TWI761465B - 閥，尤指真空閥 - Google Patents

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Abstract

一種閥(1)，尤指真空閥，其具有用於關閉一閥開口(3)之至少一關閉構件(2)及具有至少一閥桿(4)，於該閥桿(4)中或上配置至少一第一連接部(5)，於該關閉構件(2)中或上配置至少一第二連接部(6)，該關閉構件(2)透過該第一連接部(5)與該第二連接部(6)之連接而可固定至或固定至該閥桿(4)，其中，該第一連接部(5)及/或該第二連接部(6)包括用於一流體之至少一壓力腔(8)，該壓力腔(8)由至少一可彈性變形之邊界壁面(7)界定，且該邊界壁面(7)藉由配置於該壓力腔(8)中之該流體而可彈性變形以造成該第一連接部(5)與該第二連接部(6)之一夾緊連接(圖4)。

Description

閥，尤指真空閥
本發明涉及一種閥，尤指真空閥，其具有用於關閉一閥開口之至少一關閉構件及具有至少一閥桿，於該閥桿中或上配置至少一第一連接部，於該關閉構件中或上配置至少一第二連接部，該關閉構件透過該第一連接部與該第二連接部之連接而可固定至或固定至該閥桿。
在當前技術中，已知關閉構件可如何透過二連接部之連接而固定至閥桿之各種可能性。例如，DE 10 2012 007 533 A1表示一變異型，該變異型中關閉構件通過一夾緊螺栓及一傾斜面之協作而固定至閥桿或至閥桿之連接部。EP 2 146 122 A1揭露一變異型，該變異型中分離之夾緊件係用於將關閉構件固定至閥桿。US 7,134,642 B2表示一解決方法，該解決方法中關閉構件藉由一螺栓固定至閥桿。
對於閥，特別是當其用於真空技術時，一重要面向為閥本身磨損所產生之粒子越少越好，因為這些粒子可干擾處理，處理係在處理腔中進行，而閥開啟及關閉處理腔。此外，應注意閥之關閉構件偶爾必須要維修或置換。為此， 關閉構件通常必須從閥桿鬆開。為此而使用螺栓連接會有下列問題，即可能產生或釋放粒子，特別是透過螺栓之頭部在承受螺栓之承載面上之摩擦。如DE 10 2012 007 533 A1所示，傾斜面亦有問題，即連接打開及關閉時組件會彼此摩擦。在此同樣地粒子可透過磨損產生。
本發明之目的在於提出上述類型之閥之一替代可能性，以使二連接部與彼此連接，而因此關閉構件可固定至閥桿。
為解決這個問題，本發明提出一種上述類型之閥，其特徵為，該第一連接部及/或該第二連接部包括用於一流體之至少一壓力腔，該壓力腔由至少一可彈性變形之邊界壁面界定，且該邊界壁面藉由配置於該壓力腔中之該流體而可彈性變形以造成該第一連接部與該第二連接部之一夾緊連接。
因此，本發明之一基本概念為，在二連接部之至少一者中提供具有至少一可彈性變形之邊界壁面之壓力腔，其中邊界壁面因藉由壓力腔中之流體之對應加壓而可彈性變形從而可偏向，藉此達成第一連接部與第二連接部之夾緊連接，從而使關閉構件固定至閥桿。壓力腔與其至少一可彈性變形之邊界壁面可配置為第一連接部之部分，從而配置於閥桿中或上，亦可配置為第二連接部之部分，從而配置於關閉 構件中或上。亦可想見在變異型中，第一連接部及第二連接部皆各包括具有至少一可彈性變形之邊界壁面之至少一壓力腔。可彈性變形之邊界壁面因此可以是第一連接部之部分，亦可以是第二連接部之部分。無論邊界壁面配置於何處，皆可透過壓力腔中之流體中之對應加壓而彈性變形，從而造成第一連接部與第二連接部之夾緊連接。便利地，此夾緊連接係可卸除式連接。在一最簡單之形式中，透過降低壓力腔中之流體中之壓力，邊界壁面之彈性回復力將其帶至使夾緊連接撤除之位置，以鬆開連接，從而使第二連接部可從第一連接部取下及關閉構件可從閥桿取下。
本發明之優點在於，壓力腔未在對應高之壓力下且可變形之邊界壁面在其原始位置之狀態下，閥桿及關閉構件之連接部可透過彼此推進或類似動作而被帶至彼此相對之位置，隨後僅透過藉由壓力腔中之流體壓力增加而產生之邊界壁面之對應彈性變形而達成真正之夾緊連接。因此，至少很大程度地避免二組件彼此摩擦，特別是連接部彼此，從而達到不會或很小程度地透過磨損而產生粒子。
原則上，根據本發明之閥可包括僅一關閉構件及僅一閥桿，以及僅一第一連接部及僅一第二連接部。儘管如此，在本發明之其他實施例中，可能存在二或更多關閉構件及/或二或更多閥桿。無論關閉構件及閥桿之數目為何，皆可存在多於一者之第一連接部或多於一者之第二連接部。此情 況亦適用於壓力腔及邊界壁面。閥桿亦可例如包括多個第一連接部，正如在關閉構件中或上可存在多個第二連接部。
閥桿之用語係基於閥之此組件之普遍接受之專門名詞，此組件係承載關閉構件。閥桿通常形成為桿狀。換句話說，閥桿較佳為桿狀，再換句話說，閥桿較佳組態為桿。基本上閥桿可為非常不同之形狀。有時候閥桿之用語並未述及其形狀或外部輪廓。因此，一般來說，亦涉及關閉構件支撐元件。無論如何，閥桿係關閉構件及閥之至少一閥驅動器之間之連接。閥桿及關閉構件經常一起由閥驅動器移動，以將關閉構件帶至其關閉位置或其開啟位置。應指明，取決於關閉構件在關閉位置與最大開啟位置之間以多少移動方向移動，閥亦可包括不同數目之閥驅動器。根據本發明之閥可例如實施成所謂之L-閥，L-閥中關閉構件係沿著二彼此成角度之移動路徑移動。在這些情況下，可存在二閥驅動器。然而，在當前技術已知之用於L-閥之良好解決方案中，僅耦接至一對應機械構造之一閥驅動器沿著二移動路徑移動關閉構件。閥驅動器可以是氣動式、液壓式、電氣式或其他當前技術已知之閥驅動器。本發明意於處理關閉構件與閥桿之連接之問題，並可用於當前技術中已知之各種閥類型。其不必要是L-閥。
無論如何，關閉構件係閥之部分，此部分可關閉及釋放至少一閥開口，在此亦可存在多個關閉構件。當閥開 口以對應之平面方式實施時，關閉構件可以是所謂之閥板。但關閉構件亦可實施成閥針或類似者，或包括此種結構，僅用以舉例。
閥通常具有閥殼體。較佳為藉由關閉構件開啟及關閉之至少一閥開口置於此閥殼體中。特別在此情況下，閥開口因此是閥之部分。但不必然如此。閥開口亦可配置於其他組件上，例如直接配置於處理腔上。通常至少一閥座會環繞閥開口，處於關閉位置之關閉構件係壓於閥座上。在關閉位置時，閥座及關閉構件之間通常有至少一密封件。此可配置於關閉構件上亦可配置於閥座上。可想見在變異型中，在關閉構件上及閥座上皆存在至少一對應密封件。
第二連接部可直接配置為關閉構件之部分，從而配置於關閉構件中。可想見在根據本發明之變異型中，第二連接部係配置於關閉構件上。此可以是例如下列情況，當關閉構件固定至關閉構件承載體且關閉構件承載體包括第二連接部時，關閉構件以第二連接部安裝至閥桿即其第一連接部。此亦適用於閥桿及第一連接部。再者，第一連接部亦可直接配置於連接桿中或甚至安裝或固定至閥桿之附加部件上。
根據本發明之閥可以是所謂之真空閥，真空閥用於或提供於真空技術或負壓技術中。在真空技術中，此種閥通常用於開啟或關閉處理腔。在處理腔中，如已知，可充滿 特別、處理所需之氣體混合物及壓力條件。通常真空技術涉及操作條件達到壓力小於或等於0.001mbar(毫巴)或0.1帕斯卡。真空閥係針對此壓力範圍及/或對應壓力差之環境之閥。即使是針對低於正常壓力即低於1bar，亦可以稱作真空閥。
在根據本發明之閥之優選變異型中，可彈性變形之邊界壁面及/或第一連接部及/或第二連接部係由至少一金屬或至少一金屬合金組成。優選金屬或合金係鋼，特別是不鏽鋼，亦可以是鋁或鋁合金。然而，原則上亦可使用其他材料，特別是陶瓷或硬金屬即燒結金屬。所述組件亦可以僅部分由金屬、金屬合金、陶瓷或硬金屬組成，或者包括非常不同之合適材料。
在透過邊界壁面之對應彈性變形產生夾緊連接之前，較佳為連接部其中一者插入至連接部其中另一者。為此，優選變異型中，連接部其中一者包括承接空腔，且連接部之另一者在連接部之夾緊連接狀態下係配置於此承接空腔中。較佳為關閉構件或固定至關閉構件之關閉構件承載體包括此承接空腔，而此承接空腔由第二連接部環繞。關閉構件承載體可剛性且固定地安裝至關閉構件。但亦可以是閥桿或固定至閥桿之附加部件包括此承接空腔，而此承接空腔由第一連接部環繞。透過壓力腔中之對應加壓而可彈性變形之邊界壁面係連接部其中一者之部分，並且在優選變異型中對齊 連接部其中一者，使得邊界壁面形成此連接部外牆之至少一部分，而此部分朝向另一連接部以產生夾緊連接狀態。對於具有承接空腔之變異型尤其如此，但亦可以在其他優選變異型中實現。
作為避免粒子之附加措施，連接部其中至少一者可包括一密封件，而當連接部處於夾緊連接狀態時，承接空腔由此密封件對外密封。
為了能夠以流體填充壓力腔並且在需要時對應加壓，在根據本發明之閥之優選變異型中，閥包括用以將流體封存於壓力腔中之阻斷元件。通常此為可卸除式阻斷元件，即可藉由手或工具非破壞性地卸除之阻斷元件，阻斷元件用於將流體封存於壓力腔中，但亦可將流體從壓力腔排出。特別較佳為阻斷元件建構為制動器，其用於調節壓力腔中之流體壓力。阻斷元件可以是例如一螺栓，或包括一此種螺栓。在螺栓之情況下，較佳為沒有突出之頭部之螺栓，即所謂之螺桿。特別較佳為阻斷元件包括一彈性壓力限制元件。利用壓力限制元件基本上可均衡各種壓力波動及/或均衡或補償過壓。只要壓力限制元件在其彈性範圍內，此即為可能。例如，若有必要，壓力限制元件可確保，阻斷元件盡可能不用於將壓力腔中之壓力設定得太高，即使操作不正確。藉由壓力限制元件，亦可均衡由溫度或其他情況引起之壓力波動。例如壓力限制元件可以是盤狀彈簧、螺旋彈簧等之彈 簧元件，但亦可以是其他彈性體。阻斷元件可直接配置於關閉構件中。在其他變異型中，阻斷元件亦可配置於將關閉構件與閥桿連接之關閉構件承載體中，如前所述。阻斷元件當然也可以配置於閥桿中。阻斷元件可置於壓力腔所在之組件中。根據盡可能全面避免粒子之精神，也可以是，阻斷元件不直接配置於閥桿中，亦不直接配置於關閉構件中，而是配置於遠離閥桿及關閉構件之位置。特別是在此種實施例中，阻斷元件係有利地配置於自閥桿引出或自關閉構件引出之流體導管中。
用於將根據本發明之閥之關閉構件固定至閥桿之方法較佳為，邊界壁面透過壓力腔中之流體之壓力增加而彈性變形，以使第一連接部及第二連接部與彼此夾緊連接。用於將根據本發明之閥之關閉構件至閥桿之固定鬆開之方法較佳為，降低壓力腔中之流體之壓力，以鬆開第一連接部與第二連接部之夾緊連接。為清楚起見，應指明，在此情況下，關閉構件及閥桿皆是根據本發明之閥之部分。為完整性起見，亦應指明，在用於將關閉構件固定至閥桿之方法中，第一連接部及第二連接部自然是事先被帶至此種彼此相對之位置，以使第一連接部及第二連接部可對應地與彼此夾緊連接。在用於將關閉構件至閥桿之固定鬆開之方法中，在相應鬆開夾緊連接之後，二連接部從而關閉構件與閥桿可以彼此分離或移除。
1:閥
2:關閉構件
3:閥開口
4:閥桿
5:第一連接部
6:第二連接部
7:邊界壁面
8:壓力腔
9:承接空腔
10:阻斷元件
11:螺桿
12:壓力限制元件
13:關閉構件承載體
14:流體導管
15:閥殼體
16:閥驅動器
17:閥座
18:密封件
19:密封件
20:出入開口
21:活塞
22:活塞密封件
23:內導管部
24:制動件
下列所述之附圖表示本發明之示例性選定實施例，其中，實施例之閥中，非本發明必要之區域係以高度示意性之方式實施，閥之這些區域可用當前技術已知之各種方式實施。此特別適用於現有多少閥驅動器、這些閥驅動器如何構成及配置於何處之問題。附圖為：圖1 對下列所述所有實施例而言，為可行之閥或真空閥之外部視圖；圖2至圖6 閥之根據本發明第一實施例之視圖；圖7及圖8 根據本發明之閥之根據本發明第二實施例之視圖；圖9、圖10及圖11 根據本發明第三、第四及第五實施例之對應視圖；圖12至圖14 根據本發明第六實施例之視圖；圖15及圖16 根據本發明第七實施例之圖示；圖17及圖18 根據本發明第八實施例之視圖。
圖1表示閥1之透視外部視圖，閥1特別可經組態為真空閥。根據本發明之閥1可包括這些外部形態，但亦可包括其他外部形態。圖1所示之閥1之變異型無論如何包括閥殼體15，二閥開口3配置於閥殼體15中，在下列所示之實施例中，二閥開口3其中一者可藉由關閉構件2而關閉。關閉構件2在關閉位置與最大開啟位置之間移動所必須之一或多個閥驅 動器16，並未在此處所示之變異型中詳細表示。其非本發明之目標，且可用當前技術已知之各種方法及類型實施。圖1表示處於開啟狀態之閥開口3，在此狀態中，關閉構件2釋放閥開口3。在此處所示之變異型中，於此位置下，閥桿4從僅高度示意性表示之閥驅動器16突出一部分。
在此所示之根據本發明之閥1之所有實施例係所謂之L-閥，L-閥中關閉構件2與閥桿4藉由各閥驅動器16，一起從最大開啟位置沿著第一移動路徑移動至中間位置。在此中間位置，雖然關閉構件2尚未密封閥開口3，但已配置為與閥開口3對齊。首先，透過關閉構件沿著與第一移動路徑成角度之第二移動路徑移動，關閉構件2從中間位置移動至關閉位置。在關閉位置，通常具有關閉件18插入之關閉構件2按壓至圍繞閥開口3之閥座，以密封閥開口3。這些事為當前技術所知而不需詳細解釋。儘管如此，首先應指明，根據本發明之閥1不必然要實施成L閥。根據本發明之關閉構件2及閥桿4之連接亦可適用於其他已知之閥類型。
圖2至圖6中表示根據本發明之閥1之第一實施例。所示為閥1之本發明必要之區域之各縱剖面圖，特別是關閉構件2及閥桿4之間之連接。閥驅動器16，如前所述，並未詳細表示。此僅標記閥驅動器16或多個閥驅動器16其中之一所通常配置之處。在此可訴諸當前技術。
圖2表示根據本發明之閥1之此實施例之關閉構 件2係處於最大開啟位置，於此最大開啟位置，閥開口3係完全釋放。圖3表示中間位置，於中間位置，關閉構件2已移動至與閥開口3對齊，但閥開口3尚未關閉。圖4表示關閉位置，於關閉位置，關閉構件2密封閥開口3。為此，關閉構件2由閥驅動器16以關閉構件2之密封件18壓靠於圍繞閥開口3之閥座17。於所示實施例中，閥開口3及閥座17係配置於閥殼體15中，閥殼體15係閥1之部分。但是，如前所述，並不必然是如此情況。
圖5中所示為第一實施例之閥1而沒有閥殼體15。但是，首要地，圖5中之關閉構件2係自閥桿4取下。因此，於根據圖5之位置，閥桿4之第一連接部5不再與關閉構件2之第二連接部6連接。於此自閥桿4分離之位置，關閉構件2可被維護，因此而進行維修或置換。
圖5中特別清楚看見，關閉構件2在此實施例及其他實施例中係實施成閥板並包括承接空腔9，承接空腔9於所示實施例中係由關閉構件2之第二連接部6圍繞。為連接關閉構件2與閥桿4，閥桿4之第一連接部5插入至此承接空腔9。隨後透過對應地施加壓力腔8中流體增大之壓力，來實現第一連接部5與第二連接部6之夾緊連接從而關閉構件2於閥桿4上之夾緊固定，因此，界定壓力腔8之邊界壁面7壓靠於另一連接部，造成夾緊連接。
圖6放大表示圖4之區域A。
如在圖5及圖6中特別清楚看到，此第一實施例之壓力腔8及其可彈性變形之邊界壁面7係第一連接部5從而閥桿4之部分。在此第一實施例及其他大多數下列所述實施例中，壓力腔8經組態為管狀套形狀之空腔，此空腔係由外部可彈性變形之邊界壁面7界定。在此實施例及其他優選實施例中，可彈性變形之邊界壁面7至少實施成連接部5及6其中一者之部分，此部分係配置於相對於連接部5及6其中另一者之連接位置。為了將流體封存於壓力腔8中但仍對流體加壓，阻斷元件10係於第一實施例中實現，阻斷元件10係放大表示於圖6中並配置於內導管部23中，內導管部23與壓力腔8連接。第一實施例之阻斷元件10經組態為制動器並包括螺桿11，螺桿11可螺旋至內導管部23之螺紋，而該螺紋在此並未詳細表示。阻斷元件10之調節路徑，如此處所實現，可由制動件24限制。制動件24，如此例所示，亦可提供最大可調節壓力之限制。活塞21係支撐或形成於阻斷元件10之第一實施例之螺桿11上，活塞21可位移地安裝於內導管部23之縱向。活塞21透過活塞密封件22對內導管部23密封。螺桿11及活塞21可一體成型地實施成單一組件，但亦可實施成分開之組件。
於第一實施例中，阻斷元件10及內導管部23係配置於閥桿4或第一連接部5中。透過關閉構件2之出入開口20，例如內六角板手、螺絲起子或類似物之工具(未於此詳細表示)可接合至阻斷元件10之螺桿11以控制螺桿11。藉由以一 方向適當螺旋，於內導管部23中及壓力腔8中之流體壓力可上升，使得可彈性變形之邊界壁面7向外偏向，以產生二連接部5及6之間之夾緊連接。為了鬆開夾緊連接，螺桿11以相反方向旋轉，藉此，於內導管部23中及壓力腔8中之流體壓力可降低至使得邊界壁面7彈性回復至其原始位置，且第一及第二連接部5及6之間之夾緊連接鬆開。隨後，關閉構件2可自閥桿4取下，如圖5所示。
基本上，適用於相應加壓之所有流體皆可用作流體。首要地，為此可使用常用之公知液體，特別是液壓液體。流體亦可以是氣體、膠體或所述流體之混合物。
為了最佳地避免在連接及分開二連接部5及6時產生粒子，在此第一實施例及其他實施例中提供密封件19，當連接部5及6與彼此連接時，密封件19將承接空腔9對外密封，因此，閥桿4之第一連接部5係完全插入至第二連接部6之承接空腔9中，亦即關閉構件2之承接空腔9中。
下列將示例性解釋根據本發明之閥1之其他實施例，所述實施例最終表示根據圖2至6之第一實施例之變更。因此，僅討論對第一實施例或下述其他實施例更改之處。此外，亦僅表示關閉位置。至於所有其他實施型式及位置，則參考第一實施例。
根據圖7及圖8之第二實施例中，示例性表示另一阻斷元件10。圖8放大表示圖7之區域B。阻斷元件10之此第二 實施例中，在螺桿11與活塞21之間提供彈性之壓力限制元件12，其經組態為二盤狀彈簧之連續配置。當然，代替盤狀彈簧，其亦可經組態為一或多個螺旋彈簧或其他彈性體，僅用以表明其他實施型式。無論如何，壓力限制元件12係用於限制壓力腔8中之流體中所產生之壓力向上。藉由適當選擇壓力限制元件12或其彈性特性，可確保當超過特定壓力閾值時，螺桿11之進一步旋緊會造成壓力限制元件12之對應彈性變形，並因此不再進一步增加壓力腔8中之流體壓力。另外，壓力限制元件12亦可補償熱或其他因素所導致之壓力波動。除此之外，阻斷元件10之螺桿11之操作從而阻斷元件10之致動係如第一實施例中所實施。
對於下列所述之本發明實施型式，應注意，雖未詳細表示，但只要實際需要，第一實施例之阻斷元件10及第二實施例之阻斷元件10及其他阻斷元件10皆可用於其中。
圖9所示之變異型係關於第一實施例之變更，其中阻斷元件10不再直接配置於閥桿4或第一連接部5中，而是配置於通至閥桿4外之流體導管10中。此具有下述優點，即阻斷元件10亦可配置於閥殼體15外，使得在此變異型中更完全地避免在閥殼體15內產生粒子。圖10再次是根據圖9之實施例之變更。在此，第二連接部6並非直接配置於關閉構件2中，而是配置於關閉構件承載體13中，從而僅配置於關閉構件2上。關閉構件承載體13較佳為剛性且固定地安裝至關閉構件 2。
圖11再次表示一實施例，在此實施例中，從根據圖10之變異型再次去除通至外部之流體導管14，且阻斷元件10如同在第一實施例中一樣直接配置於閥桿4中，從而配置於第一連接部5中。
儘管在迄今所述之實施例中，壓力腔8及可彈性變形之邊界壁面7皆一直在第一連接部5從而閥桿4中實施，但下列所述之實施例示例性地表示不必然是如此情況。下列所述之所有實施例中，壓力腔8及邊界壁面7係於關閉構件2中或上實施。
在如圖12至圖14所示之實施例中，壓力腔8及邊界壁面7直接是關閉構件2之部分。因此第二連接部6直接於關閉構件2中實施。圖13表示沿著圖12之剖面線CC之水平剖面。在圖14中，閥殼體15被移除，且關閉構件2自閥桿4取下。在本發明之此變異型中，可彈性變形之邊界壁面7經組態為界定承接空腔9之內壁面或第二連接部6之此類內壁面區域。壓力腔8環繞邊界壁面7，因此亦配置於第二連接部6中。壓力腔8之空腔在此實施例中亦具有管狀套壁之形狀。
根據圖13之剖面CC中可清楚看到，在此實施例中，阻斷元件10係配置於關閉構件2之側邊緣，並因此可從外部進入關閉構件2。如同在其他實施例中，內導管部23通向壓力腔8。在此實施例中，藉由壓力腔8中之流體中之對應壓力 增加，邊界壁面7有彈性地向內屈曲，以達成第一連接部5與第二連接部6之間，從而閥桿4與關閉構件2之間之夾緊連接。
根據圖15及圖16之實施例係表示根據圖12至圖14之變異型之變更。圖16中表示沿著圖15之剖面線DD之剖面。根據圖15及圖16之實施例與根據圖12至圖14之實施例之實質差異在於，第二連接部6並未配置於關閉構件2之中，而是配置於關閉構件2之上。在此第二連接部6從而壓力腔8及邊界壁面7係關閉構件承載體13之部分，此部分較佳為固定且永久地安裝至關閉構件2，且關閉構件2與閥桿4連接。阻斷元件10及內導管部23在此對應地置於關閉構件承載體13中。
圖17及圖18中表示一實施例，於此實施例中提供二壓力腔8及二邊界壁面7，二壓力腔8及二邊界壁面7係配置於第二連接部6中，且在此直接配置於關閉構件2中。此實施例表示，壓力腔8及邊界壁面7當然可用非常不同之方式形成，且不必像前述之實施例一樣總是組態為管狀。圖18放大表示圖17之區域E。在此可清楚看到，關閉構件2之承接空腔9亦可具有非圓形之橫剖面，而閥桿4之第一連接部5係配置於承接空腔9中。此可例如用於確保在將關閉構件2配置於閥桿4時可立即自動對準。為此當然可實現偏離圓形之不同橫剖面形狀。圖18中可清楚看到，二邊界壁面7如何配置於閥桿4之第一連接部5之彼此相對之平坦側。藉由壓力腔8中之對應壓力增加，達成邊界壁面7之彈性偏向或變形，從而二連接部5 及6之夾緊連接，從而關閉構件2至閥桿4之夾緊固定。
最後，應指明，本發明特別適用於提供關閉構件2自動即非手動更換或維護之情況。
1:閥
2:關閉構件
3:閥開口
4:閥桿
5:第一連接部
6:第二連接部
7:邊界壁面
8:壓力腔
10:阻斷元件
15:閥殼體
16:閥驅動器
18:密封件
19:密封件
23:內導管部

Claims (10)

  1. 一種閥(1)，尤指真空閥，其具有用於關閉一閥開口(3)之至少一關閉構件(2)及具有至少一閥桿(4)，於該閥桿(4)中或上配置至少一第一連接部(5)，於該關閉構件(2)中或上配置至少一第二連接部(6)，該關閉構件(2)透過該第一連接部(5)與該第二連接部(6)之連接而可固定至或固定至該閥桿(4)，其特徵為，該第一連接部(5)及/或該第二連接部(6)包括用於一流體之至少一壓力腔(8)，該壓力腔(8)由至少一可彈性變形之邊界壁面(7)界定，且該邊界壁面(7)藉由配置於該壓力腔(8)中之該流體而可彈性變形以造成該第一連接部(5)與該第二連接部(6)之一夾緊連接。
  2. 根據申請專利範圍第1項之閥(1)，其中，該可彈性變形之邊界壁面(7)及/或該第一連接部(5)及/或該第二連接部(6)係由至少一金屬或至少一金屬合金組成。
  3. 根據申請專利範圍第1項或第2項之閥(1)，其中，該等連接部(5,6)其中一者包括一承接空腔(9)，且該等連接部(5,6)其中另一者在連接部(5,6)之夾緊連接狀態下係配置於該承接空腔(9)中。
  4. 根據申請專利範圍第1項之閥(1)，其中，該閥(1)包括一阻斷元件(10)，其優選為可卸除式，並用於將該流體封存於該壓力腔(8)中。
  5. 根據申請專利範圍第4項之閥(1)，其中，該阻斷元件(10)建構為一制動器，其用於調節該壓力腔(8)中之該流體之一壓力。
  6. 根據申請專利範圍第4項之閥(1)，其中，該阻斷元件(10)是或包括一螺栓，其優選為一螺桿(11)。
  7. 根據申請專利範圍第4項之閥(1)，其中，該阻斷元件(10)包括一彈性之壓力限制元件(12)。
  8. 根據申請專利範圍第4項之閥(1)，其中，該阻斷元件(10)係配置於該關閉構件(2)中，或配置於將該關閉構件(2)與該閥桿(4)連接之一關閉構件承載體(13)中，或配置於該閥桿(4)中，或配置於自該閥桿(4)或自該關閉構件(2)引出之一流體導管(14)中。
  9. 一種將根據申請專利範圍第1項至第8項中任一項之閥(1)之該關閉構件(2)固定至該閥桿(4)之方法，其特徵為，該邊界壁面(7)透過增加該壓力腔(8)中之該流體之一壓力而彈性變形，以使該第一連接部(5)及/或該第二連接部(6)與彼此夾緊連接。
  10. 一種將根據申請專利範圍第1項至第8項中任一項之閥(1)之該關閉構件(2)至該閥桿(4)之固定鬆開之方法，其特徵為，降低該壓力腔(8)中之該流體之一壓力，以鬆開該第一連接部(5)與該第二連接部(6)之一夾緊連接。
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