KR102525393B1

KR102525393B1 - 소성용 세터

Info

Publication number: KR102525393B1
Application number: KR1020190001091A
Authority: KR
Inventors: 즈네오 고미야마; 다카히로 미즈노; 히로오미 마츠바
Original assignee: 엔지케이 인슐레이터 엘티디; 엔지케이 어드렉 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-10
Filing date: 2019-01-04
Publication date: 2023-04-24
Also published as: KR20190085481A; CN110015903A; JP6876635B2; JP2019119659A; TWI811283B; TW201936551A

Abstract

본 발명은 코팅층의 박리가 억제된 소성용 세터를 제공하는 것을 과제로 한다.
소성용 세터는, SiC와 Si를 주성분으로 하는 기재와, 기재의 표면을 피복하고 있음과 더불어 Zr 화합물과 Al 화합물을 주성분으로 하는 코팅층을 구비하고 있다. 이 소성용 세터에서는, 기재와 코팅층의 결합 면적이 기재 표면의 면적에 대하여 20% 이상 80% 이하이다.

Description

소성용 세터{SETTER FOR FIRING}

본 명세서는 소성용 세터에 관한 기술을 개시한다.

피소성물을 소성할 때, 피소성물을 배치하기 위해 세터 등의 소성용 지그가 이용된다. 특허문헌 1의 소성용 세터(소성용 용기)는, 기재와 피소성물이 반응하는 것을 억제하기 위해, 기재 표면에 알루미늄질, 지르코니아질의 코팅층을 형성하고 있다. 특허문헌 1에서는, 코팅재의 입경을 조정하고, 그 결과 코팅층의 기공율이 조정되어, 기재와 코팅층의 열팽창차에 기인하는 양자의 박리를 억제하고 있다. 그러나, 코팅층과 기재의 박리를 억제하기 위해 코팅재의 입경을 조정하면, 코팅층의 표면 거칠기 Ra가 커진다. 그 때문에, 특허문헌 1에서는, 기재의 표면에 코팅층을 형성한 후 코팅층의 표면을 연마하고 있다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2007-45641호 공보

특허문헌 1은, 코팅층의 기공율이 커지도록 코팅재의 입경을 조정함으로써 기재로부터 코팅층이 박리되는 것을 억제하고 있다. 즉, 대입경의 코팅재를 이용하여 코팅층을 「성김(疎)」으로 함으로써, 기재와 코팅층의 열팽창차를 완화하여, 코팅층의 박리를 억제하고 있다. 그 결과, 특허문헌 1은, 코팅층을 형성한 후의 표면 연마가 필요해져, 제조 공정이 번잡해졌다. 또, 소입경의 코팅재를 이용하면 코팅층의 표면 연마를 생략하는 것이 가능해지지만, 그 경우, 기공율이 작아져, 코팅층의 박리를 억제할 수 없다. 그 때문에, 간편하게 제조 가능함과 더불어 코팅층의 박리가 억제된 소성용 세터가 필요해지고 있다. 본 명세서는, 종래에 없는 기술적 사상에 기초하여, 코팅층의 박리가 억제된 신규의 소성용 세터를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자들은, 기재 표면에 여러가지 조건으로 코팅층을 형성하여 코팅층의 박리성에 관해 평가한 결과, 기재와 코팅층의 결합 면적이 코팅층의 박리의 발생 용이함에 큰 영향을 미친다는 것을 발견했다. 즉, 기재와 코팅층의 결합 면적을 소정 범위로 조정함으로써, 기재로부터의 코팅층의 박리가 대폭 억제되는 것이 판명되었다. 본 명세서에서 개시하는 소성용 세터는 상기 지견에 기초하는 것이다.

본 명세서에서 개시하는 소성용 세터는, SiC와 Si를 주성분으로 하는 기재와, 기재의 표면을 피복하고 있음과 더불어 Zr 화합물과 Al 화합물을 주성분으로 하는 코팅층을 구비하고 있는 것이 좋다. 이 소성용 세터에서는, 기재와 코팅층의 결합 면적이, 기재 표면의 면적에 대하여 20% 이상 80% 이하인 것이 좋다.

상기 소성용 세터는, 기재와 코팅층의 결합 면적이 20% 이상 80% 이하이며, 종래의 소성용 세터보다 결합 면적이 크다. 또, 종래에는, 기재와 코팅층의 결합 면적이 10% 미만이며, 상기 소성용 세터와 비교하여 결합 면적이 작다. 상기 소성용 세터는, 기재와 코팅층의 결합 면적을 크게 함으로써, 기재와 코팅층의 열팽창차에 기초하는 양자의 박리를 억제하고 있다. 또한, 상기 소성용 세터는, 기재와 코팅층의 결합 면적을 조정함으로써 양자의 박리를 억제하고 있기 때문에, 코팅재의 입경을 제한할 필요가 없다. 그 때문에, 소입경의 코팅재를 이용할 수 있고, 코팅층을 형성한 후의 연마를 생략할 수도 있다. 또, 본 명세서에서 말하는 「주성분」이란, 대상이 되는 부재 중에, 주성분인 재료가 50 질량% 이상 포함되어 있는 것을 의미한다. 예컨대, 「SiC와 Si를 주성분으로 하는 기재」란, 기재 중에 SiC와 Si의 합계가 50 질량% 이상 포함되어 있는 것을 의미한다.

코팅층은, Zr 화합물을 주성분으로 하는 표층과, 표층과 기재의 사이에 형성되어 있는 Al 화합물을 주성분으로 하는 중간층을 포함하고 있는 것이 좋다. 이 경우, 표층은, 피소성물과의 반응을 억제하는 반응 억제층으로서 기능한다. 또한, 중간층은, 표층과 기재의 사이에 생기는 열응력(열팽창차)을 완화하는 응력 완화층으로서 기능한다. 코팅층이 표층과 중간층을 구비함으로써, 기재로부터의 코팅층의 박리를 보다 확실하게 억제할 수 있다. 또, 표층은 Zr 화합물을 주성분으로 하고, 중간층은 Al 화합물을 주성분으로 함으로써, SiC와 Si를 주성분으로 하는 기재에 대하여, 열팽창률이 기재, 중간층, 표층의 순으로 커진다. 표층 및 중간층을 상기 재료로 함으로써, 중간층이 응력 완화층으로서 적합하게 기능한다.

중간층은, 미량 성분으로서 Fe, Si, Ca, Na, Mg, K 중 적어도 하나의 원소를 포함하고 있는 것이 좋다. 또한, 중간층에 포함되는 미량 성분은, 중간층의 표층측과 비교하여, 중간층의 기재측에 많이 존재하고 있는 것이 좋다. 중간층이 미량 성분으로서 상기 원소를 포함함으로써, 기재와 중간층의 사이에 유리층이 형성되기 쉬워지고(기재와 중간층의 접촉 부분이 유리화하기 쉬워지고), 기재와 중간층이 양호하게 결합되어, 양자의 결합 면적이 증대된다. 또, 본 명세서에서 말하는 「미량 성분」이란, 대상이 되는 부재 중에 포함되는 질량이, 대상 부재의 질량에 대하여 3 질량% 이하인 것을 의미한다. 또한, 「중간층의 기재측」이란, 중간층의 두께 방향(표층과 기재를 연결하는 방향)에서의 중간층의 중앙보다 기재측의 범위인 것을 의미한다.

상기 소성용 세터에서는, 코팅층이 표층과 중간층을 구비하는 경우, 표층과 중간층 사이에, Al과 Zr을 포함하는 화합물층이 형성되어 있어도 좋다. 표층과 중간층의 결합력이 증대되어, 코팅층의 박리(표층과 중간층의 박리)를 억제할 수 있다.

도 1은 실시예의 소성용 세터의 평가 결과를 나타낸다.
도 2는 실시예의 소성용 세터의 SEM 화상 및 원소 맵핑 화상을 나타낸다.
도 3은 비교예의 소성용 세터의 SEM 화상 및 원소 맵핑 화상을 나타낸다.
도 4는 평가 시료의 취득 위치를 설명하기 위한 모식도를 나타낸다.

(소성용 세터)

본 명세서에서 개시하는 소성용 세터는, 전자 부품, 세라믹 부재 등의 피소성물을 소성할 때, 피소성물을 배치하기 위해 이용된다. 소성용 세터의 표면(배치면) 형상은, 삼각형, 사각형 등의 다각형인 것이 좋고, 원형, 타원형 등의 외연이 곡면인 형상이어도 좋다. 또한, 소성용 세터는, 단부(피소성물을 배치하는 배치부의 외측)에 리브를 구비하고 있어도 좋다. 소성용 세터는, 기재와, 기재를 피복하고 있는 코팅층을 구비하고 있다.

(기재)

기재는, 탄화규소(SiC)와 규소(Si)를 주성분으로 하고 있다. 즉, SiC와 Si의 질량의 합계가, 기재의 질량의 50 질량% 이상을 차지하고 있다. SiC와 Si는 기재 중에, 60 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 70 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 80 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 90 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 95 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋다. 기재는, SiC와 Si 이외의 미량 원소를 포함하고 있는 것이 좋다. 미량 원소로서, 철(Fe), 칼슘(Ca), 나트륨(Na), 마그네슘(Mg), 칼륨(K), 알루미늄(Al) 등을 들 수 있다. 각각의 미량 원소는, 기재 중에 0.01∼3 질량% 포함되어 있는 것이 좋고, 또한 기재 중의 미량 원소의 합계가 0.01∼3 질량%인 것이 좋다. 또, 기재는, C 분체, SiC 분체 및 유기질 바인더를 혼합ㆍ성형한 성형체를, 금속 Si 존재하에, 감압한 불활성 가스 분위기 또는 진공 중에 배치하고, 성형체 중에 금속 Si를 함침시켜 성형할 수 있다.

(코팅층)

코팅층은, 기재의 표면을 피복하고 있다. 즉, 코팅층은, 소성용 세터의 표면에 노출되어 있다. 코팅층은, 소성용 세터의 전면을 피복하고 있어도 좋고, 소성용 세터의 표면(피소성물을 배치하는 면)만을 피복하고 있어도 좋다. 코팅층은, 기재 표면에 코팅재를 도포한 후, 1100∼1400도에서 소성하여 기재 표면에 고착시키는 것이 좋다. 코팅재를 도포한 후의 소성 온도는, 1200도 이상인 것이 좋고, 1240도 이상인 것이 좋고, 1300도 이상인 것이 좋다. 코팅층은, 지르코늄(Zr) 화합물과 알루미늄(Al) 화합물을 주성분으로 하고 있다. 즉, Zr 화합물과 Al 화합물의 질량의 합계가, 코팅층의 질량의 50 질량% 이상을 차지하고 있다. Zr 화합물과 Al 화합물은, 코팅층 중에, 60 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 70 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 80 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 90 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 95 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋다. 코팅층은, Zr 화합물과 Al 화합물 이외의 미량 원소를 포함하고 있는 것이 좋다. 즉, 코팅층 내에, Zr 화합물과 Al 화합물 이외의 원소가 3 질량% 이하 포함되어 있어도 좋다. 미량 원소로서, Fe, Si, Ca, Na, Mg, K 등을 들 수 있고, 코팅층 내에 이들 원소가 하나 이상 포함되어 있는 것이 좋다.

코팅층은, 기재의 표면과 결합하고 있다. 기재와 코팅층의 결합 면적은, 기재 표면의 면적에 대하여 20% 이상 80% 이하인 것이 좋다. 기재와 코팅층의 결합 면적은, 40% 이상인 것이 좋고, 50% 이상인 것이 좋고, 60% 이상인 것이 좋다. 또한, 코팅층은, 조성이 상이한 표층과 중간층을 구비하고 있는 것이 좋다.

(표층)

표층은, 소성용 세터의 노출면인 것이 좋다. 즉, 표층은, 피소성물과 접촉하는 접촉면을 구성하고 있는 것이 좋다. 표층의 주성분은, Zr 화합물인 것이 좋다. Zr 화합물은, 표층 중에, 50 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 60 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 70 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 80 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 90 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 95 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋다. Zr 화합물로서, 산화칼슘(CaO) 또는 산화이트륨(Y₂O₃)으로 안정화된 안정화 지르코니아, 알루미나와 지르코니아의 공정물(共晶物), BaZrO₃, CaZrO₃ 등을 들 수 있다. 표층의 두께는, 10∼100 ㎛인 것이 좋다. 표층의 두께는, 20 ㎛ 이상인 것이 좋고, 30 ㎛ 이상인 것이 좋고, 40 ㎛ 이상인 것이 좋고, 50 ㎛ 이상인 것이 좋다. 또한, 표층의 두께는, 90 ㎛ 이하인 것이 좋고, 80 ㎛ 이하인 것이 좋고, 70 ㎛ 이하인 것이 좋다.

(중간층)

중간층은, 표층과 기재의 사이에 형성되어 있는 것이 좋다. 중간층은, 표층 및 기재에 결합하고 있는 것이 좋다. 즉, 중간층이 표층과 기재를 결합하고 있는 것이 좋다. 중간층의 주성분은 Al 화합물인 것이 좋다. Al 화합물은, 중간층 중에, 50 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 60 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 70 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 80 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 90 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋고, 95 질량% 이상 포함되어 있는 것이 좋다. Al 화합물로서, 멀라이트(알루미늄실리케이트)를 들 수 있다. 중간층의 두께는, 50∼200 ㎛인 것이 좋다. 중간층의 두께는, 60 ㎛ 이상인 것이 좋고, 70 ㎛ 이상인 것이 좋고, 80 ㎛ 이상인 것이 좋고, 100 ㎛ 이상인 것이 좋다. 또한, 중간층의 두께는, 180 ㎛ 이하인 것이 좋고, 160 ㎛ 이하인 것이 좋다. 중간층의 두께는, 표층의 두께보다 두꺼운 것이 좋다.

코팅층이 표층과 중간층을 구비하는 경우, 상기 미량 성분(Fe, Si, Ca, Na, Mg, K 등)은 중간층에 포함되어 있는 것이 좋다. 또한, 중간층에 포함되는 미량 성분은, 기재측에 편재해 있는 것이 좋다. 즉, 미량 성분은, 중간층의 표층측(중간층의 두께 방향 중앙보다 표층측의 범위)과 비교하여, 중간층의 기재측(중간층의 두께 방향 중앙보다 기재측의 범위)에 많이 존재하는 것이 좋다. 미량 성분은, 기재, 중간층에 포함되는 Si 원료의 유리화를 촉진시켜, 기재와 중간층의 결합 면적을 증대시키는 것에 기여한다.

코팅층이 표층과 중간층을 구비하는 경우, 표층과 중간층의 사이에, Al과 Zr을 포함하는 화합물층이 형성되어 있는 것이 좋다. 즉, 표층과 중간층의 사이에, Zr 화합물을 주성분으로 하는 표층과, Al 화합물을 주성분으로 하는 중간층이 반응한 반응층이 형성되어 있는 것이 좋다. 반응층은, 표층과 중간층의 박리를 억제하는 것에 기여한다. 또, 기재의 표면에 중간층, 표층을 형성한 후에 소성을 행하여, 코팅층(표층 및 중간층)을 기재 표면에 고착시키는 것이 좋다. 혹은, 표면에 중간층을 형성한 후에 소성을 행하여 기재 표면에 중간층을 고착시킨 후, 중간층의 표면에 표층을 형성하여 다시 소성을 행해도 좋다.

(평가 방법)

기재와 코팅층의 결합 면적의 측정 위치 및 결합 면적의 산출 방법에 관해 설명한다. 도 4는, 소성용 세터의 일례로서, 사각형(정방형)의 소성용 세터(10)를 나타낸다. 기재와 코팅층의 결합 면적의 측정은, 코팅층의 상태가 표준적인 위치에 관해 행한다. 즉, 결합 면적의 측정은, 코팅층의 상태가 특이한 상태가 될 가능성이 있는 위치를 피하여 행한다. 구체적으로는, 소성용 세터(10)의 측면(12)으로부터 거리 D12의 위치에 측정 영역(14)을 설정하고, 소성용 세터(10)의 무게 중심(20)(도 4의 경우, 소성용 세터(10)의 중심과 동일)으로부터 가장 떨어진 위치에 있는 측정 영역(14)을 원방부(14a)로 설정하고, 무게 중심(20)과 원방부(14a)의 중점(中点)을 측정 위치(22)로 한다. 소성용 세터(10)의 경우, 측정 위치(22)가 4개소 존재한다. 또, 소성용 세터의 형상이, 사각형 이외의 다각형, 원형, 타원형 등의 외연이 곡면인 형상이라 하더라도, 동일한 방법으로 측정 위치를 결정한다. 또, 거리 D12는, 소성용 세터의 무게 중심으로부터 측면까지의 거리가 50 mm 이상인 경우는 20 mm로 한다. 또한, 무게 중심으로부터 측면까지의 거리가 50 mm 미만인 경우는, 거리 D12는 무게 중심으로부터 측면까지의 거리의 20%로 한다.

기재와 코팅층의 결합 면적은, 상기 측정 위치(도 4의 측정 위치(22)를 참조)에서 소성용 세터를 절단하고, 그 절단면을 관찰하여, 기재의 표면 길이에 대한 기재와 코팅층이 결합하고 있는 부분의 길이의 비율로부터 산출한다. 예컨대, 도 2에 나타낸 바와 같이, 소성용 세터의 SEM(Scanning Electron Microscope) 화상을 취득하여, 기재 표면의 길이를 측정하고, 기재와 중간층이 결합하고 있는 결합 부분의 길이를 측정하여, 하기 식(1)으로부터 결합 면적을 산출한다.

결합 면적=(결합 부분의 길이)/(기재 표면의 길이)×100ㆍㆍㆍ(1)

실시예

기재 표면에 여러가지 조건으로 코팅층을 형성하여 소성용 세터를 제작하고, 제작한 소성용 세터에 관해 반복 가열 시험을 실시하여, 코팅층의 상태(박리ㆍ팽창의 유무)에 관해 평가했다.

도 1에, 실시예에서 이용한 시료의 특징 및 반복 가열 시험의 결과를 나타낸다. 실시예에서 이용한 시료는, Si-SiC질의 기재 표면에 스프레이 코트법을 이용하여 코팅층을 형성하고, 도 1에 나타내는 온도에서 2시간 소성함으로써 제작했다. 또, 코팅재는, 평균 입경 100 ㎛의 원료를 포트밀을 이용하여 분쇄하여 10∼20 ㎛로 조정했다. 실시예 1∼5는, 기재와 코팅층의 결합 면적을 증대시키기 위해, 코팅재(코팅용 슬러리)에 소결 조제를 도 1에 나타내는 비율로 첨가했다. 소결 조제로서, Na, Ca, Mg, Fe, Si 등을 포함하는 시판하는 소결 조제를 이용했다. 또, 실시예 3과 4는 소성 온도만이 상이하다. 또한, 비교예로서, 코팅재에 소결 조제를 첨가하지 않고 코팅층을 형성하여, 도 1에 나타내는 온도에서 2시간 소성한 시료(비교예 1∼3)를 제작했다.

반복 가열 시험은, 각 시료를 승온 속도 100℃/시간으로 1350℃까지 가열하여, 1350℃에서 2시간 유지하고, 그 후 실온까지 자연 냉각시키는 공정을 1 사이클로 하여, 5 사이클 실시했다. 각 사이클 종료후, 소성용 세터의 외관을 관찰하여, 코팅층의 박리ㆍ팽창의 유무를 평가했다. 코팅층의 박리ㆍ팽창이 전혀 확인되지 않은 것을 「A」로 하고, 박리ㆍ팽창은 관찰되지 않았지만 박리ㆍ팽창의 조짐이 있는 것을 「B」로 하고, 박리ㆍ팽창이 확인된 것을 「C」로 하여 도 1에 나타낸다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 기재와 코팅층의 결합 면적이 20% 이상 80% 이하인 시료(실시예 1∼5)는, 반복 가열 시험을 5 사이클 실시하더라도 코팅층의 박리ㆍ팽창이 확인되지 않았다. 한편, 결합 면적이 20% 미만인 시료(비교예 1∼3)는, 모두 1 사이클 종료시에 코팅층의 박리ㆍ팽창이 확인되었다. 또, 본 실시예에서는 차이를 확인할 수 없었지만, 기재 상에서의 코팅층의 상태가 불균일할 가능성(도장 불균일의 발생 등)을 고려하면, 결합 면적은 40%(43%) 이상인 것이 바람직하다. 또한, 코팅층을 기재에 고착시킬 때의 베이킹 불균일(소성 불균일)이 생길 가능성을 고려하면, 결합 면적은 50%(52%) 이상인 것이 바람직하다. 또한, 코팅층 중의 불순물(결합 조제)을 억제한다는 관점에서, 결합 면적은 60% 이하인 것이 바람직하다.

또한, 실시예 1 및 비교예 3의 시료에 관해 측정 위치(22)(도 4 도 참조)의 단면의 SEM 화상을 취득하고, EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)를 이용하여 단면의 원소 분석을 행했다. 도 2는 실시예 1의 시료의 결과를 나타내고, 도 3은 비교예 3의 시료의 결과를 나타내고 있다. 또, 도 2 및 도 3에는, Na, Si, Ca, Y 및 Zr의 맵핑 데이터를 나타내고 있다.

SEM 화상에서 분명한 바와 같이, 실시예 1의 소성용 세터는, 비교예 3의 소성용 세터보다 기재와 코팅층(중간층)이 잘 결합하고 있다(결합 면적이 크다). 또한, 실시예 1의 중간층에 포함되는 원소에 착안하면, 소결 조제에 유래하는 Na, Si, Ca와 같은 미량 원소가, 중간층의 표층측과 비교하여, 중간층의 기재측에 많이 존재하고 있는 것이 확인되었다(도 2). 보다 구체적으로는, 미량 원소가, 중간층과 기재의 계면에 편재하고 있다. 한편, 도 3에 나타낸 바와 같이, 비교예 3의 소성용 세터는, 중간층과 기재의 계면에 미량 원소가 확인되지 않는다. 중간층과 기재의 계면에 미량 원소가 편재하고 있는 소성용 세터(실시예 1)는, 기재와 중간층의 결합 면적이 크고, 내구성이 높은 것이 확인되었다.

또한, 중간층과 기재의 계면의 미량 원소의 편재가 결합 면적에 영향을 미치는 것은, 도 1에 나타내는 결과로부터도 확인된다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 소결 조제의 첨가량이 증가함에 따라서, 기재와 중간층의 결합 면적이 증대되고 있다(실시예 1, 2, 4, 5 및 비교예 3). 또, 소성 온도를 상승시키는 것에 의해서도, 기재와 중간층의 결합 면적이 증대되는 것이 확인되었다(실시예 3과 4, 비교예 1∼3). 그러나, 도 1에 나타내는 결과로부터, 소성 온도의 변화가 결합 면적에 미치는 영향과 비교하여, 미량 원소(소결 조제)의 첨가량의 변화가 결합 면적에 미치는 영향이 큰 것이 확인된다.

또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 중간층의 표층측에 착안하면, 실시예 1의 소성용 세터에서는, 표층에 특유의 원소(Y, Zr)가 중간층의 표층측(중간층과 표층의 계면)에 존재하고 있는 것이 확인되었다(도 3도 비교 참조). 즉, 실시예 1의 소성용 세터는, 표층과 중간층의 사이에, 중간층에 유래하는 Al과 표층에 유래하는 Y 및 Zr을 포함하는 화합물이 형성되어 있는 것이 확인되었다. 환언하면, 실시예 1의 소성용 세터는, 표층과 중간층의 계면에, 양 층에 포함되는 원소를 포함하는 화합물이 형성되어 있는 것이 확인되었다. 이 결과는, 실시예 1의 소성용 세터는 표층과 중간층이 견고하게 결합되어, 중간층으로부터 표층이 박리되기 어려워진 것을 나타내고 있다. 즉, 실시예 1의 소성용 세터에서는, 피소성물과의 반응을 억제하는 표층이, 소성용 세터로부터 박리되는 것을 억제할 수 있는 것을 나타내고 있다.

이상, 본 발명의 구체예를 상세히 설명했지만, 이들은 예시에 불과하며, 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 특허청구범위에 기재된 기술에는, 이상에 예시한 구체예를 여러가지로 변형, 변경한 것이 포함된다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 설명한 기술 요소는, 단독으로 혹은 각종 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이며, 출원시 청구항 기재의 조합에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 예시한 기술은 복수 목적을 동시에 달성할 수 있는 것이며, 그 중의 하나의 목적을 달성하는 것 자체로 기술적 유용성을 갖는 것이다.

Claims

SiC와 Si를 주성분으로 하는 기재와,
기재의 표면을 피복하고, Zr 화합물과 Al 화합물을 주성분으로 하는 코팅층
을 구비하고 있고,
기재와 코팅층의 결합 면적이 기재 표면의 면적에 대하여 20% 이상 80% 이하이며,
코팅층은 Zr 화합물을 주성분으로 하는 표층과, 표층과 기재의 사이에 형성되어 있는 Al 화합물을 주성분으로 하는 중간층을 포함하는 것인 소성용 세터.
제1항에 있어서, 중간층은 미량 성분으로서 Fe, Si, Ca, Na, Mg, K 중 적어도 하나의 원소를 포함하고,
상기 미량 성분은 중간층의 표층측과 비교하여, 중간층의 기재측에 많이 존재하고 있는 것인 소성용 세터.
제1항 또는 제2항에 있어서, 표층과 중간층의 사이에, Al과 Zr을 포함하는 화합물층이 형성되어 있는 것인 소성용 세터.
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