JP2008233077A - テストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】取付板に取着されるボディ部と、前記ボディ部の前面から突き出てテストトレイのインサートに載置されている半導体素子を押し付ける押し付け部と、を備え、前記ボディ部の背面から前記押し付け部の前面に亘って、ダクトから前記ボディ部の背面に供給される所定の温度の空気を前記押し付け部の前面にある前記テストトレイのインサートに載置されている半導体素子に導く空気貫通孔が貫設されており、前記押し付け部の少なくとも一方の側面には、前記空気貫通孔と連通することにより、前記ダクトから前記空気貫通孔を通って供給される空気の一部をテストサイトの上に流出する少なくとも1以上の空気流出孔が穿設されている。これにより、テストサイト上にある半導体素子の温度ばらつきを低減することが可能になる。
【選択図】図5
Description
図4は、本発明の第1の実施形態によるテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ400(以下、「プッシャ」と略す。)を示す斜視図であり、図5は、図4のI線に沿って切り取ってX方向から眺めた断面図である。
図8は、本発明の第2の実施形態によるプッシャ800を示す断面図である。
図8を参照すれば、この第2の実施形態によるプッシャ800は、ボディ部810と、押し付け部820と、を備えてなり、ボディ部810の背面から押し付け部820の前面に亘って空気貫通孔830が貫設され、押し付け部820の側面には空気貫通孔830と連通する空気流出孔860が穿設されている。
図10は、本発明の応用例によるプッシャ1000を示す断面図である。
図10を参照すれば、この応用例によるプッシャ1000は、ボディ部1010と、押し付け部1020と、を備えてなり、ボディ部1010の背面から押し付け部1020の側面に亘って空気供給孔1030が貫設され、押し付け部1020の前面側には閉止されている。
410、810、1010:ボディ部、
420、820、1020:押し付け部、
430、830:空気貫通孔、
440:十字溝、
450a、450b:空気排出溝、
460、860:空気流出孔、
1030:空気供給孔
Claims (7)
- 取付板に取着されるボディ部と、
前記ボディ部の前面から突き出てテストトレイのインサートに載置されている半導体素子を押し付ける押し付け部と、を備え、
前記ボディ部の背面から前記押し付け部の前面に亘って、ダクトから前記ボディ部の背面に供給される所定の温度の空気を前記押し付け部の前面にある前記テストトレイのインサートに載置されている半導体素子に導く空気貫通孔が貫設されており、
前記押し付け部の少なくとも一方の側面には、前記空気貫通孔と連通することにより、前記ダクトから前記空気貫通孔を通って供給される空気の一部をテストサイトの上に流出する少なくとも1以上の空気流出孔が穿設されていることを特徴とするテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - 前記ボディ部の少なくとも一方の側面には、
前記空気貫通孔及び前記少なくとも1以上の空気流出孔から流れ出た空気をテストサイトの上に円滑に排出する空気排出溝が凹設されていることを特徴とする請求項1に記載のテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - 前記空気貫通孔は、
前記ボディ部の背面から前記少なくとも1以上の空気流出孔の穿設個所までの内径が、前記押し付け部の前面個所における内径よりも大径であることを特徴とする請求項1又は2に記載のテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - 前記空気貫通孔は、前記ボディ部の背面から所定の個所までの内径が、前記所定の個所から前記押し付け部の前面までの内径よりも大径であり、
前記少なくとも1以上の空気流出孔は、前記所定の個所と前記押し付け部の前面との間に穿設されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - 前記空気貫通孔は、前記ボディ部の背面から所定の個所までの内径が、前記押し付け部の前面個所における内径よりも大径であり、
前記押し付け部の前面個所における前記空気貫通孔の空気通過面積と前記少なくとも1以上の空気流出孔の空気流出面積とを合計した面積は、前記ボディ部の背面から前記所定の個所までの前記空気貫通孔の空気通過面積以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載のテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - 取付板に取着されるボディ部と、
前記ボディ部の前面から突き出てテストトレイのインサートに載置されている半導体素子を押し付ける押し付け部と、を備え、
前記ボディ部の背面から前記押し付け部の少なくとも一方の側面に亘って、ダクトから前記ボディ部の背面に供給される所定の温度の空気を前記押し付け部の少なくとも一方の側面に排出する空気供給孔が貫設されていることを特徴とするテストハンドラーにおけるマッチプレート用のプッシャ。 - テストトレイのインサートに載置されている半導体素子をテスターのテストソケットに向かって押し付けるための押し付け装置を有するテストハンドラーにおいて、
前記押し付け装置は、
テストトレイにマッチングされるマッチプレートと、
前記マッチプレートをテストトレイの方向に進退させる駆動源と、を備え、
前記マッチプレートは、
取付板と、
前記取付板にマトリックス状に設けられる請求項1または6に記載のマッチプレート用のプッシャと、を備えることを特徴とするテストハンドラー。
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