KR102406644B1 - 통합 플레이트 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가지면서 초음파를 이용하여 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판에 제공되는 온도를 변화시키도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 통합 플레이트는 상기 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 상기 분할 플레이트 사이의 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비될 수 있다. 그리고 기판 처리 장치는 상기 통합 플레이트를 포함할 수 있다.

Description

통합 플레이트 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Integrated Plate and Apparatus for Processing a Substrate having the same}

본 발명은 통합 플레이트 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 초음파를 이용하여 기판을 부상시킨 상태에서 기판에 제공되는 온도를 변화시키는 공정을 수행하기 위한 통합 플레이트 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

일반적으로 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 소자는 대면적 기판(이하, ‘기판’이라 한다)을 대상으로 제조가 이루어진다.

그리고 평판 디스플레이 소자의 제조는 기판이 아래로 처지는 것을 방지하기 위하여 플레이트로부터 기판을 부상시킨 상태에서 이루어질 수 있다. 플레이트로부터의 기판의 부상은 기판 이면으로 초음파를 제공함에 의해서도 달성될 수 있다. 즉, 플레이트를 통하여 기판 이면으로 초음파를 제공함으로써 플레이트로부터 기판을 부상시킬 수 있는 것이다.

초음파를 이용하는 기판의 부상에서는 플레이트에 균일한 파형이 생기도록 제어해야 한다. 그러나 최근 기판이 커짐에 따라 플레이트 또한 커져야 하는데, 플레이트가 커질 경우 균일한 파형이 생기도록 제어하는 것에 한계가 발생한다.

따라서 최근에는 적어도 두 개의 플레이트, 즉 분할 플레이트들이 단일 구조를 갖도록 통합되는 구조로 이루어지는 통합 플레이트를 사용하여 기판의 커짐에 대응하고 있다. 여기서, 분할 플레이트들이 서로 접촉하도록 통합 플레이트를 구비할 경우에는 초음파에 의해 발생하는 진동의 간섭에 의해 기판을 부상시키는 기능을 상실할 수 있다.

이에, 통합 플레이트는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되도록 구비될 수 있다. 이때, 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트들 사이에는 갭(gap)이 형성될 수 있다.

그러나 통합 플레이트를 포함하는 기판 처리 장치를 사용하여 기판에 제공되는 온도를 변화시키는 공정, 즉 기판을 가열 또는 냉각시키는 공정을 수행할 경우 언급한 갭 부분에서는 온도 편차가 발생하여 불량의 원인으로 작용할 수 있다. 특히, 기판을 가열하는 열처리를 수행할 경우 갭 부분에서의 온도 편차로 인하여 기판에 얼룩이 형성되는 불량이 발생할 수 있다.

본 발명의 일 과제는 적어도 두 개가 분할되는 구조를 가지면서 서로 근접하게 배치됨에도 불구하고 기판에 제공되는 온도를 변화시키는 공정을 수행하여도 온도 편차를 최소화할 수 있는 통합 플레이트를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 언급한 통합 플레이트를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가지면서 초음파를 이용하여 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판에 제공되는 온도를 변화시키도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 통합 플레이트는 상기 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 상기 분할 플레이트 사이의 갭(gap)이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비될 수 있다.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 통합 플레이트, 초음파 제공부, 온도 제공부를 포함할 수 있다. 상기 통합 플레이트는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 갖고, 상기 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 상기 분할 플레이트 사이의 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비될 수 있다. 상기 초음파 제공부는 상기 통합 플레이트 상에 위치하는 상기 기판을 초음파를 이용하여 상기 통합 플레이트로부터 부상시킬 수 있게 상기 통합 플레이트에 초음파를 제공할 수 있다. 상기 온도 제공부는 상기 통합 플레이트로부터 부상시킨 상태에 있는 상기 기판에 제공되는 온도를 변화시킬 수 있게 상기 통합 플레이트에 온도 변화를 제공하는 온도 제공부를 포함할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 통합 플레이트는 상기 기판 한 장을 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 일정 기울기를 갖는 사선 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 계단 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트 단면이 요철 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성할 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 온도 변화는 상기 기판을 가열시키거나 또는 상기 기판을 냉각시키는 것일 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트 및 기판 처리 장치는 통합 플레이트로 구비되는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 분할 플플레이트 사이의 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비할 수 있다.

이에, 언급한 통합 플레이트 및 기판 처리 장치는 기판을 가열시키거나 또는 냉각시키는 것과 같이 기판에 제공되는 온도를 변화시켜도 통합 플레이트의 갭에서의 온도 편차를 현저하게 줄일 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트 및 기판 처리 장치는 갭에서의 온도 편차를 줄일 수 있기 때문에 기판에서의 온도 편차로 인하여 기판에 발생하는 얼룩과 같은 불량을 최소화할 수 있다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 또 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트(100)는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트(13)들을 포함할 수 있다.

그리고 초음파를 이용하는 기판(11)의 부상에서는 통합 플레이트(100)에 균일한 파형이 생기도록 제어해야 한다. 즉, 플레이트(100) 전체 영역에 걸쳐 균일하게 초음파를 기판(11)으로 제공해야 하는 것이다.

그러나 최근 기판(11) 면적이 커짐에 따라 기판(11) 전체 면적을 커버하기 위한 통합 플레이트(100) 면적 또한 커져야 하는데, 통합 플레이트(100)가 커질 경우 통합 플레이트(100)에 균일한 파형이 생기도록 제어하는 것에는 한계가 있다.

이에, 예시적인 실시예에 따른 통합 플레이트(100)는 언급한 바와 같이 적어도 두 개가 분할되는 구조를 갖도록 구비할 수 있다.

즉, 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트(100)는 적어도 두 개로 분할되는 구조를 갖는 분할 플레이트(13)들로 이루어질 수 있는 것이다.

특히, 일부 실시예들에서는 4개의 분할 플레이트(13)가 단일 구조를 갖는 통합 플레이트(100)로 이루어질 수 있다.

그리고 통합 플레이트(100)의 크기가 기판(11) 한 장을 수용하지 못할 경우에는 기판(11)을 정해진 조건으로 부상시키지 못할 것이다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트(100)는 기판(11) 한 장을 수용할 수 있는 크기를 가질 수 있다. 즉, 통합 플레이트(100)는 통합 플레이트(100) 내에 기판(11) 한 장이 배치될 수 있는 크기를 가질 수 있는 것이다.

또한, 분할 플레이트(13)들을 서로 접촉하도록 배치할 경우 기판(11)을 부상시키기 위하여 통합 플레이트(100)로 제공되는 초음파에 의해 발생하는 진동의 간섭으로 인하여 기판(11)의 부상에 지장을 끼칠 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트(100)는 분할 플레이트(13)들을 서로 근접하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

이와 같이, 분할 플레이트(13)들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 갖는 통합 플레이트(100)는 분할 플레이트(13)들 사이에는 갭이 형성될 수 있다.

그러나 통합 플레이트(100)에 형성되는 갭은 통합 플레이트(100)를 사용하는 기판(11)의 온도 변화, 즉 기판을 가열시키거나 또는 기판을 냉각시킬 때 다소 큰 온도 편차를 발생시켜 기판(11)에 얼룩과 같은 불량을 발생시키는 원인으로 작용할 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에서는 분할 플레이트(13)들이 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비될 수 있다.

즉, 예시적인 실시예들에서는 분할 플레이트(13)들 사이의 갭이 일자 형태의 관통 구조를 갖지 않도록 구비하는 것이다. 다시 말해, 예시적인 실시예들에서는 분할 플레이트(13)들 사이가 구멍이 뻥 뚫린 형태의 구조가 아닌 다른 구조를 갖도록 구비하는 것이다.

언급한 바와 같이 분할 플레이트(13)들이 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비하는 것은 서로 마주하는 분할 플레이트(13)들 각각의 단면을 일자 구조가 아닌 다른 구조를 갖도록 형성함에 의해 달성할 수 있을 것이다.

이하, 분할 플레이트(13)들 사이의 갭이 일자 형태로 관통하지 않는 구조를 갖도록 구비되는 통합 플레이트(100)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.

도 2는 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도 2를 참조하면, 일부 실시예들에서는 분할 플레이트(13)들이 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하기 위해서 서로 마주하는 분할 플레이트(13)들 단면이 일정한 기울기를 갖는 사선 구조(21)를 갖도록 형성함에 의해 달성할 수 있다.

언급한 바와 같이 분할 플레이트(13)들 사이를 일정 기울기를 갖는 단면으로 형성하여 서로 마주보도록 배치함으로써 분할 플레이트(13)들 사이를 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비할 수 있는 것이다.

따라서 분할 플레이트(13)들 근접하게 배치되는 부분에서 발생할 수 있는 온도 편차를 최소화할 수 있고, 그 결과 기판을 대상으로 하는 온도 변화, 즉 기판을 가열시키는 공정 또는 기판을 냉각시키는 공정을 수행하여도 분할 플레이트(13)들의 갭에서 발생하는 기판의 얼룩을 충분하게 감소시킬 수 있다.

도 3은 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도 3을 참조하면, 일부 실시예들에서는 분할 플레이트(13)들이 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하기 위해서 서로 마주하는 분할 플레이트(13)들 단면이 계단 구조(31)를 갖도록 형성함에 의해 달성할 수 있다.

언급한 바와 같이 분할 플레이트(13)들 사이를 계단 구조(31)를 갖는 단면으로 형성하여 서로 마주보도록 배치함으로써 분할 플레이트(13)들 사이를 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비할 수 있는 것이다.

따라서 분할 플레이트(13)들이 근접하게 배치되는 부분에서 발생할 수 있는 온도 편차를 최소화할 수 있고, 그 결과 기판을 대상으로 하는 온도 변화, 즉 기판을 가열시키는 공정 또는 기판을 냉각시키는 공정을 수행하여도 분할 플레이트(13)들의 갭에서 발생하는 기판의 얼룩을 충분하게 감소시킬 수 있다.

도 4는 도 1의 서로 근접하게 배치되는 분할 플레이트의 갭 구조에 대한 또 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.

도 4를 참조하면, 일부 실시예들에서는 분할 플레이트(13)가 근접하게 배치됨에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하기 위해서 서로 마주하는 분할 플레이트(13)들 단면이 요철 구조(41)를 갖도록 형성함에 의해 달성할 수 있다.

언급한 바와 같이 분할 플레이트(13)들 사이를 요철 구조(41)를 갖는 단면으로 형성하여 서로 마주보도록 배치함으로써 분할 플레이트(13)들 사이를 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비할 수 있는 것이다.

따라서 분할 플레이트(13)가 근접하게 배치되는 부분에서 발생할 수 있는 온도 편차를 최소화할 수 있고, 그 결과 기판을 대상으로 하는 온도 변화, 즉 기판을 가열시키는 공정 또는 기판을 냉각시키는 공정을 수행하여도 분할 플레이트(13)들의 갭에서 발생하는 기판의 얼룩을 충분하게 감소시킬 수 있다.

이하, 언급한 통합 플레이트를 포함하는 기판 처리 장치에 대하여 설명하기로 한다. 아울러 이하에서는 통합 플레이트에 대한 상세한 설명은 생략하기로 하고 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하기로 한다.

도 5는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.

도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)는 기판을 대상으로 온도를 변화시키는 공정을 수행할 수 있다. 즉, 언급한 기판 처리 장치(300)는 기판(11)을 가열 또는 냉각시킬 수 있는 공정을 수행할 수 있는 것이다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)는 통합 플레이트(100)로 온도 변화를 제공할 수 있는 온도 제공부(33)를 포함할 수 있다. 상기 온도 제공부(33)는 기판(11)을 가열시키는 가열 부재 또는 기판(11)을 냉각시키는 냉각 부재를 포함할 수 있다.

일부 실시예들에서의 기판 처리 장치(300)는 기판(11)을 대상으로 열처리를 수행하기 위한 것일 수 있다. 즉, 일부 실시예들에서의 기판 처리 장치(300)는 기판(11) 상에 도포한 포토레지스트, 현상액 등을 베이킹하는 것일 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)는 기판(11)을 통합 플레이트(100)로부터 부상시킨 상태에서 온도 변화 공정을 수행하기 위한 것이다. 그리고 통합 플레이트(100)로부터 기판(11)의 부상은 통합 플레이트(100)를 통하여 기판(11) 이면으로 초음파를 제공함에 의해 달성할 수 있다.

통합 플레이트(100)로부터 기판(11)을 부상시킨 상태에서 공정을 수행하는 것은 기판(11) 일부분이 아래로 처지는 것을 방지하기 위함은 물론이고 가열 또는 냉각과 같은 온도 변화 공정 수행시 기판(11) 전체에 가해지는 온도 등을 균일하게 확보하기 위함이고, 더불어 공정 수행 전,후에서의 기판(11)의 이송을 보다 안정적으로 확보하기 위함이다.

또한, 예시적인 실시에들에 따른 기판 처리 장치(300)는 통합 플레이트(100)를 통하여 기판(11)으로 초음파를 제공할 수 있어야 하기 때문에 초음파 제공부(31)를 포함할 수 있다.

도시하지는 않았지만, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)는 공정 수행을 전,후해서 기판(11)을 이송시킬 수 있어야 하기 때문에 기판(11)을 이송시킬 수 있는 이송 부재를 포함할 수 있다.

그리고 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)에 구비되는 통합 플레이트(100)는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트(13)들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가질 수 있다.

특히, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)에서는 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트(13)들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가짐에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비될 수 있다.

따라서 기판 처리 장치(300)는 도 2에서와 서로 마주하는 분할 플레이트(13)의 단면이 일정 기울기를 갖는 사선 구조(21)를 갖도록 형성하거나, 도 3에서와 같이 서로 마주하는 분할 플레이트(13)의 단면이 계단 구조(31)를 갖도록 형성하거나, 도 4에서와 같이 서로 마주하는 분할 플레이트(13)의 단면이 요철 구조(41)를 갖도록 형성할 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(300)는 기판(11)의 온도 변화를 위한 공정, 즉 기판(11)을 가열 또는 냉각시킬 때 분할 플레이트(13)들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가짐에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 구비함으로써 갭에서의 온도 편차를 현저하게 줄일 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 통합 플레이트 및 기판 처리 장치는 평판 표시 장치 등과 같은 대면적 기판을 대상으로 하는 공정에 사용할 수 있을 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 기판 13 : 분할 플레이트
21 : 사선 구조 31 : 계단 구조
41 : 요철 구조 51 : 초음파 제공부
53 : 온도 제공부 100 : 플레이트
300 : 기판 처리 장치

Claims (14)

1. 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 가지면서 초음파를 이용하여 기판을 부상시킨 상태에서 상기 기판에 제공되는 온도를 변화시키도록 구비되는 통합 플레이트에 있어서,
   상기 분할 플레이트들 각각은 낱장 구조를 갖도록 구비시키되,
   상기 낱장 구조의 분할 플레이트들을 서로 근접하게 배치시킴에 의해 형성되는 상기 통합 플레이트는 상기 기판 한 장을 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비되고, 상기 낱장 구조의 분할 플레이트들을 서로 마주하도록 근접시킴에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않게 상기 낱장 구조의 분할 플레이트들 각각이 서로 마주하는 단면을 일자 구조가 아닌 다른 구조를 갖도록 구비시키는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
2. 삭제
3. 제1 항에 있어서,
   상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 일정 기울기를 갖는 사선 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 계단 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
5. 제1 항에 있어서,
   상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트 단면이 요철 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 온도 변화는 상기 기판을 가열시키거나 또는 상기 기판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
7. 제1 항에 있어서,
   상기 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들로 이루어지는 통합 플레이트는 전체 영역에 걸쳐 균일하게 초음파를 기판으로 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 통합 플레이트.
8. 적어도 두 개로 분할되는 낱장 구조의 분할 플레이트들이 서로 근접하게 배치되는 구조를 갖고, 상기 낱장 구조의 분할 플레이트들을 서로 근접하게 배치시킴에 의해 형성되는 통합 플레이트는 기판 한 장을 수용할 수 있는 크기를 갖도록 구비되고, 상기 낱장 구조의 분할 플레이트들을 서로 마주하도록 근접시킴에 의해 형성되는 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않게 상기 낱장 구조의 분할 플레이트들 각각이 서로 마주하는 단면을 일자 구조가 아닌 다른 구조를 갖도록 구비시키는 통합 플레이트;
   상기 통합 플레이트 상에 위치하는 기판을 초음파를 이용하여 상기 통합 플레이트로부터 부상시킬 수 있게 상기 통합 플레이트에 초음파를 제공하는 초음파 제공부; 및
   상기 통합 플레이트로부터 부상시킨 상태에 있는 상기 기판에 제공되는 온도를 변화시킬 수 있게 상기 통합 플레이트에 온도 변화를 제공하는 온도 제공부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
9. 삭제
10. 제8 항에 있어서,
    상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 일정 기울기를 갖는 사선 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
11. 제8 항에 있어서,
    상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트의 단면이 계단 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
12. 제8 항에 있어서,
    상기 갭이 일자 형태로 관통하는 구조를 갖지 않도록 하는 것은 상기 분할 플레이트가 근접하게 배치될 때 서로 마주하는 분할 플레이트 단면이 요철 구조를 갖도록 형성됨에 의해 달성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
13. 제8 항에 있어서,
    상기 온도 변화는 상기 기판을 가열시키거나 또는 상기 기판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
14. 제8 항에 있어서,
    상기 적어도 두 개로 분할되는 분할 플레이트들로 이루어지는 통합 플레이트는 전체 영역에 걸쳐 균일하게 초음파를 기판으로 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.

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