KR102238885B1 - 가스 배관 세정 유닛 - Google Patents

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이주식
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Abstract

본 발명은 가스 배관 세정 유닛에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 상기 가스 배관 세정 유닛이 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관 및 상기 가스 배관에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시키는 것으로서, 세정액 탱크 부재와, 세정액 배관 부재 및 유동 제어 부재를 포함함에 따라, 현장에 설치되어 사용 중인 상기 가스 배관에 세정액을 유동시켜 상기 가스 배관의 내부를 세정함으로써 상대적으로 빠른 시간에 상기 가스 배관의 세정이 이루어지게 할 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

가스 배관 세정 유닛{Gas pipe cleaning unit}
본 발명은 가스 배관 세정 유닛에 관한 것이다.
가스 배관은 반도체 또는 디스플레이 설비 등에서 질소, 헬륨 등의 가스를 가스 공급부로부터 상기 가스가 요구되는 반도체 또는 디스플레이 제작 장치까지 이동시키는 것이다.
이러한 상기 가스 배관의 내부에 수분 및 파티클 등의 이물질이 발생되어 상기 가스와 함께 유동될 경우, 상기 반도체 또는 디스플레이의 불량을 초래하게 됨에 따라 상기 가스 배관 내의 이물질을 제거하는 세정 공정이 필요하다.
상기 가스 배관 세정 공정에 이용되는 것이 가스 배관 세정 장치이고, 이러한 가스 배관 세정 장치의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
종래의 가스 배관 세정 장치에 의하면, 스폰지 등의 탄성이 있는 재질로 이루어진 세정체에 세정액을 묻힌 후 상기 가스 배관의 내부에 삽입한 다음, 상대적으로 고압의 가스를 불어 주어 상기 세정체를 상기 가스 배관의 일측에서 상기 가스 배관의 타측까지 이동시킴으로써, 상기 세정체에 묻혀진 상기 세정액에 의해 상기 가스 배관의 내부가 세정되도록 하였다.
그러나, 상기 세정체가 이동되다가 여러 가지 이유로 인해 임의의 장소에서 멈추게 되면, 상기 가스 배관 내부 중 상기 세정체가 멈춘 위치를 외부에서 찾는 것이 어렵기 때문에 상기 가스 배관이 현장에 설치되기 전 미리 세정할 수는 있었지만, 현장에 설치되어 사용되고 있는 가스 배관에는 적용할 수 없는 문제가 있었다.
공개특허 제 10-2010-0088724 호, 공개일자 : 2010.08.11., 발명의 명칭 : 순환배관의 내부세척방법 및 순환배관의 내부세척장치
본 발명은 현장에 설치되어 사용 중인 가스 배관에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시킬 수 있는 가스 배관 세정 유닛을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 배관 세정 유닛은 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관 및 상기 가스 배관에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시키는 것으로서, 그 내부에 세정액이 수용되는 세정액 탱크 부재; 상기 세정액 탱크 부재 및 상기 가스 배관 사이에 연결되어 상기 세정액 탱크 부재로부터 상기 가스 배관으로 상기 세정액이 유동되도록 하는 세정액 배관 부재; 상기 세정액 배관 부재에 연결되어 상기 세정액의 유동을 제어하는 유동 제어 부재; 및 상기 가스 배관을 구성하고 소정 거리 이격되어 배치되는 제 1 가스 배관 및 제 2 가스 배관 사이에 연결되면서 상기 세정액 배관 부재에 함께 연결되고, 상기 제 1 가스 배관을 통해 유동되는 상기 가스와, 상기 세정액 배관 부재를 통해 유동되는 상기 세정액이 혼합되어 형성된 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관으로 유동될 때, 상기 혼합 세정액의 유동 방향을 가이드하는 유동 가이드 부재;를 포함하고, 상기 유동 가이드 부재는 원통 형태로 형성되고, 그 양측 말단이 상기 제 1 가스 배관 및 상기 제 2 가스 배관에 각각 연결되는 유동 가이드 몸체와, 상기 유동 가이드 몸체의 내부에 삽입되고 상기 세정액 배관 부재로부터 유입된 상기 세정액이 유동되는 유동관부와, 상기 유동 가이드 몸체 중 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드 몸체로부터 배출되는 쪽의 말단부에서 상기 유동 가이드 몸체의 내벽과 상기 유동관부의 외벽 사이의 공간을 막아 주는 격벽부와, 원통 형태로 형성되면서 상기 유동관부에 삽입되고, 상기 제 1 가스 배관에서 유동되는 상기 가스를 상기 유동관부 내부로 유입시키는 가스 유입부와, 상기 유동관부 중 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드 몸체로부터 배출되는 쪽의 말단부에 배치되고, 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 따라 그 단면 면적이 점진적으로 넓어지는 형태로 형성되어 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관의 내벽과 상대적으로 근접된 상태로 상기 유동관부에서 배출되도록 상기 혼합 세정액의 유동 방향을 가이드하는 유동 가이드부를 포함하고, 상기 가스 배관 내부에서 상기 가스가 이동될 때, 상기 유동 제어 부재에 의해 상기 세정액 배관 부재가 열리면, 상기 세정액 탱크 부재의 상기 세정액이 상기 세정액 배관 부재를 통해 상기 가스 배관으로 유동된 후 상기 가스와 혼합되어 혼합 세정액이 형성되고, 상기 혼합 세정액이 상기 가스 배관 중 상기 세정액 배관 부재 이후에 배치된 것의 내부를 유동하게 됨으로써 상기 가스 배관 중 상기 세정액 배관 부재 이후에 배치된 것의 내부가 세정될 수 있고, 상기 제 1 배관에서 유동되는 상기 가스가 상기 가스 유입부를 통해 유입된 후 상기 유동관부에서 상기 세정액과 혼합됨으로써 상기 혼합 세정액이 형성되고, 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드부의 외측 표면을 따라 슬라이딩되면서 상기 유동 가이드 부재로부터 배출되고, 그에 따라 배출된 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관의 내벽에 상대적으로 근접되면서 유동될 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 배관 세정 유닛에 의하면, 상기 가스 배관 세정 유닛이 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관 및 상기 가스 배관에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시키는 것으로서, 세정액 탱크 부재와, 세정액 배관 부재 및 유동 제어 부재를 포함함에 따라, 현장에 설치되어 사용 중인 상기 가스 배관에 세정액을 유동시켜 상기 가스 배관의 내부를 세정함으로써 상대적으로 빠른 시간에 상기 가스 배관의 세정이 이루어지게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛이 가스 배관에 연결된 모습을 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛이 가스 배관에 연결된 모습의 일부를 확대한 확대도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 가스 배관 세정 유닛에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛이 가스 배관에 연결된 모습을 보이는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛(100)은 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관(10) 및 상기 가스 배관(10)에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관(10)의 내부를 세정시키는 것으로서, 세정액 탱크 부재(110)와, 세정액 배관 부재(120) 및 유동 제어 부재(125)를 포함한다.
본 실시예에서 상기 가스 배관 세정 유닛(100)은 가스 분석 부재(130)를 더 포함한다.
상기 세정액 탱크 부재(110)는 그 내부에 세정액이 수용되는 것으로, 탱크 용기 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 세정액 탱크 부재(110)에는 미리 설정된 양만큼의 상기 세정액이 보관되어진다.
상기 세정액은 엔솔브 및 이소프로필 알코올(Isopropyl alcohol, IPA) 중 적어도 하나로 이루어진다.
상기 이소프로필 알코올은 무색의 인화성을 가지는 약품으로 무극성 물질을 용해하며 얼룩을 남기지 않고 쉽게 증발하는 성질이 있어 반도체 또는 디스플레이 등의 부품 세정액으로 사용되는 것이다.
상기 세정액 배관 부재(120)는 상기 세정액 탱크 부재(110) 및 상기 가스 배관(10) 사이에 연결되어 상기 세정액 탱크 부재(110)로부터 상기 가스 배관(10)으로 상기 세정액이 유동되도록 하는 것이다.
본 실시예에서 상기 가스 배관(10)은 상기 세정액 배관 부재(120)를 기준으로 상기 세정액 배관 부재(120)가 연결되기 전에 배치되는 제 1 가스 배관(11)과, 상기 세정액 배관 부재(120)를 기준으로 상기 세정액 배관 부재(120)가 연결된 후에 배치되는 제 2 가스 배관(12)을 포함한다.
그러면, 상기 제 1 가스 배관(11)에서 유동되는 상기 가스와 상기 세정액 배관 부재(120)를 통해 유동되는 상기 세정액이 혼합되어 상기 혼합 세정액이 형성되고, 이러한 상기 혼합 세정액은 상기 제 2 가스 배관(12)의 내부를 유동하게 된다.
상기 세정액 배관 부재(120)는 상기 제 1 가스 배관(11) 및 상기 제 2 가스 배관(12) 중 어느 하나에 직접 연결될 수도 있고, 세 개의 말단부가 형성된 3-way 배관이 별도로 설치되고, 상기 3-way 배관의 세 개의 말단부에 상기 제 1 가스 배관(11), 상기 제 2 가스 배관(12) 및 상기 세정액 배관 부재(120)가 각각 연결되어 서로 연결될 수도 있다.
상기 유동 제어 부재(125)는 상기 세정액 배관 부재(120)에 연결되어 상기 세정액의 유동을 제어하는 것으로, 밸브 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 유동 제어 부재(125)를 일 방향으로 회전시키면, 상기 세정액 배관 부재(120)의 내부가 열리면서 상기 세정액이 상기 세정액 배관 부재(120)를 통해 상기 가스 배관(10)으로 유동된다.
반면, 상기 유동 제어 부재(125)를 타 바향으로 회전시키면, 상기 세정액 배관 부재(120)의 내부가 닫히면서, 상기 세정액 배관 부재(120)로부터 상기 가스 배관(10) 쪽으로 유동되는 상기 세정액의 유동이 차단된다.
상기와 같이 구성되면, 상기 가스 배관(10) 내부에서 이동될 때, 더 정확하게는 상기 제 1 가스 배관(11)으로부터 상기 제 2 가스 배관(12)으로 상기 가스가 이동될 때, 상기 유동 제어 부재(125)에 의해 상기 세정액 배관 부재(120)가 열리게 되면, 상기 세정액 탱크 부재(110)의 상기 세정액이 상기 세정액 배관 부재(120)를 통해 상기 가스 배관(10)으로 유동된 후 상기 가스와 혼합되어 혼합 세정액이 형성되고, 상기 혼합 세정액이 상기 가스 배관(10) 중 상기 세정액 배관 부재(120) 이후, 더 정확하게는 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 세정액 배관 부재(120) 이후에 배치된 상기 제 2 가스 배관(12)의 내부를 유동하게 됨으로써, 상기 가스 배관(10) 중 상기 세정액 배관 부재(120) 이후에 배치된 것인 상기 제 2 가스 배관(12)의 내부가 세정될 수 있게 된다.
도면 번호 135는 상기 제 2 가스 배관(12)의 말단부에 배치되고, 상기 제 2 가스 배관(12)의 내부를 세정한 후 외부로 배출되는 상기 혼합 세정액이 수용되는 혼합 세정액 수용 용기이다.
상기 가스 분석 부재(130)는 상기 세정액 배관 부재(120)로부터 이격되도록 상기 가스 배관(10)에 연결되어 상기 혼합 세정액을 이용하여 상기 가스 배관(10) 내부를 세정시킨 후 상기 가스 배관(10)에서 유동되는 상기 가스의 이물질 여부를 분석하는 것으로 가스 분석기 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상세히, 상기 가스 분석 부재(130)는 상기 가스에 포함된 수분, 파티클(particle) 등의 유무 및 포함 정도를 측정하여 상기 가스의 순도를 분석하게 된다.
상기 제 2 가스 배관(12)으로 상기 혼합 세정액을 미리 설정된 양만큼 또는 미리 설정된 시간만큼 유동시킨 후 상기 유동 제어 부재(125)를 이용하여 상기 세정액 배관 부재(120)를 닫으면, 상기 가스만 상기 제 1 가스 배관(11)에서 상기 제 2 가스 배관(12)으로 유동되고, 이 때 상기 가스 분석 부재(130)를 작동하여 상기 가스의 순도를 확인하게 된다.
도면 번호 131은 상기 제 2 가스 배관(12)에 상기 혼합 세정액이 유동될 때는 상기 혼합 세정액이 상기 가스 분석 부재(130)로 유동되는 것을 차단하고, 상기 제 2 가스 배관(12)에 상기 가스가 유동될 때는 상기 가스가 상기 가스 분석 부재(130)로 유동되도록 하는 가스 분석 부재측 제어부이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 가스 공급부로부터 상기 가스를 공급하여 상기 가스 배관(10)의 내부에 상기 가스가 유동되도록 한다.
그러면, 상기 가스가 상기 제 1 가스 배관(11)을 통해 상기 제 2 가스 배관(12)으로 유동된다.
그런 다음, 상기 유동 제어 부재(125)를 열어서 상기 세정액 탱크 부재(110)에 수용된 상기 세정액이 상기 세정액 배관 부재(120)를 통해 상기 가스 배관(10)으로 유동되도록 한다.
이 때, 가스 분석 부재측 제어부(131)는 닫힌 상태로 유지됨으로써 상기 혼합 세정액이 상기 가스 분석 부재(130) 쪽으로는 유동되지 아니한다.
그러면, 상기 제 1 가스 배관(11)에서 유동되는 상기 가스와 상기 세정액 배관 부재(120)를 통해 유동되는 상기 세정액이 혼합되어 상기 혼합 세정액이 형성되고, 이러한 상기 혼합 세정액은 상기 제 2 가스 배관(12)의 내부를 유동하게 된다.
상기 혼합 세정액이 미리 설정된 시간 또는 미리 설정된 양만큼 상기 제 2 가스 배관(12) 부재를 유동한 후에는 상기 유동 제어 부재(125)를 닫아서 상기 가스 배관(10)으로 상기 세정액이 유동되는 것을 차단한다.
그런 다음, 상기 가스 배관(10)의 내부에 상기 가스가 유동되는 상태에서 상기 가스 분석 부재측 제어부(131)를 열어 상기 가스가 상기 가스 분석 부재(130) 쪽으로 유입되도록 함으로써, 상기 가스 분석 부재(130)를 통해 상기 가스의 이물질 여부를 분석한다.
상기와 같이, 상기 가스 배관 세정 유닛(100)이 상기 세정액 탱크 부재(110)와, 상기 세정액 배관 부재(120) 및 상기 유동 제어 부재(125)를 포함함에 따라, 현장에 설치되어 사용 중인 상기 가스 배관(10)에 상기 세정액을 유동시켜 상기 가스 배관(10)의 내부를 세정함으로써 상대적으로 빠른 시간에 상기 가스 배관(10)의 세정이 이루어지게 할 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 가스 배관 세정 유닛에 대하여 설명한다.
이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 가스 배관 세정 유닛이 가스 배관에 연결된 모습의 일부를 확대한 확대도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에서는 가스 배관 세정 유닛이 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관 및 상기 가스 배관에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시키는 것으로서, 세정액 탱크 부재와, 세정액 배관 부재(220)와, 유동 제어 부재 및 유동 가이드 부재(240)를 포함한다.
상기 세정액 탱크 부재는 그 내부에 세정액이 수용되는 것이다.
상기 세정액 배관 부재(220)는 상기 세정액 탱크 부재 및 상기 가스 배관 사이에 연결되어 상기 세정액 탱크 부재로부터 상기 가스 배관으로 상기 세정액이 유동되도록 하는 것이다.
상기 유동 제어 부재는 상기 세정액 배관 부재(220)에 연결되어 상기 세정액의 유동을 제어하는 것이다.
상기 유동 가이드 부재(240)는 상기 가스 배관을 구성하고 소정 거리 이격되어 배치되는 제 1 가스 배관(11) 및 제 2 가스 배관(12) 사이에 연결되면서 상기 세정액 배관 부재(220)에 함께 연결되고, 상기 제 1 가스 배관(11)을 통해 유동되는 상기 가스와, 상기 세정액 배관 부재(220)을 통해 유동되는 상기 세정액이 혼합되어 형성된 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관(12)으로 유동될 때, 상기 혼합 세정액의 유동 방향으로 가이드하는 것이다.
상세히, 상기 유동 가이드 부재(240)는 유동 가이드 몸체(241)와, 유동관부(242)와, 격벽부(245)와, 가스 유입부(246) 및 유동 가이드부(247)를 포함한다.
상기 유동 가이드 몸체(241)는 원통 형태로 형성되고, 그 양측 말단이 상기 제 1 가스 배관(11) 및 상기 제 2 가스 배관(12)에 각각 연결되는 것으로, 상기 제 1 가스 배관(11) 및 상기 제 2 가스 배관(12)과 동일한 직경으로 형성된 배관 등이 그 예로 제시될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 유동 가이드 몸체(241)의 상단에는 상기 유동관부(242)가 관통 삽입되는 관통 홀이 형성된다.
상기 유동관부(242)는 상기 관통 홀을 통해 상기 유동 가이드 몸체(241)의 내부에 삽입되고 상기 세정액 배관 부재(220)와 연결되어 상기 세정액 배관 부재(220)로부터 유입된 상기 세정액이 유동되는 것으로, 그 단면이 원형인 배관 형태로 형성된다.
상기 유동관부(242)는 상기 세정액 배관 부재(220)와 연결되고 상기 세정액 배관 부재(220)의 길이 방향을 따라 소정 길이 길게 형성된 연결관(243)과, 상기 연결관(243)에 대해 수직으로 굽혀지고, 상기 가스가 유동되는 방향으로 따라 소정 길이 길게 형성된 굽힘관(244)을 포함한다.
상기 세정액 탱크 부재에 수용되어 있던 상기 세정액은 상기 세정액 배관 부재(220)를 통해 상기 연결관(243)을 경유한 후 및 상기 굽힘관(244)으로 유동된다.
상기 격벽부(245)는 상기 유동 가이드 몸체(241) 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드 몸체(241)로부터 배출되는 쪽의 말단부, 즉, 상기 굽힘관(244) 중 상기 혼합 세정액이 배출되는 쪽의 말단부에서 상기 유동 가이드 몸체(241)의 내벽과 상기 유동관부(242)의 외벽 사이의 공간을 막아 주는 것이다.
상기 격벽부(245)는 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되고, 그 중앙부에 형성된 홀에 상기 굽힘관(244)이 삽입되어, 상기 제 1 가스 배관(11)으로부터 유동되는 상기 가스가 상기 유동 가이드 몸체(241) 및 상기 유동관부(242) 사이의 공간을 통해 상기 제 2 가스 배관(12)으로 유동되는 것을 차단시키게 된다.
상기 가스 유입부(246)는 원통 형태로 형성되면서 상기 유동관부(242)에 삽입되고, 상기 제 1 가스 배관(11)에서 유동되는 상기 가스를 상기 유동관부(242) 내부로 유입시키는 것이다.
상기 제 1 가스 배관(11)으로부터 유동된 상기 가스는 상기 격벽부(245)에 의해 유동이 차단되고, 그에 따라 상기 가스 유입부(246)를 통해 상기 유동관부(242)로 유입된다.
상기 가스 유입부(246)는 상기 유동관부(242) 더 정확하게는 상기 굽힘관(244)의 내부에서 돌출되되, 상기 굽힘관(244)에 연결된 부분에서 외곽으로 갈수록 상기 가스가 유동되는 방향을 따라 기울어지게 형성된다.
그러면, 상기 제 1 가스 배관(11)의 길이 방향에 대해 평행하게 유동(층류 유동)되던 상기 가스가 그 유동 방향을 유지하면서 상기 가스 유입부(246)로 유입될 수 있고, 그에 따라, 상기 유동관부(242) 내에서 상기 세정액과 혼합될 때에도 와류 발생을 최소화할 수 있게 된다.
상기 유동 가이드부(247)는 상기 유동관부(242) 중 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 유동 가이드 몸체(241)로부터 배출되는 쪽의 말단부에 배치되고, 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 따라 그 단면 면적이 점진적으로 넓어지는 형태인 삼각형 단면 형태로 형성되어 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관(12)의 내벽과 상대적으로 근접된 상태로 상기 유동관부(242)에서 배출되도록 상기 혼합 세정액의 유동 방향을 가이드하는 것이다.
상세히, 상기 유동 가이드부(247)는 상기 유동관부(242)에 연결되면서 상기 유동관부(242)의 중앙부에 배치되고, 상기 유동관부(242)의 내측에 위치되는 일측 말단부는 모서리가 서로 만나면서 뾰족한 형태로 형성되고, 상기 유동관부(242)의 말단부에 위치되는 타측 말단부로 갈수록 점진적으로 벌어지면서 전체적으로는 원뿔 형태로 형성된다.
그러면, 상기 유동관부(242) 내부에서 형성된 상기 혼합 세정액은 상기 유동 가이드부(247)의 경사진 외측 표면(248)을 따라 슬라이딩되면서 상기 유동관부(242)에서 배출될 수 있게 된다.
상기와 같이 구성되면, 상기 제 1 배관에서 유동되는 상기 가스가 상기 가스 유입부(246)를 통해 유입된 후 상기 유동관부(242)에서 상기 세정액과 혼합됨으로써 상기 혼합 세정액이 형성되고, 상기 가스가 혼합되어 외부 대기압에 비해 상대적으로 고압 상태로 형성된 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드부(247)의 상기 외측 표면(248)을 따라 슬라이딩되면서 상기 유동 가이드 부재(240)로부터 배출되고, 그에 따라, 배출된 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관(12)의 내벽에 상대적으로 근접되면서 유동됨으로써 상기 제 2 가스 배관(12)의 내벽에 대한 세정 효율이 상대적으로 증가될 수 있게 된다.
도면 번호 249는 상기 유동 가이드부(247)의 양측에서 상기 굽힘관(244)의 내벽까지 각각 돌출되어 상기 굽힘관(244)에 상기 유동 가이드부(247)를 연결시키는 연결 바아(bar)이다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 가스 배관 세정 유닛에 의하면, 현장에 설치되어 사용 중인 가스 배관에 세정액을 유동시켜 상기 가스 배관의 내부를 세정함으로써 상대적으로 빠른 시간에 상기 가스 배관의 세정이 이루어지게 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
10 : 가스 배관 11 : 제 1 가스 배관
12 : 제 2 가스 배관 100 : 가스 배관 세정 유닛
110 : 세정액 탱크 부재 120 : 세정액 배관 부재
125 : 유동 제어 부재 130 : 가스 분석 부재
240 : 유동 가이드 부재(240)

Claims (5)

  1. 가스를 공급하는 가스 공급부, 상기 가스 공급부로부터 요구되는 곳까지 상기 가스를 이동시키는 가스 배관 및 상기 가스 배관에 결합되는 복수 개의 밸브로 이루어지는 가스 설비에 적용되어 상기 가스 배관의 내부를 세정시키는 것으로서,
    그 내부에 세정액이 수용되는 세정액 탱크 부재;
    상기 세정액 탱크 부재 및 상기 가스 배관 사이에 연결되어 상기 세정액 탱크 부재로부터 상기 가스 배관으로 상기 세정액이 유동되도록 하는 세정액 배관 부재;
    상기 세정액 배관 부재에 연결되어 상기 세정액의 유동을 제어하는 유동 제어 부재; 및
    상기 가스 배관을 구성하고 소정 거리 이격되어 배치되는 제 1 가스 배관 및 제 2 가스 배관 사이에 연결되면서 상기 세정액 배관 부재에 함께 연결되고, 상기 제 1 가스 배관을 통해 유동되는 상기 가스와, 상기 세정액 배관 부재를 통해 유동되는 상기 세정액이 혼합되어 형성된 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관으로 유동될 때, 상기 혼합 세정액의 유동 방향을 가이드하는 유동 가이드 부재;를 포함하고,
    상기 유동 가이드 부재는
    원통 형태로 형성되고, 그 양측 말단이 상기 제 1 가스 배관 및 상기 제 2 가스 배관에 각각 연결되는 유동 가이드 몸체와,
    상기 유동 가이드 몸체의 내부에 삽입되고 상기 세정액 배관 부재로부터 유입된 상기 세정액이 유동되는 유동관부와,
    상기 유동 가이드 몸체 중 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드 몸체로부터 배출되는 쪽의 말단부에서 상기 유동 가이드 몸체의 내벽과 상기 유동관부의 외벽 사이의 공간을 막아 주는 격벽부와,
    원통 형태로 형성되면서 상기 유동관부에 삽입되고, 상기 제 1 가스 배관에서 유동되는 상기 가스를 상기 유동관부 내부로 유입시키는 가스 유입부와,
    상기 유동관부 중 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 기준으로 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드 몸체로부터 배출되는 쪽의 말단부에 배치되고, 상기 혼합 세정액이 유동되는 방향을 따라 그 단면 면적이 점진적으로 넓어지는 형태로 형성되어 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관의 내벽과 상대적으로 근접된 상태로 상기 유동관부에서 배출되도록 상기 혼합 세정액의 유동 방향을 가이드하는 유동 가이드부를 포함하고,
    상기 가스 배관 내부에서 상기 가스가 이동될 때, 상기 유동 제어 부재에 의해 상기 세정액 배관 부재가 열리면, 상기 세정액 탱크 부재의 상기 세정액이 상기 세정액 배관 부재를 통해 상기 가스 배관으로 유동된 후 상기 가스와 혼합되어 혼합 세정액이 형성되고, 상기 혼합 세정액이 상기 가스 배관 중 상기 세정액 배관 부재 이후에 배치된 것의 내부를 유동하게 됨으로써 상기 가스 배관 중 상기 세정액 배관 부재 이후에 배치된 것의 내부가 세정될 수 있고,
    상기 제 1 배관에서 유동되는 상기 가스가 상기 가스 유입부를 통해 유입된 후 상기 유동관부에서 상기 세정액과 혼합됨으로써 상기 혼합 세정액이 형성되고, 상기 혼합 세정액이 상기 유동 가이드부의 외측 표면을 따라 슬라이딩되면서 상기 유동 가이드 부재로부터 배출되고, 그에 따라 배출된 상기 혼합 세정액이 상기 제 2 가스 배관의 내벽에 상대적으로 근접되면서 유동될 수 있는 것을 특징으로 하는 가스 배관 세정 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 세정액은
    엔솔브 및 이소프로필 알코올(Isopropyl alcohol, IPA) 중 적어도 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 배관 세정 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 가스 배관 세정 유닛은
    상기 세정액 배관 부재로부터 이격되도록 상기 가스 배관에 연결되어 상기 혼합 세정액을 이용하여 상기 가스 배관 내부를 세정시킨 후 상기 가스 배관에서 유동되는 상기 가스의 이물질 여부를 분석하는 가스 분석 부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 배관 세정 유닛.
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