JP5438345B2 - 焼成用治具 - Google Patents
焼成用治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5438345B2 JP5438345B2 JP2009069494A JP2009069494A JP5438345B2 JP 5438345 B2 JP5438345 B2 JP 5438345B2 JP 2009069494 A JP2009069494 A JP 2009069494A JP 2009069494 A JP2009069494 A JP 2009069494A JP 5438345 B2 JP5438345 B2 JP 5438345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface layer
- cordierite
- firing jig
- base material
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5076—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with masses bonded by inorganic cements
- C04B41/5089—Silica sols, alkyl, ammonium or alkali metal silicate cements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
- F27D3/12—Travelling or movable supports or containers for the charge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
基材原料としては、コーディエライト粉末(理想的な組成式:Mg2Al4Si5O18)を用いる。コーディエライト粉末は、例えば以下のようにして用意することが出来る。
なお、バインダーを用いた成形体の焼成においては、大気雰囲気で焼成、又は脱脂を行わずに不活性雰囲気や還元性雰囲気下で焼成を行う場合、脱脂の為に加湿雰囲気で焼成することが好ましい。
本発明にいう表層とは、基材の表面に形成された層をいう。
本発明にいう表面コート層とは、基材の表面または中間層の表面に形成された層であって、被焼成体である電子部品材料との接触面を構成するものをいう。表面コート層を形成すると、基材や表層に含まれる反応性物質と電子部品材料との接触が防止される。本発明の焼成用治具においては、表面コート層に被焼成体との反応性が低い材質である、ジルコニアを含むことが好ましい。
実施例1〜8および比較例1〜8では、本発明の焼成用治具を構成する基材について評価を行った。
実施例9〜11では、基材表面に形成された表層の接着状態について評価を行った。
実施例12〜21および比較例9〜16では、基材表面に表層を有する本発明の焼成用治具について評価を行った。
Claims (6)
- 基材表面に表層を有する焼成用治具であって、
平均粒径5μm以下の焼結粒子から構成される基材が、93質量%以上のコーディエライトを含有し、
平均粒径200μm以下の骨材粒子から構成される表層が、基材と表層の界面および表層を構成する骨材粒子同士の粒界にSiO2および酸化物換算で0.5〜10質量%のMg,Ca,Sr,Baの酸化物のうち一種類以上を含有し、
該表層は、前記基材表面に表層を形成後、シリカ原料がガラス質となる温度で焼き付けを行うことによって、Mg、Ca、Sr、Baの酸化物のうちいずれか1種類以上により結合力が強化されたSiO 2 由来のガラス質による骨材粒子結合構造を有することを特徴とする焼成用治具 - 曲げ強度が、室温下で100MPa以上であることを特徴とする請求項1記載の焼成用治具。
- 室温〜1200℃における熱膨張係数が2.0×10−6/K以下であることを特徴とする請求項1記載の焼成用治具。
- 表層がコランダム・ムライト・スピネルの何れかの粒子からなることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の焼成用治具。
- 表層の表面に更に、ジルコニア(ZrO2)の粒子からなる表面コート層を有することを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の焼成用治具。
- ジルコニアが、CaまたはYにて安定化または部分安定化されたものであることを特徴とする請求項5記載の焼成用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009069494A JP5438345B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | 焼成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009069494A JP5438345B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | 焼成用治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010223468A JP2010223468A (ja) | 2010-10-07 |
JP5438345B2 true JP5438345B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=43040844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009069494A Active JP5438345B2 (ja) | 2009-03-23 | 2009-03-23 | 焼成用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5438345B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112456990A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-03-09 | 河北汉唐鼎为科技有限公司 | 一种合成锂电池正极材料专用匣钵及其制备方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013177272A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Kyocera Corp | 載置用部材およびこれを用いた露光装置 |
JP7222296B2 (ja) * | 2019-04-11 | 2023-02-15 | Tdk株式会社 | 焼成用治具 |
CN111792950B (zh) * | 2020-07-11 | 2022-09-06 | 浙江锋锂新能源科技有限公司 | 一种石榴石固体电解质粉体烧结容器 |
-
2009
- 2009-03-23 JP JP2009069494A patent/JP5438345B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112456990A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-03-09 | 河北汉唐鼎为科技有限公司 | 一种合成锂电池正极材料专用匣钵及其制备方法 |
CN112456990B (zh) * | 2020-12-16 | 2021-09-21 | 唐山慧日科技有限公司 | 一种合成锂电池正极材料专用匣钵及其制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010223468A (ja) | 2010-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11897817B2 (en) | Ceramic sintered body and substrate for semiconductor device | |
US9142439B2 (en) | Laminated structure, member for semiconductor manufacturing apparatus, and method for producing laminated structure | |
CN1810713A (zh) | 电介质陶瓷组合物及电子部件 | |
JP2005314215A (ja) | 緻密質コーディエライト焼結体及びその製造方法 | |
JP5438345B2 (ja) | 焼成用治具 | |
JP2021134092A (ja) | 軽量窯道具及びその製造方法 | |
JPWO2016208766A1 (ja) | セラミック基板およびこれを用いた実装用基板ならびに電子装置 | |
JPWO2014103465A1 (ja) | アルミナ質基板及び半導体装置用基板 | |
JP5481137B2 (ja) | 窒化珪素・メリライト複合焼結体 | |
EP2017240A1 (en) | Jig for calcining electronic component | |
JP4601160B2 (ja) | 耐食性部材 | |
US20210246072A1 (en) | Ceramic sintered body and substrate for semiconductor devices | |
JP4763452B2 (ja) | 表面被覆セラミック焼結体 | |
KR20190023485A (ko) | 질화알루미늄 소결체 및 이의 제조방법 | |
CN113666724A (zh) | 应用于半导体装置的高强度氧化锆-氧化铝复合陶瓷基板及其制造方法 | |
JP2017024916A (ja) | 電子部品焼成用治具 | |
JP4054098B2 (ja) | 焼成治具 | |
WO2024053619A1 (ja) | セラミック基板、及びこれを備えた半導体装置用基板 | |
JP6041719B2 (ja) | ジルコニア質焼結体からなる熱処理用部材 | |
JP3644015B2 (ja) | 電子部品焼成用治具 | |
JP2000106261A (ja) | セラミック焼成用治具及びそれを用いたセラミック焼結体の製造方法 | |
TWI761821B (zh) | 應用於半導體裝置之高強度氧化鋯 一 氧化鋁複合陶瓷基板及其製造方法 | |
JP3819352B2 (ja) | 電子部品焼成用治具 | |
JP4277950B2 (ja) | 電子部品焼成用治具 | |
JP4255671B2 (ja) | 電子部品焼成用治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131021 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5438345 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |