KR102549747B1 - 도금 장치의 메인터넌스 방법 - Google Patents

Abstract

도금조의 내부에 배치된 막의 변형을 억제할 수 있는 기술을 제공한다.
도금 장치의 메인터넌스 방법은, 애노드실의 애노드액을 애노드액 탱크로 되돌린 후에 애노드액 탱크와 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것(스텝 S10e), 및 캐소드실의 캐소드액을 캐소드액 탱크로 되돌린 후이며, 애노드액 탱크와 애노드실 사이에 있어서의 애노드액의 순환이 개시된 후에, 캐소드액 탱크와 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것(스텝 S10f)을 포함한다.

Description

도금 장치의 메인터넌스 방법

본 발명은 도금 장치의 메인터넌스 방법에 관한 것이다.

종래, 기판에 도금 처리를 실시하는 도금 장치로서, 소위 컵식의 도금 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1, 특허문헌 2를 참조). 이와 같은 도금 장치는, 도금조를 갖고 있다. 이 도금조의 내부는, 막에 의해, 막보다도 하방의 애노드실과 막보다도 상방의 캐소드실로 구획되어 있다. 애노드실에는, 애노드가 배치되고, 캐소드실에는, 캐소드로서의 기판이 배치된다. 또한, 기판에 도금 피막을 형성하는 도금 처리 시에 있어서는, 애노드액 탱크에 저류된 애노드액(도금액)을 애노드액 탱크와 애노드실 사이에서 순환시키고, 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액(도금액)을 캐소드액 탱크와 캐소드실 사이에서 순환시키고 있다.

일본 특허 공개 제2008-19496호 공보 미국 특허 제6821407호 명세서

그런데, 상술한 바와 같은, 컵식의 도금 장치에 있어서, 예를 들어 기판에 대한 도금 처리가 실행되어 있지 않은 경우에, 도금 장치의 메인터넌스가 행해지는 경우가 있다. 구체적으로는, 이 도금 장치의 메인터넌스에 있어서, 예를 들어 도금조의 애노드실에 잔존하는 애노드액을 애노드액 탱크로 되돌려, 애노드액 탱크와 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키거나, 도금조의 캐소드실에 잔존하는 캐소드액을 캐소드액 탱크로 되돌려, 캐소드액 탱크와 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키거나 한다. 그러나, 이와 같은 도금 장치의 메인터넌스는, 도금조의 내부에 배치된 막의 변형을 억제한다는 관점에 있어서, 개선의 여지가 있었다.

본 발명은, 상기의 것을 감안하여 이루어진 것이며, 도금조의 내부에 배치된 막의 변형을 억제할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.

(양태 1)

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 양태에 관한 도금 장치의 메인터넌스 방법은, 도금조의 내부에 있어서의 막보다도 하방에 구획된 애노드실에 잔존하는 애노드액을, 애노드액을 저류하기 위한 애노드액 탱크로 되돌리는 것, 상기 도금조의 내부에 있어서의 상기 막보다도 상방에 구획된 캐소드실에 잔존하는 캐소드액을, 캐소드액을 저류하기 위한 캐소드액 탱크로 되돌리는 것, 상기 애노드실에 잔존하는 애노드액을 상기 애노드액 탱크로 되돌린 후에, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것, 및 상기 캐소드실에 잔존하는 캐소드액을 상기 캐소드액 탱크로 되돌린 후이며, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에 있어서의 애노드액의 순환이 개시된 후에, 상기 캐소드액 탱크와 상기 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것을 포함한다.

이 양태에 의하면, 애노드액 탱크와 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것이, 캐소드액 탱크와 캐소드실 사이의 캐소드액을 순환시키는 것보다도 먼저 개시되므로, 애노드실의 압력 상승을 캐소드실의 압력 상승보다도 먼저 개시시킬 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 캐소드액의 순환이 애노드액의 순환보다도 먼저 행해져, 캐소드실의 압력 상승이 애노드실의 압력 상승보다도 먼저 개시되는 경우에 비해, 도금조의 내부에 배치된 막이 캐소드실의 압력에 의해 하방으로 변형되는 것을 억제할 수 있다.

(양태 2)

상기 양태 1은, 상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 미만인 경우에, 상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 당해 소정 레벨 이상으로 되도록, 애노드액 공급 장치로부터 공급된 애노드액을 상기 애노드액 탱크에 보급하는 것을 더 포함하고 있어도 된다.

(양태 3)

상기 양태 2에 있어서, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것은, 상기 애노드실에 잔존하는 애노드액을 상기 애노드액 탱크로 되돌린 후이며, 또한, 상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 상기 소정 레벨 이상인 경우에, 실행되어도 된다.

(양태 4)

상기 양태 1 내지 3 중 어느 일 양태는, 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 미만인 경우에, 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 당해 소정 레벨 이상으로 되도록, 캐소드액 공급 장치로부터 공급된 캐소드액을 상기 캐소드액 탱크에 보급하는 것을 더 포함하고 있어도 된다.

(양태 5)

상기 양태 4는, 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 상기 소정 레벨 이상인 경우에, 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액을 상기 캐소드실을 바이패스시켜 유통시킨 후에 상기 캐소드액 탱크로 되돌리는 것을, 상기 캐소드액 탱크와 상기 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것 전에, 더 포함하고 있어도 된다.

이 양태에 의하면, 캐소드액을 캐소드실을 바이패스시켜 유통시킨 후에 캐소드액 탱크로 되돌림으로써, 캐소드액에 포함되는 기포의 양을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 이 후에 행해지는, 캐소드액 탱크와 캐소드실 사이에 있어서의 캐소드액의 순환 시에, 캐소드실에 공급되는 캐소드액에 포함되는 기포의 양을 저감시킬 수 있다.

(양태 6)

상기 양태 1 내지 5 중 어느 일 양태에 있어서, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것은, 전 애노드액 탱크로부터 상기 애노드실을 향하여 유통되는 애노드액의 온도를, 온도 조절기에 의해, 소정의 온도 범위 내로 조정하는 것을 포함하고 있어도 된다.

이 양태에 의하면, 애노드액 탱크로부터 애노드실을 향하여 유통되는 애노드액의 온도를 조기에 소정의 온도 범위 내로 할 수 있다.

(양태 7)

상기 양태 1 내지 6 중 어느 일 양태에 있어서, 상기 캐소드액 탱크와 상기 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것은, 상기 캐소드액 탱크로부터 상기 캐소드실을 향하여 유통되는 캐소드액의 온도를, 온도 조절기에 의해, 소정의 온도 범위 내로 조정하는 것을 포함하고 있어도 된다.

이 양태에 의하면, 캐소드액 탱크로부터 캐소드실을 향하여 유통되는 캐소드액의 온도를 조기에 소정의 온도 범위 내로 할 수 있다.

도 1은 실시 형태에 관한 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 실시 형태에 관한 도금 장치의 전체 구성을 도시하는 평면도이다.
도 3은 실시 형태에 관한 도금 모듈의 1개의 도금조의 주변 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 실시 형태에 관한 1개의 도금 모듈의 액체 유통 구성을 도시하는 모식도이다.
도 5는 실시 형태에 관한 도금 모듈에 있어서의 액체의 유통 양태의 일례를 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 실시 형태에 관한 약액 준비 처리의 상세를 설명하기 위한 흐름도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 도면은, 특징의 이해를 용이하게 하기 위해 모식적으로 도시되어 있어, 각 구성 요소의 치수 비율 등은 실제의 것과 동일하다고는 할 수 없다. 또한, 몇 개의 도면에는, 참고용으로서, X-Y-Z의 직교 좌표가 도시되어 있다. 이 직교 좌표 중, Z 방향은 상방에 상당하고, -Z 방향은 하방(중력이 작용하는 방향)에 상당한다.

도 1은 본 실시 형태의 도금 장치(1000)의 전체 구성을 도시하는 사시도이다. 도 2는 본 실시 형태의 도금 장치(1000)의 전체 구성을 도시하는 평면도이다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 도금 장치(1000)는, 로드 포트(100), 반송 로봇(110), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200), 프리소크 모듈(300), 도금 모듈(400), 세정 모듈(500), 스핀 린스 드라이어(600), 반송 장치(700), 및 제어 모듈(800)을 구비한다.

로드 포트(100)는, 도금 장치(1000)에 도시하지 않은 FOUP 등의 카세트에 수용된 기판을 반입하거나, 도금 장치(1000)로부터 카세트로 기판을 반출하기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 4대의 로드 포트(100)가 수평 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 로드 포트(100)의 수 및 배치는 임의이다. 반송 로봇(110)은, 기판을 반송하기 위한 로봇이며, 로드 포트(100), 얼라이너(120), 프리웨트 모듈(200) 및 스핀 린스 드라이어(600)의 사이에서 기판을 수수하도록 구성된다. 반송 로봇(110) 및 반송 장치(700)는, 반송 로봇(110)과 반송 장치(700) 사이에서 기판을 수수할 때는, 임시 적재대(도시하지 않음)를 통해 기판의 수수를 행할 수 있다.

얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞추기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 얼라이너(120)가 수평 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 얼라이너(120)의 수 및 배치는 임의이다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 처리 전의 기판 피도금면을 순수 또는 탈기수 등의 처리액으로 적심으로써, 기판 표면에 형성된 패턴 내부의 공기를 처리액으로 치환한다. 프리웨트 모듈(200)은, 도금 시에 패턴 내부의 처리액을 도금액으로 치환함으로써 패턴 내부에 도금액을 공급하기 쉽게 하는 프리웨트 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리웨트 모듈(200)이 상하 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 프리웨트 모듈(200)의 수 및 배치는 임의이다.

프리소크 모듈(300)은, 예를 들어 도금 처리 전의 기판의 피도금면에 형성한 시드층 표면 등에 존재하는 전기 저항이 큰 산화막을 황산이나 염산 등의 처리액으로 에칭 제거하여 도금 하지 표면을 세정 또는 활성화하는 프리소크 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 프리소크 모듈(300)이 상하 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 프리소크 모듈(300)의 수 및 배치는 임의이다. 도금 모듈(400)은, 기판에 도금 처리를 실시한다. 본 실시 형태에서는, 상하 방향으로 3대 또한 수평 방향으로 4대 나란하게 하여 배치된 12대의 도금 모듈(400)의 세트가 2개 있고, 합계 24대의 도금 모듈(400)이 마련되어 있지만, 도금 모듈(400)의 수 및 배치는 임의이다.

세정 모듈(500)은, 도금 처리 후의 기판에 남는 도금액 등을 제거하기 위해 기판에 세정 처리를 실시하도록 구성된다. 본 실시 형태에서는 2대의 세정 모듈(500)이 상하 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 세정 모듈(500)의 수 및 배치는 임의이다. 스핀 린스 드라이어(600)는, 세정 처리 후의 기판을 고속 회전시켜 건조시키기 위한 모듈이다. 본 실시 형태에서는 2대의 스핀 린스 드라이어(600)가 상하 방향으로 나란하게 하여 배치되어 있지만, 스핀 린스 드라이어(600)의 수 및 배치는 임의이다. 반송 장치(700)는, 도금 장치(1000) 내의 복수의 모듈간에서 기판을 반송하기 위한 장치이다. 제어 모듈(800)은, 도금 장치(1000)의 복수의 모듈을 제어하도록 구성되고, 예를 들어 오퍼레이터와의 사이의 입출력 인터페이스를 구비하는 일반적인 컴퓨터 또는 전용 컴퓨터로 구성할 수 있다.

도금 장치(1000)에 의한 일련의 도금 처리의 일례를 설명한다. 먼저, 로드 포트(100)에 카세트에 수용된 기판이 반입된다. 계속해서, 반송 로봇(110)은, 로드 포트(100)의 카세트로부터 기판을 빼내어, 얼라이너(120)에 기판을 반송한다. 얼라이너(120)는, 기판의 오리엔테이션 플랫이나 노치 등의 위치를 소정의 방향으로 맞춘다. 반송 로봇(110)은, 얼라이너(120)로 방향을 맞춘 기판을 프리웨트 모듈(200)에 전달한다.

프리웨트 모듈(200)은, 기판에 프리웨트 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 프리웨트 처리가 실시된 기판을 프리소크 모듈(300)로 반송한다. 프리소크 모듈(300)은, 기판에 프리소크 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 프리소크 처리가 실시된 기판을 도금 모듈(400)로 반송한다. 도금 모듈(400)은, 기판에 도금 처리를 실시한다.

반송 장치(700)는, 도금 처리가 실시된 기판을 세정 모듈(500)로 반송한다. 세정 모듈(500)은, 기판에 세정 처리를 실시한다. 반송 장치(700)는, 세정 처리가 실시된 기판을 스핀 린스 드라이어(600)로 반송한다. 스핀 린스 드라이어(600)는, 기판에 건조 처리를 실시한다. 반송 로봇(110)은, 스핀 린스 드라이어(600)로부터 기판을 수취하여, 건조 처리를 실시한 기판을 로드 포트(100)의 카세트로 반송한다. 마지막으로, 로드 포트(100)로부터 기판을 수용한 카세트가 반출된다.

또한, 도 1이나 도 2에서 설명한 도금 장치(1000)의 구성은, 일례에 지나지 않고, 도금 장치(1000)의 구성은, 도 1이나 도 2의 구성에 한정되는 것은 아니다.

계속해서, 도금 모듈(400)에 대하여 설명한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 도금 장치(1000)가 갖는 복수의 도금 모듈(400)은 마찬가지의 구성을 갖고 있으므로, 1개의 도금 모듈(400)에 대하여 설명한다.

도 3은 본 실시 형태에 관한 도금 장치(1000)에 있어서의 도금 모듈(400)의 1개의 도금조(10)의 주변 구성을 모식적으로 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에 관한 도금 장치(1000)는, 컵식의 도금 장치이다. 본 실시 형태에 관한 도금 장치(1000)의 도금 모듈(400)은, 도금조(10)와, 기판 홀더(20)와, 회전 기구(22)와, 승강 기구(24)를 구비하고 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 1개의 도금 모듈(400)은 복수의 도금조(10)를 구비하고 있다. 복수의 도금조(10)의 개수는 2 이상이면 되고, 그 구체적인 개수는 특별히 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에서는, 일례로서, 1개의 도금 모듈(400)은 4개의 도금조(10)를 구비하고 있다(후술하는 도 4 참조).

도 3에 예시한 바와 같이, 도금조(10)는, 상방에 개구를 갖는 바닥이 있는 용기에 의해 구성되어 있다. 구체적으로는, 도금조(10)는, 저벽(10a)과, 이 저벽(10a)의 외연으로부터 상방으로 연장되는 외주벽(10b)을 갖고 있고, 이 외주벽(10b)의 상부가 개구되어 있다. 또한, 도금조(10)의 외주벽(10b)의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 실시 형태에 관한 외주벽(10b)은, 일례로서 원통 형상을 갖고 있다. 도금조(10)의 내부에는, 도금액 Ps가 저류되어 있다. 도금조(10)의 외주벽(10b)의 외측에는, 외주벽(10b)의 상단으로부터 오버플로한 도금액 Ps를 저류하기 위한 오버플로조(19)가 배치되어 있다.

도금액 Ps로서는, 도금 피막을 구성하는 금속 원소의 이온을 포함하는 용액이면 되고, 그 구체예는 특별히 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에 있어서는, 도금 처리의 일례로서, 구리 도금 처리를 사용하고 있고, 도금액 Ps의 일례로서, 황산구리 용액을 사용하고 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 도금액 Ps에는 소정의 도금 첨가제가 포함되어 있다. 이 소정의 도금 첨가제의 구체예로서, 본 실시 형태에서는, 「비이온계의 도금 첨가제」가 사용되고 있다. 또한, 비이온계의 도금 첨가제란, 도금액 Ps 중에 있어서 이온성을 나타내지 않는 첨가제를 의미하고 있다.

도금조(10)의 내부에는, 애노드(13)가 배치되어 있다. 또한, 애노드(13)는, 수평 방향으로 연장되도록 배치되어 있다. 애노드(13)의 구체적인 종류는 특별히 한정되는 것은 아니고, 불용성 애노드여도 되고, 가용성 애노드여도 된다. 본 실시 형태에서는, 애노드(13)의 일례로서, 불용성 애노드를 사용하고 있다. 이 불용성 애노드의 구체적인 종류는, 특별히 한정되는 것은 아니고, 백금이나 산화이리듐 등을 사용할 수 있다.

도금조(10)의 내부에 있어서의 후술하는 캐소드실(12)에는, 이온 저항체(14)가 배치되어 있다. 구체적으로는, 이온 저항체(14)는, 캐소드실(12)에 있어서의 후술하는 막(40)보다도 상방, 또한, 기판 Wf보다도 하방의 개소에 마련되어 있다. 이온 저항체(14)는, 캐소드실(12)에 있어서의 이온의 이동의 저항이 될 수 있는 부재이며, 애노드(13)와 기판 Wf 사이에 형성되는 전장의 균일화를 도모하기 위해 마련되어 있다.

본 실시 형태에 관한 이온 저항체(14)는, 이온 저항체(14)의 하면과 상면을 관통하도록 마련된 복수의 관통 구멍(15)을 갖는 판 부재에 의해 구성되어 있다. 이 복수의 관통 구멍(15)은, 이온 저항체(14)의 구멍 형성 에어리어(이것은, 본 실시 형태에서는, 일례로서, 상면으로 보아 원형의 에어리어임)에 마련되어 있다. 이온 저항체(14)의 구체적인 재질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 본 실시 형태에 있어서는 일례로서, 폴리에테르에테르케톤 등의 수지를 사용하고 있다.

도금 모듈(400)이 이온 저항체(14)를 가짐으로써, 기판 Wf에 형성되는 도금 피막(도금층)의 막 두께의 균일화를 도모할 수 있다. 단, 이 이온 저항체(14)는, 본 실시 형태에 필수의 부재는 아니고, 도금 모듈(400)은, 이온 저항체(14)를 구비하고 있지 않은 구성으로 할 수도 있다.

도금조(10)의 내부에는, 막(40)이 배치되어 있다. 도금조(10)의 내부는, 막(40)에 의해, 막(40)보다도 하방의 애노드실(11)과, 막(40)보다도 상방의 캐소드실(12)로 구획되어 있다. 전술한 애노드(13)는 애노드실(11)에 배치되어 있고, 이온 저항체(14)는 캐소드실(12)에 배치되어 있다. 또한, 기판 Wf에 대한 도금 처리 시에 있어서, 기판 Wf는 캐소드실(12)에 배치된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 애노드실(11)에 공급되는 도금액 Ps를 「애노드액」이라 칭하고, 캐소드실(12)에 공급되는 도금액 Ps를 「캐소드액」이라 칭한다.

막(40)은, 도금액 Ps에 포함되는 이온종(이것은 금속 이온을 포함하고 있음)이 막(40)을 통과하는 것을 허용하면서, 도금액 Ps에 포함되는 비이온계의 도금 첨가제가 막(40)을 통과하는 것을 억제하도록 구성된 막이다. 구체적으로는, 막(40)은, 복수의 미세한 구멍(미세 구멍)을 갖고 있다(이 미세 구멍의 도시는 생략되어 있다). 이 복수의 구멍의 평균적인 직경은 나노미터 사이즈(즉, 1㎚ 이상 999㎚ 이하의 사이즈)이다. 이에 의해, 금속 이온을 포함하는 이온종(이것은 나노미터 사이즈임)이 막(40)의 복수의 미세 구멍을 통과하는 것은 허용되는 한편, 비이온계의 도금 첨가제(이것은, 나노미터 사이즈보다도 큼)가 막(40)의 복수의 미세 구멍을 통과하는 것은 억제되어 있다. 이와 같은 막(40)으로서는, 예를 들어 이온 교환막을 사용할 수 있다.

본 실시 형태와 같이, 도금 모듈(400)이 막(40)을 구비함으로써, 캐소드실(12)의 캐소드액에 포함되는 비이온계의 도금 첨가제가 애노드실(11)로 이동하는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 캐소드실(12)의 도금 첨가제의 소모량의 저감을 도모할 수 있다.

또한, 막(40)은, 도 3에 예시한 바와 같이, 수평 방향에 대하여 경사진 경사 부위(41)를 구비하고 있어도 된다. 구체적으로는, 도 3에 예시하는 막(40)의 경사 부위(41)는, 수평 방향에 대하여 경사짐과 함께, 도금조(10)의 중앙측으로부터 도금조(10)의 외주벽(10b)의 측을 향함에 따라서 상방에 위치하도록 경사져 있다. 또한, 도 3에 예시하는 막(40)은, 일례로서, 정면으로 보아 「V자상」의 외관 형상을 갖고 있다.

단, 막(40)의 구성은 상기 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 막(40)은, 경사 부위(41)를 구비하고 있지 않고, 전체적으로 수평 방향으로 연장되어 있어도 된다.

기판 홀더(20)는, 캐소드로서의 기판 Wf를, 기판 Wf의 피도금면(하면)이 애노드(13)에 대향하도록 보유 지지하고 있다. 기판 홀더(20)는, 회전 기구(22)에 접속되어 있다. 회전 기구(22)는, 기판 홀더(20)를 회전시키기 위한 기구이다. 회전 기구(22)는, 승강 기구(24)에 접속되어 있다. 승강 기구(24)는, 상하 방향으로 연장되는 지주(26)에 의해 지지되어 있다. 승강 기구(24)는, 기판 홀더(20) 및 회전 기구(22)를 승강시키기 위한 기구이다. 회전 기구(22) 및 승강 기구(24)의 동작은, 제어 모듈(800)에 의해 제어되고 있다. 또한, 기판 Wf 및 애노드(13)는, 통전 장치(도시하지 않음)와 전기적으로 접속되어 있다. 통전 장치는, 도금 처리의 실행 시에, 기판 Wf와 애노드(13) 사이에 전기를 흐르게 하기 위한 장치이다.

도금조(10)에는, 애노드실(11)에 애노드액을 공급하기 위한 애노드실용 공급구(16a)와, 애노드실(11)로부터 애노드액을 배출하기 위한 애노드실용 배출구(16b)가 마련되어 있다. 본 실시 형태에 관한 애노드실용 공급구(16a)는, 일례로서, 도금조(10)의 저벽(10a)에 배치되어 있다. 애노드실용 배출구(16b)는, 일례로서, 도금조(10)의 외주벽(10b)에 배치되어 있다. 또한, 애노드실용 배출구(16b)는, 일례로서, 도금조(10)의 2개소에 마련되어 있다.

또한, 도금조(10)에는, 캐소드실(12)용의 공급·드레인구(17)가 마련되어 있다. 공급·드레인구(17)는, 「캐소드액용의 공급구」와 「캐소드액용의 드레인구」가 합체된 것이다.

즉, 캐소드실(12)에 캐소드액을 공급할 때는, 이 공급·드레인구(17)는 「캐소드액용의 공급구」로서 기능하여, 이 공급·드레인구(17)로부터 캐소드액이 캐소드실(12)에 공급된다. 한편, 캐소드실(12)로부터 캐소드액을 배출하여, 예를 들어 캐소드실(12)의 캐소드액을 비울 때는, 이 공급·드레인구(17)는 「캐소드액용의 드레인구」로서 기능하여, 이 공급·드레인구(17)로부터 캐소드액이 배출된다.

또한, 공급·드레인구(17)의 구성은 상기 구성에 한정되는 것은 아니다. 다른 일례를 들면, 도금 모듈(400)은, 공급·드레인구(17) 대신에, 「캐소드액용의 공급구」, 및, 「캐소드액용의 드레인구」를, 개별로 구비하고 있어도 된다.

본 실시 형태에 관한 공급·드레인구(17)는, 일례로서, 캐소드실(12)의 저부(저면)로부터 공급·드레인구(17)까지의 거리가 예를 들어 20㎜ 이하로 되도록, 도금조(10)의 외주벽(10b)에 배치되어 있다.

오버플로조(19)에는, 캐소드실(12)로부터 오버플로하여, 오버플로조(19)에 저류된 도금액 Ps(캐소드액)를 오버플로조(19)의 외부로 배출하기 위한 오버플로조용 배출구(18)가 마련되어 있다.

도금조(10)에는, 애노드실(11)의 압력(Pa)을 검출하기 위한 압력계(80a)와, 캐소드실(12)의 압력(Pa)을 검출하기 위한 압력계(80b)가 배치되어 있다. 압력계(80a) 및 압력계(80b)의 검출 결과는, 제어 모듈(800)에 전달된다.

제어 모듈(800)은, 프로세서(801)와, 비일시적인 기억 장치(802)를 구비하고 있다. 기억 장치(802)에는, 프로그램이나 데이터 등이 기억되어 있다. 제어 모듈(800)에 있어서는, 프로세서(801)가 기억 장치(802)에 기억된 프로그램의 지령에 기초하여, 도금 장치(1000)의 동작을 제어한다.

기판 Wf에 대한 도금 처리를 실행할 때는, 먼저, 회전 기구(22)가 기판 홀더(20)를 회전시킴과 함께, 승강 기구(24)가 기판 홀더(20)를 하방으로 이동시켜, 기판 Wf를 도금조(10)의 도금액 Ps(캐소드실(12)의 캐소드액)에 침지시킨다. 다음에, 통전 장치에 의해, 애노드(13)와 기판 Wf 사이에 전기가 흐르게 된다. 이에 의해, 기판 Wf의 피도금면에, 도금 피막이 형성된다.

도 4는 1개의 도금 모듈(400)의 액체 유통 구성을 도시하는 모식도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 도금 모듈(400)은, 탱크(50, 51)와, 펌프(52a, 52b)와, 온도 조절기(53a, 53b)와, 필터(54)와, 애노드액 공급 장치(57a)와, 캐소드액 공급 장치(57b)와, 첨가제 공급 장치(57c)와, 금속 이온 공급 장치(57d)와, 복수의 유로(유로(70a 내지 70g4))와, 복수의 밸브(밸브(75a 내지 75o))와, 복수의 유로 전환 밸브(유로 전환 밸브(77a 내지 77d) 등)를 구비하고 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 일례로서, 1조의 탱크(50) 및 탱크(51)에 대하여, 4개의 도금조(10)(#1 내지 #4의 도금조(10))가 적용되어 있다. 즉, 본 실시 형태에 있어서, 1조의 탱크(50) 및 탱크(51)에 유로를 통해 연통되어 있는 도금조(10)의 수는, 일례로서 4개이다. 단, 1조의 탱크(50) 및 탱크(51)에 대하여 적용되는 도금조(10)의 수는, 복수이면 되고, 4보다도 적어도 되고, 많아도 된다.

복수의 밸브(밸브(75a 내지 75o))로서는, 밸브 폐쇄 상태(밸브 개방도가 0％인 상태이며, 밸브를 통과하는 액체의 유량이 제로인 상태)와, 밸브 개방 상태(밸브 개방도가 0％보다도 큰 상태이며, 밸브를 통과하는 액체의 유량이 제로보다도 큰 상태)를 적어도 전환하는 것이 가능한 유량 조정 밸브를 사용할 수 있다.

또한, 이들 복수의 밸브로서, 밸브 개방도를 0％ 이상 100％ 이하의 범위 내에서(즉, 밸브를 통과하는 유량을 제로 이상 소정값 이하의 범위 내에서), 연속적으로 또는 단계적으로 조정하는 것이 가능한 유량 조정 밸브를 사용할 수도 있다.

또한, 복수의 밸브, 및, 복수의 유로 전환 밸브는, 제어 모듈(800)에 의해 제어되는 밸브여도 되고, 혹은, 수동에 의해 동작되는 수동식의 밸브여도 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 복수의 밸브, 및, 복수의 유로 전환 밸브는, 제어 모듈(800)에 의해 제어된다.

탱크(50)는, 애노드액을 저류하기 위한 탱크이다. 탱크(50)는, 애노드실(11)에 연통하고 있다. 탱크(51)는, 캐소드액을 저류하기 위한 탱크이다. 탱크(51)는, 캐소드실(12)에 연통하고 있다. 또한, 탱크(50)는 「애노드액 탱크」의 일례이며, 탱크(51)는 「캐소드액 탱크」의 일례이다.

탱크(50)에는, 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨을 검출하기 위한 액면 레벨 센서(81a)가 배치되어 있다. 또한, 탱크(51)에도, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨을 검출하기 위한 액면 레벨 센서(81b)가 배치되어 있다. 액면 레벨 센서(81a, 81b)의 검출 결과는, 제어 모듈(800)에 전달된다.

펌프(52a)는, 탱크(50)의 애노드액을 애노드실(11)을 향하여 압송하기 위한 펌프이다. 펌프(52b)는, 탱크(51)의 캐소드액을 캐소드실(12)을 향하여 압송하기 위한 펌프이다. 펌프(52a, 52b)의 동작은, 제어 모듈(800)이 제어한다. 또한, 펌프(52a)는 「애노드액 펌프」의 일례이며, 펌프(52b)는 「캐소드액 펌프」의 일례이다.

온도 조절기(53a)는, 애노드액의 온도를 조정하기 위한 장치이다. 온도 조절기(53b)는, 캐소드액의 온도를 조정하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에 관한 온도 조절기(53a)는, 일례로서, 유로(70a)의 펌프(52a)보다도 하류측의 개소에 배치되어 있다. 본 실시 형태에 관한 온도 조절기(53b)는, 일례로서, 유로(70c)의 펌프(52b)보다도 하류측의 개소에 배치되어 있다. 온도 조절기(53a, 53b)의 동작은, 제어 모듈(800)이 제어한다.

도 5에 도시한 바와 같이, 필터(54)는, 탱크(51)로부터 캐소드실(12)을 향하여 유통되는 캐소드액을 여과하기 위한 장치이다. 필터(54)는, 후술하는 유로(70c)의 예를 들어 온도 조절기(53b)보다도 하류측의 개소에 배치되어 있다.

또한, 도금 모듈(400)이 갖는 필터의 개수는, 1개로 한정되는 것은 아니고, 2개 이상이어도 된다. 혹은, 도금 모듈(400)은, 필터를 구비하고 있지 않은 구성으로 할 수도 있다.

애노드액 공급 장치(57a)는, 애노드액을 공급하기 위한 장치이다. 애노드액 공급 장치(57a)가 공급하는 애노드액은, 미사용의 애노드액(즉, 새로운 애노드액)이어도 되고, 도금 처리에 사용된 적이 있는 애노드액이어도 된다. 캐소드액 공급 장치(57b)는, 캐소드액을 공급하기 위한 장치이다. 캐소드액 공급 장치(57b)가 공급하는 캐소드액은, 미사용의 캐소드액(즉, 새로운 캐소드액)이어도 되고, 도금 처리에 사용된 적이 있는 캐소드액이어도 된다.

애노드액 공급 장치(57a)의 구체적인 구성은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 애노드액 공급 장치(57a)는, 공급용의 애노드액을 저류하기 위한 탱크와, 이 탱크의 애노드액을 유로(70g1)를 통해 탱크(50)을 향하여 압송하기 위한 펌프를 구비하고 있어도 된다. 캐소드액 공급 장치(57b)의 구체적인 구성은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 캐소드액 공급 장치(57b)는, 공급용의 캐소드액을 저류하기 위한 탱크와, 이 탱크의 캐소드액을 유로(70g2)를 통해 탱크(51)를 향하여 압송하기 위한 펌프를 구비하고 있어도 된다. 본 실시 형태에 관한 애노드액 공급 장치(57a) 및 캐소드액 공급 장치(57b)의 동작은, 제어 모듈(800)이 제어한다.

첨가제 공급 장치(57c)는, 도금 첨가제를 공급하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에 있어서, 첨가제 공급 장치(57c)는, 도금액 Ps에 도금 첨가제를 보급할 때 사용된다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 첨가제 공급 장치(57c)는, 일례로서, 탱크(51)의 캐소드액에 도금 첨가제를 보급할 때 사용된다. 본 실시 형태에 관한 첨가제 공급 장치(57c)의 동작은, 제어 모듈(800)이 제어한다.

금속 이온 공급 장치(57d)는, 금속 이온을 공급하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에 관한 금속 이온 공급 장치(57d)는, 도금액 Ps에 금속 이온을 보급할 때 사용된다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 금속 이온 공급 장치(57d)는, 일례로서, 탱크(51)의 캐소드액에, 금속 이온(일례로서, 구리 이온)을 포함하는 용액을 보급할 때 사용된다. 본 실시 형태에 관한 금속 이온 공급 장치(57d)의 동작은, 제어 모듈(800)이 제어한다.

유로(70a)는, 탱크(50)와 펌프(52a)와 각각의 도금조(10)의 애노드실(11)을 연통하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 관한 유로(70a)에는, 온도 조절기(53a)가 배치되어 있다. 본 실시 형태에 관한 유로(70a)는, 온도 조절기(53a)보다도 하류측의 개소에 있어서 복수로 분기되어, 유로(70a1), 유로(70a2), 유로(70a3), 및 유로(70a4)로 되어, 각각의 도금조(10)의 애노드실(11)에 연통하고 있다.

유로(70a1)의 하류단은, #1의 도금조(10)의 애노드실용 공급구(16a)에 연통하고 있다. 유로(70a2)의 하류단은, #2의 도금조(10)의 애노드실용 공급구(16a)에 연통하고 있다. 유로(70a3)의 하류단은, #3의 도금조(10)의 애노드실용 공급구(16a)에 연통하고 있다. 유로(70a4)의 하류단은, #4의 도금조(10)의 애노드실용 공급구(16a)에 연통하고 있다.

유로(70b1, 70b2, 70b3, 70b4)는, 각각의 도금조(10)의 애노드실(11)의 애노드액을 탱크(50)로 되돌리도록 구성된 유로이다.

구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 유로(70b1)의 소정 개소보다도 상류측의 부분은, 2개로 분기되어, #1의 도금조(10)의 2개의 애노드실용 배출구(16b)에 연통하고 있다. 유로(70b1)의 하류단은 탱크(50)에 연통하고 있다. 유로(70b2)의 소정 개소보다도 상류측의 부분은, 2개로 분기되어, #2의 도금조(10)의 2개의 애노드실용 배출구(16b)에 연통하고 있다. 유로(70b2)의 하류단은 탱크(50)에 연통하고 있다.

유로(70b3)의 소정 개소보다도 상류측의 부분은, 2개로 분기되어, #3의 도금조(10)의 2개의 애노드실용 배출구(16b)에 연통하고 있다. 유로(70b3)의 하류단은 탱크(50)에 연통하고 있다. 유로(70b4)의 소정 개소보다도 상류측의 부분은, 2개로 분기되어, #4의 도금조(10)의 2개의 애노드실용 배출구(16b)에 연통하고 있다. 유로(70b4)의 하류단은, 탱크(50)에 연통하고 있다.

유로(70c)는, 탱크(51)와 펌프(52b)와 각각의 도금조(10)의 캐소드실(12)을 연통하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 관한 유로(70c)에는, 온도 조절기(53b) 및 필터(54)가 배치되어 있다. 본 실시 형태에 관한 유로(70c)는, 필터(54)보다도 하류측의 개소에 있어서, 복수로 분기되어, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)로 되어 있다.

유로(70c1)의 하류단은, #1의 도금조(10)의 공급·드레인구(17)에 연통하고 있다. 유로(70c2)의 하류단은, #2의 도금조(10)의 공급·드레인구(17)에 연통하고 있다. 유로(70c3)의 하류단은, #3의 도금조(10)의 공급·드레인구(17)에 연통하고 있다. 유로(70c4)의 하류단은, #4의 도금조(10)의 공급·드레인구(17)에 연통하고 있다.

유로(70d1, 70d2, 70d3, 70d4)는, 각각의 도금조(10)의 오버플로조(19)의 캐소드액을 탱크(51)로 되돌리도록 구성된 유로이다. 구체적으로는, 유로(70d1)의 상류단은, #1의 도금조(10)의 오버플로조용 배출구(18)에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70d2)의 상류단은, #2의 도금조(10)의 오버플로조용 배출구(18)에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70d3)의 상류단은, #3의 도금조(10)의 오버플로조용 배출구(18)에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70d4)의 상류단은, #4의 도금조(10)의 오버플로조용 배출구(18)에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다.

유로(70e1, 70e2, 70e3, 70e4)는, 캐소드액을, 캐소드실(12)을 바이패스시켜 유통시킨 후에 탱크(51)로 되돌리도록 구성된 유로이다. 구체적으로는, 유로(70e1)의 상류단은, 유로 전환 밸브(77a)를 통해 유로(70c1)의 도중에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70e2)의 상류단은, 유로 전환 밸브(77b)를 통해 유로(70c2)의 도중에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70e3)의 상류단은, 유로 전환 밸브(77c)를 통해 유로(70c3)의 도중에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다. 유로(70e4)의 상류단은, 유로 전환 밸브(77d)를 통해 유로(70c4)의 도중에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다.

유로(70g1)는, 애노드액 공급 장치(57a)로부터 공급된 애노드액을, 탱크(50)에 유입시키도록 구성된 유로이다. 구체적으로는, 유로(70g1)의 상류단은 애노드액 공급 장치(57a)에 연통하고, 하류단은 탱크(50)에 연통하고 있다. 유로(70g2)는, 캐소드액 공급 장치(57b)로부터 공급된 캐소드액을, 탱크(51)에 유입시키도록 구성된 유로이다. 구체적으로는, 유로(70g2)의 상류단은 캐소드액 공급 장치(57b)에 연통하고, 하류단은 탱크(51)에 연통하고 있다.

유로(70g3)는, 첨가제 공급 장치(57c)로부터 공급된 도금 첨가제를 탱크(51)에 유입시키도록 구성된 유로이다. 유로(70g4)는, 금속 이온 공급 장치(57d)로부터 공급된 금속 이온을 포함하는 용액을 탱크(51)에 유입시키도록 구성된 유로이다.

유로(70f)는, 탱크(50)와 탱크(51)를 연통하도록 구성된 유로(연통 유로)이다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 유로(70f)는, 유로(70a)의 도중 개소(후술하는 밸브(75a)보다도 상류측의 개소)와 유로(70c)의 도중 개소(후술하는 밸브(75j)보다도 상류측의 개소)를 연통하도록 구성되어 있다.

유로(70f)에는, 유로(70f)를 개폐하기 위한 밸브(75k)가 배치되어 있다. 밸브(75k)가 밸브 개방 상태로 되면, 유로(70f)를 통해, 탱크(50) 및 탱크(51)는 서로 연통된 상태로 된다. 한편, 밸브(75k)가 밸브 폐쇄 상태로 되면, 탱크(50) 및 탱크(51)는 비연통 상태로 된다.

본 실시 형태에 따르면, 예를 들어 애노드액 및 캐소드액으로서 다른 성분의 도금액을 사용하는 경우에는, 밸브(75k)를 밸브 폐쇄 상태로 하여 유로(70f)를 폐쇄함으로써, 탱크(50)의 애노드액이 탱크(51)의 캐소드액과 혼합되지 않도록 할 수 있다. 한편, 예를 들어 애노드액 및 캐소드액으로서 동일한 성분의 도금액을 사용하는 경우에는, 밸브(75k)를 밸브 개방 상태로 하여 유로(70f)를 개방함으로써, 탱크(50)와 탱크(51)를 연통시켜, 탱크(50) 및 탱크(51)를 1개의 큰 도금액 탱크로서 기능시켜도 된다.

밸브(75a)는, 유로(70a)에 있어서의 펌프(52a)보다도 상류측이며, 유로(70a)에 있어서의 유로(70f)가 접속하고 있는 개소보다도 하류측의 개소에, 배치되어 있다.

밸브(75b)는, 유로(70a1)에 배치되어 있다. 밸브(75c)는, 유로(70a2)에 배치되어 있다. 밸브(75d)는, 유로(70a3)에 배치되어 있다. 밸브(75e)는, 유로(70a4)에 배치되어 있다.

밸브(75f)는, 유로(70b1)에 배치되어 있다. 밸브(75g)는, 유로(70b2)에 배치되어 있다. 밸브(75h)는, 유로(70b3)에 배치되어 있다. 밸브(75i)는, 유로(70b4)에 배치되어 있다.

밸브(75j)는, 유로(70c)에 있어서의 펌프(52b)보다도 상류측이며, 유로(70c)에 있어서의 유로(70f)가 접속하고 있는 개소보다도 하류측의 개소에, 배치되어 있다. 밸브(75l)는, 유로(70g1)에 배치되어 있다. 밸브(75m)는, 유로(70g2)에 배치되어 있다. 밸브(75n)는, 유로(70g3)에 배치되어 있다. 밸브(75o)는, 유로(70g4)에 배치되어 있다.

유로 전환 밸브(77a)는, 유로(70c1)에 있어서의 유로(70e1)가 접속하고 있는 개소에 배치되어 있다. 유로 전환 밸브(77a)는, 유로(70c1)의 유체의 유동처를 유로(70e1)와 #1의 도금조(10)의 애노드실(11) 사이에서 전환한다. 유로 전환 밸브(77b)는, 유로(70c2)에 있어서의 유로(70e2)가 접속하고 있는 개소에 배치되어 있다. 유로 전환 밸브(77b)는, 유로(70c2)의 유체의 유동처를 유로(70e2)와 #2의 도금조(10)의 애노드실(11) 사이에서 전환한다.

유로 전환 밸브(77c)는, 유로(70c3)에 있어서의 유로(70e3)가 접속하고 있는 개소에 배치되어 있다. 유로 전환 밸브(77c)는, 유로(70c3)의 유체의 유동처를 유로(70e3)와 #3의 도금조(10)의 애노드실(11) 사이에서 전환한다. 유로 전환 밸브(77d)는, 유로(70c4)에 있어서의 유로(70e4)가 접속하고 있는 개소에 배치되어 있다. 유로 전환 밸브(77d)는, 유로(70c4)의 유체의 유동처를 유로(70e4)와 #4의 도금조(10)의 애노드실(11) 사이에서 전환한다.

또한, 유로 전환 밸브(77a, 77b, 77c, 77d)로서, 소위 3방 밸브를 사용할 수 있다.

도 5는 도금 모듈(400)에 있어서의 액체의 유통 양태의 일례를 설명하기 위한 흐름도이다. 도 5의 각 스텝 중, 스텝 S20에 관한 도금액 순환 스텝은, 기판 Wf에 대한 도금 처리 시에 실행된다. 한편, 스텝 S10은, 도금 장치(1000)의 메인터넌스 시에 실행된다. 즉, 스텝 S10은, 도금 장치(1000)의 메인터넌스 방법에 상당한다. 또한, 도 5의 각 스텝은, 예를 들어 제어 모듈(800)이 프로그램의 지령에 기초하여 자동적으로 실행해도 된다.

<<도금액 순환 스텝>>

우선, 도 5의 스텝 S20에 관한 도금액 순환 스텝에 대하여 설명한다. 스텝 S20에 관한 도금액 순환 스텝에 있어서는, 탱크(50)와 애노드실(11) 사이에서 애노드액을 순환시킴과 함께, 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이에서 캐소드액을 순환시킨다.

(애노드 순환)

구체적으로는, 애노드액을 순환시킬 때, 펌프(52a)를 구동시킴과 함께, 밸브(75a, 75b, 75c, 75d, 75e, 75f, 75g, 75h, 75i)를 밸브 개방 상태로 한다. 이에 의해, 탱크(50)의 애노드액은, 유로(70a)를 유동한 후에, 유로(70a1, 70a2, 70a3, 70a4)를 유동하여, #1 내지 #4의 도금조(10)의 애노드실(11)에 유입된다. 그리고, #1 내지 #4의 도금조(10)의 애노드실(11)의 애노드액은, 유로(70b1, 70b2, 70b3, 70b4)를 유동한 후에, 탱크(50)로 되돌아간다.

또한, 유로(70a, 70a1, 70a2, 70a3, 70a4)는, 탱크(50)의 애노드액을 애노드실(11)에 공급하기 위한 「애노드액 공급 유로」의 일례이다. 또한, 유로(70b1, 70b2, 70b3, 70b4)는, 애노드실(11)의 애노드액을 탱크(50)로 되돌리기 위한 「애노드액 리턴 유로」의 일례이다. 또한, 애노드액 공급 유로 및 애노드액 리턴 유로는, 애노드액을 탱크(50)와 애노드실(11) 사이에서 순환시키기 위한 「애노드액 순환 유로」의 일례이다.

(캐소드 순환)

또한, 캐소드액을 순환시킬 때, 구체적으로는, 펌프(52b)를 구동시킴과 함께, 밸브(75j)를 밸브 개방 상태로 한다. 또한, 유로 전환 밸브(77a, 77b, 77c, 77d)를, 캐소드액이 캐소드실(12)에 유입되도록 전환한다. 이에 의해, 탱크(51)의 캐소드액은, 유로(70c)를 유동한 후에, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)를 유동하여, #1 내지 #4의 도금조(10)의 캐소드실(12)에 유입된다. 캐소드실(12)로부터 오버플로하여 오버플로조(19)에 유입된 캐소드액은, 유로(70d1, 70d2, 70d3, 70d4)를 유동하여 탱크(51)로 되돌아간다.

또한, 유로(70c, 70c1, 70c2, 70c3, 70c4)는, 탱크(51)의 캐소드액을 캐소드실(12)에 공급하기 위한 「캐소드액 공급 유로」의 일례이다. 또한, 유로(70d1, 70d2, 70d3, 70d4)는, 캐소드실(12)의 캐소드액을 탱크(51)로 되돌리기 위한 「캐소드액 리턴 유로」의 일례이다. 또한, 캐소드액 공급 유로 및 캐소드액 리턴 유로는, 캐소드액을 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이에서 순환시키기 위한 「캐소드액 순환 유로」의 일례이다.

또한, 스텝 S20에 있어서, 온도 조절기(53a)에 의해, 애노드액의 온도를 소정의 온도 범위 내로 조정해도 된다. 마찬가지로, 온도 조절기(53b)에 의해, 캐소드액의 온도를 소정의 온도 범위 내로 조정해도 된다. 이들 온도 범위의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일례를 들면, 30℃ 이상 70℃ 이하의 범위, 보다 구체적으로는, 40℃ 이상 60℃ 이하의 범위를 사용할 수 있다.

본 실시 형태에 따르면, 각각의 도금 모듈(400)이 복수의 도금조(10)를 구비하고 있고, 또한, 각각의 도금 모듈(400)에 있어서, 복수의 도금조(10)의 애노드실(11)과 탱크(50) 사이에서 애노드액이 순환하고, 복수의 도금조(10)의 캐소드실(12)과 탱크(51) 사이에서 캐소드액이 순환하는 구성으로 되어 있으므로, 1개의 도금 모듈(400)에 있어서의 애노드액 및 캐소드액의 순환이, 다른 도금 모듈(400)에 있어서의 애노드액 및 캐소드액의 순환과는 독립하여 행해지고 있다. 이에 의해, 일부의 도금 모듈(400)의 메인터넌스를, 다른 도금 모듈(400)과는 독립하여 행할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들어 다른 도금 모듈(400)에 있어서의 기판 Wf에 대한 도금 처리의 실행 중에, 일부의 도금 모듈(400)의 메인터넌스를 행할 수 있다.

또한, 스텝 S20의 실행 시에 있어서, 밸브(75f, 75g, 75h, 75i)를 조정함으로써, #1 내지 #4의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 조정해도 된다. 이 일례를 들면, 예를 들어 #1 내지 #4의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력이 각각 #1 내지 #4의 도금조(10)의 캐소드실(12)의 압력과 동일한 값으로 되도록, 밸브(75f, 75g, 75h, 75i)를 조정해도 된다.

구체적으로는, 예를 들어 밸브(75f)의 밸브 개방도를 감소시켜 밸브(75f)를 통과하는 애노드액의 유량을 감소시킴으로써, #1의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 상승시킬 수 있다. 한편, 밸브(75f)의 밸브 개방도를 증가시켜 밸브(75f)를 통과하는 애노드액의 유량을 증가시킴으로써, #1의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 저하시킬 수 있다. 이와 같이, 밸브(75f)의 밸브 개방도를 0％ 내지 100％의 범위 내에서 조정함으로써, #1의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 조정할 수 있다. 이에 의해, #1의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 캐소드실(12)의 압력과 동일한 값으로 할 수 있다.

마찬가지로, 밸브(75g)의 밸브 개방도를 조정함으로써, #2의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 조정하여, 이 애노드실(11)의 압력을 캐소드실(12)의 압력과 동일한 값으로 할 수 있다. 또한, 밸브(75h)의 밸브 개방도를 조정함으로써, #3의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 조정하여, 이 애노드실(11)의 압력을 캐소드실(12)의 압력을 동일한 값으로 할 수 있다. 또한, 밸브(75i)의 밸브 개방도를 조정함으로써, #4의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력을 조정하여, 이 애노드실(11)의 압력을 캐소드실(12)의 압력과 동일한 값으로 할 수 있다.

또한, #1 내지 #4의 도금조(10)의 애노드실(11)의 압력은, 예를 들어 압력계(80a)의 검출 결과에 기초하여 취득하면 된다. 또한, #1 내지 #4의 도금조(10)의 캐소드실(12)의 압력은, 예를 들어 압력계(80b)의 검출 결과에 기초하여 취득하면 된다.

<<약액 준비 처리>>

계속해서, 도 5의 스텝 S10에 관한 약액 준비 처리에 대하여 설명한다. 스텝 S10은, 기판 Wf에 대한 도금 처리의 실행 전에 실행된다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 스텝 S10은, 스텝 S20 전에 실행된다. 도 6은 약액 준비 처리의 상세를 설명하기 위한 흐름도이다.

(애노드액·캐소드액 회수 스텝(스텝 S10a))

약액 준비 처리에 있어서는, 우선, 복수의 도금조(10)의 애노드실(11)에 잔존하고 있는 애노드액을 애노드실(11)에 연통한 탱크(50)로 되돌리는, 「애노드액 회수 스텝」을 실행한다. 또한, 복수의 도금조(10)의 캐소드실(12)에 잔존하고 있는 캐소드액을 캐소드실(12)에 연통한 탱크(51)로 되돌리는, 「캐소드액 회수 스텝」을 실행한다.

구체적으로는, 애노드액 회수 스텝에 있어서는, 펌프(52a)를 정지시킨 상태에서, 밸브(75f, 75g, 75h, 75i)를, 밸브 개방 상태로 함으로써, 각각의 애노드실(11)의 애노드액을 유로(70b1, 70b2, 70b3, 70b4)를 유통시켜, 탱크(50)로 되돌린다(회수시킨다). 또한, 이 경우, 애노드실(11)의 애노드액은 중력을 이용하여 탱크(50)로 되돌아간다.

또한, 캐소드액 회수 스텝에 있어서는, 펌프(52b)를 정지시킨 상태에서, 유로(70e1, 70e2, 70e3, 70e4)가 캐소드실(12)과 연통 상태로 되도록 유로 전환 밸브(77a, 77b, 77c, 77d)를 전환함으로써, 각각의 캐소드실(12)의 캐소드액을 유로(70e1, 70e2, 70e3, 70e4)를 유통시켜, 탱크(51)로 되돌린다(회수시킨다). 또한, 이 경우, 캐소드실(12)의 캐소드액은 중력을 이용하여 탱크(51)로 되돌아간다.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 애노드액 회수 스텝은, 애노드실(11)에 잔존하는 애노드액이 애노드실(11)의 용적의 10％ 이하, 바람직하게는 5％ 이하, 보다 바람직하게는 1％ 이하가 될 때까지, 실행되어도 된다. 마찬가지로, 본 실시 형태에 있어서, 캐소드액 회수 스텝은, 캐소드실(12)에 잔존하는 캐소드액이 캐소드실(12)의 용적의 10％ 이하, 바람직하게는 5％ 이하, 보다 바람직하게는 1％ 이하가 될 때까지, 실행되어도 된다.

구체적으로는, 본 실시 형태에 있어서, 애노드액 회수 스텝은, 미리 설정된 소정 시간 동안, 실행되어도 된다. 이 소정 시간으로서는, 예를 들어 애노드실(11)에 잔존하는 애노드액이 애노드실(11)의 용적의 10％ 이하, 바람직하게는 5％ 이하, 보다 바람직하게는 1％ 이하가 되는 시간을, 미리 실험·시뮬레이션 등을 행하여, 설정하면 된다.

마찬가지로, 본 실시 형태에 있어서, 캐소드액 회수 스텝은, 미리 설정된 소정 시간 동안, 실행되어도 된다. 이 소정 시간으로서는, 예를 들어 캐소드실(12)에 잔존하는 캐소드액이 캐소드실(12)의 용적의 10％ 이하, 바람직하게는 5％ 이하, 보다 바람직하게는 1％ 이하가 되는 시간을, 미리 실험·시뮬레이션 등을 행하여, 설정하면 된다.

(애노드·캐소드 액면 레벨 판정 스텝(스텝 S10b))

다음에, 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 이상인지 여부를 판정하는 「애노드 액면 레벨 판정 스텝」과, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 이상인지 여부를 판정하는 「캐소드 액면 레벨 판정 스텝」을 실행해도 된다. 또한, 탱크(50)의 애노드액의 액면 레벨은, 예를 들어 액면 레벨 센서(81a)의 검출 결과에 기초하여 취득하면 된다. 탱크(51)의 캐소드액의 액면 레벨은, 예를 들어 액면 레벨 센서(81b)의 검출 결과에 기초하여 취득하면 된다.

탱크(50)의 애노드액의 「소정 레벨」의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 애노드실(11)을 애노드액으로 채우면서, 탱크(50)와 애노드실(11) 사이에서 애노드액이 순환하는 것이 가능한 최저한의 액면 레벨 이상의 값을 사용할 수 있다.

마찬가지로, 탱크(51)의 캐소드액의 「소정 레벨」의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들어 캐소드실(12)을 캐소드액으로 채우면서, 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이에서 캐소드액이 순환하는 것이 가능한 최저한의 액면 레벨 이상의 값을 사용할 수 있다. 또한, 탱크(50)의 애노드액의 액면 레벨의 판정의 기준값인 「소정 레벨」과, 탱크(51)의 캐소드액의 액면 레벨의 판정의 기준값인 「소정 레벨」은, 동일한 값이어도 되고, 다른 값이어도 된다.

(애노드액·캐소드액 보급 스텝(스텝 S10c))

탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 미만인 경우에는, 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상으로 되도록, 애노드액을 탱크(50)에 보급하는 「애노드액 보급 스텝」을 실행하는 것이 바람직하다. 또한, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 미만인 경우에는, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상으로 되도록, 캐소드액을 탱크(51)에 보급하는 「캐소드액 보급 스텝」을 실행하는 것이 바람직하다.

구체적으로는, 전술한 스텝 S10b에 관한 애노드 액면 레벨 판정 스텝에 있어서, 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상이라고 판정되지 않은 경우(애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 미만인 경우), 스텝 S10c에 관한 애노드액 보급 스텝에 있어서, 애노드액 공급 장치(57a)로부터 애노드액을 공급시킴과 함께, 밸브(75l)를 밸브 개방 상태로 한다. 이에 의해, 애노드액 공급 장치(57a)로부터 공급된 애노드액은, 유로(70g1)를 유통하여, 탱크(50)에 보급된다. 이 처리는, 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상으로 될 때까지 실행된다.

마찬가지로, 전술한 스텝 S10b에 관한 캐소드 액면 레벨 판정 스텝에 있어서, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상이라고 판정되지 않은 경우(캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 미만인 경우), 스텝 S10c에 관한 캐소드액 보급 스텝에 있어서, 캐소드액 공급 장치(57b)로부터 캐소드액을 공급시킴과 함께, 밸브(75m)를 밸브 개방 상태로 한다. 이에 의해, 캐소드액 공급 장치(57b)로부터 공급된 캐소드액은, 유로(70g2)를 유통하여, 탱크(51)에 보급된다. 이 처리는, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상으로 될 때까지 실행된다.

(캐소드 바이패스 순환 스텝(스텝 S10d))

스텝 S10b의 판정의 결과, 탱크(51)에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상인 경우, 탱크(51)에 저류된 캐소드액을, 캐소드실(12)을 바이패스시켜 유통시킨 후에 탱크(51)로 되돌리는, 「캐소드 바이패스 순환 스텝」을 실행하는 것이 바람직하다. 또한, 본 실시 형태에 관한 스텝 S10d는, 적어도 후술하는 스텝 S10f 전에 실행된다(도 6에 있어서는, 또한 후술하는 스텝 S10e 전에 실행되고 있다).

구체적으로는, 스텝 S10d에 있어서, 펌프(52b)를 운전시킴과 함께, 밸브(75j)를 밸브 개방 상태로 하고, 그 밖의 밸브를 밸브 폐쇄 상태로 하고, 또한, 유로 전환 밸브(77a, 77b, 77c, 77d)를, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)와 유로(70e1, 70e2, 70e3, 70e4)가 연통하도록 전환한다.

이에 의해, 탱크(51)에 저류된 캐소드액은, 유로(70c)를 유통하여, 온도 조절기(53b), 필터(54)를 유통한다. 그리고, 이 필터(54)를 유통한 캐소드액은, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)를 유통한 후에 유로(70e1, 70e2, 70e3, 70e4)를 유통하여(즉, 캐소드실(12)을 바이패스하여), 탱크(51)로 되돌아간다. 또한, 본 실시 형태에 관한 스텝 S10d는, 미리 설정된 소정 시간, 실행된다.

또한, 유로(70c, 70c1, 70c2, 70c3, 70c4, 70e1, 70e2, 70e3, 70e4)는, 탱크(51)에 저류된 캐소드액을, 캐소드실(12)을 바이패스시켜 유통시킨 후에 탱크(51)로 되돌리기 위한 「캐소드액 바이패스 유로」의 일례이다.

또한, 스텝 S10d에 있어서, 온도 조절기(53b)는, 유로를 유통하는 캐소드액의 온도를 소정의 온도 범위 내로 조정해도 된다. 이 온도 범위의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일례를 들면, 30℃ 이상 70℃ 이하의 범위, 보다 구체적으로는, 40℃ 이상 60℃ 이하의 범위를 사용할 수 있다.

본 실시 형태에 따르면, 스텝 S10d에 관한 캐소드 바이패스 순환 스텝에 있어서 캐소드액이 유통되고 있는 동안에, 캐소드액에 포함되는 기포의 양을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 이 후에 행해지는, 후술하는 스텝 S10f에 관한 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이에 있어서의 캐소드액의 순환 시에, 캐소드실(12)에 공급되는 캐소드액에 포함되는 기포의 양을 저감시킬 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 이온 저항체(14)에 다량의 기포가 부착되는 것을 억제할 수 있다.

(애노드액 순환 스텝(스텝 S10e))

다음에, 스텝 S10e에 있어서, 탱크(50)와 애노드실(11) 사이에서 애노드액을 순환시키는, 「애노드액 순환 스텝」을 실행한다. 이에 의해, 애노드실(11)을 애노드액으로 채울 수 있다.

구체적으로는, 스텝 S10e에 있어서, 펌프(52a)를 운전시킴과 함께, 밸브(75a, 75b, 75c, 75d, 75e, 75f, 75g, 75h, 75i)를 밸브 개방 상태로 하고, 다른 밸브를 밸브 폐쇄 상태로 한다. 이에 의해, 탱크(50)의 애노드액은, 유로(70a)를 유통하여 온도 조절기(53a)를 유통한 후에, 유로(70a1, 70a2, 70a3, 70a4)를 유통하여 각각의 애노드실(11)에 유입된다. 애노드실(11)을 유통한 애노드액은, 유로(70b1, 70b2, 70b3, 70b4)를 유통하여, 탱크(50)로 되돌아간다.

또한, 스텝 S10e는, 적어도 스텝 S10a의 종료 후에 실행된다. 구체적으로는, 본 실시 형태에 관한 스텝 S10e는, 스텝 S10a의 종료 후이며, 스텝 S10b에 있어서 탱크(50)에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 소정 레벨 이상이라고 판정된 경우에, 실행되고 있고, 보다 구체적으로는, 또한 스텝 S10d의 종료 후에 실행되고 있다.

스텝 S10e에 있어서, 온도 조절기(53a)는, 탱크(50)로부터 애노드실(11)을 향하여 유통되는 애노드액의 온도를 소정의 온도 범위 내로 조정해도 된다. 이 온도 범위의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일례를 들면, 30℃ 이상 70℃ 이하의 범위, 보다 구체적으로는, 40℃ 이상 60℃ 이하의 범위를 사용할 수 있다. 이 구성에 의하면, 탱크(50)로부터 애노드실(11)을 향하여 유통되는 애노드액의 온도를 조기에 소정의 온도 범위 내로 할 수 있다.

(캐소드액 순환 스텝(스텝 S10f))

스텝 S10a의 종료 후(캐소드실(12)에 잔존하는 캐소드액을 탱크(51)로 되돌린 후)이며, 스텝 S10e에 관한 애노드액 순환 스텝이 개시된 후에, 스텝 S10f에 있어서, 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이에서 캐소드액을 순환시키는, 「캐소드액 순환 스텝」을 실행한다. 이에 의해, 캐소드실(12)을 캐소드액으로 채울 수 있다.

구체적으로는, 스텝 S10f에 있어서, 펌프(52b)를 운전시킴과 함께, 밸브(75j)를 개방 밸브 상태로 제어하고, 그 밖의 밸브를 밸브 폐쇄 상태로 하고, 유로 전환 밸브(77a, 77b, 77c, 77d)를, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)를 유통한 캐소드액이 캐소드실(12)에 유입되도록 전환한다.

이에 의해, 탱크(51)에 저류된 캐소드액은, 유로(70c)를 유통하여, 온도 조절기(53b), 및, 필터(54)를 유통한다. 이 필터(54)를 유통한 캐소드액은, 유로(70c1, 70c2, 70c3, 70c4)를 유통한 후에, 각각의 캐소드실(12)에 유입된다. 캐소드실(12)을 유통한 캐소드액(구체적으로는, 캐소드실(12)로부터 오버플로하여 오버플로조(19)에 유입된 캐소드액)은, 유로(70d1, 70d2, 70d3, 70d4)를 유통하여, 탱크(51)로 되돌아간다.

스텝 S10f에 있어서, 온도 조절기(53b)는, 탱크(51)로부터 캐소드실(12)을 향하여 유통되는 캐소드액의 온도를 소정의 온도 범위 내로 조정해도 된다. 이 온도 범위의 구체적인 값은, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일례를 들면, 30℃ 이상 70℃ 이하의 범위, 보다 구체적으로는, 40℃ 이상 60℃ 이하의 범위를 사용할 수 있다. 이 구성에 의하면, 탱크(51)로부터 캐소드실(12)을 향하여 유통되는 캐소드액의 온도를 조기에 소정의 온도 범위 내로 할 수 있다.

또한, 스텝 S10f는 스텝 S10e가 개시된 후에 개시되면 되고, 예를 들어 스텝 S10f의 실행 중에, 스텝 S10e가 계속해서 실행되고 있어도 된다. 환언하면, 스텝 S10e에 관한 애노드액 순환 스텝이 개시되고, 이 애노드액 순환 스텝이 한창 실행되고 있는 중에, 스텝 S10f에 관한 캐소드액 순환 스텝의 실행이 개시되고, 그 후에는, 애노드액 순환 스텝과 캐소드액 순환 스텝이 함께 실행되어도 된다.

또한, 스텝 S10f는, 스텝 S10e가 개시된 후에 있어서, 애노드실(11)이 애노드액으로 채워진 후에, 개시되는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 이 경우, 예를 들어 스텝 S10e의 개시로부터 미리 설정된 소정 시간이 경과한 후에, 스텝 S10f를 개시해도 된다. 이 소정 시간으로서는, 예를 들어 애노드실(11)이 애노드액로 채워지는 데 충분한 시간을 미리 구해 두고, 이와 같이 하여 구해진 시간을 사용하면 된다.

또한, 예를 들어 스텝 S10f의 실행 중에, 도금 첨가제를 탱크(51)에 보급하는 것(이것을 「첨가제 보급 스텝」이라 칭함)을 행해도 된다. 구체적으로는, 이 첨가제 보급 스텝에 있어서, 첨가제 공급 장치(57c)에 도금 첨가제의 공급을 개시시킴과 함께, 밸브(75n)를 개방 밸브 상태로 제어한다. 이에 의해, 첨가제 공급 장치(57c)로부터 공급된 도금 첨가제는 유로(70g3)를 유통하여 탱크(51)에 보급된다.

또한, 예를 들어 스텝 S10f의 실행 중에, 상술한 첨가제 보급 스텝에 더하여, 또는, 첨가제 보급 스텝 대신에, 금속 이온을 탱크(51)에 보급하는 것(이것을, 「금속 이온 보급 스텝」이라 칭함)을 행해도 된다. 구체적으로는, 이 금속 이온 보급 스텝에 있어서, 금속 이온 공급 장치(57d)에 금속 이온을 포함하는 용액의 공급을 개시시킴과 함께, 밸브(75o)를 개방 밸브 상태로 제어한다. 이에 의해, 금속 이온 공급 장치(57d)로부터 공급된 금속 이온을 포함하는 용액은 유로(70g4)를 유통하여 탱크(51)에 보급된다.

이상 설명한 바와 같은 본 실시 형태에 따르면, 스텝 S10에 관한 약액 준비 처리에 있어서, 탱크(50)와 애노드실(11) 사이의 애노드액의 순환(애노드액 순환 스텝)이, 탱크(51)와 캐소드실(12) 사이의 캐소드액의 순환(캐소드액 순환 스텝)보다도 먼저 개시되므로, 애노드실(11)의 압력 상승을 캐소드실(12)의 압력 상승보다도 먼저 개시시킬 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 캐소드액 순환 스텝이 애노드액 순환 스텝보다도 먼저 개시되어, 캐소드실(12)의 압력 상승이 애노드실(11)의 압력 상승보다도 먼저 개시되는 경우에 비해 도금조(10)의 내부에 배치된 막(40)이 캐소드실(12)의 압력에 의해 하방으로 변형되는 것을 억제할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 이러한 특정 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 범위 내에 있어서, 더욱 더 다양한 변형·변경이 가능하다.

10: 도금조
11: 애노드실
12: 캐소드실
13: 애노드
40: 막
50: 탱크(애노드액 탱크)
51: 탱크(캐소드액 탱크)
52a, 52b: 펌프
53a: 온도 조절기
53b: 온도 조절기(제2 온도 조절기)
54: 필터
57a: 애노드액 공급 장치
57b: 캐소드액 공급 장치
70a 내지 70g4: 유로
75a 내지 75o: 밸브
77a 내지 77d: 유로 전환 밸브
400: 도금 모듈
1000: 도금 장치
Wf: 기판
Ps: 도금액(애노드액, 캐소드액)

Claims (7)

1. 기판에 대한 도금 처리의 실행 전에 약액 준비 처리를 행하는 도금 장치의 메인터넌스 방법이며,
   상기 약액 준비 처리는,
   도금조의 내부에 있어서의 막보다도 하방에 구획된 애노드실에 잔존하는 애노드액을, 애노드액을 저류하기 위한 애노드액 탱크로 되돌리는 것,
   상기 도금조의 내부에 있어서의 상기 막보다도 상방에 구획된 캐소드실에 잔존하는 캐소드액을, 캐소드액을 저류하기 위한 캐소드액 탱크로 되돌리는 것,
   상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 미만인 경우에, 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 당해 소정 레벨 이상으로 되도록, 캐소드액 공급 장치로부터 공급된 캐소드액을 상기 캐소드액 탱크에 보급하는 것,
   상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액의 액면 레벨이 상기 소정 레벨 이상인 경우에, 유로 전환 밸브에 의해 상기 캐소드액 탱크에 저류된 캐소드액을 상기 캐소드실을 바이패스시켜 유통시킨 후에 상기 캐소드액 탱크로 되돌리는 것,
   상기 애노드실에 잔존하는 애노드액을 상기 애노드액 탱크로 되돌린 후에, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것, 및,
   상기 캐소드실에 잔존하는 캐소드액을 상기 캐소드액 탱크로 되돌린 후이며, 상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에 있어서의 애노드액의 순환이 캐소드액의 순환보다도 먼저 개시되어 상기 애노드실이 애노드액으로 채워지는 소정 시간이 경과한 후에, 상기 캐소드액 탱크와 상기 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것을 포함하는, 도금 장치의 메인터넌스 방법.
2. 제1항에 있어서,
   상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 미리 설정된 소정 레벨 미만인 경우에, 상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 당해 소정 레벨 이상으로 되도록, 애노드액 공급 장치로부터 공급된 애노드액을 상기 애노드액 탱크에 보급하는 것을 더 포함하는, 도금 장치의 메인터넌스 방법.
3. 제2항에 있어서,
   상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것은, 상기 애노드실에 잔존하는 애노드액을 상기 애노드액 탱크로 되돌린 후이며, 또한, 상기 애노드액 탱크에 저류된 애노드액의 액면 레벨이 상기 소정 레벨 이상인 경우에, 실행되는, 도금 장치의 메인터넌스 방법.
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6. 제1항에 있어서,
   상기 애노드액 탱크와 상기 애노드실 사이에서 애노드액을 순환시키는 것은, 상기 애노드액 탱크로부터 상기 애노드실을 향하여 유통되는 애노드액의 온도를, 온도 조절기에 의해, 소정의 온도 범위 내로 조정하는 것을 포함하는, 도금 장치의 메인터넌스 방법.
7. 제1항에 있어서,
   상기 캐소드액 탱크와 상기 캐소드실 사이에서 캐소드액을 순환시키는 것은, 상기 캐소드액 탱크로부터 상기 캐소드실을 향하여 유통되는 캐소드액의 온도를, 온도 조절기에 의해, 소정의 온도 범위 내로 조정하는 것을 포함하는, 도금 장치의 메인터넌스 방법.

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