KR102395488B1 - 기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노 - Google Patents

기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노 Download PDF

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조세프 오레즈닉
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Abstract

기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노가 제공되며, 가스가 새지 않는 분할에 따라 진공 공간 내에 배열되고 수직 또는 수평 배열로 구성된 개별 가공물의 연속적인 공급에 따라 2개 이상의 공정 챔버(병렬로 연결됨)를 포함한다. 상기 노는 수직 방향으로 배열된 3개의 공정 챔버를 포함하고, 이 공정 챔버들 중 하나는 가열 챔버(2a)이고, 다른 하나는 침탄 챔버(2b)이며 또 다른 하나는 확산 챔버(2c)이다. 각각의 공정 챔버(2a, 2b, 2c) 내에는 단열부를 갖는 가열 챔버, 흑연 가열 시스템 및 개별 가공물의 연속적인 공급을 위해 샤프트 내에 통합된 스탭핑 공급 메커니즘(13a, 13b, 13c)이 포함된다. 상기 공정 챔버의 단부에서 챔버 단부에 설치된 열적 및 가스가 새지 않는 도어를 통하여 개별 공정 챔버와 협력할 수 있는 로딩 및 언로딩 시스템을 갖는 통합식 이송 챔버가 제공되며, 이송 챔버로의 외부 접근은 로딩 및 언로딩 로크를 통하여 가능하다.

Description

기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노{Multi-chamber furnace for vacuum carburizing and quenching of gears, shafts, rings and similar workpieces}
본 발명은 기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노에 관한 것이다.
진공 침탄 공정을 수행하도록 설계된 배치 노 해결방법의 예시가 제공되며, 여기서 평평한 트레이에 걸쳐 배열된 다수의 가공물이 동시에 처리되고, 이러한 장치는 몇몇 내지 12개의 트레이 레벨 간에 증대된다. 통합형 고압 가스 켄칭 시스템(HPGQ)을 포함한 단일-챔버 노는 이 목적으로 사용되며, 분리된 HPGQ 챔버를 갖는 2-챔버 노 또는 해결방법이 켄칭 오일 내에서 냉각될 수 있다.
대량 생산의 목적으로, 모듈식 시스템은 HPGQ 또는 오일 켄칭을 위한 설비를 포함하는, 개별 공정 챔버로 또는 이로부터 워크로드(workload)를 로딩/언로딩하기 위한 분리된 챔버 및 진공 침탄을 위한 다수의 공정 챔버로 제조된다. 전술된 켄칭 챔버의 회전 축 주위에서 원형 장치 또는 인-라인 공정 챔버 장치를 갖는 노 구조물이 제공된다. 모듈식 시스템의 다양한 변형이 특허 문헌 제EP 1319724 B1호에 기재된 바와 같이 상하로의 하나의 공정 챔버의 배치를 허용하는 산업상 목적으로 적용된다. 모든 이들 시스템은 예를 들어, 고압(HPGQ) 하에서 질소 또는 헬륨과 같은 순환하는 가스 내에서의 워크로드 켄칭의 체적 방법 또는 켄칭 오일 내에서 켄칭 응력 및 바람직하지 못한 변형으로 추가로 변환되는 가공물 표면을 따라서 켄칭 매체의 불균일 유동뿐만 아니라 워크로드 부피를 통한 켄칭 매체의 불균일 및 비-반복성 유동으로 인하여 워크로드의 상이한 영역에서 개별 가공물의 분균일 켄칭을 특징으로 한다. 오일 켄칭과 비교 시에, 이 경우에 가스 냉각이 높은 비율의 변형의 통계적 반복성을 특징으로 한다.
특허 문헌 제DE102009041041 B4호는 제한된 치수의 기어와 같이 이러한 가공물의 직접적인 침탄 및 켄칭을 위해 설계된 모듈식 시스템을 나타내며, 이에 따라 연속적인 워크로드 내에서의 반복가능성뿐만 아니라 하나의 워크로드 내에서 변형 및/또는 이들 변형의 균일성을 추가로 감소시키기 위한 가능성에 따라 신속한 가스 가열 및 냉각이 가능해진다. 이 특허에 따라서, 가열 챔버는 단일의 진공 하우징 내에서 2개 내지 6개로 수직 배열로 설치된다. 이 시스템 하에서, 가공물 로딩은 단지 하나의 레벨에서 수행되며, 가공물은 바람직하게는 CFC 복합물로 제조된 하나의 트레이의 표면 상에 배열된다. 이는 더 빠른 그레인 성장 범위 내에서 1050oC의 온도에서 가공물에 의해 소요된 안전한(충분히 짧은) 공정 시간을 보장하고, 높은 온도 수준에서 가공물에 의해 소요된 시간을 감소시킬 수 있는 가열 단계 중에 챔버 가열 시스템으로부터의 방사선의 우수한 침투에 노출된 가공물의 매우 신속한 가열을 보장한다. 노는 예를 들어, 최대 0.6 mm의 층 두께로 침탄되도록 설계된다.
단일의 층 내에 배열된 가공물의 가스 켄칭에 따라 균등하고 전체적인 가스가 트레이 표면 상에 배열된 가공물 상으로 유동하는 상태에서 냉각 가스 순환 시스템의 더 단순한 구성으로 인해 고도의 반복가능성 및 일관성에 따라 HPGQ 방법을 사용할 수 있다. 체적 워크로드를 통하여 냉각 가스의 유동과 관련하여 적합한 유동 속도, 압력 및 온도의 고도의 일관성을 구현하는 것이 더 용이하다. 단일의 층 내에 배열된 가공물의 로딩은 가공물 로딩 및 언로딩 작업의 자동화를 돕고, 변형의 감소 및 반복가능성을 구현하는 것과 연관된 진행이 마무리 작업을 위한 장치 및 대략적인 기어 처리를 위한 장치들 간에 장치 공구 시스템 내에 노를 설치할 수 있고, 구조적으로 분리된 켄칭 샵으로 가공물의 이송이 배제된다.
가공물에 대한 가스 침탄 기술에 관하여(켄칭 오일 내의 체적 켄칭이 더 큰 변형을 유발함), 개별 가공물의 개별 켄칭이 켄칭 프레스 내에서 적용되며 산업상 로봇이 사용되는 대량 생산 시에 또는 조종기가 일반적으로 제공된 조작자에 의해 프레스에 주기적으로 공급된다.
다른 한편, 비-강성 베어링 링의 켄칭 기술에서, 냉각 매트릭스로 링의 주기적 공급을 위해 설비의 시험이 제공되어 표면으로부터 10 mm의 높이에서 50 내지 100 m/s의 속도로 적합한 압력을 이용하여 냉각된 표면에 대해 적절히 배열된 노즐을 통하여 냉각 매체의 적합한 유입 상태에서 가스 또는 압축된 공기의 켄칭이 가능하며, 이에 따라 100Cr6 스틸 [HTM53(1998)2 "Fixturhartung von Walzlagerringen unter Verwendug von gasformigen Abschreckmedien"]로 제조된 켄칭 스틸 링에 대해 켄칭 오일과 비교하여 예를 들어, 15oC/s의 냉각 속도가 구현될 수 있다. 진공 침탄을 이용하는, 가스 침탄 기술에 관하여, 전술된 바와 같이 부피 워크로드의 대량 생산을 위한 노를 설계하는 시도가 이루어지며, 이는 노를 통한 워크로드의 연속적인 유동이 허용되고, 이의 구조물은 켄칭 이전에 가열, 진공 침탄, 확산, 사전 냉각을 위한 기능적 챔버뿐만 아니라 진공 로클르 이용하는 전술된 바와 같이 챔버 분리부를 갖는 켄칭 챔버(예를 들어, 오일 켄칭)를 포함한다. 이러한 시스템은 1996년도의 특허 문헌 제EP 0735149호, 2004년도의 제EP 0828554, 2004년도의 제EP 1482060호 및 1990년대의 기술적 문헌에 기재된다. 불행하게도, 이들 기술은 시스템의 연속적인 작동의 유지에 대한 곤란성으로 인해 그리고 워크로드들 간에 그리고 하나의 워크로드 내에서 변형의 수준 및 이들 변형의 불균일성으로 인하여 상당한 인기를 얻지 못했다.
현저하게, 가열, 침탄, 확산, 사전-냉각 및 켄칭을 위해 설계된 연속적인 노 시스템을 통하여 공급된 개별 가공물의 침탄 및 켄칭을 위해 의도된 연속 동작 노를 구성하는 시도가 있다. 예시로서, 이러한 시스템은 "Method and apparatus for carburizing, quenching and tempering"이라는 명칭의 1997년의 특허 제EP 0811697 (B1)호 및 "Continuous ion-carburizing and quenching system"이라는 명칭의 1990년의 미국 특허 출원 제4,938,458 (A)호에 기재된다. 또한 1990년도에는, 연속 노 구조물은 HTM 2/2001 "Multichamber continuous furnaces..."의 타이틀 페이지에 제시된, HPGQ 챔버 및 기능식 챔버(가열, 침탄, 확산 및 사전-냉각 챔버뿐만 아니라 로크의 로딩 및 언로딩) 내로 분할된 롤러 상에서 워크로드가 공급되도록 제조된다. 이 구성의 신규한 특징에 따라 기계가공 장치와 일렬로 시스템을 설치할 수 있다.
톱니형 기어의 제조는 열적 및 화학적 처리 이후에 개별 기어의 다듬질 단계뿐만 아니라 유연한 상태인, 러프 기계가공 단계를 포함한다. 게다가, 기계가공 이후에 추가 처리를 위해 개별적인 가공물의 연속적인 유동이 구현된다. 직접 켄칭에 따른 진공 침탄의 기술이 가공물의 형상에 대한 이의 반복가능성 및/또는 변형의 반복가능한 제한의 효과를 제공함에 따라, 열-화학 처리 및 다듬질 이전에 러프 처리를 위해 기계가공 사이클에 대응하는 사이클 동안에 개별 기어의 경화 및 침탄의 연속적인 공정이 요구된다. 가공물의 연속적인 유동을 가정할 때, 러프 처리 이후에 개별 가공물의 주기적(연속적인) 퍼징이 임의의 기술적 또는 경제적 문제점을 갖지 않는다.
본 발명은 기어, 샤프트, 링 및 유사 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노에 관한 것으로 가스가 새지 않는 분할에 따라 진공 공간 내에 배열되고 수직 또는 수평 배열로 구성된 개별 가공물의 연속적인 공급에 따라 2개 이상의 공정 챔버(병렬로 연결됨)를 포함하고, 상기 공정 챔버의 단부에서 챔버 단부에 설치된 열적 및 가스가 새지 않는 도어를 통하여 개별 공정 챔버와 협력할 수 있는 로딩 및 언로딩 시스템을 갖는 통합식 이송 챔버가 제공되며, 이송 챔버로의 외부 접근은 로딩 및 언로딩 로크를 통하여 가능하다.
바람직하게는, 노는 즉, 가열, 침탄 및 확산 챔버와 같은 수직 방향으로 구성된 3개의 공정 챔버를 포함한다.
또한, 바람직하게는 각각의 공정 챔버 내에는 단열부를 갖는 가열 챔버, 흑연 가열 시스템 및 개별 가공물의 연속적인 공급을 위해 샤프트 내에 통합된 스탭핑 공급 메커니즘이 포함된다.
추가로, 바람직하게는 스탭핑 메커니즘은 개별 가공물의 배치를 위해 2 내지 100 스텝 사이에서 제공되며 공급 시간은 0.1 분 내지 60 분이다.
바람직하게는, 언로딩 로크가 노 작동 사이클 내에서 개별 가공물의 오일 켄칭을 위한 설비를 포함한다.
추가로, 바람직하게는 언로딩 로크는 노 작동 사이클 내에서 프레스 상에 또는 구속 장치 내에서 개별 가공물의 오일 켄칭을 위한 설비를 포함한다.
또한, 바람직하게는 언로딩 로크는 노 작동 사이클 내에서 가공물의 개별 가스 켄칭을 위한 설비를 포함한다.
또한 바람직하게는 개별 가공물의 가스 켄칭을 위한 장치는 최대 300 m/s의 속도로 냉각 가스 유동을 가압하기 위한 가스 노즐의 시스템 및 기저를 포함한 2-부분 노즐 수집기로 구성되며, 노즐은 개별 가공물의 형상에 따라 조절되는 형상이며, 노즐의 출구는 냉각된 가공물 표면으로부터 1 mm 내지 100 mm 이격된다.
게다가, 바람직하게는 노즐 수집기는 냉각된 가공물을 향하여 미끄러지는 2개의 이동식 부분을 가지며, 개별 가공물은 로딩 메커니즘에 의해 기저 상에 배치되고 냉각 사이클 동안에 노즐 수집기 밀폐의 공칭 위치에 배열된다.
또한 바람직하게는, 기저는 냉각 사이클 동안에 개별 가공물 표면의 균일한 폭발을 허용하기 위하여 회전 구동 메커니즘을 갖는다.
개별 공정 챔버는 가열, 저-압 질탄 및 확산 소킹 사이클(diffusion soaking cycle)을 위해 설계된다. 이 분할은 예를 들어, 1050oC에서 고온 침탄을 가정할 때 0.3 내지 0.6 mm의 범위의 침탄 층에 따른 LPC(저압 침탄) 사이클이 가능하다. 개별 챔버는 열-화학 공정의 연속적인 단계를 수행하기 위하여 공정 가스의 독립적인 공급을 허용하고, 이는 챔버가 구역 챔버 내에서 해당 열-가스 저항성 도어에 의해 분리되는 경우에 선호된다. 중실 구조이고 컴팩트한 설계의 목적은, 3개의 공정 챔버가 상하로 배치되어 2개의 로딩/언로딩 챔버를 3개의 구역에 통합시킬 수 있는 데 있고, 이에 따라 각각의 구역은 로딩 및 언로딩 연결부를 갖는다. 각각의 챔버는 바람직하게는 스탭핑 타입의 연속적인 가공물 공급 시스템이 끼워맞춤된다.
스틸로 제조된 (최대 f　=　200 mm 및 중량 = 1.5 kg) 유사 형태의 가공물 및 기어의 고압 가스 켄칭에 따라 저-압 질탄을 위한 노의 설계에 따라 최대 1050oC의 온도에 대한 단축된 노출이 허용되거나 또는 0.25 내지 1.0 mm의 질탄 층에 따라 문헌 EP 1980641, US 7,967,920 및 PL 210958호에 기재된 공정 및 방법에 따라 전형적인 상용 질탄 스틸 그레이드를 위해 사전-질화 공정을 이용할 수 있다. 방법은 3개의 공정 챔버, 즉 진공 가열 챔버, LPC(저압 질탄) 챔버, 및 확산 챔버 내로 분할되는 노에 대해 로딩 로크를 통하여 로딩하는 단계를 포함하며, 여기서 연속-타입 노를 통해 가공물의 유동이 로딩 위치로부터 언로딩 위치로 각각의 챔버를 따라 소위 스탭핑 가공물 공급 메커니즘에 의해 구현된다. 각각의 공정 구역은 바람직하게는 흑연 단열부 및 흑연 가열 요소를 포함하는 진공 하우징을 갖는 진공 노로서 구성된다. 상기 가열 챔버의 하부 벽은 로딩 구역으로부터 언로딩 구역으로 가열 챔버를 통하여 스탭핑 가공물 공급 메커니즘을 포함한다.
각각의 구역은 구역들 간에 가공물을 전달하는 메커니즘에 따라 챔버로부터 열 및 가스 분리를 제공하는, 입구 및 출구에서의 열적 및 가스가 새지 않는 도어를 갖는다. 이는 로딩 로크에 연결된 챔버가 제공되는 것을 의미하며 이송 메커니즘은 침탄 구역으로 가공물을 주기적으로 로딩하고 또한 진공 침탄 구역으로부터 사익 가공물을 언로딩하고 최종적으로 이를 확산 구역으로 로딩한다. 냉각 메커니즘과 통합된 챔버에 연결된 이송 메커니즘은 가열 구역으로 가공물을 언로딩하고, 그 뒤에 침탄 구역으로 이 가공물을 로딩하며, 또한 확산 사이클 이후에 가공물을 언로딩하고 이를 냉각 챔버로 이송한다. 이송 메커니즘의 이 타입에 따라 바람직하게는 하나의 구역 챔버를 상하로 배치할 수 있다.
로딩 로크 챔버는 외부 메커니즘을 이용한 로딩 절차 이후에 그리고 가열 구역으로 이송을 위해 내부 메커니즘에 의한 가공물 수용 이전에 각각의 가공물의 공기 제거를 허용하는 밸브가 끼워맞춤된다. 로딩 및 언로딩 로크 챔버는 노즐-계 가스 냉각을 위해 연관된 설비를 갖는 가스 켄칭 세트가 끼워맞춤된다.
본 발명에 따른 노는 첨부 도면을 기초로 상세히 기재된다:
도 1은 노의 3차원 도면.
도 2는 가열 챔버의 단면도.
도 3은 가열 챔버 내에서 가공물 공급이 허용되는 스탭핑 메커니즘의 도면.
도 4는 개별 아이템에 대한 가스 냉각 챔버의 단면도.
도 5는 진공 펌프 시스템 및 공정 가스 시스템이 도식적 도면.
노(furnace)는 상부 부분이 가열 챔버(2a)이고 중간 부분이 침탄 챔버(2b)이며 하부 부분이 확산 챔버(2c)인 수직 배열로(상하) 구성된 진공 하우징(1)을 포함한 3개의 공정 챔버 세트를 포함하며, 여기서 각각은 가열 챔버에 통합된다.
각각의 공정 챔버의 레벨에서, 진공 하우징은 서비스 및 설비 도어(3)와 끼워맞춤되고, 가열 챔버 입구 및 출구에서 가공물에 대해 각각의 챔버(2a, 2b, 2c)로 그리고 이로부터의 로딩 및 언로딩 메커니즘 X-Y(7a, 7b)과 통합된 진공 이송 챔버(5, 6)로부터 공정 챔버를 분리하는 열 및 가스가 새지 않는 도어(4)와 끼워맞춤된다.
로딩 및 언로딩 메커니즘 X-Y(7a, 7b)은 챔버(5)로부터 언로딩 로크(unloading lock, 14) 및 챔버(6)에 대한 로딩 로크(loading lock, 8) 뿐만 아니라 3개의 공정 챔버(2a, 2b, 2c)에 대해 수직방향으로 작동한다. 노를 통하여 가공물의 연속적인 흐름은 예를 들어, 0.5 내지 2 분의 소정의 간격에서 수행된다.
공정을 위한 가공물이 외부 로딩 장치에 의해 로딩 로크(8)의 로딩 위치에 배치된다. 로크는 바람직하게는 슬라이드 직선-이동 밸브 타입의 2개의 진공 밸브(10a, 10b)와 끼워맞춤되고, 또한 이는 진공 밸브(11)를 이용하여 밸브 시스템에 연결된다. 가공물이 전술된 바와 같이 로딩된 후에, 로딩 진공 밸브(10b)가 밀폐되고 펌프-아웃 사이클(pump-out cycle)은 0.1 mbar 미만의 진공에 도달될 때까지 뒤이은다. 추가로, 퍼징 진공 수준에 도달된 후에, 출구 진공 밸브(10a)가 개방되고 가공물은 이송 챔버(5) 내에서 수직 이송 메커니즘(7a)으로 이송된다. 밀폐 밸브(10a)의 가스(예를 들어, 질소)가 이송 메커니즘 X-Y(7a) 및 가스 밸브(12)를 통하여 로딩 로크에 주입된다. 상부 가열 챔버(2a)의 개방된 열적 및 가스가 새지 않는 도어를 통하여 가공물이 이 구역의 개시 위치에 배치된다. 이 챔버는 가공물이 가열 챔버의 코어 내에 통합된 스텝핑 메커니즘(13a)에 의해 점진적으로 이송되는 가공물 배치를 위한 15개의 위치를 갖는다.
가공물이 가열 챔버(2a) 내의 최종 위치로 이송된 후에, 이송 챔버(6) 내에 배치된 로딩 및 언로딩 메커니즘 X-Y(7b)은 가공물을 수집하고 이 가공물을 침탄 챔버(2b)의 스텝핑 메커니즘(13b)의 제1 위치에 배치하며 여기서 가공물은 노 작동 사이클 동안에 초기 위치로부터 최종 위치로 이송된다. 최종 위치에 도달된 후에, 가공물은 열적 및 가스가 새지 않는 도어(4)(순간에 개방)를 통하여 이송 챔버(5)의 로딩/언로딩 메커니즘(7a)에 의해 수집되고, 이는 확산 챔버(2c)의 제1 위치에 배치된다.
가열 챔버 내에 통합된 스텝핑 메커니즘(13c)을 사용하여 가공물이 확산 챔버(2c)를 통과하고, 이송 챔버(6)의 로딩/언로딩 메커니즘 X-Y(7b)은 가공물을 수집하고, 이를 언로딩 로크(14)의 냉각 위치에 배치한다.
언로딩 로크(14)는 2개의 진공-압 밸브(15a/15b)가 장착되며, 이 진공-압 밸브들 중 하나는 이송 챔버(6)에 연결되고 다른 하나는 외부 이송 장치를 사용하여 냉각 이후에 노로부터 가공물 제거를 보장한다. 펌프 시스템(17)에 연결된 밸브와 끼워맞춤된 언로딩 로크(14) 내에서, 다음과 같이 작동되는 개별 가스 냉각을 위한 설비가 제공된다: 냉각되는 가공물이 기저(18) 상에 배치되고 2-부분 노즐 수집기가 가공물 주위에 배치되고 2개의 이동식 부분 - 상부(19) 및 하부(20) - 이 냉각 사이클 동안에 밀폐되고 이송 중에 외측을 향하여 슬라이딩한다. 수집기는 상호교환가능하여 가공물의 형상에 대해 개별적으로 적용된다. 이동식 부분(19, 20)은 배출된 냉각 가스의 고속 라인과 가공물 표면의 최대 범위에 따라 표면으로부터 짧은 거리에 배열되고 냉각될 가공물의 표면을 향하여 지향된 노즐 시스템(21)의 냉각 가스 분포를 위한 시스템과 끼워맞춤된다. 이 구성은 또한 로크 하우징(14)의 영역에 대한 냉각 이후에 팽창된 가스의 용이한 유출을 특징으로 한다. 가공물의 주기적인 냉각 중에, 냉각 가스는 정해진 압력에서 버퍼 탱크(22)로부터 노즐(21)로 공급되며, 여기서 압력 레벨이 냉각 가스의 유출 속도 및 가스 소비에 의해 결정된다.
노즐(21)로부터 유동하고 가공물 표면에 접촉 이후에, 가스는 팽창되고 그 뒤에 통합형 압축기(23)에 의해 원하는 압력으로 압축되며, 그 이후에 이는 재차 버퍼 탱크(22) 내에 저장된다. 가공물-가스 열 교환으로부터의 열이 바람직하게는 버퍼 탱크(22)와 압축기(23) 사이에 배치된 끼워맞춤된 열 교환기(24)에서 제거된다. 높은 열 교환율로의 노즐-기저 냉각 및 개별 가공물의 주기적 냉각에 따라 냉각 가스의 완전히 밀폐된 루프가 구현된다.
가공물이 켄칭(quenching) 가능 속도로 냉각된 후에 그리고 냉각 가스 재순환 시스템의 밸브(25, 26)가 밀폐된 후에, 진공/압력 밸브(15b)가 개방된다(전술된 바와 같이). 침탄 및 켄칭된 가공물이 그 뒤에 통로를 통해 제거되고 다듬질 작업(finishing operation)이 수행된다.
1 진공 하우징
2a 가열 챔버
2b 침탄 챔버
2c 확산 챔버
8 로딩 로크
11 진공 밸브
14 로딩 로크
17 펌프 시스템
18 노즐 수집기 기저
22 버퍼 탱크
23 압축기
24 열 교환기

Claims (10)

  1. 기어, 샤프트 또는 링을 포함하는 가공물의 진공 침탄 및 켄칭을 위한 다-챔버 노로서, 상기 다-챔버 노는
    이송 시스템 및 켄칭 설비가 장착되고 진공 하우징 내에 배열되는 수직 또는 수평 배열로 구성된 일련의 공정 챔버를 포함하고, 상기 공정 챔버는 단열부 및 가열 시스템을 포함하고, 상기 노는 수직 방향으로 배열된 3개의 공정 챔버를 포함하고, 이 공정 챔버들 중 하나는 가열 챔버(2a)이고, 다른 하나는 침탄 챔버(2b)이며 또 다른 하나는 확산 챔버(2c)이고,
    상기 공정 챔버는 공정 챔버의 단부에 설치된 열적 및 가스가 새지 않는 도어(4)를 통하여 개별 공정 챔버와 협력할 수 있는 로딩 및 언로딩 시스템을 갖는 수직 이송 챔버(5, 6) 사이에 제공되며, 이송 챔버로의 외부 접근은 로딩 및 언로딩 로크를 통하여 가능하고,
    각각의 공정 챔버(2a, 2b, 2c) 내에는 가공물의 연속적인 공급을 위한 스탭핑 공급 메커니즘(13a, 13b, 13c)이 포함되고, 스탭핑 메커니즘(13a, 13b, 13c)은 개별 가공물의 배치를 위해 2 내지 100 스텝 사이에서 제공되며 공급 시간은 0.1 분 내지 60 분이고, 언로딩 로크(14)가 노 작동 사이클 내에서 개별 가공물의 오일 켄칭을 위한 설비를 포함하는 다-챔버 노.
  2. 제1항에 있어서, 공정 챔버(2a, 2b, 2c)는 흑연 가열 시스템이 설치되는 다-챔버 노.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 언로딩 로크(14)는 노 작동 사이클 내에서 프레스 상에 또는 구속 장치 내에서 개별 가공물의 오일 켄칭을 위한 설비를 포함하는 다-챔버 노.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 언로딩 로크(14)는 노 작동 사이클 내에서 가공물의 개별 가스 켄칭을 위한 설비를 포함하는 다-챔버 노.
  5. 제4항에 있어서, 개별 가공물의 가스 켄칭을 위한 설비는 최대 300 m/s의 속도로 냉각 가스 유동을 가압하기 위한 가스 노즐(21)의 시스템 및 기저(18)를 포함한 2-부분 노즐 수집기(19, 20)로 구성되며, 노즐은 가공물의 형상에 따라 조절되는 형상이며, 노즐의 출구는 냉각된 가공물 표면으로부터 1 mm 내지 100 mm 이격되는 다-챔버 노.
  6. 제5항에 있어서, 노즐 수집기는 냉각된 가공물을 향하여 미끄러지는 2개의 이동식 부분(19, 20)을 가지며, 개별 가공물은 로딩 메커니즘(7b)에 의해 기저(18) 상에 배치되고 냉각 사이클 동안에 노즐 수집기 밀폐의 공칭 위치에 배열되는 다-챔버 노.
  7. 제6항에 있어서, 기저(18)는 냉각 사이클 동안에 개별 가공물 표면의 균일한 폭발을 허용하기 위한 회전 구동 메커니즘을 갖는 다-챔버 노.
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