KR102574807B1 - 올인원형 배관 세정장치 - Google Patents

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KR102574807B1
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이동훈
함흥수
이호창
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유니셈(주)
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Abstract

본 발명은 올인원형 배관 세정장치에 관한 것으로, 본 발명은 설치캐비닛에 내에 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 일체형으로 설치함으로써 3종의 밸브 구조를 통해 워터탱크와 콤프레셔에 의해 워터와 에어가 세정브러시 측으로 동시에 공급되거나 에어만 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통하여 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치하되, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비인 내시경유닛을 설치캐비닛 내에 더 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업 및 세정상태 확인 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 하여 배관 세정작업 효율을 향상시킬 수 있는 것이다.

Description

올인원형 배관 세정장치{All-in-one type apparatus for cleaning of pipe}
본 발명은 올인원형 배관 세정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 설치캐비닛에 내에 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 일체형으로 설치함으로써 3종의 밸브 구조를 통해 워터탱크와 콤프레셔에 의해 워터와 에어가 세정브러시 측으로 동시에 공급되거나 에어만 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통하여 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치하되, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비인 내시경유닛을 설치캐비닛 내에 더 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업 및 세정상태 확인 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 하여 배관 세정작업 효율을 향상시킬 수 있도록 한 올인원형 배관 세정장치에 관한 것이다.
현대사회에 들어서면서, 산업생산활동 각 공정에서 발생하는 각종 유해가스 및 미세먼지는 그 종류가 다양하며 인체에 미치는 영향도 다양하여 적절한 제어 및 정화기술을 적용하기가 어려운 실정이다.
이러한 유해가스는 주로 악취, 휘발성 유기화합물, 불활성 가스, 유독성 가스 등으로 구분되며, 이러한 유해가스를 정화하기 위한 기술 중 가장 보편적으로 사용하는 것이 스크러버이고, 스크러버는 가스 속의 고액 미립자를 물 등의 액체를 이용하여 포집시키는 원리로 오염물질을 제거하고 비교적 높은 포집효율을 기대할 수 있다.
따라서, 스크러버는 다량의 물을 분사하여 가스상 물질을 포섭하도록 하는데, 막대한 물이 사용됨에 따라 분사된 물을 순환시켜 재이용 하도록 하고 있다.
이때, 순환되는 물을 순환수라 하는데, 스크러버의 계속적인 사용에 따라 부유물질 및 오염물질 등이 순환수가 순환되는 배관이나 노즐에 쌓여 막힘 현상을 초래하고, 물의 분사 및 순환이 제대로 이루어지지 않는 문제가 발생한다.
상기와 같은 스크러버, 예컨대 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관은 설비의 구동에 따라 배관 내에 파우더가 고착되는 문제가 있다.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 특허문헌 1(한국등록실용신안 제20-0496387호 2023.01.12. 등록.)에서 보는 바와 같은 배관 청소용 지그 장치가 개발되었다.
상기 배관 청소용 지그 장치는 외관을 형성하고 내부에 소정크기의 공간이 형성되는 직육면체 형태의 케이스; 상기 케이스의 내부 공간의 일측에 배치되어 공기가 흡입되는 공기압이 발생되는 발생되는 링블로워; 상기 케이스의 내부 공간의 일측에 배치되어 상기 링블로워와 튜브를 통해 연결되는 필터부; 상기 케이스의 내부 공간의 일측에 배치되어 2 개의 튜브연결부가 형성되어 1 개의 튜브연결부는 상기 필터부와 튜브를 통해 연결되고 1 개의 튜브연결부는 상기 케이스의 외측면과 튜브를 통해 연결되는 슬러지저장부; 및 상기 케이스의 내부공간의 일측에 배치되어 상기 케이스의 일측을 관통하고 상기 케이스의 외측으로 노출되어 끝단이 회전가능한 브러쉬가 형성되는 구동부;를 포함하여 구성된다.
상기와 같은 종래의 배관 청소용 지그 장치에 의하면, 구동부에 구비된 브러쉬를 통해 이물질을 일측으로 이동시키고 슬러지저장부 내지 링블로워를 이용하여 수분 및 이물질의 저장을 용이하게 할 수 있게 된다.
전술한 바와 같은 종래의 배관 청소용 지그 장치는 브러쉬를 통해 이동시킨 이물질을 슬러지저장부 내지 링블로워를 이용하여 수분 및 이물질의 저장을 용이하게는 할 수 있으나, 일 방향으로 물공급이나 공기공급 등이 동시 또는 별도로 진행되지 못하므로 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하는 세정효율이 떨어지는 문제가 있었다.
그러므로 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있도록 하는 한편, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비를 단일의 캐비닛 내에 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 하여 배관 세정작업 효율을 향상시킬 수 있도록 한 배관 세정장치에 대해 연구 및 개발이 요구되는 실정이다.
한국등록실용신안 제20-0496387호 2023.01.12. 등록. 한국등록특허 제10-2238885호 2021.04.06. 등록. 한국등록특허 제10-1936914호 2019.01.03. 등록. 한국등록특허 제10-1621393호 2016.05.10. 등록.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 설치캐비닛에 내에 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 일체형으로 설치함으로써 3종의 밸브 구조를 통해 워터탱크와 콤프레셔에 의해 워터와 에어가 세정브러시 측으로 동시에 공급되거나 에어만 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통하여 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있도록 한 올인원형 배관 세정장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기술의 다른 목적은 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치하되, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비인 내시경유닛을 설치캐비닛 내에 더 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업 및 세정상태 확인 작업이 용이하게 이루어질 수 있도록 하여 배관 세정작업 효율을 향상시킬 수 있도록 함에 있다.
본 발명에 따른 기술의 또 다른 목적은 콤프레셔와 워터탱크 및 와이어브러시유닛 등이 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치되어, 구동와이어의 튜브 내측으로 에어를 워터와 함께 동시 또는 단독으로 분사할 수 있도록 구동됨으로써 구동와이어에서의 튜브와 플렉서블 와이어 사이로 스며든 산성의 파우더 및 수분에 대해 외부로 배출시키면서 제거할 수 있으며, 이를 통하여 구동와이어를 이루는 플렉서블 와이어 부분의 부식발생을 극소화할 수 있도록 함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 다음과 같다. 즉, 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치는 파우더가 고착된 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정하는 올인원형 배관 세정장치에 있어서, 개폐도어에 의해 개폐가능한 제어함과 보관함을 포함하는 다수의 설치공간이 구비된 함체형상으로 제공되는 설치캐비닛; 설치캐비닛의 일 측 내부에 설치대를 통해 설치되며, 보빈에 권취되되 풀림 단부에 세정브러시가 회전가능케 연결구비된 구동와이어와, 구동와이어의 세정브러시가 회전하도록 구동력을 전달하는 구동모터로 구성되는 와이어브러시유닛; 설치캐비닛의 타 측 하부에 설치되며, 내부에 일정량의 워터가 충전되어 충전된 워터를 와이어브러시유닛 측으로 공급하는 워터탱크; 설치캐비닛의 타 측 상부에 설치되며, 워터탱크로부터 와이어브러시유닛 측으로 워터가 공급되도록 에어를 워터탱크 측으로 공급하거나, 와이어브러시유닛 측으로 에어를 직접 공급되도록 하는 콤프레셔; 및 설치캐비닛의 타 측 상부로서 콤프레셔 후방에 구비된 제어함 내에 설치되며, 와이어브러시유닛의 세정브러시 회전을 위한 구동과, 워터탱크의 워터공급을 위한 구동과, 콤프레셔의 에어공급을 위한 구동을 제어하는 제어유닛을 포함하는 구성으로 이루어진다.
더욱이, 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치는 상기 제어유닛의 제어를 통한 워터탱크와 콤프레셔의 구동에 따라 워터와 에어를 와이어브러시유닛 측으로 공급함과 동시에, 와이어브러시유닛의 세정브러시를 회전구동되도록 하여 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정한 후, 배관 내부의 세정상태를 점검할 수 있도록, 설치캐비닛의 타 측 하부로서 워터탱크 후방에 구비된 보관함 내에 보관되며, 세정작업 후 배관 내부를 점검하는 내시경유닛을 더 포함하는 한편, 상기 내시경유닛은 단부에 카메라렌즈가 구비된 와이어로 제공되어, 세정작업 후의 배관 내부에 일정길이 삽입 이동후 복귀시키면서 내시경부 및 상기 내시경부와 연결되어 내시경부를 통해 촬영되는 화면이 디스플레이되는 모니터링부로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 와이어브러시유닛은 보빈에 권취되는 구동와이어의 세정브러시가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부에 대해 일정길이 풀림과 감김이 안정적으로 이루어질 수 있도록, 보빈의 일측에 구동와이어의 세정브러시가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부를 중공의 관 타입으로 감싸 풀림과 감김을 안내하는 가이드가 더 구비되는 것이 양호하다.
그리고 상기 제어유닛은 설치캐비닛의 제어함 내에 구비되어, 콤프레셔로부터 워터탱크 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하며, 공급된 에어에 의해 워터탱크 내의 워터를 와이어브러시유닛 측으로 밀어내도록 하는 콤프탱크에어밸브와, 콤프탱크에어밸브 일측에 구비되어, 워터탱크로부터 와이어브러시유닛 측으로 워터를 공급하는 라인을 개폐하는 탱크와이어워터밸브와, 탱크와이어워터밸브 일측에 구비되어, 콤프레셔로부터 와이어브러시유닛 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하는 콤프와이어에어밸브와, 설치캐비닛의 제어함 내의 콤프와이어에어밸브 일측에 구비되며, 장치의 구동을 위한 전기적 과부하 발생시 전원의 공급을 차단하는 차단기 및 제어함 내에 구비되며, 와이어브러시유닛의 구동모터에 대한 구동을 제어하는 구동리모컨을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 워터탱크는 내부에 충전된 워터의 수위를 외부에서 간편하게 식별할 수 있도록 일측 외부에 수위레벨게이지가 더 구비되는 한편, 상기 설치캐비닛은 타측 하부에 워터탱크의 워터충전을 위한 워터충전부가 외부로 돌출설치되며, 워터충전부의 상부에는 워터탱크 내의 에어를 외부로 배출시키는 에어벤트부가 외부로 돌출설치되는 것이 양호하다.
본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 설치캐비닛에 내에 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 일체형으로 설치함으로써 3종의 밸브 구조를 통해 워터탱크와 콤프레셔에 의해 워터와 에어가 세정브러시 측으로 동시에 공급되거나 에어만 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통하여 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있다.
둘째, 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치하되, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비인 내시경유닛을 설치캐비닛 내에 더 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업 및 세정상태 확인 작업이 용이하게 이루어질 수 있다.
셋째, 콤프레셔와 워터탱크 및 와이어브러시유닛 등이 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치되어, 구동와이어의 튜브 내측으로 에어를 워터와 함께 동시 또는 단독으로 분사할 수 있도록 구동됨으로써 구동와이어에서의 튜브와 플렉서블 와이어 사이로 스며든 산성의 파우더 및 수분에 대해 외부로 배출시키면서 제거할 수 있으며, 이를 통하여 구동와이어를 이루는 플렉서블 와이어 부분의 부식발생을 극소화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 세정을 위한 에어 및 워터에 대한 작동 흐름을 나타낸 작동흐름 구성도.
도 2 및 3은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 사시구성도.
도 4는 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 정면예시도.
도 5는 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 우측면예시도.
도 6은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 배면예시도.
도 7은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 요부인 와이어브러시유닛을 나타낸 평면예시사진.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 세정을 위한 에어 및 워터에 대한 작동 흐름을 나타낸 작동흐름 구성도이다.
도 2 및 3은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 사시구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 정면예시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 우측면예시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치를 나타낸 배면예시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치의 요부인 와이어브러시유닛을 나타낸 평면예시사진이다.
도 1 내지 7에서 보는 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 올인원형 배관 세정장치(1000)는 파우더가 고착된 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정하는 장치로서, 크게 분류하면 설치캐비닛(100), 와이어브러시유닛(200), 워터탱크(300), 콤프레셔(400) 및 제어유닛(500)를 포함하여 이루어진다.
구체적으로, 상기 설치캐비닛(100)은 개폐도어(미도시)에 의해 개폐가능한 제어함(150)과 보관함(160)을 포함하는 다수의 설치공간이 구비된 함체형상으로 제공되는 것이다.
이때, 상기 개폐도어(미도시)는 제어함(150)과 보관함(160) 이외에도 설치캐비닛(100)의 전후 및 좌우방향에 각 설치공간에 대해 개폐가 가능토록 설치될 수 있는 것이며, 특히 도면으로 구체적으로 도시하지는 않았으나 통상의 분전함에서의 일측이 힌지구조로 연결되어 개폐되면서 타측에 록킹부를 갖는 개폐도어로 적용될 수 있는 것이다.
다시 말해서, 상기 개폐도어(미도시)는 와이어브러시유닛(200), 워터탱크(300), 콤프레셔(400), 제어유닛(500) 등이 설치되는 설치캐비닛(100)의 각 설치공간에 대해 사용이나 유지관리 등을 위한 개폐를 위해 구비됨이 바람직한 것이다.
이러한 설치캐비닛(100)은 일 측 상단에 폭 방향 양측으로 설치대(미부호)가 구비되어 설치대의 선단 사이에 양단이 고정되어 이동핸들(101)이 구비됨이 바람직하다.
또한, 상기 설치캐비닛(100)은 함체형상의 하부 각 모서리에 캐스터(110)가 더 구비되며, 일측 하부의 폭 방향 중앙인 캐스터(110)의 사이에는 선택적으로 이동이 되지 않게 고정하기 위한 별도의 스토퍼(미도시)가 더 설치되는 것이 더욱 바람직하다.
물론, 상기 스토퍼(미도시)는 상기 캐스터(110) 중 어느 하나의 캐스터(110)에 바퀴부를 선택적으로 회전되지 않도록 고정하는 스토퍼 구조로 제공될 수도 있는 것이다.
상기 와이어브러시유닛(200)은 설치캐비닛(100)의 일 측 내부에 설치대(200a)를 통해 설치된다.
즉, 상기 와이어브러시유닛(200)은 보빈(B)에 권취되되 풀림 단부에 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 구동와이어(210)와, 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전하도록 구동력을 전달하는 구동모터(220)로 구성되며, 상기 설치대(200a) 상에 설치되는 것이 바람직한 것이다.
이때, 상기 구동와이어(210)는 튜브가 감싸진 내부에 회전가능한 플랙서블 와이어가 내설되며, 이러한 플랙서블 와이어의 튜브에 내설되어 외부로 노출된 풀림 단부에는 상기 세정브러시(211)가 구비되어 세정브러시(211)에 대해 플렉서블 와이어와 함께 회전토록 구성된다.
또한, 상기와 같은 구동와이어(210)에서의, 플랙서블 와이어를 감싸도록 구비된 튜브는 테프론 튜브(PFA Tube)로 적용됨이 바람직한 것이다.
더욱이, 상기 세정브러시(211)는 도 7에서 보는 바와 같이, 구동와이어(210)의 튜브에 내설되어 외부로 노출된 플렉서블 와이어에 대한 풀림 단부에 연결설치되는 몸체부(미부호)와 몸체부의 외주연을 따라 각각 다수의 가닥으로 돌출되는 브러시(미부호)로 적용됨이 바람직하다.
또한, 상기 워터탱크(300)는 설치캐비닛(100)의 타 측 하부에 설치되며, 내부에 일정량의 워터가 충전되어 충전된 워터를 와이어브러시유닛(200) 측으로 공급하는 것이다.
그리고 상기 콤프레셔(400)는 설치캐비닛(100)의 타 측 상부에 설치되며, 워터탱크(300)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 워터가 공급되도록 에어를 워터탱크(300) 측으로 공급하거나, 와이어브러시유닛(200) 측으로 에어를 직접 공급되도록 하는 것이다.
이러한 콤프레셔(400)는 특히, 충전배터리와 온-오프 작동버튼부를 갖는 충전식 콤프레셔로 제공됨이 바람직하다.
상기 콤프레셔(400)는 설치캐비닛(100)의 타 측 상부에 설치되되, 슬라이딩 트레이(미부호) 상에 안착설치됨이 더욱 바람직하다.
이때, 상기 슬라이딩 트레이(미부호)는 구체적으로 도시하지는 않았으나, 설치캐비닛(100)의 타 측 상부에 역"U"자 형상의 트레이의 양측이 2단 슬라이딩 부재를 통해 슬라이딩 인출 가능토록 설치되는 것이다.
한편, 상기 제어유닛(500)은 설치캐비닛(100)의 타 측 상부로서 콤프레셔(400) 후방에 구비된 제어함(150) 내에 설치되며, 와이어브러시유닛(200)의 세정브러시(211) 회전을 위한 구동과, 워터탱크(300)의 워터공급을 위한 구동과, 콤프레셔(400)의 에어공급을 위한 구동을 제어하는 것이다.
상기와 같은 제어유닛(500)은 크게 분류하면 콤프탱크에어밸브(510)와, 탱크와이어워터밸브(520)와, 콤프와이어에어밸브(530)와, 차단기(540) 및 구동리모컨(미도시)을 포함한다.
상세히, 상기 콤프탱크에어밸브(510)는 상기 설치캐비닛(100)의 제어함(150) 내에 구비되어, 콤프레셔(400)로부터 워터탱크(300) 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하며, 공급된 에어에 의해 워터탱크(300) 내의 워터를 와이어브러시유닛(200) 측으로 밀어내도록 하는 것이다.
그리고 상기 탱크와이어워터밸브(520)는 콤프탱크에어밸브(510) 일측에 구비되어, 워터탱크(300)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 워터를 공급하는 라인을 개폐하는 것이다.
또한, 상기 콤프와이어에어밸브(530)는 탱크와이어워터밸브(520) 일측에 구비되어, 콤프레셔(400)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하는 것이다.
그리고 상기 차단기(540)는 설치캐비닛(100)의 제어함(150) 내의 콤프와이어에어밸브(530) 일측에 구비되며, 장치의 구동을 위한 전기적 과부하 발생시 전원의 공급을 차단하는 것이다.
또한, 상기 구동리모컨(미도시)은 도면으로 구체적으로 도시하지는 않았으나, 통상의 가동, 정지, 가속, 감속 등의 조작버튼부를 가지는 유선형 리모콘으로 적용되어 제어함(150) 내에 구비되며, 와이어브러시유닛(200)의 구동모터(220)에 대한 구동을 제어하는 것이 바람직하다.
다시 말해서, 상기 구동리모컨(미도시)은 가동, 정지, 가속, 감속 등의 조작버튼부를 가지는 유선형 리모콘으로 적용되어, 조작버튼부를 눌러 구동와이어(210)의 세정브러시(211)에 대해 회전가동, 정지, 가속회전, 또는 감속회전이 되도록 구동모터(220)의 구동을 제어하는 것이다.
한편, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치(1000)는 상기 제어유닛(500)의 제어를 통한 워터탱크(300)와 콤프레셔(400)의 구동에 따라 워터와 에어를 와이어브러시유닛(200) 측으로 공급함과 동시에, 와이어브러시유닛(200)의 세정브러시(211)를 회전구동되도록 하여 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정한 후, 배관 내부의 세정상태를 점검할 수 있도록 하는 것이 중요하다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치(1000)는 설치캐비닛(100)의 타 측 하부로서 워터탱크(300) 후방에 구비된 보관함(150) 내에 보관되며, 세정작업 후 배관 내부를 점검하는 내시경유닛(600)을 더 포함한다.
이때, 상기 내시경유닛(600)은 단부에 카메라렌즈가 구비된 와이어로 제공되어, 세정작업 후의 배관 내부에 일정길이 삽입 이동후 복귀시키면서 내시경부(620) 및 상기 내시경부(620)와 연결되어 내시경부(620)를 통해 촬영되는 화면이 디스플레이되는 모니터링부(610)로 구성되는 것이 바람직하다.
더욱이, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치(1000)에서, 요부인 와이어브러시유닛(200)은 보빈(B)에 권취되는 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부에 대해 일정길이 풀림과 감김이 안정적으로 이루어질 수 있도록 하는 것이 중요하다.
이에 따라, 상기 와이어브러시유닛(200)은 보빈(B)의 일측에 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부를 중공의 관 타입으로 감싸 풀림과 감김을 안내하는 가이드(G)가 더 구비되는 것이 더욱 바람직한 것이다.
또한, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치(1000)에서의 상기 워터탱크(300)는 내부에 충전된 워터의 수위를 외부에서 간편하게 식별할 수 있도록 일측 외부에 수위레벨게이지(310)가 더 구비된다.
아울러, 상기 설치캐비닛(100)은 타측 하부에 워터탱크(300)의 워터충전을 위한 워터충전부(131)가 외부로 돌출설치되며, 워터충전부(131)의 상부에는 워터탱크(300) 내의 에어를 외부로 배출시키는 에어벤트부(132)가 외부로 돌출설치된다.
즉, 상기와 같은 수위레벨게이지(310), 워터충전부(131) 및 에어벤트부(132)가 더 적용됨으로써 워터탱크(300)의 수위를 육안으로 간편하게 식별하면서 탱크 내 워터의 부족판단시 워터충전부(131)를 통해 워터를 충전할 수 있으며, 아울러 장치의 가동후에 워터탱크(300) 내부에 잔존하는 에어를 외부로 배출시키면서 워터탱크(300)에 대한 유지관리가 더욱 간편하게 이루어질 수 있는 것이다.
더욱이, 전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 올인원형 배관 세정장치에 의하면, 설치캐비닛에 내에 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 일체형으로 설치함으로써 3종의 밸브 구조를 통해 워터탱크와 콤프레셔에 의해 워터와 에어가 세정브러시 측으로 동시에 공급되거나 에어만 공급되도록 할 수 있으며, 이를 통하여 반도체설비에서의 가스 스크러버 배관 내에 고착된 파우더를 제거하기 위하여 일 방향으로 워터가 토출되면서 에어가 토출되도록 함과 동시에 별도로 에어만 토출될 수 있도록 하면서 배관 내의 파우더 세정효율을 극대화시킬 수 있다.
더욱이, 콤프레셔, 워터탱크, 단부에 세정브러시가 구비된 구동와이어를 구동모터의 구동을 통해 세정브러시가 회전되도록 회전구동시키는 와이어브러시유닛 등을 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치하되, 배관 내 파우더 세정 및 세정상태 확인을 위한 장비인 내시경유닛을 설치캐비닛 내에 더 구비함으로써 올인원 타입으로 간편하게 이동시키면서 배관 내 파우더 세정을 위한 작업 및 세정상태 확인 작업이 용이하게 이루어질 수 있는 것이다.
또한, 콤프레셔와 워터탱크 및 와이어브러시유닛 등이 설치캐비닛 내에 일체형으로 설치되어, 구동와이어의 튜브 내측으로 에어를 워터와 함께 동시 또는 단독으로 분사할 수 있도록 구동됨으로써 구동와이어에서의 튜브와 플렉서블 와이어 사이로 스며든 산성의 파우더 및 수분에 대해 외부로 배출시키면서 제거할 수 있으며, 이를 통하여 구동와이어를 이루는 플렉서블 와이어 부분의 부식발생을 극소화할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 범위에 포함된다.
1000: 올인원형 배관 세정장치
100: 설치캐비닛 101: 이동핸들
110: 캐스터 131: 워터충전부
132: 에어벤트부 140: 슬라이딩 트레이
150: 제어함 160: 보관함
200: 와이어브러시유닛 210: 구동와이어
211: 세정브러시 220: 구동모터
200a: 설치대 300: 워터탱크
310: 수위레벨게이지 400: 콤프레셔
500: 제어유닛 510: 콤프탱크에어밸브
520: 탱크와이어워터밸브 530: 콤프와이어에어밸브
540: 차단기 600: 내시경유닛
610: 모니터링부 620: 내시경부
B: 보빈
G: 가이드부

Claims (5)

  1. 파우더가 고착된 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정하는 올인원형 배관 세정장치(1000)에 있어서,
    개폐도어에 의해 개폐가능한 제어함(150)과 보관함(160)을 포함하는 다수의 설치공간이 구비된 함체형상으로 제공되는 설치캐비닛(100); 설치캐비닛(100)의 일 측 내부에 설치대(200a)를 통해 설치되며, 보빈(B)에 권취되되 풀림 단부에 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 구동와이어(210)와, 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전하도록 구동력을 전달하는 구동모터(220)로 구성되는 와이어브러시유닛(200); 설치캐비닛(100)의 타 측 하부에 설치되며, 내부에 일정량의 워터가 충전되어 충전된 워터를 와이어브러시유닛(200) 측으로 공급하는 워터탱크(300); 설치캐비닛(100)의 타 측 상부에 설치되며, 워터탱크(300)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 워터가 공급되도록 에어를 워터탱크(300) 측으로 공급하거나, 와이어브러시유닛(200) 측으로 에어를 직접 공급되도록 하는 콤프레셔(400); 및 설치캐비닛(100)의 타 측 상부로서 콤프레셔(400) 후방에 구비된 제어함(150) 내에 설치되며, 와이어브러시유닛(200)의 세정브러시(211) 회전을 위한 구동과, 워터탱크(300)의 워터공급을 위한 구동과, 콤프레셔(400)의 에어공급을 위한 구동을 제어하는 제어유닛(500)을 포함하되,
    상기 제어유닛(500)은 설치캐비닛(100)의 제어함(150) 내에 구비되어, 콤프레셔(400)로부터 워터탱크(300) 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하며, 공급된 에어에 의해 워터탱크(300) 내의 워터를 와이어브러시유닛(200) 측으로 밀어내도록 하는 콤프탱크에어밸브(510)와,
    콤프탱크에어밸브(510) 일측에 구비되어, 워터탱크(300)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 워터를 공급하는 라인을 개폐하는 탱크와이어워터밸브(520)와,
    탱크와이어워터밸브(520) 일측에 구비되어, 콤프레셔(400)로부터 와이어브러시유닛(200) 측으로 에어를 공급하는 라인을 개폐하는 콤프와이어에어밸브(530)와,
    설치캐비닛(100)의 제어함(150) 내의 콤프와이어에어밸브(530) 일측에 구비되며, 장치의 구동을 위한 전기적 과부하 발생시 전원의 공급을 차단하는 차단기(540) 및
    제어함(150) 내에 구비되며, 와이어브러시유닛(200)의 구동모터(220)에 대한 구동을 제어하는 구동리모컨을 포함하는 한편,
    상기 와이어브러시유닛(200)의 구동와이어(210)는 구동모터(220)의 구동에 의해 회전하되 풀림단부에 세정브러시(211)가 연결되는 플랙서블와이어 및 플랙서블와이어의 외부를 감싸며 내부를 통해 에어 또는 워터가 이동하여 세정브러시 측으로 분출되도록 하는 튜브로 구성되는 것을 특징으로 하는 올인원형 배관 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어유닛(500)의 제어를 통한 워터탱크(300)와 콤프레셔(400)의 구동에 따라 워터와 에어를 와이어브러시유닛(200) 측으로 공급함과 동시에, 와이어브러시유닛(200)의 세정브러시(211)를 회전구동되도록 하여 가스 스크러버 배관의 개방된 일 측으로부터 타 측을 향해 삽입 이동시키면서 배관 내부를 세정한 후, 배관 내부의 세정상태를 점검할 수 있도록,
    설치캐비닛(100)의 타 측 하부로서 워터탱크(300) 후방에 구비된 보관함(150) 내에 보관되며, 세정작업 후 배관 내부를 점검하는 내시경유닛(600)을 더 포함하는 한편,
    상기 내시경유닛(600)은 단부에 카메라렌즈가 구비된 와이어로 제공되어, 세정작업 후의 배관 내부에 일정길이 삽입 이동후 복귀시키면서 내시경부(620) 및
    상기 내시경부(620)와 연결되어 내시경부(620)를 통해 촬영되는 화면이 디스플레이되는 모니터링부(610)로 구성되는 것을 특징으로 하는 올인원형 배관 세정장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 와이어브러시유닛(200)은 보빈(B)에 권취되는 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부에 대해 일정길이 풀림과 감김이 안정적으로 이루어질 수 있도록,
    보빈(B)의 일측에 구동와이어(210)의 세정브러시(211)가 회전가능케 연결구비된 풀림 단부를 중공의 관 타입으로 감싸 풀림과 감김을 안내하는 가이드(G)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 올인원형 배관 세정장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 워터탱크(300)는 내부에 충전된 워터의 수위를 외부에서 간편하게 식별할 수 있도록 일측 외부에 수위레벨게이지(310)가 더 구비되는 한편,
    상기 설치캐비닛(100)은 타측 하부에 워터탱크(300)의 워터충전을 위한 워터충전부(131)가 외부로 돌출설치되며, 워터충전부(131)의 상부에는 워터탱크(300) 내의 에어를 외부로 배출시키는 에어벤트부(132)가 외부로 돌출설치되는 것을 특징으로 하는 올인원형 배관 세정장치.
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