KR102537865B1 - 하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법 - Google Patents

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Abstract

간단하게 또한 단시간에 얼라이먼트를 조정할 수 있는 하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법을 제공한다. 하전입자 수송 시스템(10a)은, 기초(15)에 고정되는 가대(架臺)(16)와, 이 가대(16)의 상부에 높이 조정 가능한 제1 나사(11)로 결합하는 제1 플레이트(21)와, 이 제1 플레이트(21)의 수평면에 유동(遊動) 가능하게 수용되는 제2 플레이트(22)와, 제1 플레이트(21)의 주위에 위치하는 고정 부재(25)에 형성되는 나사 구멍에 나사식으로 삽입되어 선단이 제2 플레이트(22)의 외주면에 맞닿는 제2 나사(12)와, 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(21)를 고정하는 제3 나사(13)와, 하전입자가 통과하는 기기(26)를 지지하는 지지 부재(27)와 제2 플레이트(22)의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍(17a, 17b)에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 구비하고 있다.

Description

하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법
본 발명의 실시형태는, 하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법에 관한 것이다.
가속기에서는, 하전입자의 궤도를 제어하기 위하여, 편향 전자석, 사극 전자석, 스크린 모니터와 같은 복수의 구성 기기가, 이 궤도를 따라 설치된다. 그리고 이들 구성 기기는, 하전입자 궤도에 대하여, 고정밀도로 거치되는 것이 요구된다. 이 때문에, 이들 구성 기기의 거치에 있어서, 건물의 고정점을 기준으로 하여 위치 결정하는 얼라이먼트 조정이 행해진다. 그리고, 이들 구성 기기의 얼라이먼트 조정은, 각종 방법이 종래부터 제안되고 있다.
예를 들면, 다음과 같은 기술을 개시한 공지 문헌이 있다. 중량물인 전자석은, 수평 방향 및 높이 방향의 조정이 가능한 얼라이먼트용 블록을 개재해서, 기초에 고정된 가대(架臺)에 거치된다. 여기에서 전자석과 얼라이먼트용 블록은, 가이드 핀으로 고정밀도로 위치 결정되는 사양을 갖는다. 그리고, 얼라이먼트용 블록이 수평 방향 및 높이 방향으로 미동함에 의해, 얼라이먼트가 조정된다.
일본 특개소63-213329호 공보
전술의 공지문헌에 있어서의 얼라이먼트 작업은, 중량물인 전자석 등을 설치하기 전에, 얼라이먼트용 블록 단체(單體)로 실시할 수 있는 것이 우수한 점으로서 강조되어 있다. 이에 의해, 얼라이먼트 작업의 반복을 피할 수는 없어도, 얼라이먼트 조정의 완료 후에 전자석 등이 설치되는 작업 수순으로 되기 때문에, 작업 부하가 경감되는 것으로 되어 있다.
그러나, 이와 같은 얼라이먼트 조정 방법의 실효성을 담보하기 위해서는, 전제로서, 얼라이먼트용 블록이 경량이며 또한 강성이 높은 것이 필요하다. 또한, 전자석을 설치한 후에도 얼라이먼트를 용이하게 재조정할 수 있는 것이 필요하다. 그러나, 전술의 공지 문헌에서 개시된 얼라이먼트용 블록은, 복잡한 구성을 갖는 중량물이기 때문에, 간단하게 또한 단시간에 하전입자 수송 시스템의 얼라이먼트 작업을 완료시키는 것은 곤란하였다.
본 발명의 실시형태는 이와 같은 사정을 고려해서 이루어진 것이며, 간단하게 또한 단시간에 얼라이먼트를 조정할 수 있는 하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
하전입자 수송 시스템에 있어서, 기초에 고정되는 가대와, 상기 가대의 상부에 높이 조정 가능한 제1 나사로 결합하는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 수평면에 유동(遊動) 가능하게 수용되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트의 주위에 위치하는 고정 부재에 형성되는 나사 구멍에 나사식으로 삽입되어 선단이 제2 플레이트의 외주면에 맞닿는 제2 나사와, 상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 고정하는 제3 나사와, 하전입자가 통과하는 기기를 지지하는 지지 부재와 상기 제2 플레이트의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제1 걸어 맞춤 핀을 구비한다.
본 발명의 실시형태에 의해, 간단하게 또한 단시간에 얼라이먼트를 조정할 수 있는 하전입자 수송 시스템 및 그 거치 방법이 제공된다.
도 1의 (A)는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템을 나타내는 Y-Z 단면도, (B)는 도 1의 (A)의 B-B 단면을 나타내는 X-Y 단면도, (C)는 도 1의 (A)의 C-C 단면을 나타내는 X-Z 단면도, (D)는 제1 나사의 단면도.
도 2의 (A)(B)는 제1 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템의 거치 방법의 설명도.
도 3의 (A)(B)는 제1 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템의 거치 방법의 설명도.
도 4의 (A)(B)(C)는 제2 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템의 단면도.
도 5의 (A)는 제3 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템을 나타내는 Y-Z 단면도, (B)는 도 5의 (A)의 B-B 단면을 나타내는 X-Z 단면도.
도 6은 각 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템이 적용된 싱크로트론의 전체도.
(제1 실시형태)
이하, 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 의거해서 설명한다. 도 1의 (A)는 제1 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템(10a)을 나타내는 Y-Z 단면도이고, 도 1의 (B)는 도 1의 (A)의 B-B 단면을 나타내는 X-Y 단면도이고, 도 1의 (C)는 도 1의 (A)의 C-C 단면을 나타내는 X-Z 단면도이다.
도 1의 (A)(B)(C)에 나타나는 바와 같이 하전입자 수송 시스템(10a)은, 기초(15)에 고정되는 가대(16)와, 이 가대(16)의 상부에 높이 조정 가능한 제1 나사(11)로 결합하는 제1 플레이트(21)와, 이 제1 플레이트(21)의 수평면에 유동 가능하게 수용되는 제2 플레이트(22)와, 제1 플레이트(21)의 주위에 위치하는 고정 부재(25)에 형성되는 나사 구멍에 나사식으로 삽입되어 선단이 제2 플레이트(22)의 외주면에 맞닿는 제2 나사(12)와, 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(22)를 고정하는 제3 나사(13)와, 하전입자가 통과하는 기기(26)를 지지하는 지지 부재(27)와 제2 플레이트(22)의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍(17(17a, 17b))에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 구비하고 있다.
기초(15)는, 하전입자 수송 시스템(10a)의 하중을 지반에 전달하여, 이 하전입자 수송 시스템(10a)을 안전하게 유지하는 기능을 가지며, 콘크리트 타설에 의해 축조되어 있다. 가대(16)는, 중량물인 하전입자 수송 시스템(10a)을 기초(15)에 대하여 설치하기 위한 구조물이다. 도시에 있어서 이 가대(16)는, 서로 직교하는 방향으로 H형강을 쌓아 올려서 볼트 체결하고, 하부는 볼트에 의해 기초(15)에 고정되어 있다.
그러나 가대(16)는, 특별히 이와 같은 구성으로 한정되는 것은 아니며, 다양한 형태를 취할 수 있다. 또한 구조상, 가대(16)의 상부를, 기초(15)와 같은 높이 레벨로 되도록 형성하여, 외관상, 가대(16)와 기초(15)의 구별이 없는 구성도 취할 수 있다.
제1 플레이트(21)는, 상측에 플랫(flat)면을 갖고, 이 플랫면에, 제2 플레이트(22)가 유동 가능하게 수용되어 있다. 그리고, 이 제1 플레이트(21)는, 높이 조정 가능한 제1 나사(11)로 가대(16)의 상부에 결합되어 있다. 또한 제1 플레이트(21)의 주위에 위치하는 고정 부재(25)에는, 제2 나사(12)가 끼워 맞춰져 있다. 그리고, 제2 플레이트(22)의 상면에는, 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 끼워 넣는 걸어 맞춤 구멍(17(17a, 17b))이 마련되어 있다.
도 1의 (D)에 나타내는 바와 같이 제1 나사(11)는, 두부(頭部)를 갖지 않는 축 볼트(44)의 일단이, 제1 플레이트(21)의 하면에 나사식으로 삽입되고, 제1 너트(41)로 고정된다. 또한, 축 볼트(44)의 Y방향의 높이 조정을 하는 제2 너트(42)를 나사식으로 삽입한다. 그리고, 이 상태에서, 축 볼트(44)의 타단을, 제2 플레이트(22)의 구멍부에 삽입하고, 제3 너트(43)를 나사식으로 삽입해서 고정한다. 이와 같이 해서, 복수의 제1 나사(11)를 조정함에 의해, 제1 플레이트(21)의 Y방향의 높이 조정 및 기울기 조정이 행해진다. 재조정을 행하는 경우는, 제3 너트(43)를 느슨한 상태로 해서, 제2 너트(42)만을 회전시킨다.
제2 나사(12)는, 제1 플레이트(21)의 주위에 위치하는 고정 부재(25)에 형성되는 나사 구멍에 나사식으로 삽입한다. 도 1의 (C)에 있어서, 이 고정 부재(25)는, 제1 플레이트(21)의 네 모서리에 마련된 것을 예시하고 있지만, 특별히 한정되는 것은 아니며, 임의의 위치에 마련할 수 있다. 이 제2 나사(12)가 고정 부재(25)에 나사식으로 삽입되고, 그 선단이 제2 플레이트(22)의 외주면에 맞닿아, 도면 중의 X방향 및 Z방향 각각으로 독립적으로 제2 플레이트(22)를 위치 조정한다. 이에 의해, 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(22)가 X-Z면 내에 있어서 상대 이동한다.
이와 같이, 제1 나사(11) 및 제2 나사(12)를 조정함에 의해, 기기(26)의 지지 부재(27)를 설치 전 및 설치 후에 있어서 얼라이먼트 작업을 실시하는 것이 가능해진다. 그리고, 얼라이먼트 작업을 종료한 후에, 제1 나사(11)의 제3 너트(43)를 다시 조이고, 제3 나사(13)를 삽입해서, 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(22)를 고정한다.
하전입자가 통과하는 기기(26)로서는, 편향 전자석, 사극 전자석, 스크린 모니터가 예시되지만, 이들로 한정되는 것은 아니다. 이들 기기(26)는, 하전입자를 통과시키는 진공 덕트(23)가 궤도 중심을 관통하도록, 지지 부재(27)와 함께 일체적으로 조립된다. 이들 기기(26), 진공 덕트(23) 및 지지 부재(27)의 조립은, 하전입자 수송 시스템(10a)의 거치 장소와는 다른 장소에서 행해지고, 일체적으로 조립된 후에 거치 장소로 수송된다.
도 1의 (C)에 나타나는 바와 같이, 지지 부재(27)와 제2 플레이트(22)의 각각에는, 겹치면 개구 중심이 일치하는 걸어 맞춤 구멍(17(17a, 17b))이 마련되어 있다. 그리고, 제1 걸어 맞춤 핀(31)을, 이들 걸어 맞춤 구멍(17(17a, 17b))에 끼워 넣음으로써, 기기(26)의 지지 부재(27)와 제2 플레이트(22)를 걸어 맞춘다.
제1 걸어 맞춤 핀(31)은 원형 단면을 갖고 있다. 한쪽에 있어서, 지지 부재(27) 및 제2 플레이트(22) 중 어느 한쪽에 마련되는 걸어 맞춤 구멍(17)은 원형 단면을 갖는 것(부호 17a)과 타원형 단면을 갖는 것(부호 17b)으로 구성되어 있다. 또, 도시를 생략하고 있지만, 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 타원형 단면을 갖는 걸어 맞춤 구멍(17b)과 함께 취급하는 상대측의 걸어 맞춤 구멍은, 원형 단면을 갖는다. 또, 모든 걸어 맞춤 구멍(17)의 단면은, 전술한 형상으로 한정되는 것은 아니며, 모두가 제1 걸어 맞춤 핀(31)과 같은 단면을 취하는 경우도 있다.
이에 의해, 원형 단면의 걸어 맞춤 구멍(17a)의 위치에서 제2 플레이트(22)의 두 방향의 이동이 구속된다. 또한 이 걸어 맞춤 구멍(17a)으로부터 떨어진 위치에 있는 타원형 단면의 걸어 맞춤 구멍(17b)의 위치에서 제2 플레이트(22)의 일방향의 이동이 구속된다. 이에 의해, 중량물인 기기(26)의 지지 부재(27)를 끌어 올리고, 제2 플레이트(22) 상으로 이동하여, 무리 없이 배치할 수 있다. 또한, 제2 플레이트(22) 상에 배치된 기기(26)의 지지 부재(27)는, 제2 플레이트(22)에 대하여 고정밀도로 위치 결정된다.
도 2의 (A)(B) 및 도 3의 (A)(B)를 참조해서 제1 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템의 거치 방법을 설명한다.
도 2의 (A)에 나타내는 바와 같이, 하전입자 수송 시스템의 거치는, 기초(15)에 대하여 가대(16)를 고정한다. 그리고, 이 가대(16)의 상부에, 제1 나사(11)를 개재해서, 제1 플레이트(21)를 결합한다. 이 단계에서 제1 나사(11)의 제3 너트(43)(도 1의 (D) 참조)는, 미체결의 상태이다. 그리고, 제1 플레이트(21)의 상면에, 제2 플레이트(22)를 유동 가능하게 수용한다. 그리고, 이 고정 부재(25)의 나사 구멍에 제2 나사(12)를 나사식으로 삽입하고, 선단이 제2 플레이트(22)의 외주면에 맞닿도록 해둔다.
다음으로 도 2의 (B)에 나타내는 바와 같이, 기초(15) 상의 기준으로 되는 고정점에 광학적 위치 조정 기기(35)를 설치하고, 이 광학적 위치 조정 기기(35)로부터 출력되는 광선을 제2 플레이트(22) 상의 기준 위치(36)를 향해서 조사한다. 또 기준 위치(36)에는, 광선의 수광 기기가 설치되는 경우 외에, 제2 플레이트(22)에 기준선이 직접 괘선 표시되어 있는 경우도 있다.
광학적 위치 조정 기기(35)로부터 광선을 출력한 상태에서, 제1 나사(11)에 의해 Y방향의 높이 및 경사의 얼라이먼트를 조정하고, 제2 나사(12)에 의해 X-Z 수평면의 얼라이먼트를 조정한다. 그리고, 전체 방향의 얼라이먼트 조정이 종료되었을 때, 제3 나사(13)를 삽입해서 제1 플레이트(21)에 대하여 제2 플레이트(22)를 고정한다.
이와 같이 실시형태에서는, 제1 플레이트(21) 및 제2 플레이트(22)에 대하여 직접적으로 얼라이먼트 조정을 행할 수 있다. 이 때문에, 일 개소에 고정된 광학적 위치 조정 기기(35)로부터 출력하는 광선은, 방해받지 않고, 하전입자의 궤도를 따라 나열해서 배치된 복수의 제1 플레이트(21)에 조사된다. 이에 의해, 얼라이먼트 작업에 있어서 광학적 위치 조정 기기(35)의 이동을 적게 할 수 있다.
시간적 순번이 뒤바뀌는 경우도 있지만, 도 3의 (A)에 나타내는 바와 같이, 기기(26), 진공 덕트(23) 및 지지 부재(27)의 조립이, 하전입자 수송 시스템의 거치 장소와는 다른 장소에서 행해지고, 일체적으로 조립된 후에 거치 장소에 수송된다.
그리고 도 3의 (B)에 나타내는 바와 같이, 기기(26)의 지지 부재(27)에 마련된 걸어 맞춤 구멍(17)과 제2 플레이트(22)에 마련된 걸어 맞춤 구멍(17)에, 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞춘다. 그리고, 이 지지 부재(27)와 제2 플레이트(22)를 움직이지 않도록 볼트로 고정하여(도시 생략), 거치 작업이 종료된다. 또, 기기(26)의 지지 부재(27)를 플레이트(21, 22)에 거치한 후에도, 제3 나사(13) 및 제3 너트(43)를 느슨하게 하고, 제1 나사(11) 및 제2 나사(12)를 재조정해서 얼라이먼트 작업을 할 수 있다.
(제2 실시형태)
도 4의 (A)(B)(C)는 제2 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템(10b)의 단면도이다. 또, 도 4에 있어서 도 1 내지 도 3과 공통의 구성 또는 기능을 갖는 부분은, 동일 부호로 나타내고, 중복하는 설명을 생략한다.
제2 실시형태의 하전입자 수송 시스템(10b)에 있어서, 지지 부재(27(27a, 27b))는, 수평 방향으로 정렬하는 복수의 기기(26)의 각각을 지지하는 복수의 제1 지지 부재(27a)와, 이들 복수의 제1 지지 부재(27a)를 지지하는 제2 지지 부재(27b)로 구성된다. 또한, 제1 지지 부재(27a)와 제2 지지 부재(27b)의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍(17)에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제2 걸어 맞춤 핀(32)을 구비하고 있다.
이와 같이 구성됨에 의해, 도 4의 (A)에 나타내는 바와 같이, 복수의 기기(26)의 각각과, 복수의 제1 지지 부재(27a)의 각각과, 제2 지지 부재(27b)의 조립은, 하전입자 수송 시스템의 거치 장소와는 다른 장소에서 행할 수 있다. 그리고, 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이, 일체적으로 조립된 후에 수송할 수 있고, 도 4의 (C)에 나타내는 바와 같이, 거치 장소에서, 제2 플레이트(22) 상에 설치된다.
(제3 실시형태)
다음으로 도 5를 참조해서 본 발명에 있어서의 제3 실시형태에 대하여 설명한다. 도 5의 (A)는 제3 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템(10c)을 나타내는 Y-Z 단면도이고, 도 5의 (B)는 도 5의 (A)의 B-B 단면을 나타내는 X-Z 단면도이다. 또, 도 5에 있어서 도 1 내지 도 4와 공통의 구성 또는 기능을 갖는 부분은, 동일 부호로 나타내고, 중복하는 설명을 생략한다.
제3 실시형태의 하전입자 수송 시스템(10c)에 있어서, 지지 부재(27)는, 복수로 분할된 제2 플레이트(22a, 22b)의 각각에, 제1 걸어 맞춤 핀(31)을 개재해서 걸어 맞추고 있다. 그리고, 분할된 제2 플레이트(22a, 22b)의 각각은, 마찬가지로 분할된 제1 플레이트(21a, 21b)의 각각에 수용된다. 그리고, 분할된 제1 플레이트(21a, 21b) 및 제2 플레이트(22a, 22b)는, 각각에 마련된 제1 나사(11) 및 제2 나사(12)에 의해 독립적으로 조정할 수 있다.
도 6은, 각 실시형태에 따른 하전입자 수송 시스템(10(10a, 10b, 10c))이 적용된 싱크로트론(50)의 전체도이다. 이와 같이 싱크로트론(50)은, 주회 궤도로 하전입자를 가속하는 원형 가속기(51)와, 가속한 하전입자를 원형 가속기(51)로부터 취출해서 수송하는 수송 라인(52)과, 수송된 하전입자를 타겟(도시 생략)에 조사하는 조사실(53)로 구성되어 있다.
원형 가속기(51)는, 고주파 전장의 작용에 의해 하전입자를 가속하는 가속 공동(空洞)(46)과, 직류 자장의 작용에 의해 하전입자를 원형 궤도에 올리는 편향 전자석(45)을 적어도 구비하고 있다. 또한 수송 라인(52)은, 확산하려고 하는 하전입자를 수속시키는 사극 전자석(47)을 적어도 구비하고 있다.
그리고, 이들 편향 전자석(45), 가속 공동(46), 사극 전자석(47), 진공 덕트(23) 및 그 밖의 기기(26)(도 1, 도 4)는, 하전입자 수송 시스템(10)을 구성해서 기초(15)(도 1, 도 4)에 고정 지지되어 있다. 또, 실시형태에 있어서 하전입자 수송 시스템(10)은, 싱크로트론(50)에 적용되는 것을 나타내고 있지만, 원형 가속기(51) 및 수송 라인(52)의 어느 한쪽에만 적용되는 경우도 있다.
이상 기술한 적어도 하나의 실시형태의 하전입자 수송 시스템에 의하면, 수평 방향의 위치 조정을 하는 제2 플레이트(22)에 걸어 맞춤 핀(31)을 개재해서 기기를 고정하고, 높이 방향 및 경사를 더 조정하는 제1 플레이트(21)가 가대(16)에 고정됨에 의해, 간단하게 또한 단시간에 하전입자 수송 시스템의 얼라이먼트를 조정하는 것이 가능해진다.
본 발명의 몇 가지 실시형태를 설명했지만, 이들 실시형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 실시형태는, 그 밖의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 각종 생략, 치환, 변경, 조합을 행할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되는 것과 마찬가지로, 특허청구의 범위에 기재된 발명과 그 균등한 범위에 포함되는 것이다.
10(10a, 10b, 10c) : 하전입자 수송 시스템
11 : 제1 나사
12 : 제2 나사
13 : 제3 나사
15 : 기초
16 : 가대
17(17a, 17b) : 걸어 맞춤 구멍
21(21a, 21b) : 제1 플레이트
22(22a, 22b) : 제2 플레이트
23 : 진공 덕트
25 : 고정 부재
26 : 기기
27 : 지지 부재
27a : 제1 지지 부재
27b : 제2 지지 부재
31 : 제1 걸어 맞춤 핀
32 : 제2 걸어 맞춤 핀
35 : 광학적 위치 조정 기기
36 : 기준 위치
41 : 제1 너트
42 : 제2 너트
43 : 제3 너트
44 : 축 볼트
45 : 편향 전자석
46 : 가속 공동
47 : 사극 전자석
50 : 싱크로트론
51 : 원형 가속기
52 : 수송 라인
53 : 조사실

Claims (6)

  1. 기초에 고정되는 가대(架臺)와,
    상기 가대의 상부에, 높이 조정 가능한 제1 나사로 결합하는 제1 플레이트와,
    상기 제1 플레이트의 수평면에, 유동(遊動) 가능하게 수용되는 제2 플레이트와,
    상기 제1 플레이트의 주위에 위치하는 고정 부재에 형성되는 나사 구멍에 스크류인하고, 선단이 제2 플레이트의 외주면에 맞닿는 제2 나사와,
    상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 고정하는 제3 나사와,
    하전입자가 통과하는 기기를 지지하는 지지 부재와 상기 제2 플레이트의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제1 걸어 맞춤 핀을 구비하고,
    상기 제1 걸어 맞춤 핀은 원형 단면을 갖고,
    상기 지지 부재 및 상기 제2 플레이트 중 어느 한쪽에 마련되는 상기 걸어 맞춤 구멍은, 원형 단면을 갖는 것과 타원형 단면을 갖는 것으로 구성되어 있는, 하전입자 수송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는,
    수평 방향으로 정렬하는 복수의 상기 기기의 각각을 지지하는 복수의 제1 지지 부재와,
    이들 복수의 상기 제1 지지 부재를 지지하는 제2 지지 부재로 구성되고,
    상기 제1 지지 부재와 상기 제2 지지 부재의 각각에 마련된 걸어 맞춤 구멍에 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 제2 걸어 맞춤 핀을 구비하는 하전입자 수송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 걸어 맞춤 핀은 원형 단면을 갖고 있는, 하전입자 수송 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 복수로 분할된 상기 제2 플레이트의 각각에, 상기 제1 걸어 맞춤 핀을 개재해서 걸어 맞추고,
    분할된 상기 제2 플레이트의 각각은, 마찬가지로 분할된 상기 제1 플레이트의 각각에 수용되고,
    분할된 상기 제1 플레이트 및 상기 제2 플레이트는, 각각에 마련된 상기 제1 나사 및 상기 제2 나사에 의해 독립적으로 조정할 수 있는 하전입자 수송 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가대의 상부는, 상기 기초와 같은 높이 레벨로 형성되어 있는 하전입자 수송 시스템.
  6. 가대를 기초에 고정하는 공정과,
    상기 가대의 상부에, 높이 조정 가능한 제1 나사로, 제1 플레이트를 결합하는 공정과,
    상기 제1 플레이트의 수평면에, 제2 플레이트를 유동 가능하게 수용하는 공정과,
    상기 제1 플레이트의 주위에 위치하는 고정 부재에 형성되는 나사 구멍에 제2 나사를 스크류인하고, 선단을 상기 제2 플레이트의 외주면에 맞닿게 하는 공정과,
    광학적 위치 조정 기기로부터 출력되는 광선이 상기 제2 플레이트 상의 기준 위치에 조사되도록 상기 제1 나사 및 상기 제2 나사를 조정하는 공정과,
    상기 제1 플레이트에 대하여 상기 제2 플레이트를 제3 나사로 고정하는 공정과,
    하전입자가 통과하는 기기를 지지하는 지지 부재와 상기 제2 플레이트 중 어느 한쪽에에 마련된 원형 단면을 갖는 걸어 맞춤 구멍과 타원형 단면을 갖는 걸어 맞춤 구멍에, 원형 단면을 갖는 제1 걸어 맞춤 핀을 끼워 넣어서 양자를 걸어 맞추는 공정을 포함하는 하전입자 수송 시스템의 거치 방법.
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