컨택 패드(512)와 접하며, 아일랜드 기판(111) 하부에서 평평한 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)에서는 아일랜드 기판(110)이 전도성 컨택 패드(510)를 덮도록 배치시킨 후, 연결 배선(580)은 아일랜드 기판(111)의 하면에 배치되도록 형성하여, 전도성 컨택 패드(510)를 통해 게이트 패드(571) 및 데이터 패드(573)와 연결 배선(580)이 전기적으로 연결됨으로써, 연결 배선(580)은 평평한 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 따라서, 연결 배선(580)에는 단차가 발생하지 않으므로, 연결 배선(580)이 안정적으로 형성될 수 있고, 표시 장치(500)의 신뢰성이 개선될 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)의 제조 방법을 설명하기 위해 도 6a 내지 도 6g를 함께 참조한다.
<다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법>
도 6a 내지 도 6g는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.
먼저, 도 6a를 참조하면, 임시 기판(TS) 상에 제1 전도성 컨택 패드(511) 및 제2 전도성 컨택 패드(512)을 형성한다. 이때, 제1 전도성 컨택 패드(511)와 제2 전도성 컨택 패드(512)는 일정거리 이격되어 형성된다.
재1 전도성 컨택 패드(511)와 제2 전도성 컨택 패드(512)가 형성된 임시 기판(TS) 상에 아일랜드 기판(111) 및 버퍼층(112)을 순차적으로 형성한 후, 트랜지스터(150)의 액티브층(152)을 형성한다. 액티브층(152)이 형성된 버퍼층(112) 상부에는 게이트 절연층(113)을 형성한 후, 제1 전도성 컨택 패드(511)가 노출되도록 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112) 및 게이트 절연층(113)에 제1 컨택홀(CT1)을 형성한다. 이때, 제1 컨택홀(CT1)은 드라이 에칭 공정 또는 레이저 공정 등을 통해 형성될 수 있다. 이에, 제1 컨택홀(CT1)의 단면적은 제1 전도성 컨택 패드(511)로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.
이후, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제1 컨택홀(CT1)을 통해 제1 전도성 컨택 패드(571)와 연결되는 게이트 패드(571)가 배치되고, 트랜지스터(150)의 액티브층(152)과 중첩하는 영역에 게이트 전극(151)을 형성한다.
게이트 전극(151) 및 게이트 패드(571)가 형성된 게이트 절연층(113) 상에는 층간 절연층(114)을 형성한 후, 제2 전도성 컨택 패드(512)가 노출되도록 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112), 게이트 절연층(113) 및 층간 절연층(114)에 제2 컨택홀(CT2)을 형성한다. 이때, 제2 컨택홀(CT2)은 드라이 에칭 공정 또는 레이저 공정 등을 통해 형성될 수 있다. 이에, 제2 컨택홀(CT2)의 단면적은 제2 전도성 컨택 패드(512)로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.
이후, 도 6c에 도시된 바와 같이, 제2 컨택홀(CT2)을 통해 제2 전도성 컨택 패드(572)와 연결되는 데이터 패드(573)가 배치되고, 데이터 패드(573)와 연장된 소스 전극(153) 및 소스 전극(153)과 이격 배치된 드레인 전극(154)을 형성함으로써 트랜지스터(150)가 완성된다. 이후, 순차적으로 평탄화층(115), 뱅크(116) 및 봉지층(117)과 유기 발광 소자(160)가 배치된다.
이후, 도 6d에 도시된 바와 같이, 아일랜드 기판(111), 버퍼층(112), 게이트 절연층(113), 층간 절연층(114), 평탄화층(115) 및 뱅크층(116)을 복수의 아일랜드 형태로 절단한다. 이후, 임시 기판(TS)과 상부 기판(120)을 접착하기 위해, 상부 기판(120)의 하면에 상부 접착층(118)을 배치한 후, 상부 기판(120) 및 편광층(190)을 상부 접착층(118)을 사용하여 임시 기판(TS)과 접착시킨다.
이후, 도 6e에 도시된 바와 같이, 아일랜드 기판(111) 및 상부 접착층(118) 하부에 배치된 임시 기판(TS)을 제거하고, 유기 발광 소자(160), 트랜지스터(150), 아일랜드 기판(111), 상부 기판(120), 편광층(190) 및 보호 필름(PF) 등이 배치된 구성요소들을 반전시킨다.
이후, 임시 기판(TS)을 제거하여 노출된 제1 전도성 컨택 패드(511) 및 제2 전도성 컨택 패드(512)와 전기적으로 연결되도록 제1 연결 배선(581) 및 제2 연결 배선(582)을 형성한다. 이때, 제1 연결 배선(181)과 제2 연결 배선(182)은 제1 전도성 컨택 패드(511) 및 제2 전도성 컨택 패드(512)와 대응되는 아일랜드 기판(111) 하부 일부 영역으로부터 상부 접착층(118)의 하부 영역으로 연장되도록 형성한다. 다시 말해, 제1 연결 배선(581)과 제2 연결 배선(582) 각각은 제1 전도성 컨택 패드(511) 및 제2 전도성 컨택 패드(512) 각각과 대응되는 아일랜드 기판(111)의 일부 영역으로부터 상부 접착층(118)의 영역까지 연장되도록 형성할 수 있다. 이때, 전도성 컨택 패드(510)와 아일랜드 기판(111)은 평평한 하면을 제공하므로, 연결 배선(580)은 단차 없이 평평한 형상으로 형성될 수 있다.
이후, 도 6f에 도시된 바와 같이, 아일랜드 기판(111) 및 연결 배선(180)의 하면에 하부 접착층(119)을 사용하여 하부 기판(110)을 합착할 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 하부 접착층(119)은 생략될 수도 있다.
이후, 도 6g에 도시된 바와 같이, 편광층(190) 상에 형성된 보호 필름(PF)을 제거한 후, 구성요소들을 다시 반전시키면 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)가 완성된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)의 제조 방법에서는 아일랜드 기판(111)을 배치하기 전에 전도성 컨택 패드(510)를 먼저 형성한 후 전도성 컨택 패드(580)를 덮도록 아일랜드 기판(111)을 배치한다. 따라서, 추후 컨택홀(CT)을 형성하는 공정에서 형성하여야 하는 컨택홀(CT)의 깊이를 전도성 컨택 패드(510)의 두께만큼 감소시킬 수 있으므로, 컨택홀(CT) 공정이 보다 용이해질 수 있다. 또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)의 제조 방법에서는 아일랜드 기판(111)이 전도성 컨택 패드(510)를 덮도록 배치되어, 아일랜드 기판(111)과 전도성 컨택 패드(510)가 평평한 하면을 제공하므로, 연결 배선(580)은 아일랜드 기판(111)과 전도성 컨택 패드(510)의 하면에서 단차 없이 평평한 형상을 가질 수 있다. 이에, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(500)의 제조 방법을 통해 제조된 스트레쳐블 표시 장치(500)에서는 연결 배선(580)이 손상됨에 따라 발생할 수 있는 스트레쳐블 표시 장치(500)의 신뢰성 저하를 방지할 수 있다.
<도전성 구성 요소로 이루어지고 굴곡진 형상의 연결 배선>
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 부분 확대 평면도이다. 도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다. 도 7 및 도 8의 스트레쳐블 표시 장치(700)는 도 1 내지 도 3의 스트레쳐블 표시 장치(100)와 비교하여 연결 배선(780)이 상이하다는 것을 제외하면 실질적으로 동일한 바, 중복 설명은 생략한다. 도 7에서는 설명의 편의를 위해 아일랜드 기판(111) 상에 배치된 다양한 구성요소 중 봉지층(117)을 도시하였다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(700)의 연결 배선(780)은 굴곡진 형상을 가진다. 연결 배선(780)은 복수의 아일랜드 기판(111) 중 서로 이웃하는 아일랜드 기판(111)에 배치된 패드를 전기적으로 연결하며 각각의 패드 사이에서 직선이 아닌 굴곡진 형상으로 연장된다. 예를 들면, 도 7에 도시된 것과 같이, 연결 배선(780)은 사인파(sine) 형상을 가질 수 있다. 다만, 연결 배선(780)의 형상은 이에 제한되지 않으며, 예를 들어, 연결 배선(780)은 지그재그 형상으로 연장될 수 있으며, 복수의 마름모 모양의 배선들이 꼭지점에서 연결되어 연장되는 등의 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 8을 참조하면, 게이트 절연층(113) 상에는 게이트 패드(171)가 형성되고, 하부 기판(110)의 제1 하부 패턴(110A)의 일부 영역 및 제2 하부 패턴(110B) 상에 제1 연결 배선(781)이 형성되며, 게이트 패드(171)와 제1 연결 배선(781)은 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 연장되어 형성된 제1 컨택홀(CT1)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.
도 8을 참조하면, 게이트 배선으로 기능할 수 있는 제1 연결 배선(781)은 인접하는 아일랜드 기판(111) 각각 상에 형성된 게이트 패드(171)를 전기적으로 연결할 수 있다. 제1 연결 배선(781)은 복수의 아일랜드 기판(111) 사이에서 아일랜드 기판(111) 및 하부 접착층(118)과 접한다.
제1 연결 배선(781)은 게이트 전극(151) 및 게이트 패드(171)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 제1 연결 배선(781)은 게이트 전극(151) 및 게이트 패드(171)와 다른 전도성 물질로 이루어질 수도 있다.
도 8을 참조하면, 층간 절연층(114) 상에는 데이터 패드(173)가 형성된다. 이때, 소스 전극(153)이 아일랜드 기판(111) 외곽으로 연장하여 데이터 패드(173)로 기능하며, 제2 연결 배선(782)과 전기적으로 연결될 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 소스 전극(153)과 전기적으로 연결된 데이터 패드(173)가 별도로 형성된 것으로 정의될 수도 있다.
또한, 제2 연결 배선(782)은 하부 기판(110)의 제1 하부 패턴(110A)의 일부 영역 및 제2 하부 패턴(110B) 상에 형성되며, 데이터 패드(173)와 제2 연결 배선(782)은 층간 절연층(114), 게이트 절연층(113), 버퍼층(112) 및 아일랜드 기판(111)에 연장되어 형성된 제2 컨택홀(CT2)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.
또한, 제2 연결 배선(782)은 제1 연결 배선(781)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 이에, 제2 연결 배선(782)과 제1 연결 배선(781)은 동일한 공정에서 동시에 형성될 수 있다. 즉, 제2 연결 배선(782)은 제1 연결 배선(781), 게이트 전극(151) 및 게이트 패드(171)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(700)에서는 제1 연결 배선(781)과 제2 연결 배선(782)이 게이트 전극(151) 및 게이트 패드(171)와 동일한 물질로 이루어지는 것으로 기재하였으나, 다만, 이에 제한되지 않고, 제1 연결 배선(781)과 제2 연결 배선(782)이 소스 전극(153), 드레인 전극(154) 및 데이터 패드(173)와 동일한 물질로 이루어질 수 있고, 다른 전도성 물질로 이루어질 수도 있다.
복수의 아일랜드 기판 상에 배치되는 여러 구성요소의 두께에 의하여, 복수의 아일랜드 기판 상에 배치된 연결 배선과 하부 기판 상에 배치된 연결 배선에는 단차가 존재할 수 있다. 이에 따라, 연결 배선은 단차로 인해 크랙이 발생하여 단선될 수 있다.
그러나, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치(700)에서는 아일랜드 기판(111)의 일부 하부면과 상부 접착층(118)의 하면과 접하면서 단차없이 평평한 형상을 갖도록 연결 배선(780)을 형성함으로써 연결 배선(780)의 손상을 방지할 수 있고, 스트레쳐블 표시 장치(700)의 신뢰성이 개선될 수 있다.
<마이크로 LED를 포함하는 스트레쳐블 표시 장치>
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 하나의 서브 화소에 대한 개략적인 단면도이다. 도 9의 스트레쳐블 표시 장치는 도 1 내지 도 3의 스트레쳐블 표시 장치(100)와 비교하여 LED(960)가 상이하다는 것을 제외하면 실질적으로 동일한 바, 중복 설명은 생략한다.
도 9를 참조하면, 게이트 절연층(113) 상에는 공통 배선(CL)이 배치된다. 공통 배선(CL)은 복수의 서브 화소(SPX)에 공통 전압을 인가하는 배선이다. 공통 배선(CL)은 트랜지스터(150)의 소스 전극(153) 및 드레인 전극(154)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
그리고, 층간 절연층(114) 상에는 반사층(983)이 배치된다. 반사층(983)은 LED(960)에서 발광된 광 중 하부 기판(110) 측을 향해 발광된 광을 스트레쳐블 표시 장치(900) 상부로 반사시켜 외부로 출광시키기 위한 층이다. 반사층(983)은 높은 반사율을 갖는 금속 물질로 이루어질 수 있다.
반사층(983) 상에는 반사층(983)을 덮는 접착층(917)이 배치된다. 접착층(917)은 반사층(983) 상에 LED(960)를 접착시키기 위한 층으로, 금속 물질로 이루어지는 반사층(983)과 LED(960)를 절연시킬 수도 있다. 접착층(917)은 열 경화 물질 또는 광 경화 물질로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 도 9에서는 접착층(917)이 반사층(983)만을 덮도록 배치된 것으로 도시되었으나, 접착층(917)의 배치 위치는 이에 제한되는 것은 아니다.
접착층(917) 상에는 LED(960)가 배치된다. LED(960)는 반사층(983)과 중첩되어 배치된다. LED(960)는 n형층(961), 활성층(962), p형층(963), n전극(965) 및 p전극(964)을 포함한다. 이하에서는, LED(960)로 레터럴(lateral) 구조의 LED(960)가 사용되는 것으로 설명하나, LED(960)의 구조가 이에 제한되는 것은 아니다.
구체적으로, LED(960)의 n형층(961)은 접착층(917) 상에서 반사층(983)과 중첩되어 배치된다. n형층(961)은 우수한 결정성을 갖는 질화 갈륨에 n형 불순물을 주입하여 형성될 수 있다. n형층(961) 상에는 활성층(962)이 배치된다. 활성층(962)은 LED(960)에서 빛을 발하는 발광층으로, 질화물 반도체, 예를 들어, 인듐 질화 갈륨으로 이루어질 수 있다. 활성층(962) 상에는 p형층(963)이 배치된다. p형층(963)은 질화 갈륨에 p형 불순물을 주입하여 형성될 수 있다. 다만, n형층(961), 활성층(962) 및 p형층(963)의 구성 물질은 이에 제한되는 것은 아니다.
LED(960)의 p형층(963) 상에는 p전극(964)이 배치된다. 또한, LED(960)의 n형층(961) 상에는 n전극(965)이 배치된다. n전극(965)은 p전극(964)과 이격되어 배치된다. 구체적으로, LED(960)는, n형층(961), 활성층(962) 및 p형층(963)이 차례대로 적층되고, 활성층(962) 및 p형층(963)의 소정 부분이 식각되고, n전극(965)과 p전극(964)을 형성하는 방식으로 제조될 수 있다. 이때, 소정 부분은 n전극(965)과 p전극(964)을 이격시키기 위한 공간으로, n형층(961)의 일부가 노출되도록 소정 부분이 식각될 수 있다. 다시 말해, n전극(965)과 p전극(964)이 배치될 LED(960)의 면은 평탄화된 면이 아닌 서로 다른 높이 레벨을 가질 수 있다. 이에, p전극(964)은 p형층(963) 상에 배치되고, n전극(965)은 n형층(961) 상에 배치되며, p전극(964)과 n전극(965)은 서로 다른 높이 레벨에서 서로 이격되어 배치된다. 이에, n전극(965)은 p전극(964)에 비하여 반사층(983)에 인접하게 배치될 수 있다. 그리고, n전극(965)과 p전극(964)은 도전성 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 투명 도전성 산화물로 이루어질 수 있다. 또한, n전극(965)과 p전극(964)은 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 그러나, 이에 제한되는 것은 아니다.
층간 절연층(114) 및 접착층(917) 상에는 평탄화층(115)이 배치된다. 평탄화층(115)은 트랜지스터(150)의 상부 표면을 평탄화하는 층이다. 평탄화층(115)은 LED(960)가 배치된 영역을 제외한 영역에서 평탄화층(115)의 상부 표면을 평탄화하며 배치될 수 있다. 이때, 평탄화층(115)은 2개 이상의 층으로 구성될 수도 있다.
평탄화층(115) 상에는 제1 전극(981) 및 제2 전극(982)이 배치된다. 제1 전극(981)은 트랜지스터(150)와 LED(960)를 전기적으로 연결하는 전극이다. 제1 전극(981)은 평탄화층(115)에 형성된 컨택홀을 통하여 LED(960)의 p전극(964)과 연결된다. 또한, 제1 전극(981)은 평탄화층(115) 및 층간 절연층(114)에 형성된 컨택홀을 통해 트랜지스터(150)의 드레인 전극(154)과 연결된다. 다만, 이에 제한되지 않고, 트랜지스터(150)의 타입에 따라 제1 전극(981)은 트랜지스터(150)의 소스 전극(153)과 연결될 수도 있다. LED(960)의 p전극(964)과 트랜지스터(150)의 드레인 전극(154)은 제1 전극(981)에 의하여 전기적으로 연결된다.
제2 전극(982)은 LED(960)와 공통 배선(CL)을 전기적으로 연결하는 전극이다. 구체적으로, 제2 전극(982)은 평탄화층(115) 및 층간 절연층(114)에 형성된 컨택홀을 통해 공통 배선(CL)과 연결되고, 평탄화층(115)에 형성된 컨택홀을 통해 LED(960)의 n전극(965)과 연결된다. 따라서, 공통 배선(CL)과 LED(960)의 n전극(965)은 전기적으로 연결된다.
스트레쳐블 표시 장치(900)가 턴온(Turn-On)될 경우, 트랜지스터(150)의 드레인 전극(154) 및 공통 배선(CL) 각각에는 서로 상이한 레벨의 전압이 인가될 수 있다. 제1 전극(981)에는 트랜지스터(150)의 드레인 전극(154)에 인가되는 전압이 인가될 수 있고, 제2 전극(982)에는 공통 전압이 인가될 수 있다. 서로 상이한 레벨의 전압은 제1 전극(981) 및 제2 전극(982)을 통해 p전극(964)과 n전극(965)에 인가될 수 있고, 이에, LED(960)가 발광할 수 있다.
도 9에서는 트랜지스터(150)가 p전극(964)과 전기적으로 연결되고 공통 배선(CL)이 n전극(965)과 전기적으로 연결되는 것으로 설명되었으나, 이에 제한되지 않고, 트랜지스터(150)가 n전극(965)과 전기적으로 연결되고 공통 배선(CL)이 p전극(964)과 전기적으로 연결될 수도 있다.
평탄화층(115), 제1 전극(981) 및 제2 전극(982) 상에는 뱅크(116)가 배치된다. 뱅크(116)는 반사층(983)의 끝단과 중첩되도록 배치되며, 뱅크(116)와 중첩되지 않는 반사층(983)의 일부는 발광 영역으로 정의될 수 있다. 뱅크(116)는 유기 절연 물질로 이루어질 수 있으며, 평탄화층(115)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 뱅크(116)는 LED(960)에서 발광된 광이 인접 서브 화소(SPX)로 전달되어 혼색 현상이 발생하는 것을 방지하기 위해, 블랙 물질을 포함하도록 구성될 수도 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(900)는 LED(960)를 포함한다. LED(960)는 유기 물질이 아닌 무기 물질로 이루어지므로, 신뢰성이 우수하여 액정 표시 소자나 유기 발광 소자에 비해 수명이 길다. 또한, LED(960)는 점등 속도가 빠를 뿐만 아니라, 소비 전력이 적고, 내충격성이 강해 안정성이 뛰어나며, 발광 효율이 우수해 고휘도의 영상을 표시할 수 있기 때문에 초대형 화면에도 적용되기에 적합한 소자이다. 특히, LED(960)는 유기 물질이 아닌 무기 물질로 이루어지므로, 유기 발광 소자를 사용하는 경우 요구되는 봉지층이 사용되지 않을 수 있다. 이에, 스트레쳐블 표시 장치(900)를 연신하는 과정에서 쉽게 크랙이 발생되는 등 손상될 수 있는 봉지층이 생략될 수 있다. 따라서, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(900)에서는 LED(960)를 표시 소자로 사용하여, 스트레쳐블 표시 장치(900)가 휘거나 늘어나는 등 변형될 경우 손상될 수 있는 봉지층의 사용을 생략할 수 있다. 또한, LED(960)는 유기 물질이 아닌 무기 물질로 이루어지므로, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치(900)의 표시 소자는 수분 또는 산소로부터 보호될 수 있고, 신뢰성이 우수할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예들에 따른 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법은 다음과 같이 설명될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는 트랜지스터 및 표시 소자가 배치되고, 서로 이격된 복수의 아일랜드 기판, 복수의 아일랜드 기판 아래에 배치되는 하부 기판 및 복수의 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에 배치되어, 복수의 아일랜드 기판 중 서로 이웃하는 아일랜드 기판에 배치된 패드를 전기적으로 연결하는 연결 배선을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 연결 배선은 베이스 폴리머 및 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자를 포함하여 직선 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 연결 배선은 표시 소자를 이루는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어지고, 굴곡진 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 연결 배선은 복수의 아일랜드 기판 및 패드와 복수의 아일랜드 기판 사이에 배치된 절연층의 컨택홀을 통해 패드와 컨택할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 컨택홀의 단면적은 연결 배선으로부터 패드 방향으로 진행할수록 감소할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 하부 기판은 복수의 아일랜드 기판과 중첩하는 제1 하부 패턴 및 제1 하부 패턴보다 모듈러스가 낮은 제2 하부 패턴을 포함하고, 연결 배선은 제1 하부 패턴과 중첩하는 영역에서 패드와 연결되는, 스트레쳐블 표시 장치.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 연결 배선은 복수의 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에서 평평한 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치 제조 방법은 임시 기판 상에 복수의 아일랜드 기판을 배치하는 단계, 복수의 아일랜드 기판의 일면 상에 트랜지스터 및 표시 소자를 형성하는 단계, 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 임시 기판을 제거하는 단계, 복수의 아일랜드 기판 및 복수의 아일랜드 기판과 게이트 패드 및 데이터 패드 사이에 배치된 절연층에 제1 컨택홀 및 제2 컨택홀을 형성하는 단계, 복수의 아일랜드 기판의 일면의 반대면 상에 제1 컨택홀 및 제2 컨택홀을 통해 게이트 패드 및 데이터 패드 각각과 전기적으로 연결되는 제1 연결 배선 및 제2 연결 배선을 형성하는 단계 및 복수의 아일랜드 기판과 중첩되도록 배치되는 제1 하부 패턴과 제1 하부 패턴을 둘러싸도록 배치된 제2 하부 패턴을 포함하는 하부 기판을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 제1 연결 배선과 제2 연결 배선은 동일한 물질로 동시에 형성될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제1 연결 배선과 제2 연결 배선은 베이스 폴리머 및 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자를 포함하여 직선 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제1 연결 배선과 제2 연결 배선은 복수의 아일랜드 기판 상에 배치되는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치는 복수의 화소가 정의된 아일랜드 기판, 아일랜드 기판의 하부에 배치되어 복수의 화소에 신호를 공급하는 전도성 컨택 패드, 아일랜드 기판 및 전도성 컨택 패드 아래에 배치되는 하부 기판 및 아일랜드 기판과 하부 기판 사이에서 전도성 컨택 패드와 접하도록 배치된 연결 배선을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 전도성 컨택 패드의 하면과 복수의 아일랜드 기판의 하면은 동일 평면 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 스트레쳐블 표시 장치는 전도성 컨택 패드와 접하고, 복수의 화소에 배치된 트랜지스터 또는 표시 소자를 이루는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어지는 패드를 더 포함하고, 패드는 아일랜드 기판 및 아일랜드 기판과 패드 사이에 배치되는 절연층에 배치된 컨택홀을 통해 전도성 컨택 패드와 접할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 컨택홀의 단면적은 전도성 컨택 패드로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법은 임시 기판 상에 전도성 컨택 패드를 형성하는 단계, 전도성 컨택 패드를 덮도록 아일랜드 기판을 배치하는 단계, 아일랜드 기판 상에 하나 이상의 절연층을 순차적으로 형성하는 단계, 복수의 아일랜드 기판, 하나 이상의 절연층에 전도성 컨택 패드의 상면을 노출시키는 컨택홀을 형성하는 단계, 컨택홀을 통해 전도성 컨택 패드와 접하는 패드를 형성하는 단계, 패드 상에 표시 소자를 형성하는 단계, 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 임시 기판을 제거하는 단계, 임시 기판을 제거하여 노출된 컨택 패드 및 아일랜드 기판의 하면과 접하는 연결 배선을 형성하는 단계 및 아일랜드 기판 및 연결 배선과 중첩되도록 하부 기판을 배치하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 연결 배선을 형성하는 단계는 단차 없이 평평한 형상을 갖는 연결 배선을 형성하는 단계일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 하부 기판을 배치하는 단계는 접착층을 사용하여 하부 기판을 아일랜드 기판의 배면에 합착하는 단계를 포함할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 제한하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 제한되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 제한적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100, 500, 700, 900: 스트레쳐블 표시 장치
110: 하부 기판
110A: 제1 하부 패턴
110B: 제2 하부 패턴
120: 상부 기판
111: 아일랜드 기판
112: 버퍼층
113: 게이트 절연층
114: 층간 절연층
115: 평탄화층
116: 뱅크
117: 봉지층
118: 상부 접착층
119: 하부 접착층
130: COF
131: 베이스 필름
132: 구동 IC
140: 인쇄 회로 기판
150: 트랜지스터
151: 게이트 전극
152: 액티브층
153: 소스 전극
154: 드레인 전극
160: 유기 발광 소자
161: 애노드
162: 유기 발광층
163: 캐소드
171, 571: 게이트 패드
173, 573: 데이터 패드
180, 580, 780: 연결 배선
181, 581, 781: 제1 연결 배선
182, 582, 782: 제2 연결 배선
190: 편광층
960: LED
961: n형층
962: 활성층
963: p형층
964: p전극
965: n전극
917: 접착층
981: 제1 전극
982: 제2 전극
983: 반사층
CT: 컨택홀
CT1: 제1 컨택홀
CT2: 제2 컨택홀
TS: 임시 기판
PF: 보호 필름

Claims (18)

  1. 트랜지스터 및 표시 소자가 배치되고, 서로 이격된 복수의 아일랜드 기판;
    상기 복수의 아일랜드 기판 아래에 배치되는 하부 기판; 및
    상호 이격하여 배치되는 상기 복수의 아일랜드 기판과 상기 하부 기판 사이에 배치되어, 상기 복수의 아일랜드 기판 중 서로 이웃하는 아일랜드 기판에 배치된 패드를 전기적으로 연결하는 연결 배선을 포함하며,
    상기 연결 배선의 상면은 상기 복수의 아일랜드 기판의 하면과 접하는, 스트레쳐블 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 연결 배선은 베이스 폴리머 및 상기 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자를 포함하여 직선 형상을 갖는, 스트레쳐블 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연결 배선은 상기 표시 소자를 이루는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어지고, 굴곡진 형상을 갖는, 스트레쳐블 표시 장치.
  4. 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결 배선은 상기 복수의 아일랜드 기판 및 상기 패드와 상기 복수의 아일랜드 기판 사이에 배치된 절연층의 컨택홀을 통해 상기 패드와 컨택하는, 스트레쳐블 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 컨택홀의 단면적은 상기 연결 배선으로부터 상기 패드 방향으로 진행할수록 감소하는, 스트레쳐블 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하부 기판은 상기 복수의 아일랜드 기판과 중첩하는 제1 하부 패턴 및 상기 제1 하부 패턴보다 모듈러스가 낮은 제2 하부 패턴을 포함하고,
    상기 연결 배선은 상기 제1 하부 패턴과 중첩하는 영역에서 상기 패드와 연결되는, 스트레쳐블 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 연결 배선은 상기 복수의 아일랜드 기판과 상기 하부 기판 사이에서 평평한 형상을 갖는, 스트레쳐블 표시 장치.
  8. 임시 기판 상에 복수의 아일랜드 기판을 배치하는 단계;
    상기 복수의 아일랜드 기판의 일면 상에 트랜지스터 및 표시 소자를 형성하는 단계;
    상기 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 상기 임시 기판을 제거하는 단계;
    상기 복수의 아일랜드 기판 및 상기 복수의 아일랜드 기판과 게이트 패드 및 데이터 패드 사이에 배치된 절연층에 제1 컨택홀 및 제2 컨택홀을 형성하는 단계;
    상기 복수의 아일랜드 기판의 일면의 반대면 상에 상기 제1 컨택홀 및 상기 제2 컨택홀을 통해 상기 게이트 패드 및 상기 데이터 패드 각각과 전기적으로 연결되는 제1 연결 배선 및 제2 연결 배선을 형성하는 단계; 및
    상기 복수의 아일랜드 기판과 중첩되도록 배치되는 제1 하부 패턴과 상기 제1 하부 패턴을 둘러싸도록 배치된 제2 하부 패턴을 포함하는 하부 기판을 형성하는 단계를 포함하는, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 연결 배선과 상기 제2 연결 배선은 동일한 물질로 동시에 형성되는, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 연결 배선과 상기 제2 연결 배선은 베이스 폴리머 및 상기 베이스 폴리머에 분산된 전도성 입자를 포함하여 직선 형상을 갖는, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 제1 연결 배선과 상기 제2 연결 배선은 상기 복수의 아일랜드 기판 상에 배치되는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어진, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  12. 복수의 화소가 정의된 아일랜드 기판;
    상기 아일랜드 기판의 하부에 배치되어 상기 복수의 화소에 신호를 공급하는 전도성 컨택 패드;
    상기 아일랜드 기판 및 상기 전도성 컨택 패드 아래에 배치되는 하부 기판; 및
    상기 아일랜드 기판과 상기 하부 기판 사이에서 상기 전도성 컨택 패드와 접하도록 배치된 연결 배선을 포함하며,
    상기 전도성 컨택 패드의 하면과 상기 복수의 아일랜드 기판의 하면은 동일 평면 상에 배치되는, 스트레쳐블 표시 장치.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 전도성 컨택 패드와 접하고, 상기 복수의 화소에 배치된 트랜지스터 또는 표시 소자를 이루는 전도성 패턴 중 적어도 하나와 동일한 물질로 이루어지는 패드를 더 포함하고,
    상기 패드는 상기 아일랜드 기판 및 상기 아일랜드 기판과 상기 패드 사이에 배치되는 절연층에 배치된 컨택홀을 통해 상기 전도성 컨택 패드와 접하는, 스트레쳐블 표시 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 컨택홀의 단면적은 상기 전도성 컨택 패드로부터 멀어질수록 증가하는, 스트레쳐블 표시 장치.
  16. 임시 기판 상에 전도성 컨택 패드를 형성하는 단계;
    상기 전도성 컨택 패드를 덮도록 아일랜드 기판을 배치하는 단계;
    상기 아일랜드 기판 상에 하나 이상의 절연층을 순차적으로 형성하는 단계;
    상기 복수의 아일랜드 기판, 상기 하나 이상의 절연층에 상기 전도성 컨택 패드의 상면을 노출시키는 컨택홀을 형성하는 단계;
    상기 컨택홀을 통해 상기 전도성 컨택 패드와 접하는 패드를 형성하는 단계;
    상기 패드 상에 표시 소자를 형성하는 단계;
    상기 표시 소자 상에 보호 필름을 배치하고, 상기 임시 기판을 제거하는 단계;
    상기 임시 기판을 제거하여 노출된 상기 컨택 패드 및 상기 아일랜드 기판의 하면과 접하는 연결 배선을 형성하는 단계; 및
    상기 아일랜드 기판 및 상기 연결 배선과 중첩되도록 하부 기판을 배치하는 단계를 포함하는, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 연결 배선을 형성하는 단계는 단차 없이 평평한 형상을 갖는 상기 연결 배선을 형성하는 단계인, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 하부 기판을 배치하는 단계는 접착층을 사용하여 상기 하부 기판을 상기 아일랜드 기판의 배면에 합착하는 단계를 포함하는, 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법.
KR1020180119622A 2018-10-08 2018-10-08 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법 KR102664207B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180119622A KR102664207B1 (ko) 2018-10-08 2018-10-08 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법
US16/590,083 US10964234B2 (en) 2018-10-08 2019-10-01 Stretchable display panel and device and manufacturing method of the same
CN201910948993.8A CN111009562B (zh) 2018-10-08 2019-10-08 可拉伸显示面板和装置及该可拉伸显示装置的制造方法
US17/184,252 US20210183277A1 (en) 2018-10-08 2021-02-24 Stretchable display panel and device and manufacturing method of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180119622A KR102664207B1 (ko) 2018-10-08 2018-10-08 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200039973A KR20200039973A (ko) 2020-04-17
KR102664207B1 true KR102664207B1 (ko) 2024-05-07

Family

ID=70051814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180119622A KR102664207B1 (ko) 2018-10-08 2018-10-08 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (2) US10964234B2 (ko)
KR (1) KR102664207B1 (ko)
CN (1) CN111009562B (ko)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109920334B (zh) * 2019-03-27 2021-04-27 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及显示装置
KR20210054323A (ko) * 2019-11-05 2021-05-13 엘지디스플레이 주식회사 스트레쳐블 표시 장치
US11599145B2 (en) * 2020-04-09 2023-03-07 Apple Inc. Electronic devices with curved displays
CN111653206B (zh) * 2020-07-17 2022-02-08 上海天马微电子有限公司 可拉伸显示面板和显示装置
CN111862815B (zh) * 2020-07-29 2022-02-25 上海天马微电子有限公司 可拉伸显示面板和柔性显示装置
CN114138061A (zh) * 2020-09-03 2022-03-04 财团法人工业技术研究院 电子装置
CN115669272A (zh) * 2020-12-18 2023-01-31 京东方科技集团股份有限公司 显示基板、显示面板和显示装置
CN113451538A (zh) * 2021-06-29 2021-09-28 云谷（固安）科技有限公司 柔性可拉伸显示面板制作方法及柔性可拉伸显示面板
KR20230011681A (ko) * 2021-07-14 2023-01-25 삼성전자주식회사 유연 소자 및 전자 장치
CN113936557A (zh) * 2021-10-15 2022-01-14 业成科技（成都）有限公司 显示装置
KR20240001963A (ko) * 2022-06-28 2024-01-04 삼성전자주식회사 연신 패널 및 전자 장치
TWI826302B (zh) * 2023-04-10 2023-12-11 友達光電股份有限公司 可拉伸顯示裝置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015144254A (ja) 2013-12-24 2015-08-06 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 発光デバイス、表示装置及び発光デバイスの製造方法
KR101810050B1 (ko) 2016-08-11 2017-12-19 삼성디스플레이 주식회사 스트레처블 디스플레이 장치 및 스트레처블 디스플레이 장치의 제조 방법

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6743982B2 (en) 2000-11-29 2004-06-01 Xerox Corporation Stretchable interconnects using stress gradient films
US7491892B2 (en) 2003-03-28 2009-02-17 Princeton University Stretchable and elastic interconnects
JP4269748B2 (ja) 2003-04-01 2009-05-27 セイコーエプソン株式会社 表示装置の製造方法
JP2009533839A (ja) * 2006-04-07 2009-09-17 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 弾性変形可能な集積回路装置
KR101363022B1 (ko) * 2008-12-23 2014-02-14 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
WO2010086033A1 (en) 2009-01-30 2010-08-05 Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw Stretchable electronic device
WO2011155117A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 シャープ株式会社 表示装置
TWI419094B (zh) 2010-09-10 2013-12-11 Au Optronics Corp 可撓性顯示面板
US20120250323A1 (en) 2011-03-30 2012-10-04 Velu Pannirselvam A L Assembly of light emitting diodes
KR102042822B1 (ko) 2012-09-24 2019-11-08 한국전자통신연구원 전자회로 및 그 제조방법
KR20140049314A (ko) 2012-10-17 2014-04-25 한국전자통신연구원 신축성 전자 디바이스 및 그의 제조방법
CN102955312B (zh) * 2012-11-14 2015-05-20 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其制作方法、显示装置
US9613911B2 (en) 2013-02-06 2017-04-04 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Self-similar and fractal design for stretchable electronics
KR20140121325A (ko) * 2013-04-04 2014-10-15 한국전자통신연구원 신축성 전자회로 및 그의 제조방법
US20140299362A1 (en) 2013-04-04 2014-10-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Stretchable electric device and manufacturing method thereof
KR20150006191A (ko) * 2013-07-08 2015-01-16 삼성전자주식회사 파노라마 이미지 운용 방법 및 그 전자 장치
KR102104311B1 (ko) * 2013-11-26 2020-04-27 한국전자통신연구원 전자회로의 제조 방법
KR20150069079A (ko) 2013-12-12 2015-06-23 한국전자통신연구원 신축성 소자 및 그의 제조방법
KR102254940B1 (ko) 2014-02-05 2021-05-24 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 카가쿠기쥬츠신코키코 신축성 도전체 및 그 제조 방법과 신축성 도전체 형성용 페이스트
GB2524327A (en) * 2014-03-21 2015-09-23 Nokia Technologies Oy Flexible electronics apparatus and associated methods
KR102255198B1 (ko) 2014-08-12 2021-05-25 삼성디스플레이 주식회사 스트레처블 기판 및 이를 구비한 유기 발광 표시 장치
CN107113960A (zh) 2014-12-08 2017-08-29 株式会社藤仓 伸缩性基板
US20160172428A1 (en) * 2014-12-11 2016-06-16 Lg Display Co., Ltd. Flexible display device with corrosion resistant printed circuit film
KR102456698B1 (ko) 2015-01-15 2022-10-19 삼성디스플레이 주식회사 신축성 표시 장치
KR102271598B1 (ko) 2015-04-01 2021-07-02 삼성디스플레이 주식회사 스트레쳐블 소자
KR101647023B1 (ko) 2015-06-10 2016-08-11 전남대학교산학협력단 신축성 회로 기판 및 이의 제조 방법
US9841548B2 (en) * 2015-06-30 2017-12-12 Apple Inc. Electronic devices with soft input-output components
KR20170034522A (ko) 2015-09-21 2017-03-29 서울바이오시스 주식회사 도전성 지지 기판, 이를 포함하는 발광 소자 및 발광 장치
KR102501045B1 (ko) 2015-11-26 2023-02-16 엘지디스플레이 주식회사 폴더블 표시장치
KR101995222B1 (ko) 2015-12-10 2019-07-03 한국전자통신연구원 신축성 배선 및 그 제조 방법
US9844133B2 (en) 2015-12-21 2017-12-12 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Flexible substrate including stretchable sheet
CN105428355B (zh) * 2016-01-06 2019-05-07 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制作方法、显示装置
KR102488076B1 (ko) * 2016-01-21 2023-01-13 삼성디스플레이 주식회사 스트레쳐블 표시 장치
KR102544985B1 (ko) 2016-02-25 2023-06-20 삼성디스플레이 주식회사 스트레처블 디스플레이 장치
KR102567547B1 (ko) * 2016-03-22 2023-08-17 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR101973163B1 (ko) 2016-03-22 2019-04-29 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR101791016B1 (ko) 2016-03-29 2017-10-27 한국기계연구원 신축성 나노금속패턴 제조방법
KR20170112151A (ko) 2016-03-31 2017-10-12 재단법인 구미전자정보기술원 응력 분리 구조 스트레쳐블 기판 및 이의 제조 방법
KR20180033375A (ko) * 2016-09-23 2018-04-03 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그 제조 방법
US9959792B2 (en) * 2016-09-29 2018-05-01 GM Global Technology Operations LLC System and method to place subjective messages on a vehicle
KR102432386B1 (ko) * 2017-07-12 2022-08-12 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN108183126B (zh) 2017-12-31 2020-11-10 深圳市华星光电技术有限公司 一种弹性显示面板制作方法、弹性显示面板及其显示器
KR102584517B1 (ko) * 2018-02-28 2023-10-05 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR102545660B1 (ko) * 2018-03-09 2023-06-22 삼성디스플레이 주식회사 표시장치 및 그의 제조방법
KR102554048B1 (ko) * 2018-07-20 2023-07-10 엘지디스플레이 주식회사 스트레쳐블 표시 장치
EP3608964B1 (en) * 2018-08-08 2022-05-11 LG Display Co., Ltd. Stretchable display device
KR20200042579A (ko) * 2018-10-15 2020-04-24 삼성디스플레이 주식회사 표시장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015144254A (ja) 2013-12-24 2015-08-06 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 発光デバイス、表示装置及び発光デバイスの製造方法
KR101810050B1 (ko) 2016-08-11 2017-12-19 삼성디스플레이 주식회사 스트레처블 디스플레이 장치 및 스트레처블 디스플레이 장치의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN111009562A (zh) 2020-04-14
US20200111390A1 (en) 2020-04-09
US10964234B2 (en) 2021-03-30
CN111009562B (zh) 2023-09-15
US20210183277A1 (en) 2021-06-17
KR20200039973A (ko) 2020-04-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102664207B1 (ko) 스트레쳐블 표시 장치 및 그 제조 방법
CN113823188B (zh) 可拉伸显示面板及包括其的可拉伸显示装置
EP3608964B1 (en) Stretchable display device
CN110739333B (zh) 可伸缩显示装置
US11271179B2 (en) Stretchable display device
TWI712170B (zh) 可拉伸顯示裝置
KR102588626B1 (ko) 가요성 인쇄 회로 필름 및 이를 포함하는 스트레처블 표시장치
KR102638258B1 (ko) 스트레쳐블 표시장치
KR20200078176A (ko) 스트레쳐블 표시장치
KR102598831B1 (ko) 스트레처블 표시장치
KR102609426B1 (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR20200052094A (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR102652324B1 (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR20210011835A (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR102647414B1 (ko) 스트레쳐블 표시장치
KR102653774B1 (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR20210047199A (ko) 스트레쳐블 표시 장치
KR20210001910A (ko) 스트레쳐블 표시 장치 및 스트레쳐블 표시 장치의 제조 방법
KR20200059141A (ko) 스트레쳐블 표시 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant