KR102478909B1 - 밸브, 특히 진공밸브 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 36
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16B1/005—
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- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
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- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/89—Use of a hydraulic action
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- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0254—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor being operated by particular means
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- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
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Abstract
밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (2) 를 갖는 그리고 적어도 하나의 밸브 플런저 (4) 를 갖는 밸브 (1), 특히 진공밸브로서, 상기 밸브 플런저 (4) 안에 또는 상기 밸브 플런저에 적어도 하나의 제 1 연결섹션 (5) 이 배열되고, 상기 폐쇄 부재 (2) 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 적어도 하나의 제 2 연결섹션 (6) 이 배열되고, 상기 폐쇄 부재 (2) 는 상기 제 2 연결섹션 (6) 과 상기 제 1 연결섹션 (5) 과의 연결을 통해 상기 밸브 플런저 (4) 에 고정 가능하거나 또는 고정되고, 상기 제 1 연결섹션 (5) 및/또는 상기 제 2 연결섹션 (6) 은, 적어도 하나의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 에 의해 제한된, 유체를 위한 적어도 하나의 압력챔버 (8) 를 구비하고, 상기 제한벽 (7) 은 상기 제 2 연결섹션 (6) 과 상기 제 1 연결섹션 (5) 과의 클램핑식 연결을 형성하기 위해 상기 압력챔버 (8) 안에 배열된 상기 유체를 이용해 탄성적으로 변형 가능하다.
Description
본 발명은 밸브 개구부 (valve opening) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (closing member) 를 갖는 그리고 적어도 하나의 밸브 플런저 (valve plunger) 를 갖는 밸브, 특히 진공밸브에 관한 것이며, 상기 밸브 플런저 안에 또는 상기 밸브 플런저에 적어도 하나의 제 1 연결섹션 (connecting section) 이 배열되고, 상기 폐쇄 부재 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 적어도 하나의 제 2 연결섹션이 배열되고, 상기 폐쇄 부재는 상기 제 2 연결섹션과 상기 제 1 연결섹션과의 연결을 통해 상기 밸브 플런저에 고정 가능하거나 또는 고정된다.
폐쇄 부재가 밸브 플런저에 두 연결섹션의 연결을 통해 고정될 수 있는 여러 가지 가능성이 선행기술에 알려져 있다. DE 10 2012 007 533 A1 은 예컨대, 폐쇄 부재가 클램핑 스크루 (clamping screw) 와 경사면의 상호작용을 통하여 밸브 플런저에 또는 그것의 연결섹션에 고정되는 변형을 나타낸다. EP 2 146 122 A1 은 폐쇄 부재를 밸브 플런저에 고정시키기 위해 별도의 클램핑 피스가 사용되는 변형을 공개한다. US 7,134,642 B2 는 폐쇄 부재가 밸브 플런저에 스크루를 이용해 고정되는 해결책을 나타낸다.
밸브들에 있어서, 특히 그것들이 진공 기술에서 이용되면, 밸브 자체 안의 마모에 의한 입자들 (particles) 이 가능한 한 적게 생성되는 것이 중요한 점인데, 왜냐하면 이 입자들은 밸브들이 여는 그리고 닫는 공정챔버들 안에서 실행되는 공정들을 방해할 수 있기 때문이다. 게다가, 밸브들의 폐쇄 부재들이 때때로 서비스를 받아야 하거나 또는 교체되어야 한다는 것에 주의해야 한다. 이를 위해 폐쇄 부재는 대개의 경우 밸브 플런저로부터 해제 되어야 한다. 이에 대한 나사결합의 이용은, 특히 스크루들의 헤드들의 마찰에 의해, 상기 헤드들이 밀착해 있는 베어링면들에서 입자들이 발생될 수 있다는 또는 방출될 수 있다는 문제를 갖는다. 부품들이 연결의 개방 및 폐쇄시 서로 마찰하는 경사면들도, DE 10 2012 007 533 A1 에 나타난 바와 같이, 문제가 많다. 여기에서도 마모에 의해 입자들이 발생될 수 있다.
본 발명의 목적은 두 연결섹션이 서로 연결될 수 있는 그리고 이로써 폐쇄 부재가 밸브 플런저에 고정될 수 있는, 상기에서 언급된 종류의 밸브를 위한 대안적인 가능성을 제안하는 것이다.
이 목적을 달성하기 위해 본 발명은 상기에서 언급된 종류의 밸브에 있어서, 제 1 연결섹션 및/또는 제 2 연결섹션이, 적어도 하나의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽에 의해 제한된, 유체를 위한 적어도 하나의 압력챔버 (pressure chamber) 를 구비하고, 상기 제한벽은 상기 제 2 연결섹션과 상기 제 1 연결섹션과의 클램핑식 연결을 형성하기 위해 상기 압력챔버 안에 배열된 상기 유체를 이용해 탄성적으로 변형 가능한 것을 제안한다.
그러므로, 본 발명의 기본 사상은 상기 두 연결섹션 중 적어도 하나 안에, 적어도 하나의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽을 갖는 압력챔버가 존재하는 것을 제공하고, 이때 상기 제한벽은 상기 압력챔버 안의 유체를 이용해 상응하는 압력형성을 통해 탄성적으로 변형되고, 이로써, 이를 통해 상기 제 2 연결섹션과 상기 제 1 연결섹션과의 클램핑식 연결이 수행되도록 편향될 수 있고, 이로써 그 후 폐쇄 부재가 밸브 플런저에 고정된다. 적어도 하나의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽을 갖는 상기 압력챔버는 이때 상기 제 1 연결섹션의 부분이고, 이로써 상기 밸브 플런저 안에 또는 상기 밸브 플런저에 배열될 수 있고, 하지만 상기 제 2 연결섹션의 부분일 수도 있고, 이로써 상기 폐쇄 부재 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 배열될 수 있다. 상기 제 1 연결섹션뿐만 아니라 상기 제 2 연결섹션도 각각 적어도 하나의 상응하여 변형 가능한 제한벽을 갖는 적어도 하나의 압력챔버를 구비하는 변형들도 생각할 수 있다. 그러므로 상기 탄성적으로 변형 가능한 제한벽은 상기 제 1 연결섹션의 부분일 수 있고, 하지만 상기 제 2 연결섹션의 부분일 수도 있다. 상기 제한벽은, 어디에 그것이 배열되건, 어쨌든 상기 압력챔버 안의 유체 안의 상응하는 압력형성을 통해, 상기 제 2 연결섹션과 상기 제 1 연결섹션의 클램핑식 연결이 발생하도록 탄성적으로 변형될 수 있다. 유리하게는, 이 클램핑식 연결은 해제될 수 있는 연결이다. 가장 간단한 형태에서 상기 연결은, 상기 압력챔버 안의 유체 안의 압력이 내려가지고, 따라서 상기 제한벽의 탄성적 복원력이 상기 제한벽을 상기 클램핑식 연결이 해제되는 위치로 데려가고, 따라서 상기 제 2 연결섹션이 상기 제 1 연결섹션으로부터 떼어내지고, 이로써 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 플런저로부터 떼어내질 수 있음으로써 해제된다.
본 발명은 상기 밸브 플런저의 그리고 상기 폐쇄 부재의 상기 연결섹션들이 상기 압력챔버가 상응하여 높은 압력하에 있지 않은 그리고 상기 변형 가능한 제한벽이 상기 제한벽의 출발위치에 있는 상태에서 서로 밀음으로써 또는 어떤 식으로든 서로 상대적 위치로 데려가질 수 있고, 후속하여 상기 본래의 클램핑식 연결이 단지 상기 압력챔버 안의 유체 압력상승을 이용해 발생된 상기 제한벽의 상응하는 탄성적 변형을 통해 달성된다는 장점을 갖는다. 이를 통해, 2개의 부품 서로간의, 특히 상기 연결섹션들 서로간의 마찰이 적어도 가능한 한 방지될 수 있고, 따라서 마모에 의한 입자들도 발생되지 않거나 또는 매우 미미한 정도로만 발생된다.
원칙적으로, 본 발명에 따른 밸브들은 단지 하나의 폐쇄 부재와, 또한 단지 하나의 밸브 플런저와, 단지 하나의 제 1 연결섹션과, 단지 하나의 제 2 연결섹션을 구비할 수 있다. 하지만, 2개 또는 그보다 많은 폐쇄 부재들 및/또는 2개 또는 그보다 많은 밸브 플런저들이 존재하는 본 발명의 다른 실시변형들도 가능하다. 상기 폐쇄 부재들과 상기 밸브 플런저들의 개수에 의존하지 않고 1개보다 많은 제 1 연결섹션 또는 1개보다 많은 제 2 연결섹션도 존재할 수 있다. 상기 압력챔버와 상기 제한벽에도 마찬가지로 적용된다. 상기 밸브 플런저는 예컨대 다수의 제 1 연결섹션을 구비할 수 있고, 마찬가지로 상기 폐쇄 부재 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 다수의 제 2 연결섹션이 존재할 수 있다.
상기 밸브 플런저의 개념은 상기 폐쇄 부재를 떠받치는 상기 밸브의 이 부품의 일반적으로 통례적인 표시 방식을 따른다. 상기 밸브 플런저는 자주 막대 모양으로 형성된다. 다른 말로 하자면 상기 밸브 플런저는 바람직하게는 막대 모양이고, 즉 또다시 다른 말로 하자면 바람직하게는 막대로서 형성된다. 하지만 상기 밸브 플런저는 원칙적으로 매우 다양하게 모양이 만들어질 수 있다. 즉, 상기 밸브 플런저의 개념은 때때로 그것의 형태 또는 외부윤곽에 관해 아직 아무 것도 거론되지 않는다. 즉, 일반적으로 폐쇄 부재 지지 요소라고도 부를 수 있다. 상기 밸브 플런저는 어쨌든 상기 폐쇄 부재와 상기 밸브의 적어도 하나의 밸브 드라이브 사이의 연결부이다. 상기 폐쇄 부재를 상기 폐쇄 부재의 폐쇄위치로 또는 상기 폐쇄 부재의 개방위치로 데려가기 위해 밸브 플런저와 폐쇄 부재는 자주 함께 밸브 드라이브에 의해 움직여진다. 이때, 얼마나 많은 운동방향들에서 상기 폐쇄 부재가 상기 폐쇄위치와 상기 최대로 개방된 위치 사이에서 움직여지는가에 따라 상기 밸브가 서로 다른 개수의 밸브 드라이브들도 구비할 수 있다는 것에 주의하도록 한다. 본 발명에 따른 밸브는 예컨대 이른바 L 밸브로서 설계될 수 있고, 상기 L 밸브에 있어서 상기 폐쇄 부재는 서로 각이 진 2개의 운동경로를 따라 움직여진다. 그러면 이 경우들에는 2개의 밸브 드라이브가 존재할 수 있다. 하지만 선행기술에 L 밸브들을 위한 해결책들이 마찬가지로 잘 알려져 있고, 상기 해결책들에서는 단지 하나의 밸브 드라이브가 상응하는 메커니즘과 커플링되어 폐쇄 부재를 두 운동경로를 따라 움직인다. 상기 밸브 드라이브들은 공압식, 유압식, 전기식 또는 그 밖의, 선행기술에 알려져 있는 밸브 드라이브들일 수 있다. 그야말로 상기 밸브 플런저와 상기 폐쇄 부재와의 연결의 문제에 관한 본 발명은 선행기술에 그 자체가 알려져 있는 여러 가지 밸브 타입들에서 이용될 수 있다. 즉, 강제적으로 L 밸브일 필요는 없다.
상기 폐쇄 부재는 어쨌든 상기 적어도 하나의 밸브 개구부를 (여기서도 다수가 존재할 수 있다) 폐쇄 및 해제할 수 있는 상기 밸브의 부분이다. 상기 폐쇄 부재는 상응하여 평평하게 설계된 밸브 개구부들에 있어서 이른바 밸브 디스크일 수 있다. 하지만, 단지 그 밖의 예들을 언급하자면, 상기 폐쇄 부재는 밸브 니들 (valve needle) 또는 그와 같은 것으로서 마찬가지로 잘 설계될 수 있거나 또는 그러한 것을 구비할 수 있다.
상기 밸브는 유리하게는 밸브 하우징을 갖는다. 이 밸브 하우징 안에 바람직하게는, 상기 폐쇄 부재를 이용해 개방되어야 하는, 하지만 폐쇄되기도 해야 하는 상기 적어도 하나의 밸브 개구부가 위치한다. 그러므로 특히 이 경우 상기 밸브 개구부는 상기 밸브의 부분이다. 하지만 그럴 필요는 없다. 상기 밸브 개구부는 다른 부품들에도 배열될 수 있고, 예컨대 바로 공정챔버에 배열될 수 있다. 상기 밸브 개구부 둘레로 일반적으로 적어도 하나의 밸브 시트 (valve seat) 가 연장되고, 상기 폐쇄 부재는 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 시트에 눌려진다. 밸브 시트와 폐쇄 부재 사이에 상기 폐쇄위치에 있어서 일반적으로 적어도 하나의 시일 (seal) 이 위치한다. 상기 시일은 상기 폐쇄 부재에 배열될 수 있을 뿐만 아니라 상기 밸브 시트에도 배열될 수 있다. 상기 폐쇄 부재뿐만 아니라 상기 밸브 시트에도 적어도 하나의 상응하는 시일이 존재하는 변형들도 생각할 수 있다.
상기 제 2 연결섹션은 직접적으로 상기 폐쇄 부재의 부분일 수 있고, 이로써 상기 폐쇄 부재 안에 배열될 수 있다. 하지만 상기 제 2 연결섹션이 상기 폐쇄 부재에 배열되는, 본 발명에 따른 변형들도 생각할 수 있다. 이는 예컨대 상기 폐쇄 부재가 폐쇄 부재 캐리어에 고정되고, 상기 폐쇄 부재 캐리어가 상기 제 2 연결섹션을 구비하고, 상기 제 2 연결섹션을 이용해 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 플런저에 또는 그것의 제 1 연결섹션에 고정되면 그러할 수 있다. 상기 밸브 플런저와 상기 제 1 연결섹션에도 마찬가지로 적용된다. 여기에서도, 상기 제 1 연결섹션은 바로 연결 플런저 안에 배열될 수 있거나, 또는 상기 밸브 플런저에 고정된 또는 정착된 추가 부품에 배열될 수도 있다.
본 발명에 따른 밸브들은 진공 또는 저압 기술에서 이용되는 또는 그것을 위해 제공되는 이른바 진공밸브들일 수 있다. 진공 기술에서 이러한 밸브들은 공정챔버들을 열기 위해 그리고 닫기 위해 자주 이용된다. 상기 공정챔버들 안에는, 그 자체가 알려져 있는 바와 같이, 공정을 위해 필요해진 특별한 가스 조성물들과 압력비가 만연할 수 있다. 일반적으로, 0.001 mbar (밀리바) 또는 0.1 파스칼보다 작은 또는 같은 압력들을 갖는 작동상태들에 도달하면 진공 기술이라 부른다. 진공밸브들은 이 압력범위들 및/또는, 주변에 대한 상응하는 압력차이를 위해 설계된 밸브들이다. 하지만, 정상압력 아래의, 즉 1 bar 아래의 압력들을 위해 설계되는 때에도 일반적으로 진공밸브들이라 부를 수 있다.
본 발명에 따른 밸브들의 바람직한 변형들에서, 상기 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 및/또는 상기 제 1 연결섹션 및/또는 상기 제 2 연결섹션이 적어도 하나의 금속 또는 적어도 하나의 금속합금으로 구성되는 것이 제공된다. 바람직한 금속들 또는 금속합금들은 강, 특히 특수강이고, 하지만 알루미늄 또는 알루미늄합금이기도 하다. 하지만 물론 원칙적으로 다른 재료들, 특히 세라믹 또는 초경합금 또는 소결된 금속들도 사용될 수 있다. 상기 언급된 부품들은 부분적으로만 금속, 금속합금들, 세라믹 또는 초경합금으로 구성될 수 있거나 또는 아주 다른 적합한 재료들을 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 클램핑식 연결이 상기 제한벽의 상응하는 탄성적 변형을 통해 이루어지기 전에 상기 연결섹션들 중 하나는 상기 연결섹션들 중 다른 것 안으로 밀어넣어진다. 바람직한 변형들은 이를 위해 상기 연결섹션들 중 하나는 수용 중공공간을 구비하고, 상기 연결섹션들 중 다른 것은 상기 연결섹션들의 상기 클램핑식으로 연결된 상태에서 상기 수용 중공공간 안에 배열되어 있는 것을 제공한다. 바람직하게는, 상기 폐쇄 부재가 또는 상기 폐쇄 부재에 고정된 폐쇄 부재 캐리어가 수용 중공공간을 구비하고, 상기 수용 중공공간이 상기 제 2 연결섹션에 의해 둘러싸이는 것이 제공된다. 상기 폐쇄 부재 캐리어는 이때 강성적으로 그리고 고정적으로 상기 폐쇄 부재에 고정될 수 있다. 하지만, 상기 밸브 플런저가 또는 상기 밸브 플런저에 고정된 추가 부품이 수용 중공공간을 구비하고, 상기 수용 중공공간이 상기 제 1 연결섹션에 의해 둘러싸이는 것도 제공될 수 있다. 상기 압력챔버 안의 상응하는 압력형성을 통해 탄성적으로 변형 가능한 상기 제한벽은 상기 연결섹션들 중 하나의 부분이고, 바람직한 변형들에서 상기 연결섹션들 중 하나에서, 상기 제한벽이 이 연결섹션의 외벽의 적어도 한 부분을 형성하도록 정렬되고, 상기 연결섹션은 상기 클램핑식으로 연결된 상태를 만들기 위해 다른 연결섹션을 가리킨다. 이는 특히 수용 중공공간을 갖는 변형들에 적용되고, 하지만 다른 변형들에서도 바람직하게는 그렇게 실현될 수 있다.
입자 방지를 위한 추가적인 조치로서는, 상기 연결섹션들 중 적어도 하나가 시일을 구비하고, 상기 시일을 이용해 상기 수용 중공공간이, 상기 연결섹션들이 상기 클램핑식으로 연결된 상태에 있으면 밖으로 밀봉되는 것이 제공될 수 있다.
상기 압력챔버를 유체로 채우기 위해 그리고 경우에 따라서는 또한 상응하여 압력하에 놓을 수 있기 위해, 본 발명에 따른 밸브들의 바람직한 변형들은 상기 밸브가 상기 압력챔버 안에 상기 유체를 감금하기 위한 차단 요소를 구비하는 것을 제공한다. 유리하게는 이때 해제될 수 있는, 즉 손에 의해 또는 공구를 이용해, 파괴 없이 해제할 수 있는 차단 요소에 관한 것이고, 상기 차단 요소는 상기 유체를 상기 압력챔버 안에 감금하기 위해, 하지만 상기 압력챔버 밖으로 다시 방출할 수 있기 위해서도 사용된다. 특히 바람직하게는, 상기 차단 요소는 상기 압력챔버 안의 유체의 압력을 설정하기 위한 조절 요소로서 형성된다. 상기 차단 요소는 예컨대 스크루 (screw) 일 수 있거나 또는 그러한 것을 구비할 수 있다. 스크루의 경우 바람직하게는 튀어나와 있는 헤드가 없는 스크루이고, 즉 이른바 웜스크루 (wormscrew) 이다. 특히 바람직하게는, 상기 차단 요소가 탄성적인 압력 리미터 요소 (pressure limiter element) 를 구비하는 것이 제공된다. 상기 압력 리미터 요소로 원칙적으로 여러 가지 압력변동이 보상될 수 있고 그리고/또는 정압이 보상 또는 보정될 수 있다. 이는 상기 압력 리미터 요소가 그것의 탄성적 영역에 위치하는 동안은 가능하다. 예컨대, 상기 압력 리미터 요소는, 상기 차단 요소를 이용해, 오조작시에도 가능한 한 너무 큰 압력이 상기 압력챔버 안에 설정될 수 없는 것을 보장할 수 있다. 하지만 상기 압력 리미터 요소로, 온도에 의한 또는 어떤 다른 방식에 의한 압력변동들도 보상될 수 있다. 상기 압력 리미터 요소는 예컨대 판 스프링, 코일 스프링 또는 그와 같은 것과 같은 스프링 요소들일 수 있고, 하지만 그 밖의 탄성적 몸체일 수도 있다. 상기 차단 요소는 바로 상기 폐쇄 부재 안에 배열될 수 있다. 하지만 다른 변형들은 상기 차단 요소가 상기 폐쇄 부재를 상기 밸브 플런저와 연결하는, 미리 이미 언급된 폐쇄 부재 캐리어 안에 배열되는 것도 제공할 수 있다. 하지만, 상기 차단 요소는 물론 상기 밸브 플런저 안에도 마찬가지로 잘 배열될 수 있다. 상기 차단 요소는 상기 압력챔버도 위치해 있는 부품 안에 위치할 수 있다. 하지만, 가능한 한 포괄적인 입자방지의 의미에서, 상기 차단 요소가 바로 상기 밸브 플런저 안에 배열되는 것이 아니라, 또한 바로 상기 폐쇄 부재 안에 배열되는 것이 아니라, 그것들에 대해 간격을 둔 장소에 배열되는 것도 제공될 수 있다. 특히 이러한 구현형태들에서, 유리하게는 상기 차단 요소가 상기 밸브 플런저 밖으로 또는 상기 폐쇄 부재 밖으로 안내된 유체 라인 (fluid line) 안에 배열되는 것이 제공된다.
본 발명에 따른 밸브의 상기 밸브 플런저에 상기 폐쇄 부재를 고정시키기 위한 방법은 바람직하게는, 상기 압력챔버 안의 유체의 압력의 상승을 통해 상기 제한벽이 탄성적으로 변형됨으로써 상기 제 1 연결섹션과 상기 제 2 연결섹션이 클램핑식으로 서로 연결되는 것을 제공한다. 본 발명에 따른 밸브의 상기 밸브 플런저에서의 상기 폐쇄 부재의 고정을 해제하기 위한 방법은 바람직하게는, 상기 제 2 연결섹션과 상기 제 1 연결섹션과의 클램핑식 연결이 상기 압력챔버 안의 유체의 압력이 감소됨으로써 해제하는 것을 제공한다. 명백히 하기 위해, 이때 상기 폐쇄 부재뿐만 아니라 상기 밸브 플런저도 본 발명에 따른 밸브의 부분들인 것에 주의하도록 한다. 완벽을 기하기 위해, 상기 밸브 플런저에 상기 폐쇄 부재를 고정시키기 위한 방법에 있어서 상기 제 1 연결섹션과 상기 제 2 연결섹션이 물론 미리, 그것들이 상응하여 클램핑식으로 서로 연결될 정도의 위치로 서로 상대적으로 데려가지는 것에도 주의하도록 한다. 상기 밸브 플런저에서의 상기 폐쇄 부재의 고정을 해제하기 위한 방법에 있어서, 상기 연결섹션들 그리고 이로써 상기 폐쇄 부재와 상기 밸브 플런저는 상기 클램핑식 연결의 상응하는 해제 후 서로 분리될 수 있고 그리고/또는 제거될 수 있다.
하기에서 기술되는 첨부된 도면들은 본 발명의 선택된 실시변형들을 예시적으로 나타내고, 이때 밸브들은 본 발명에 있어 본질적이지 않은 영역들에서는 매우 도식화되어 설명되고, 상기 영역들에서 상기 밸브들은 선행기술로부터 알려져 있는 여러 가지 가능성에 따라 설계될 수 있다. 이는 특히 얼마나 많은 밸브 드라이브들이 존재하는지, 그것들이 어떻게 형성되는지 그리고 그것들이 어디에 배열되는지에 관한 질문에 적용된다.
도 1 은 하기에서 기술되는 모든 실시예들을 위해 가능한, 밸브 또는 진공밸브의 외부 도면을 나타내고,
도 2 내지 도 6 은 밸브의 본 발명에 따른 제 1 실시예에 대한 도면을 나타내고,
도 7 및 도 8 은 본 발명에 따른 밸브의 본 발명에 따른 제 2 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 9, 도 10 및 도 11 은 본 발명의 제 3, 제 4 및 제 5 실시예에 대한 상응하는 도면들을 나타내고,
도 12 내지 도 14 는 본 발명의 제 6 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 15 및 도 16 은 본 발명의 제 7 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 17 및 도 18 은 본 발명의 제 8 실시예에 대한 도면들을 나타낸다.
도 2 내지 도 6 은 밸브의 본 발명에 따른 제 1 실시예에 대한 도면을 나타내고,
도 7 및 도 8 은 본 발명에 따른 밸브의 본 발명에 따른 제 2 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 9, 도 10 및 도 11 은 본 발명의 제 3, 제 4 및 제 5 실시예에 대한 상응하는 도면들을 나타내고,
도 12 내지 도 14 는 본 발명의 제 6 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 15 및 도 16 은 본 발명의 제 7 실시예에 대한 도면들을 나타내고,
도 17 및 도 18 은 본 발명의 제 8 실시예에 대한 도면들을 나타낸다.
도 1 은 특히 진공밸브로서 형성될 수 있는 밸브 (1) 의 투시 외부 도면을 나타낸다. 본 발명에 따른 밸브들 (1) 은 이러한 외부 형태들을 가질 수 있고, 하지만 다른 외부 형태들도 가질 수 있다. 도 1 에 도시된 밸브 (1) 의 변형은 어쨌든 밸브 하우징 (15) 을 구비하고, 상기 밸브 하우징 안에 2개의 밸브 개구부 (3) 가 배열되고, 이때 하기에서 나타내지는 실시예들에서 두 밸브 개구부들 (3) 중 하나가 폐쇄 부재 (2) 를 이용해 폐쇄될 수 있다. 폐쇄 부재 (2) 를 폐쇄위치와 최대 개방위치 사이에서 움직이기 위해 필요한 밸브 드라이브 또는 밸브 드라이브들 (16) 은 여기에 도시된 변형들에서 상세히 도시되지 않는다. 이것은 본 발명의 대상도 아니고, 선행기술에서 그 자체가 알려져 있는 여러 가지 방식으로 설계될 수 있다. 도 1 은 폐쇄 부재 (2) 가 밸브 개구부 (3) 를 해제하는 개방된 상태에서 밸브 개구부 (3) 를 나타낸다. 밸브 플런저 (4) 는 여기에 도시된 변형들에서 이 위치에서 약간 상기 단지 매우 도식화되어 도시된 밸브 드라이브 (16) 밖으로 나와 있다.
여기에 도시된 본 발명에 따른 밸브들 (1) 의 모든 실시변형들에서는 이른바 L 밸브들에 관한 것이며, 상기 L 밸브들에 있어서 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 플런저 (4) 와 함께 각각의 밸브 드라이브 (16) 에 의해 최대 개방위치로부터 시작하여 제 1 운동경로를 따라 중간위치로 데려가진다. 이 중간위치에 있어서 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 개구부 (3) 를 아직 밀봉하지는 않지만, 이미 밸브 개구부 (3) 와 일치하여 배열된다. 상기 제 1 운동경로에 대해 각이 진 제 2 운동경로를 따른 상기 폐쇄 부재의 운동을 통해 비로소 폐쇄 부재 (2) 는 상기 중간위치로부터 폐쇄위치로 데려가지고, 상기 폐쇄위치에 있어서 폐쇄 부재 (2) 는, 일반적으로 시일 (18) 의 중간 삽입하에, 밸브 개구부 (3) 를 둘러싸는 밸브 시트에 밀어붙여져 있고, 이렇게 밸브 개구부 (3) 를 밀봉한다. 이러한 것들은 선행기술에 그 자체가 알려져 있고, 상세히 설명될 필요가 없다. 하지만 무엇보다도 본 발명에 따른 밸브들 (1) 이 물론 강제적으로 L 밸브로서 설계될 필요는 없다는 것에 주의하도록 한다. 폐쇄 부재 (2) 와 밸브 플런저 (4) 의 본 발명에 따른 연결들은 그 자체가 알려져 있는 다른 밸브 종류들에서도 이용될 수 있다.
도 2 내지 도 6 에는 이제 본 발명에 따른 밸브 (1) 의 제 1 실시예가 도시된다. 본 발명에 있어 본질적인 부분들의, 즉 특히 폐쇄 부재 (2) 와 밸브 플런저 (4) 사이의 연결부의, 영역에서 밸브 (1) 를 통한 세로방향 단면들이 각각 도시된다. 밸브 드라이브 (16) 는, 이미 상술한 바와 같이, 상세히 도시되지 않는다. 밸브 드라이브 (16) 가 또는 밸브 드라이브들 (16) 중 적어도 하나가 일반적으로 배열되어 있는 부위만 표시된다. 여기서, 선행기술에 의지할 수 있다.
도 2 는 본 발명에 따른 밸브 (1) 의 이 실시예의 폐쇄 부재 (2) 를 최대 개방위치에서 나타내고, 상기 최대 개방위치에 있어서 밸브 개구부 (3) 는 완전히 해제된다. 도 3 은 중간위치를 나타내고, 상기 중간위치에 있어서 폐쇄 부재 (2) 는 이미 밸브 개구부 (3) 와 일치해 있고, 하지만 상기 밸브 개구부를 아직 폐쇄하지 않는다. 도 4 는 폐쇄위치를 나타내고, 상기 폐쇄위치에 있어서 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 개구부 (3) 를 밀봉한다. 이를 위해 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 드라이브 (16) 에 의해 상기 폐쇄 부재의 시일 (18) 과 함께, 밸브 개구부 (3) 를 둘러싸는 밸브 시트 (17) 에 눌려진다. 도시된 실시예에서 밸브 개구부 (3) 와 밸브 시트 (17) 는 밸브 하우징 (15) 안에 배열되고, 상기 밸브 하우징은 밸브 (1) 의 부분이다. 하지만, 도입부에서 이미 설명한 바와 같이, 무조건 그럴 필요는 없다.
도 5 에는 제 1 실시예의 밸브 (1) 가 밸브 하우징 (15) 없이 도시된다. 하지만 무엇보다도 폐쇄 부재 (2) 가 도 5 에서는 밸브 플런저 (4) 로부터 떼어내져 있다. 그러므로 도 5 에 따른 이 위치에서 밸브 플런저 (4) 의 제 1 연결섹션 (5) 은 폐쇄 부재 (2) 의 제 2 연결섹션 (6) 과 더 이상 연결되어 있지 않다. 밸브 플런저 (4) 로부터 해제된 이 위치에서 폐쇄 부재 (2) 는 정비될 수 있고, 즉 서비스를 받을 수 있거나 또는 교체될 수 있다.
도 5 에서는, 이 실시예에서 그리고 다른 실시예들에서 밸브 디스크로서 설계되는 폐쇄 부재 (2) 가 수용 중공공간 (9) 를 구비하고, 상기 수용 중공공간은 도시된 실시예에서 폐쇄 부재 (2) 의 제 2 연결섹션 (6) 에 의해 둘러싸이는 것을 특히 잘 볼 수 있다. 밸브 플런저 (4) 와 폐쇄 부재 (2) 를 연결하기 위해, 밸브 플런저 (4) 의 제 1 연결섹션 (5) 은 이 수용 중공공간 (9) 안으로 밀어넣어진다. 그 후, 제 2 연결섹션 (6) 과 제 1 연결섹션 (5) 과의 클램핑식 연결 그리고 이로써 밸브 플런저 (4) 에서의 폐쇄 부재 (2) 의 클램핑식 고정은 압력챔버 (8) 안의 유체 안의 높아진 압력을 상응하여 가함으로써 수행되고, 이를 통해, 압력챔버 (8) 를 제한하는 제한벽 (7) 은 클램핑식 연결이 생기도록 다른 연결섹션에 눌려진다.
도 6 은 도 4 로부터의 확대된 영역 (A) 을 나타낸다.
도 5 및 도 6 에서 특히 잘 알아볼 수 있는 바와 같이, 압력챔버 (8) 는 그리고 상기 압력챔버의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 도 이 제 1 실시예에서 제 1 연결섹션 (5) 의 그리고 이로써 밸브 플런저 (4) 의 부분이다. 이 제 1 실시예에서, 하기에서 설명되는 대부분의 다른 실시예들에서와 같이, 압력챔버 (8) 는 파이프 외피 모양으로 형성된 중공공간으로서 형성되고, 상기 중공공간은 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 에 의해 바깥쪽으로 제한된다. 즉, 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 은 이 바람직한 실시형태에서 그리고 다른 바람직한 실시형태들에서 적어도 연결섹션들 (5, 6) 중 하나의 부분으로서 설계되고, 상기 연결섹션은 연결위치에서 연결섹션들 (5, 6) 중 다른 것과 마주 보고 배열된다. 유체를 압력챔버 (8) 안에 감금하기 위해, 하지만 압력하에 놓을 수 있기 위해서도 이 제 1 실시예에서 차단 요소 (10) 가 실현되고, 상기 차단 요소는 도 6 에 확대되어 도시되고, 압력챔버 (8) 와 연결된 내부 라인섹션 (line section, 23) 안에 배열된다. 즉, 이 제 1 실시예의 차단 요소 (10) 는 조절 요소로서 형성되고, 웜스크루 (11) 를 구비하고, 상기 웜스크루는 여기에 상세히 도시되지 않은 내부 라인섹션 (23) 안의 쓰레드 (thread) 안으로 나사결합될 수 있다. 차단 요소 (10) 의 이동 거리는, 여기에서도 실현된 바와 같이, 스톱 (stop, 24) 에 의해 제한될 수 있다. 스톱 (24) 은, 여기 이 실시예에서와 같이, 최대로 설정 가능한 압력의 제한도 보장할 수 있다. 차단 요소 (10) 의 이 제 1 실시예의 웜스크루 (11) 에 피스톤 (111) 이 받쳐지거나 또는 몰딩되고, 상기 피스톤은 내부 라인섹션 (23) 의 세로방향으로 변위 가능하게 설치된다. 피스톤 (21) 은 피스톤 시일 (22) 을 통하여 내부 라인섹션 (23) 에 대해 밀봉된다. 웜스크루 (11) 와 피스톤 (21) 은 일체로 한 부품으로서 설계될 수 있고, 하지만 분리된 부품들로서도 설계될 수 있다.
제 1 실시예에서 차단 요소 (10) 와 내부 라인섹션 (23) 은 밸브 플런저 (4) 안에 또는 제 1 연결섹션 (5) 안에 배열된다. 폐쇄 부재 (2) 안의 리치 쓰루 개구부 (reach-through opening, 20) 를 통하여 여기에 도시되지 않은 공구, 예컨대 앨런 키, 드라이버 또는 그와 같은 것은 웜스크루를 조작하기 위해 차단 요소 (10) 의 상기 웜스크루 (11) 와 맞물릴 수 있다. 한 방향으로의 상응하는 나사 돌림을 통해, 내부 라인섹션 (23) 안의 그리고 압력챔버 (8) 안의 유체의 압력이 높아질 수 있고, 따라서 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 은 두 연결섹션 (5, 6) 사이의 클램핑식 연결을 이루기 위해 밖으로 편향된다. 상기 클램핑식 연결을 해제하기 위해서는 웜스크루 (11) 가 반대 방향으로 회전되고, 이로써 내부 라인섹션 (23) 안의 그리고 압력챔버 (8) 안의 유체 안의 압력은, 제한벽 (7) 이 탄성적으로 다시 상기 제한벽의 출발위치로 돌아갈 정도로 그리고 제 1 연결섹션 (5) 과 제 2 연결섹션 (6) 사이의 상기 클램핑식 연결이 해제될 정도로 내려가질 수 있다. 후속하여, 도 5 에 도시된 바와 같이, 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 플런저 (4) 로부터 떼어내질 수 있다.
유체들로서는 원칙적으로 상응하는 압력형성을 위해 적합한 모든 유체들이 이용될 수 있다. 무엇보다도 이를 위해 통례적인, 그 자체가 알려져 있는 액체들, 특히 유압 액체들을 사용할 수 있다. 하지만 상기 유체는 가스, 겔, 또는 상기 언급된 유체들의 혼합물들일 수도 있다.
두 연결섹션 (5, 6) 을 연결할 때 그리고 분리할 때 입자형성의 최적의 방지의 의미에서, 이 제 1 실시예에서 그리고 다른 실시예들에서 시일 (19) 이 제공되고, 상기 시일은 연결섹션들 (5, 6) 이 서로 연결되면, 즉 밸브 플런저 (4) 의 제 1 연결섹션 (5) 이 제 2 연결섹션 (6) 의, 즉 폐쇄 부재 (2) 의 수용 중공공간 (9) 안으로 완전히 도입되면 수용 중공공간 (9) 을 바깥쪽으로 밀봉한다.
이하, 이제 밸브들 (1) 의 본 발명에 따른 그 밖의 실시예들이 예시적으로 설명되고, 이 실시예들은 결국 도 2 내지 도 6 에 따른 이 제 1 실시예의 변화 형태들을 나타낸다. 그렇기 때문에 제 1 실시예에 대한 또는 하기에서 기술되는 다른 실시예에 대한 변경들만 더 다뤄진다. 또한 상기 폐쇄위치만 도시된다. 모든 다른 구현형태들과 위치들과 관련하여서는 제 1 실시예를 참조하도록 한다.
도 7 및 도 8 에 따른 제 2 실시예에서는, 다른 차단 요소 (10) 가 예시적으로 도시된다. 도 8 은 이때 도 7 로부터의 영역 (B) 을 확대하여 나타낸다. 차단 요소 (10) 의 이 제 2 실시예에서는 웜스크루 (11) 와 피스톤 (21) 사이에, 2개의 판 스프링들의 연속으로서 형성된 탄성적인 압력 리미터 요소 (12) 가 존재한다. 물론 그것은 판 스프링들 대신에, 단지 그 밖의 구현형태들을 예시하자면, 하나 또는 다수의 코일 스프링으로서 또는 다른 탄성적 몸체로서 형성될 수 있다. 압력 리미터 요소 (12) 는 어쨌든 압력챔버 (8) 안의 유체 안에 발생된 상향 압력을 제한하기 위해 쓰인다. 압력 리미터 요소 (12) 의 또는 그것의 탄성적 특성들의 상응하는 선택을 통해, 일종의 압력역치를 넘을 때부터 웜스크루 (11) 의 그 밖의 조임이 압력 리미터 요소 (12) 의 상응하는 탄성적 변형을 초래하고, 이로써 압력챔버 (8) 안의 유체 안의 압력의 그 밖의 상승을 더 이상 초래하지 않는 것이 보장될 수 있다. 게다가 압력 리미터 요소 (12) 는 열에 의한 또는 다른 방식에 의한 압력변동을 보상할 수 있다. 이 차단 요소 (10) 의 웜스크루 (11) 의 조작 그리고 이로써 차단 요소 (10) 의 조작은 그 밖에는 제 1 실시예에서와 같이 수행된다.
하기에서 기술되는 본 발명의 구현형태들에 대해, 이 구현형태들에서, 더 이상 상세히 도시되지 않을지라도, 제 1 실시예의 차단 요소 (10) 뿐만 아니라 제 2 실시예의 차단 요소 (10) 도 다른 차단 요소들 (10) 로서, 이것들이 어쨌든 필요해지는 한, 이용될 수 있다는 것에 주의하도록 한다.
도 9 에 도시된 변형은 제 1 실시예의 변화 형태이고, 상기 변화 형태에서는 차단 요소 (10) 가 더 이상 바로 밸브 플런저 (4) 안에 또는 제 1 연결섹션 (5) 안에 배열되는 것이 아니라, 밸브 플런저 (4) 밖으로 안내된 유체 라인 (10) 안에 배열된다. 이는 차단 요소 (10) 가 밸브 하우징 (15) 의 외부에도 배열될 수 있고, 따라서 이 변형에서는 밸브 하우징 (15) 의 내부에서의 입자발생이 더 완전히 방지된다는 장점을 갖는다. 도 10 은 또다시 도 9 에 따른 실시변형의 변화 형태이다. 여기서는, 제 2 연결섹션 (6) 이 바로 폐쇄 부재 (2) 안에 배열되는 것이 아니라 폐쇄 부재 캐리어 (13) 안에 그리고 이로써 단지 폐쇄 부재 (2) 에 배열된다. 폐쇄 부재 캐리어 (13) 는 이때 바람직하게는 강성적으로 그리고 고정적으로 폐쇄 부재 (2) 에 고정된다.
도 11 은 또다시, 도 10 에 따른 변형에서 시작하여, 상기 밖으로 안내된 유체 라인 (14) 이 또다시 생략되는 그리고 차단 요소 (10) 가 다시 제 1 실시예에서와 같이 바로 밸브 플런저 (4) 안에 그리고 이로써 제 1 연결섹션 (5) 안에 배열된 실시예를 나타낸다.
지금까지 기술된 실시예들에서는 압력챔버 (8) 가 그리고 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 도 항상 제 1 연결섹션 (5) 안에 그리고 이로써 밸브 플런저 (4) 안에 설계된 반면, 하기에서 더 기술되는 실시변형들은 이제 무조건 그럴 필요가 없다는 것을 예시적으로 나타낸다. 하기에서 기술되는 모든 실시변형들에서 압력챔버 (8) 와 제한벽 (7) 은 폐쇄 부재 (2) 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 설계된다.
도 12 내지 도 14 에 도시된 실시변형에서 압력챔버 (8) 와 제한벽 (7) 은 직접적으로 폐쇄 부재 (2) 의 부분이다. 즉, 제 2 연결섹션 (6) 이 바로 폐쇄 부재 (2) 안에 설계된다. 도 13 은 도 12 로부터의 절단선 CC 를 따른 수평 단면을 나타낸다. 도 14 에서는 밸브 하우징 (15) 이 제거되고, 폐쇄 부재 (2) 는 밸브 플런저 (4) 로부터 떼어내져 있다. 본 발명의 이 변형에서, 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 은 수용 중공공간 (9) 을 제한하는 내벽으로서 또는 제 2 연결섹션 (6) 의 이러한 내벽 영역으로서 형성된다. 압력챔버 (8) 는 제한벽 (7) 을 둘러싸고, 이로써 제 2 연결섹션 (6) 안에도 배열된다. 압력챔버 (8) 의 중공공간은 이 실시예에서도 파이프 외피 벽의 형태를 갖는다.
도 13 에 따른 단면 CC 에서, 이 실시변형에서 차단 요소 (10) 가 폐쇄 부재 (2) 의 측면 가장자리에, 그리고 이로써 밖으로부터 접근 가능하게 폐쇄 부재 (2) 안에 배열되는 것을 잘 볼 수 있다. 내부 라인섹션 (23) 은, 다른 실시예들에서와 같이, 압력챔버 (8) 로 이어진다. 이 실시변형에서 압력챔버 (8) 안의 유체 안의 상응하는 압력상승을 통해 제한벽 (7) 은, 제 1 연결섹션 (5) 과 제 2 연결섹션 (6) 사이의 그리고 이로써 밸브 플런저 (4) 와 폐쇄 부재 (2) 사이의 클램핑식 연결을 달성하기 위해 탄성적으로 안쪽으로 편향된다.
도 15 및 도 16 에 따른 실시변형은 도 12 내지 도 14 에 따른 변형의 변화 형태를 나타낸다. 도 16 에는 도 15 로부터의 절단선 DD 를 따른 단면이 도시된다. 도 12 내지 도 14 에 따른 실시예에 대한 도 15 및 도 16 에 따른 실시예의 본질적인 차이는, 여기서는 제 2 연결섹션 (6) 이 폐쇄 부재 (2) 안에 배열되는 것이 아니라 상기 폐쇄 부재에 배열된다는 데에 있다. 제 2 연결섹션 (6) 그리고 이로써 압력챔버 (8) 와 제한벽 (7) 도 여기서는 폐쇄 부재 캐리어 (13) 의 부분이고, 상기 폐쇄 부재 캐리어는, 바람직하게는 고정적으로 그리고 지속적으로, 폐쇄 부재 (2) 에 고정되고, 폐쇄 부재 (2) 를 밸브 플런저 (4) 와 연결한다. 차단 요소 (10) 와 내부 라인섹션 (23) 이 여기서는 상응하여 폐쇄 부재 캐리어 (13) 안에 위치한다.
도 17 및 도 18 에는, 2개의 압력챔버 (8) 와 2개의 제한벽 (7) 이 제공되는 그리고 제 2 연결섹션 (6) 안에 그리고 여기서는 바로 폐쇄 부재 (2) 안에 배열되는 실시변형이 도시된다. 이 실시예는 압력챔버 (8) 가 그리고 제한벽들 (7) 도 물론 매우 여러 가지로 모양이 만들어질 수 있고, 지금까지 도시된 실시변형들에서처럼 항상 파이프 모양으로 형성될 필요가 없다는 것을 나타낸다. 도 18 은 도 17 로부터의 영역 (E) 을 확대하여 나타낸다. 여기서, 밸브 플런저 (4) 의 제 1 연결섹션 (5) 이 배열되어 있는 폐쇄 부재 (2) 의 수용 중공공간 (9) 이 횡단면에 있어서 둥글지 않은 형태도 가질 수 있다는 것을 잘 알아볼 수 있다. 이는 예컨대 폐쇄 부재 (2) 가 밸브 플런저 (4) 에서의 배열시 바로 자동적으로 정확히 정렬되기 위해 사용될 수 있다. 이를 위해 물론 여러 가지의, 원형에서 벗어나는 횡단면 형태들이 실현될 수 있다. 도 18 에서는, 어떻게 두 제한벽 (7) 이 밸브 플런저 (4) 의 제 1 연결섹션 (5) 의 서로 마주 보고 있는 편평한 측들에 배열되는지를 잘 볼 수 있다. 압력챔버 (8) 안의 상응하는 압력상승을 통해 또다시 제한벽들 (7) 의 탄성적 편향 또는 변형 그리고 이로써 두 연결섹션 (5, 6) 의 클램핑식 연결 그리고 이로써 또다시 밸브 플런저 (4) 에서의 폐쇄 부재 (2) 의 클램핑식 고정이 달성될 수 있다.
마지막으로, 본 발명은 특히 폐쇄 부재들 (2) 의 자동화된, 즉 손에 의해 작동되는 것이 아닌, 교체 또는 서비스가 제공되면 매우 적합하다는 것에 또 주의하도록 한다.
1 : 밸브 2 : 폐쇄 부재
3 : 밸브 개구부 4 : 밸브 플런저
5 : 제 1 연결섹션 6 : 제 2 연결섹션
7 : 제한벽 8 : 압력챔버
9 : 수용 중공공간 10 : 차단 요소
11 : 웜스크루 12 : 압력 리미터 요소
13 : 폐쇄 부재 캐리어 14 : 유체 라인
15 : 밸브 하우징 16 : 밸브 드라이브
17 : 밸브 시트 18 : 시일
19 : 시일 20 : 리치 쓰루 개구부
21 : 피스톤 22 : 피스톤 시일
23 : 내부 라인섹션 24 : 스톱
3 : 밸브 개구부 4 : 밸브 플런저
5 : 제 1 연결섹션 6 : 제 2 연결섹션
7 : 제한벽 8 : 압력챔버
9 : 수용 중공공간 10 : 차단 요소
11 : 웜스크루 12 : 압력 리미터 요소
13 : 폐쇄 부재 캐리어 14 : 유체 라인
15 : 밸브 하우징 16 : 밸브 드라이브
17 : 밸브 시트 18 : 시일
19 : 시일 20 : 리치 쓰루 개구부
21 : 피스톤 22 : 피스톤 시일
23 : 내부 라인섹션 24 : 스톱
Claims (12)
- 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄 부재 (2) 를 갖는 그리고 적어도 하나의 밸브 플런저 (4) 를 갖는 밸브 (1) 로서,
상기 밸브 플런저 (4) 안에 또는 상기 밸브 플런저에 적어도 하나의 제 1 연결섹션 (5) 이 배열되고, 상기 폐쇄 부재 (2) 안에 또는 상기 폐쇄 부재에 적어도 하나의 제 2 연결섹션 (6) 이 배열되고, 상기 폐쇄 부재 (2) 는 상기 제 2 연결섹션 (6) 과 상기 제 1 연결섹션 (5) 과의 연결을 통해 상기 밸브 플런저 (4) 에 고정 가능하거나 또는 고정되고,
상기 제 1 연결섹션 (5) 및 상기 제 2 연결섹션 (6) 중 하나 이상은, 적어도 하나의 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7) 에 의해 제한된, 유체를 위한 적어도 하나의 압력챔버 (8) 를 구비하고, 상기 제한벽 (7) 은 상기 제 2 연결섹션 (6) 과 상기 제 1 연결섹션 (5) 과의 클램핑식 연결을 형성하기 위해 상기 압력챔버 (8) 안에 배열된 상기 유체를 이용해 탄성적으로 변형 가능한 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 1 항에 있어서,
상기 탄성적으로 변형 가능한 제한벽 (7), 상기 제 1 연결섹션 (5) 및 상기 제 2 연결섹션 (6) 중 하나 이상은 적어도 하나의 금속 또는 적어도 하나의 금속합금으로 구성되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 1 항에 있어서,
연결섹션들 (5, 6) 중 하나는 수용 중공공간 (9) 을 구비하고, 상기 연결섹션들 (5, 6) 중 다른 것은 상기 연결섹션들 (5, 6) 의 클램핑식으로 연결된 상태에서 상기 수용 중공공간 (9) 안에 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 1 항에 있어서,
상기 밸브 (1) 는 상기 압력챔버 (8) 안에 상기 유체를 감금하기 위한 차단 요소 (10) 를 구비하는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 4 항에 있어서,
상기 차단 요소 (10) 는 상기 압력챔버 (8) 안의 상기 유체의 압력을 설정하기 위한 조절 요소로서 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 4 항에 있어서,
상기 차단 요소 (10) 는 스크루 (screw), 또는 웜스크루 (wormscrew, 11) 를 구비하거나 또는 스크루, 또는 웜스크루 (11) 인 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 4 항에 있어서,
상기 차단 요소 (10) 는 탄성적인 압력 리미터 요소 (pressure limiter element, 12) 를 구비하는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 4 항에 있어서,
상기 차단 요소 (10) 는, 폐쇄 부재 (2) 안에 또는 상기 폐쇄 부재 (2) 를 상기 밸브 플런저 (4) 와 연결하는 폐쇄 부재 캐리어 (13) 안에, 또는 상기 밸브 플런저 (4) 안에 또는 상기 밸브 플런저 (4) 밖으로 또는 상기 폐쇄 부재 (2) 밖으로 안내된 유체 라인 (fluid line, 14) 안에 배열되는 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 1 항에 있어서,
상기 밸브는 진공 밸브인 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 4 항에 있어서,
상기 압력챔버 (8) 안에 상기 유체를 감금하기 위한 상기 차단 요소 (10) 는 해제 가능한 것을 특징으로 하는 밸브 (1). - 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 밸브 (1) 의 밸브 플런저 (4) 에 폐쇄 부재 (2) 를 고정시키기 위한 방법으로서,
상기 압력챔버 (8) 안의 상기 유체의 압력의 상승을 통해 상기 제한벽 (7) 이 탄성적으로 변형됨으로써 상기 제 1 연결섹션 (5) 및 상기 제 2 연결섹션 (6) 은 클램핑식으로 서로 연결되는 것을 특징으로 하는, 밸브의 밸브 플런저에 폐쇄 부재를 고정시키기 위한 방법. - 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 밸브 (1) 의 밸브 플런저 (4) 에서의 폐쇄 부재 (2) 의 고정을 해제하기 위한 방법으로서,
제 2 연결섹션 (6) 과 제 1 연결섹션 (5) 과의 클램핑식 연결은 압력챔버 (8) 안의 유체의 압력이 감소됨으로써 해제되는 것을 특징으로 하는, 밸브의 밸브 플런저에서의 폐쇄 부재의 고정을 해제하기 위한 방법.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ATA135/2017 | 2017-03-31 | ||
| AT1352017 | 2017-03-31 | ||
| PCT/EP2018/055435 WO2018177695A2 (de) | 2017-03-31 | 2018-03-06 | Ventil, insbesondere vakuumventil |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190131490A KR20190131490A (ko) | 2019-11-26 |
| KR102478909B1 true KR102478909B1 (ko) | 2022-12-16 |
Family
ID=61627079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020197027420A KR102478909B1 (ko) | 2017-03-31 | 2018-03-06 | 밸브, 특히 진공밸브 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11215296B2 (ko) |
| JP (1) | JP7220663B2 (ko) |
| KR (1) | KR102478909B1 (ko) |
| CN (1) | CN110520636A (ko) |
| TW (1) | TWI761465B (ko) |
| WO (1) | WO2018177695A2 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111828663A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-10-27 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 一种可高压差启动的真空插板阀 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3202432A (en) | 1963-03-07 | 1965-08-24 | Gordon N Cameron | Hydraulically actuated arbor and chuck construction |
| DE102006018598A1 (de) | 2006-04-21 | 2007-10-25 | Schaeffler Kg | Zwangssteuerung für ein Hubventil einer Brennkraftmaschine |
| KR101357104B1 (ko) | 2012-10-24 | 2014-02-12 | 주식회사 에이엠지 | 챔버용 게이트밸브 구동장치 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3720281A1 (de) | 1987-06-19 | 1989-01-05 | Gelenkwellenbau Gmbh | Loesbare spannvorrichtung |
| JPH0263906U (ko) * | 1988-11-01 | 1990-05-14 | ||
| US4964432A (en) | 1990-03-19 | 1990-10-23 | Keystone International, Inc. | Method and means for mounting valve member on valve stem |
| US5195838A (en) | 1990-04-17 | 1993-03-23 | Sidney Katz | Hydraulically securable and angularly adjustable gears |
| DE19525574C1 (de) | 1995-07-13 | 1996-10-10 | Schunk Fritz Gmbh | Spannvorrichtung zum genauen gegenseitigen Fixieren zweier Bauteile |
| JP3771797B2 (ja) | 2000-12-27 | 2006-04-26 | Ｓｍｃ株式会社 | ゲートバルブ |
| DE10112087A1 (de) | 2001-03-12 | 2002-10-02 | Voith Safeset Ab Hudiksvall | Verfahren zum Druckaufbau in Verbindungskupplungen und Verbindungskupplung |
| EP1529585B1 (de) * | 2003-11-05 | 2006-03-01 | Schunk GmbH & Co. KG Spann- und Greiftechnik | Dehnspanneinrichtung |
| US20050191122A1 (en) | 2004-03-01 | 2005-09-01 | Gethmann Douglas P. | Locking mechanism for a threaded connection |
| KR100960030B1 (ko) | 2004-03-12 | 2010-05-28 | 배트 홀딩 아게 | 진공 게이트 밸브 |
| JP2006046489A (ja) | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Nippon Valqua Ind Ltd | 真空用ゲート弁 |
| DE102006018587A1 (de) | 2006-04-21 | 2007-10-25 | Schaeffler Kg | Ventilbetätigungsvorrichtung, insbesondere für Gaswechselventile von Hubkolbenbrennkraftmaschinen |
| CH699258B1 (de) | 2006-07-11 | 2010-02-15 | Vat Holding Ag | Vakuumventil und Verschlussteller |
| US7967300B2 (en) | 2006-11-17 | 2011-06-28 | Hydra-Lock Corporation | Hydrostatically actuated workholding apparatus with high expansion and recovery sleeve |
| DE102007059039A1 (de) | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| EP2146122A1 (de) | 2008-07-18 | 2010-01-20 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussteller für ein Vakuumventil |
| DE102010009172B4 (de) | 2010-02-24 | 2011-11-10 | Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik | Dehnspanndorn und Dehnspannfutter |
| US8641014B2 (en) * | 2010-09-10 | 2014-02-04 | Applied Materials, Inc. | Gate valve |
| JP5811320B2 (ja) | 2011-04-21 | 2015-11-11 | Smc株式会社 | ゲートバルブ |
| DE202013004696U1 (de) | 2013-05-22 | 2014-08-26 | Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik | Dehnspanneinrichtung |
| JP5963091B2 (ja) * | 2013-07-10 | 2016-08-03 | Smc株式会社 | 無摺動型ゲートバルブ |
| EP2913573A1 (de) | 2014-02-26 | 2015-09-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
| SE1551222A1 (en) | 2015-09-23 | 2017-03-24 | Etp Trans Ab | Hydraulic clamping device, system comprising such device andmethod of interconnecting a hub and a shaft |
-
2018
- 2018-03-06 WO PCT/EP2018/055435 patent/WO2018177695A2/de active Application Filing
- 2018-03-06 US US16/495,551 patent/US11215296B2/en active Active
- 2018-03-06 CN CN201880022166.XA patent/CN110520636A/zh active Pending
- 2018-03-06 JP JP2019546307A patent/JP7220663B2/ja active Active
- 2018-03-06 KR KR1020197027420A patent/KR102478909B1/ko active IP Right Grant
- 2018-03-09 TW TW107108080A patent/TWI761465B/zh active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3202432A (en) | 1963-03-07 | 1965-08-24 | Gordon N Cameron | Hydraulically actuated arbor and chuck construction |
| DE102006018598A1 (de) | 2006-04-21 | 2007-10-25 | Schaeffler Kg | Zwangssteuerung für ein Hubventil einer Brennkraftmaschine |
| KR101357104B1 (ko) | 2012-10-24 | 2014-02-12 | 주식회사 에이엠지 | 챔버용 게이트밸브 구동장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20200096133A1 (en) | 2020-03-26 |
| US11215296B2 (en) | 2022-01-04 |
| JP7220663B2 (ja) | 2023-02-10 |
| JP2020515776A (ja) | 2020-05-28 |
| KR20190131490A (ko) | 2019-11-26 |
| TWI761465B (zh) | 2022-04-21 |
| TW201839303A (zh) | 2018-11-01 |
| WO2018177695A2 (de) | 2018-10-04 |
| WO2018177695A3 (de) | 2019-02-28 |
| CN110520636A (zh) | 2019-11-29 |
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