JPH09138299A - 荷電粒子輸送用磁石の芯出し機構 - Google Patents

荷電粒子輸送用磁石の芯出し機構

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JPH09138299A
JPH09138299A JP29560295A JP29560295A JPH09138299A JP H09138299 A JPH09138299 A JP H09138299A JP 29560295 A JP29560295 A JP 29560295A JP 29560295 A JP29560295 A JP 29560295A JP H09138299 A JPH09138299 A JP H09138299A
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centering
magnet
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plate
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JP29560295A
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Koichi Okubo
光一 大久保
Yasuo Fukushima
安雄 福島
Kaori Saki
かおり 崎
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、アライメント用光学機器の設定が1
方向のみでよく、輸送用磁石の位置調整(芯出し)の作
業時間を低減することができる機構を提供することを目
的とする。 【解決手段】真空ダクト9と、複数の輸送用磁石5と、
芯出しプレート1と、各芯出しプレートに設けたターゲ
ット3と、輸送用磁石の位置調整手段と、主軸/副軸設
定プレート2と、光学機器4を有し、真空ダクトの中心
を結ぶ線を主軸13とし、各ターゲットの中心を結ぶ線
を副軸14とし、輸送用磁石には、第1罫書き線を記入
し、芯出しプレート1には、第2罫書き線を記入し、
芯出しプレート1を、第2罫書き線の水平部分および鉛
直成分が、第1罫書き線の水平成分および鉛直成分に一
致するように、輸送用磁石5のヨーク部に取付けること
により、主軸の芯出し作業を、副軸の芯出し作業に移す
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子輸送用磁
石(例えば、荷電粒子の発散を抑える収束磁石や、前記
粒子の進行方向を変える偏向磁石等)の芯出し機構に関
する。
【0002】
【従来の技術】図3に、従来の荷電粒子輸送用磁石5の
芯出し機構を示す。荷電粒子10を発散させることなく
安定に輸送する磁石5には、その磁場の高い均一度が要
求されると共に、主軸(ビーム軸)13に対して、±
0.2mmレベルの高い精度での芯出しが要求されてい
る。
【0003】その理由は、この芯ずれが規定値を越える
と、真空ダクト9中を輸送される荷電粒子10に、不都
合な磁場が作用し、粒子が発散したり、期待した軌道を
進行できなくなるためである。
【0004】それゆえ、前記磁石5の芯出しには、図3
に示すようなアライメント用光学機器41及び42を用
いて行っている。以下にその具体的な芯出し作業の手順
を示す。
【0005】まず、輸送用磁石5は、四箇所のコーナに
面取りを行い、その場所に主軸(ビーム軸)13からそ
れぞれ鉛直方向および水平方向に伸ばした線の罫書き線
12が磁石製造時記入されている。
【0006】次に、主軸(ビーム軸)13の同じ高さの
レベルに、アライメント用光学機器41を据え付ける。
この光学機器41を覗きながら、磁石側面に記入された
罫書き線12が、この光学機器41の視線高さに合うよ
うに位置調整ボルト(鉛直方向)7を用いて、磁石5の
高さ方向の位置を合わせる。
【0007】また、主軸(ビーム)13の軸上にもアラ
イメント用光学機器42を設定し、斜め上面より、磁石
5コーナに記入された罫書き線12が、この光学機器4
2の視線上に位置するように位置調整ボルト(水平方
向)6を用いて磁石5の水平方向の位置を合わせる。そ
して、主軸(ビーム軸)13方向の位置決めは、最寄り
の磁石5同志の位置間隔を計測することによって設定し
ている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前述したような従来の
芯出し機構では、磁石5の位置決めを行うために、水平
方向、及び鉛直方向の2方向にアライメント用光学機器
41及び42を設営し、それぞれに対応して、位置調整
を行う必要がある。そのため、 (1)アライメント用光学機器の設営作業が2方向とな
り、繁雑である。
【0009】かつ、2方向を同時に位置調整することが
困難なため、位置決めの作業に時間がかかると共に、精
度も出しにくい。 (2)特に、主軸(ビーム軸)13上に設営する光学機
器42は、荷電粒子輸送系のすべての機器の据え付けが
完了した後は、干渉等の問題が生ずるため設営が困難で
ある。
【0010】等の問題があり、芯出し作業に多大のコス
トを必要としている。本発明はこれらの問題を解決する
ことができる機構、すなわちアライメント用光学機器の
設営を1方向に限るとともに、荷電粒子輸送系の諸機器
が全て据え付けが完了した時点でも、簡便に輸送用磁石
5の位置出しができる機構を提供することを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る荷電粒子輸
送用磁石の芯出し機構は、加速器で加速された荷電粒子
を発散させることなく所定の場所に輸送する荷電粒子輸
送装置において、(A)荷電粒子を輸送する真空ダクト
と、(B)前記真空ダクトの外部に設けた複数の輸送用
磁石と、(C)前記各輸送用磁石の外郭部に装着した芯
出しプレートと、(D)前記各芯出しプレートに設けた
ターゲットと、(E)前記輸送用磁石の位置調整手段
と、(F)建屋壁に設置した主軸/副軸設定プレート
と、(G)アライメント用光学機器を有し、(H)前記
真空ダクトの中心を結ぶ線を主軸とし、(I)前記各タ
ーゲットの中心を結ぶ線を副軸とし、(J)前記輸送用
磁石の外郭部のヨーク部には、前記主軸の中心から水平
方向および鉛直方向にそれぞれ延長した箇所に、第1罫
書き線を記入し、(K)前記芯出しプレートには、前記
ターゲットの中心から水平方向および鉛直方向の定まっ
た距離に、第2罫書き線を記入し、(L)前記芯出しプ
レートを、前記位置調整手段により、第2罫書き線の水
平成分および鉛直成分が、第1罫書き線の水平成分およ
び鉛直成分に一致するように、輸送用磁石のヨーク部に
取付けることにより、主軸の芯出し作業を、副軸の芯出
し作業に移し、(M)予め、主軸と副軸の水平方向およ
び鉛直方向の位置関係及び距離関係を移しとった主軸/
副軸設定プレートを建屋壁に設定し、(N)前記アライ
メント用光学機器から、芯出しプレートおよび主軸/副
軸設定プレートに設けたターゲットの中心を覗き見るこ
とにより、主軸の芯出し作業を副軸の芯出し作業に移す
ことを特徴とする。
【0012】すなわち、本発明に係る機構は、荷電粒子
輸送システムに於いて、加速器で加速された荷電粒子を
発散させることなく所定の場所に輸送する磁石におい
て、その磁石の外郭部に芯出しプレートを装着し、荷電
粒子の進行軸(ビーム軸)すなわち主軸を、別の軸(副
軸)、すなわち芯出しプレートのターゲット中心に移
し、芯出し作業を簡便にしたことを特徴とする。
【0013】従って次のように作用する。荷電粒子輸送
用磁石の芯出し機構において、主軸位置の芯出し作業を
芯出しプレート、及びそれに設けたターゲット中心に移
し、それを副軸とし、その副軸の芯出し作業に移すこと
により、従来の芯出し機構に比較して (1)アライメント用光学機器の設営が1方向のみで良
く、1方向からの確認で輸送用磁石の位置調整ができ
る。 (2)また、主軸(ビーム)から離れた副軸上にアライ
メント用光学機器を設営するので、荷電粒子輸送系の全
ての機器の据え付けが完了した後でも、簡便に輸送用磁
石の位置出し(芯出し)ができる。ようになる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1〜図2
に示す。図1は、本発明の第1の実施の形態に係る芯出
し機構の概念図を示し、図2は、図1の具体的な芯出し
プレートの例を示す。
【0015】図1及び図2に示すように、荷電粒子10
を発散させることなく所定の場所に輸送させる輸送用磁
石5の外郭部には、アルミ等の軽量な金属で製作された
芯出しプレート1が装着できるようになっている。
【0016】この芯出しプレート1は、図2の断面AA
に示すように、輸送用磁石5のヨークの1部を背面から
芯出しプレート固定用ボルト15で締め付けることによ
り、輸送用磁石5のヨークの一部に取り付けられる。
【0017】その時、輸送用磁石5のヨーク部には、図
2に示すように主軸(ビーム軸)13の中心から水平方
向および鉛直方向のそれぞれ延長した箇所に、第1罫書
き線12aが記入されている。
【0018】また、芯出しプレート1では、そのプレー
ト上に取り付けられたターゲット3の中心から水平方向
および鉛直方向のそれぞれ定まった距離、例えば図2で
は、水平方向に130±0.55mm、鉛直方向に35
0±0.05mmの距離で同様に第2罫書き線12bが
記入されている。
【0019】第2罫書き線は、芯出しプレート1の製作
時に、3次元計測器等を用いて容易に記入することがで
きる。従って、芯出しプレート1側の第2罫書き線12
bと、輸送用磁石5側の第1罫書き線12aが一致する
ように、芯出しプレート1を芯出しプレート固定用ボル
ト15を用いて、輸送用磁石5のヨークの一部に取り付
けることにより、主軸(ビーム軸)13の芯出し作業
が、ターゲット3の中心の芯出し作業に移されたことに
なる。
【0020】また、輸送用磁石5の磁石脚部17の上面
には、輸送用磁石のヨーク側罫書き線12aの水平面を
移しとった機械加工面18が施工されており、その上に
水準器16を置き、位置調整ボルト(鉛直方向)7を用
いて、輸送用磁石5の水平出しを予め行っておく。
【0021】一方、輸送用磁石5が据え付けられる建屋
壁11には予め、主軸(ビーム軸)13とターゲット3
の中心の水平及び鉛直方位の位置関係と距離を移しとっ
た主軸/副軸設定プレート2が設置されており、その副
軸14上に、アライメント用光学機器4が精度よく据え
付けられている。
【0022】主軸(ビーム軸)13と副軸14の位置関
係と距離は、真空ダクト9、輸送用磁石5、及び輸送用
磁石架台8と、アライメント用光学機器4が干渉しない
ように、適当な値を設定する。
【0023】従って、輸送用磁石5の据付作業者は、ア
ライメント用光学機器4からターゲット3の中心を覗
き、もう一方の作業者は、磁石の位置調整ボルト(水平
方向)6及び位置調整ボルト(鉛直方向)7を調整しな
がら、副軸14にターゲット3の中心を合わせ、かつ、
水準器16を水平に保つことにより、輸送用磁石5の中
心が、主軸(ビーム)13に所望の精度で、かつ簡便に
据え付けることができる。
【0024】すなわち、本発明では、荷電粒子を発散さ
せることなく所定の場所に輸送させる磁石5の外郭部
に、芯出しプレートを装着することにより、荷電粒子の
進行軸(ビーム軸)すなわち主軸の芯出し作業を、芯出
しプレートに設けられたターゲットに移すことができ、
それを副軸とし、その副軸の芯出し作業をもって、輸送
用磁石の位置出しを行う。
【0025】主軸と副軸は、ある定まった位置関係にあ
るので、副軸すなわち芯出しプレートに装着したターゲ
ットの中心を結ぶ線(副軸)の芯出しをすることによ
り、各輸送用磁石の位置出し(芯出し)が行えることを
特徴とする。
【0026】
【発明の効果】本発明は前述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。本発明によれ
ば、荷電粒子輸送用磁石の主軸(ビーム軸)位置の芯出
しを、磁石外郭に設けた芯出しプレートの中心(副軸)
に移し、そのターゲットの中心(副軸)を予め設定され
ている主軸/副軸設定プレートの副軸の位置に合わせ
て、輸送用磁石の位置出しを行うことにより、 (1)アライメント用光学機器の設営が1方向のみで良
く、1方向からの確認で、輸送用磁石の位置調整ができ
る。
【0027】そのため、磁石位置決めの作業時間を半減
でき、工数のコスト低減ができると共に設定精度も向上
することができる。 (2)主軸(ビーム軸)から離れた副軸上にアライメン
ト用光学機器を設営するので、荷電粒子輸送系の全ての
機器の据え付けが完了した後でも、簡便に輸送用磁石の
位置出し(芯出し)を行うことができる。そのため、メ
ンテナンス作業時間の短縮ができるとともに、コストも
低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一第1の実施の形態に係る芯出し機構
を示す図。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る芯出しプレー
トの具体例を示す図。
【図3】従来の芯出し機構を示す図。
【符号の説明】
1…芯出しプレート、 2…主軸/副軸設定プレート、 3…ターゲット、 4…アライメント用光学機器、 5…輸送用磁石、 6…位置調整ボルト(水平方向)、 7…位置調整ボルト(鉛直方向)、 8…輸送用磁石架台、 9…真空ダクト、 10…荷電粒子、 11…建屋壁、 12…罫書き線、 12a…第1罫書き線(輸送用磁石のヨーク部側罫書き
線)、 12b…第2罫書き線(芯出しプレート側罫書き線)、 13…主軸(ビーム軸)、 14…副軸、 15…芯出しプレート固定用ボルト、 16…水準器、 17…磁石脚部、 18…機械加工面、 41…アライメント用光学機器、 42…アライメント用光学機器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加速器で加速された荷電粒子(10)を
    発散させることなく所定の場所に輸送する荷電粒子輸送
    装置において、(A)荷電粒子(10)を輸送する真空
    ダクト(9)と、(B)前記真空ダクト(9)の外部に
    設けた複数の輸送用磁石(5)と、(C)前記各輸送用
    磁石(5)の外郭部に装着した芯出しプレート(1)
    と、(D)前記各芯出しプレート(1)に設けたターゲ
    ット(3)と、(E)前記輸送用磁石(5)の位置調整
    手段(6、7、8)と、(F)建屋壁に設置した主軸/
    副軸設定プレート(2)と、(G)アライメント用光学
    機器(4)を有し、(H)前記真空ダクト(9)の中心
    を結ぶ線を主軸(13)とし、(I)前記各ターゲット
    (3)の中心を結ぶ線を副軸(14)とし、(J)前記
    輸送用磁石(5)の外郭部のヨーク部には、前記主軸
    (13)の中心から水平方向および鉛直方向にそれぞれ
    延長した箇所に、第1罫書き線(12a)を記入し、
    (K)前記芯出しプレート(1)には、前記ターゲット
    (3)の中心から水平方向および鉛直方向の定まった距
    離に、第2罫書き線(12b)を記入し、(L)前記芯
    出しプレート(1)を、前記位置調整手段(6、7、
    8)により、第2罫書き線(12b)の水平成分および
    鉛直成分が、第1罫書き線(12a)の水平成分および
    鉛直成分に一致するように、輸送用磁石(5)のヨーク
    部に取付けることにより、主軸(13)の芯出し作業
    を、副軸(14)の芯出し作業に移し、(M)予め、主
    軸(13)と副軸(14)の水平方向および鉛直方向の
    位置関係及び距離関係を移しとった主軸/副軸設定プレ
    ート(2)を建屋壁(11)に設定し、(N)前記アラ
    イメント用光学機器(4)から、芯出しプレート(1)
    および主軸/副軸設定プレートに設けたターゲット
    (3)の中心を覗き見ることにより、主軸の芯出し作業
    を副軸の芯出し作業に移すことを特徴とする荷電粒子輸
    送用磁石の芯出し機構。
JP29560295A 1995-11-14 1995-11-14 荷電粒子輸送用磁石の芯出し機構 Withdrawn JPH09138299A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344466A (ja) * 2005-06-08 2006-12-21 Hitachi Plant Technologies Ltd 電磁石の位置調整装置
JP2015014465A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 有限会社マイテック 芯出し装置および芯出し方法
WO2018047272A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 三菱電機株式会社 走査電磁石、および走査電磁石を備えた粒子線照射装置の製造方法
CN108735328A (zh) * 2018-07-28 2018-11-02 中国原子能科学研究院 质子束流线上四极透镜的安装准直装置及安装准直方法
US11639768B2 (en) 2018-10-31 2023-05-02 Toshiba Energy Systems & Solutions Corporation Charged particle transport system and installation method therefor

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006344466A (ja) * 2005-06-08 2006-12-21 Hitachi Plant Technologies Ltd 電磁石の位置調整装置
JP2015014465A (ja) * 2013-07-03 2015-01-22 有限会社マイテック 芯出し装置および芯出し方法
WO2018047272A1 (ja) * 2016-09-08 2018-03-15 三菱電機株式会社 走査電磁石、および走査電磁石を備えた粒子線照射装置の製造方法
JPWO2018047272A1 (ja) * 2016-09-08 2019-02-14 三菱電機株式会社 走査電磁石、および走査電磁石を備えた粒子線照射装置の製造方法
CN108735328A (zh) * 2018-07-28 2018-11-02 中国原子能科学研究院 质子束流线上四极透镜的安装准直装置及安装准直方法
CN108735328B (zh) * 2018-07-28 2023-10-24 中国原子能科学研究院 质子束流线上四极透镜的安装准直装置及安装准直方法
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