JPH05180999A - 粒子加速器における電磁石装置 - Google Patents
粒子加速器における電磁石装置Info
- Publication number
- JPH05180999A JPH05180999A JP3358899A JP35889991A JPH05180999A JP H05180999 A JPH05180999 A JP H05180999A JP 3358899 A JP3358899 A JP 3358899A JP 35889991 A JP35889991 A JP 35889991A JP H05180999 A JPH05180999 A JP H05180999A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- electromagnet
- rotating
- support mechanism
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 荷電粒子の軌道の外側に設ける電磁石本体2
0を円環状のヨーク22の内側に磁極23とコイル24
を設けた構成とする。そして、その電磁石本体を支持す
るとともにその軸線Oを中心として回転させることで磁
極の位置決めを行うための支持機構21を備える。支持
機構はヨークを支持する少なくとも2本の回転自在なロ
ーラ26a,26bと、それらローラの少なくともいず
れか1本を回転させることによってヨークを回転させる
ための回転駆動源28からなる。 【効果】 ローラを回転させてヨークを所望の角度だけ
回転させることにより、軌道周囲における磁極の位置決
めを容易にかつ精度良く行うことができ、その変更も自
由に行うことが可能である。
0を円環状のヨーク22の内側に磁極23とコイル24
を設けた構成とする。そして、その電磁石本体を支持す
るとともにその軸線Oを中心として回転させることで磁
極の位置決めを行うための支持機構21を備える。支持
機構はヨークを支持する少なくとも2本の回転自在なロ
ーラ26a,26bと、それらローラの少なくともいず
れか1本を回転させることによってヨークを回転させる
ための回転駆動源28からなる。 【効果】 ローラを回転させてヨークを所望の角度だけ
回転させることにより、軌道周囲における磁極の位置決
めを容易にかつ精度良く行うことができ、その変更も自
由に行うことが可能である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器に備えられる電磁石装置に関するものである。
子加速器に備えられる電磁石装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、直径が10m以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光(SOR光)を利用して、たとえ
ば超LSI回路の作成、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光(SOR光)を利用して、たとえ
ば超LSI回路の作成、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
【0003】図3はシンクロトロンの概要を示すもので
あって、電子銃等の電子発生装置1で発生させた荷電粒
子を直線加速器(ライナック)2で光速近くに加速し、
偏向電磁石3で偏向させてインフレクタ4を介して蓄積
リングである真空ダクト5に入射する。真空ダクト5に
入射した荷電粒子は高周波加速空洞6によりエネルギを
与えられながら収束電磁石7で収束され、偏向電磁石8
で偏向されて真空ダクト5内を周回し続ける。そして、
偏向電磁石8で偏向される際にSOR光が発生し、それ
が光取り出しライン9を介してたとえば露光装置10に
出射されて利用されるのである。
あって、電子銃等の電子発生装置1で発生させた荷電粒
子を直線加速器(ライナック)2で光速近くに加速し、
偏向電磁石3で偏向させてインフレクタ4を介して蓄積
リングである真空ダクト5に入射する。真空ダクト5に
入射した荷電粒子は高周波加速空洞6によりエネルギを
与えられながら収束電磁石7で収束され、偏向電磁石8
で偏向されて真空ダクト5内を周回し続ける。そして、
偏向電磁石8で偏向される際にSOR光が発生し、それ
が光取り出しライン9を介してたとえば露光装置10に
出射されて利用されるのである。
【0004】上記の収束電磁石7は、荷電粒子を水平方
向に収束させるためのものと垂直方向に収束させるため
のものとが一対とされ、それら一対の収束電磁石7,7
は荷電粒子の軌道方向に沿って並べられて設置されるよ
うになっている。
向に収束させるためのものと垂直方向に収束させるため
のものとが一対とされ、それら一対の収束電磁石7,7
は荷電粒子の軌道方向に沿って並べられて設置されるよ
うになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
シンクロトロンにおける収束電磁石7は、円環状もしく
は矩形環状のヨークの内側に磁極とコイルが設けられた
構成の4極あるいは6極もしくは8極の電磁石とされ、
その軸線位置に荷電粒子の軌道を形成するべく真空ダク
ト5が配置されるものである。そして、軌道周囲におけ
る磁極の位置決めは厳密に行わなければならないのであ
るが、従来におけるそのような位置決めの作業は非常に
手間がかかって面倒なものであって容易に行えるもので
はないし、磁極の位置決めを一旦行ってしまうと容易に
変更できるものでもなく、このため有効な改善策が要望
されていた。
シンクロトロンにおける収束電磁石7は、円環状もしく
は矩形環状のヨークの内側に磁極とコイルが設けられた
構成の4極あるいは6極もしくは8極の電磁石とされ、
その軸線位置に荷電粒子の軌道を形成するべく真空ダク
ト5が配置されるものである。そして、軌道周囲におけ
る磁極の位置決めは厳密に行わなければならないのであ
るが、従来におけるそのような位置決めの作業は非常に
手間がかかって面倒なものであって容易に行えるもので
はないし、磁極の位置決めを一旦行ってしまうと容易に
変更できるものでもなく、このため有効な改善策が要望
されていた。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記事情に鑑み、本発明
の電磁石装置は、円環状のヨークの内側に磁極とコイル
を設けた構成とされてその軸線位置に荷電粒子の軌道が
形成される電磁石本体と、その電磁石本体を支持すると
ともにその軸線を中心として回転させることで前記磁極
の位置決めを行うための支持機構からなり、その支持機
構は、前記ヨークの軸線に平行に設けられて前記ヨーク
の下部を両側から支持する少なくとも2本の回転自在な
ローラと、それらローラの少なくともいずれか1本を回
転させることによって前記ヨークを回転させるための回
転駆動源を備えてなることを特徴とするものである。
の電磁石装置は、円環状のヨークの内側に磁極とコイル
を設けた構成とされてその軸線位置に荷電粒子の軌道が
形成される電磁石本体と、その電磁石本体を支持すると
ともにその軸線を中心として回転させることで前記磁極
の位置決めを行うための支持機構からなり、その支持機
構は、前記ヨークの軸線に平行に設けられて前記ヨーク
の下部を両側から支持する少なくとも2本の回転自在な
ローラと、それらローラの少なくともいずれか1本を回
転させることによって前記ヨークを回転させるための回
転駆動源を備えてなることを特徴とするものである。
【0007】
【作用】本発明の電磁石装置では、ヨークを円環状と
し、そのヨークを、自身の軸線を中心として回転自在な
状態で支持機構により支持し、その支持機構によりヨー
クを回転させることによりヨーク内の磁極の位置を調節
してその位置決めを行う。支持機構によるヨークの回転
は、ヨークの外周面に接してそれを支持しているローラ
を回転駆動源により回転させることで行う。
し、そのヨークを、自身の軸線を中心として回転自在な
状態で支持機構により支持し、その支持機構によりヨー
クを回転させることによりヨーク内の磁極の位置を調節
してその位置決めを行う。支持機構によるヨークの回転
は、ヨークの外周面に接してそれを支持しているローラ
を回転駆動源により回転させることで行う。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1および図2を参
照して説明する。図1は本実施例の電磁石装置の全体概
略構成を示す正面図、図2はその側面図であって、符号
20は電磁石本体、21はその支持機構である。
照して説明する。図1は本実施例の電磁石装置の全体概
略構成を示す正面図、図2はその側面図であって、符号
20は電磁石本体、21はその支持機構である。
【0009】電磁石本体20は荷電粒子を水平方向もし
くは垂直方向に収束させるためのもので、円環状のヨー
ク22、その内側に設けられた磁極23、それら磁極2
3に取り付けられたコイル24からなる4極電磁石を構
成するものである。
くは垂直方向に収束させるためのもので、円環状のヨー
ク22、その内側に設けられた磁極23、それら磁極2
3に取り付けられたコイル24からなる4極電磁石を構
成するものである。
【0010】支持機構21は、上記電磁石本体20を支
持するとともにその軸線Oを中心として回転させること
で磁極23の位置決めを行うためのものであって、両端
が軸受け25に回転自在に軸支されている2本のローラ
26a,26bと、一方のローラ26aを減速機27を
介して回転させるためのモータ28(回転駆動源)から
なる。そのモータ28としてはたとえばステッピングモ
ータやサーボモータを採用すると良い。また、他方のロ
ーラ26bは自由に回転するフリーローラとなってい
る。
持するとともにその軸線Oを中心として回転させること
で磁極23の位置決めを行うためのものであって、両端
が軸受け25に回転自在に軸支されている2本のローラ
26a,26bと、一方のローラ26aを減速機27を
介して回転させるためのモータ28(回転駆動源)から
なる。そのモータ28としてはたとえばステッピングモ
ータやサーボモータを採用すると良い。また、他方のロ
ーラ26bは自由に回転するフリーローラとなってい
る。
【0011】それらローラ26a,26bはヨーク22
の軸線方向すなわち軌道と平行な方向に延在するように
設けられていて、ヨーク22の下部外周面に接してそれ
を両側から支持しており、モータ28によってローラ2
6aを回転させることにより、そのローラ26aにより
ヨーク22が軸線Oを中心として回転させられるように
なっている。なお、ヨーク22が回転した際には、フリ
ーローラである他方のローラ26bはヨーク22の回転
に従動して自ずと回転することになる。
の軸線方向すなわち軌道と平行な方向に延在するように
設けられていて、ヨーク22の下部外周面に接してそれ
を両側から支持しており、モータ28によってローラ2
6aを回転させることにより、そのローラ26aにより
ヨーク22が軸線Oを中心として回転させられるように
なっている。なお、ヨーク22が回転した際には、フリ
ーローラである他方のローラ26bはヨーク22の回転
に従動して自ずと回転することになる。
【0012】また、ヨーク22の外表面には位置決めの
基準とするべき複数のターゲット30が所定位置に取り
付けられているとともに、それらターゲット30を観察
するための位置読取り装置31が付設されている。その
位置読取り装置31としては、レンズおよびセンサヘッ
ド(フォトダイオードアレイ、CCD、半導体位置検出
装置、PSD等)により構成したもの、あるいはオート
レベルやセオドライト等が適宜採用できる。
基準とするべき複数のターゲット30が所定位置に取り
付けられているとともに、それらターゲット30を観察
するための位置読取り装置31が付設されている。その
位置読取り装置31としては、レンズおよびセンサヘッ
ド(フォトダイオードアレイ、CCD、半導体位置検出
装置、PSD等)により構成したもの、あるいはオート
レベルやセオドライト等が適宜採用できる。
【0013】本実施例の装置では、位置読取り装置31
によりターゲット30を観察して電磁石本体20の実際
の位置を確認しつつ、モータ28の作動量を制御するこ
とにより、ヨーク22すなわち電磁石本体20をその軸
線Oを中心として所望量だけ自由に回転させることがで
き、したがって、軸線O回りにおける磁極23の位置を
高精度で正確に決定することができるし、必要に応じて
その変更も容易に行い得る。上記のような位置決め作業
は、位置読取り装置31によりターゲット30を目視に
より観察しながらモータ28を手動操作することによっ
ても行うことが可能であるが、位置読取り装置31の検
出結果に基づいてモータ28の作動量を制御するような
制御手段を備えておけば、より高精度の位置決めを自動
的に行うことが可能であり、そのように構成することが
好ましい。
によりターゲット30を観察して電磁石本体20の実際
の位置を確認しつつ、モータ28の作動量を制御するこ
とにより、ヨーク22すなわち電磁石本体20をその軸
線Oを中心として所望量だけ自由に回転させることがで
き、したがって、軸線O回りにおける磁極23の位置を
高精度で正確に決定することができるし、必要に応じて
その変更も容易に行い得る。上記のような位置決め作業
は、位置読取り装置31によりターゲット30を目視に
より観察しながらモータ28を手動操作することによっ
ても行うことが可能であるが、位置読取り装置31の検
出結果に基づいてモータ28の作動量を制御するような
制御手段を備えておけば、より高精度の位置決めを自動
的に行うことが可能であり、そのように構成することが
好ましい。
【0014】なお、上記構成の電磁石装置全体をベース
40上に設置して、そのベース40を、架台41上にボ
ルト42、ナット43により締結するようにし、この装
置全体の上下方向の位置決めは、架台41に対する取り
付け高さをボルト42、ナット43により調節すること
で行うと良い。また、上記実施例における電磁石本体2
0は4極電磁石を構成するものとしたが、本発明は6極
あるいは8極の電磁石に対しても全く同様に適用可能で
あるし、荷電粒子の収束用電磁石のみならず他の用途の
電磁石としても適用可能である。さらに、ヨークを支持
するローラは少なくとも2本あれば良いがさらに多数の
ローラを用いてそれらによりヨークの周囲を支持するよ
うにしても良く、必要であれば複数のローラを回転駆動
源により同時に回転させるように構成しても良い。勿
論、電磁石本体を支持しつつ回転させるための支持機構
としては上記実施例のものに限らず、種々の形態のもの
が適宜採用し得る。
40上に設置して、そのベース40を、架台41上にボ
ルト42、ナット43により締結するようにし、この装
置全体の上下方向の位置決めは、架台41に対する取り
付け高さをボルト42、ナット43により調節すること
で行うと良い。また、上記実施例における電磁石本体2
0は4極電磁石を構成するものとしたが、本発明は6極
あるいは8極の電磁石に対しても全く同様に適用可能で
あるし、荷電粒子の収束用電磁石のみならず他の用途の
電磁石としても適用可能である。さらに、ヨークを支持
するローラは少なくとも2本あれば良いがさらに多数の
ローラを用いてそれらによりヨークの周囲を支持するよ
うにしても良く、必要であれば複数のローラを回転駆動
源により同時に回転させるように構成しても良い。勿
論、電磁石本体を支持しつつ回転させるための支持機構
としては上記実施例のものに限らず、種々の形態のもの
が適宜採用し得る。
【0015】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明の電磁石
装置は、円環状のヨークの内側に磁極とコイルを設けた
構成の電磁石本体を、回転駆動源によりローラを回転さ
せる構成の支持機構により支持して回転させるようにし
たので、支持機構によりヨークを所望の角度だけ回転さ
せることにより軌道周囲における磁極の位置決めを容易
にかつ精度良く行うことが可能であり、必要に応じてそ
の変更も自由に行うことができるという効果を奏する。
装置は、円環状のヨークの内側に磁極とコイルを設けた
構成の電磁石本体を、回転駆動源によりローラを回転さ
せる構成の支持機構により支持して回転させるようにし
たので、支持機構によりヨークを所望の角度だけ回転さ
せることにより軌道周囲における磁極の位置決めを容易
にかつ精度良く行うことが可能であり、必要に応じてそ
の変更も自由に行うことができるという効果を奏する。
【図1】本発明の実施例である電磁石装置の全体概略構
成を示す正面図である。
成を示す正面図である。
【図2】同装置の側面図である。
【図3】シンクロトロンの概要を示す平面図である。
20 電磁石本体 21 支持機構 22 ヨーク 23 磁極 24 コイル 26a,26b ローラ 28 モータ(回転駆動源) 30 ターゲット 31 位置読取り装置
Claims (1)
- 【請求項1】 粒子加速器に備えられる電磁石装置であ
って、円環状のヨークの内側に磁極とコイルを設けた構
成とされてその軸線位置に荷電粒子の軌道が形成される
電磁石本体と、その電磁石本体を支持するとともにその
軸線を中心として回転させることで前記磁極の位置決め
を行うための支持機構からなり、その支持機構は、前記
ヨークの軸線に平行に設けられて前記ヨークの下部を両
側から支持する少なくとも2本の回転自在なローラと、
それらローラの少なくともいずれか1本を回転させるこ
とによって前記ヨークを回転させるための回転駆動源を
備えてなることを特徴とする粒子加速器における電磁石
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3358899A JPH05180999A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における電磁石装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3358899A JPH05180999A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における電磁石装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05180999A true JPH05180999A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18461683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3358899A Withdrawn JPH05180999A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 粒子加速器における電磁石装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05180999A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112690043A (zh) * | 2018-10-31 | 2021-04-20 | 东芝能源系统株式会社 | 带电粒子输送系统及其安设方法 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP3358899A patent/JPH05180999A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112690043A (zh) * | 2018-10-31 | 2021-04-20 | 东芝能源系统株式会社 | 带电粒子输送系统及其安设方法 |
CN112690043B (zh) * | 2018-10-31 | 2024-03-22 | 东芝能源系统株式会社 | 带电粒子输送系统及其安设方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |