PL210958B1 - Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu - Google Patents

Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu

Info

Publication number
PL210958B1
PL210958B1 PL382118A PL38211807A PL210958B1 PL 210958 B1 PL210958 B1 PL 210958B1 PL 382118 A PL382118 A PL 382118A PL 38211807 A PL38211807 A PL 38211807A PL 210958 B1 PL210958 B1 PL 210958B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
valve
shut
mass flow
charge
output
Prior art date
Application number
PL382118A
Other languages
English (en)
Other versions
PL382118A1 (pl
Inventor
Piotr Kula
Józef Olejnik
Original Assignee
Seco Warwick Społka Akcyjna
Seco/Warwick Społka Akcyjna
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Warwick Społka Akcyjna, Seco/Warwick Społka Akcyjna filed Critical Seco Warwick Społka Akcyjna
Priority to PL382118A priority Critical patent/PL210958B1/pl
Priority to US12/078,442 priority patent/US7967920B2/en
Priority to ES08006673T priority patent/ES2392595T3/es
Priority to EP08006673A priority patent/EP1980641B8/en
Publication of PL382118A1 publication Critical patent/PL382118A1/pl
Publication of PL210958B1 publication Critical patent/PL210958B1/pl

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/20Carburising
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/20Carburising
    • C23C8/22Carburising of ferrous surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D11/00Process control or regulation for heat treatments

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)

Description

(12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 210958 (13) B1 (21) Numer zgłoszenia: 382118 (51) Int.Cl.
C23C 8/22 (2006.01) (22) Data zgłoszenia: 02.04.2007
Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu
(73) Uprawniony z patentu: SECO/WARWICK SPÓŁKA AKCYJNA, Świebodzin, PL
(43) Zgłoszenie ogłoszono:
13.10.2008 BUP 21/08 (72) Twórca(y) wynalazku: PIOTR KULA, Łódź, PL JÓZEF OLEJNIK, Świebodzin, PL
(45) O udzieleniu patentu ogłoszono:
30.03.2012 WUP 03/12 (74) Pełnomocnik:
rzecz. pat. Marek Passowicz
PL 210 958 B1
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób i układ do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu, korzystnie w atmosferze trójskładnikowej mieszaniny nawęglającej, zawierającej etylen, acetylen i wodór.
Z japoń skiego opisu patentowego nr JP 2002 173 759 znany jest system kontroli atmosfery gazowej oraz współpracujące z nim urządzenie do nawęglania próżniowego, w którym potencjał węglowy (PC) atmosfery wytwarzanej na bazie węglowodorów jest mierzony i regulowany w czasie rzeczywistym poprzez system obliczeniowy - na podstawie sygnałów z czujników ciśnienia procesu oraz ciśnienia cząstkowego wodoru w komorze procesowej lub przewodzie odlotowym.
Z kolei, z niemieckiego opisu patentowego nr DE 10 359 554 znany jest zestaw do nawęglania detali w piecu próżniowym dopasowujący zasilanie węglem do aktualnego zapotrzebowania przez detale. W zestawie tym, w komorze roboczej pieca lub na przewodzie odlotowym przed pompą próżniową zainstalowane zostały czujniki stężenia wodoru i/lub acetylenu, i/lub łącznej zawartości węgla, np. spektrometr masowy, z których sygnałów, po przetworzeniu w systemie obliczeniowym, przekazywany jest impuls do zaworu dozującego o potrzebnej wielkości dozowania, np. acetylenu, stosownie do chwilowego zapotrzebowania przez wsad zależnego od aktualnej zawartości węgla w stali.
Inne rozwiązanie zostało przedstawione w amerykańskim opisie patentowym nr US 6 846 366, w którym opisano urządzenie i metodę nawęglania przy ciśnieniu od 13 do 1000 Pa, w atmosferze zawierającej mniej niż 20% obj. tlenku węgla, której skład jest kontrolowany przez pomiar przewodnictwa cieplnego miernikiem próżni Piraniego w celu regulacji parametrów procesu temperatury, ciśnienia i składu atmosfery gazowej.
Z polskiego zgł oszenia patentowego nr P-356 754 znana jest trójskł adnikowa, zawierająca etylen, acetylen i wodór lub amoniak, mieszanina, która w procesie nawęglania w podciśnieniu wykazuje synergiczny efekt wysokiego stopnia dekompozycji węglowodorów na powierzchni wsadu, co skutkuje sprawnym przekazywaniem węgla z mieszaniny do powierzchni wsadu, bez tworzenia uciążliwych produktów ubocznych w postaci smoły lub/i sadzy. W procesie tym przekazywanie węgla z atmosfery do powierzchni wsadu następuje poprzez fazę pośrednią tworząca się na całej powierzchni wsadu - uwodorniony depozyt wę glowy (Kula i inni 2006). Przekazywanie wę gla do powierzchni jest wysoce intensywne, a zatem proces technologiczny jest podzielony na krótkie, kilkuminutowe fazy nasycania węglem (ang. boost) oraz fazy wyłącznie dyfuzyjnego rozprowadzania węgla w głąb stali (ang. diffusion). Są to niestacjonarne i nierównowagowe warunki procesu, których przebieg zjawisk i narastania warstwy dyfuzyjnej może być zaprogramowany wyłącznie na podstawie symulacji komputerowej przez system ekspertowy zawierający bazę danych o obrabianych materiałach oraz fizyczno-matematyczny model procesu. W warunkach zmiennego asortymentu produkcyjnego system ekspertowy poprawnie programuje przebieg procesu pod warunkiem wprowadzenia do niego wymaganych parametrów warstwy, temperatury procesu, gatunku stali oraz aktywnej powierzchni wsadu, której oszacowanie w warunkach produkcyjnych moż e być obarczone pewnym błędem.
Istota sposobu według wynalazku polega na tym, że sygnały z przetwornika przepływu masowego, zebrane w przedziale czasowym pomiędzy 30-tą a 300-tną sekundą trwania pierwszej fazy nasycania węglem, przekazuje się do systemu ekspertowego celem porównania z wyznaczonymi doświadczalnie w funkcji aktywnej powierzchni wsadu z charakterystykami wzorcowymi dla ich wskazań oraz dokonania obliczenia poprawki korekcyjnej dla przyjętej w systemie, oszacowanej powierzchni wsadu.
Z kolei istota ukł adu wedł ug wynalazku polega na tym, ż e przyłączony do technologicznego zespołu pompy lub zestawu pomp próżniowych i pieca próżniowego zwrotny obwód bocznikowy, zawierający między innymi przetwornik sygnału przepływu masowego próbki gazów odlotowych i zawór kalibracyjny, jest połączony za pośrednictwem zaworu referencyjnego z systemem doprowadzającym przeznaczone do kalibracji układu gazy referencyjne.
Korzystnym jest, gdy obwód bocznikowy, zawierający w połączeniu szeregowym pierwszy zawór odcinający, filtr gazowy, drugi zawór odcinający, przetwornik sygnału przepływu masowego, zawór kalibracyjny oraz trzeci zawór odcinający, jest włączony pomiędzy wyjście i wejście zestawu pomp próżniowych, przy czym pomiędzy zawór odcinający a filtr gazowy jest włączone wyjście zaworu referencyjnego.
Korzystnym jest także, gdy obwód bocznikowy, zawierający w szeregowym połączeniu pierwszy zawór odcinający, filtr gazowy, drugi zawór odcinający, wspomagającą pompę próżniową, reduktor do
PL 210 958 B1 stabilizacji ciśnienia, przetwornik sygnału przepływu masowego, zawór kalibracyjny oraz trzeci zawór odcinający, jest włączony pomiędzy wejście zestawu pomp próżniowych a wyjście technologicznego zaworu odcinającego pieca próżniowego, przy czym pomiędzy wyjście wspomagającej pompy próżniowej a reduktor jest włączone wyjście zaworu referencyjnego.
Sposób i stanowiący kompaktowy system pomiarowy układ wg wynalazku eliminują ryzyko zniszczenia wsadu i/lub zanieczyszczenia instalacji, wynikające z możliwości wprowadzenia przez operatora do systemu symulacyjno-regulującego błędnych lub niedokładnych danych o powierzchni obrabianych elementów.
Wynalazek zostanie bliżej opisany na podstawie przykładowych wykonań pokazanych na rysunku, na którym poszczególne figury przedstawiają:
figura 1 - układ kontrolno-pomiarowy z przetwornikiem sygnału przepływu masowego umieszczonym w zwrotnym obwodzie bocznikowym głównej pompy próżniowej; oraz figura 2 - odmianę układu z przetwornikiem sygnału przepływu masowego umieszczonym w zwrotnym obwodzie bocznikowym głównego systemu pompowego, po stronie próżniowej.
Układ w pierwszej odmianie przedstawionej na fig. 1 jest zainstalowany jako zwrotny obwód bocznikowy pompy lub zestawu pomp próżniowych 8, którego wejście jest przyłączone, za pośrednictwem technologicznego zaworu odcinającego 9, do pieca próżniowego 10. Pomiędzy wyjście i wejście zestawu pomp próżniowych 8 jest włączona gałąź bocznikowa, składająca się z szeregowo połączonych urządzeń: pierwszego zaworu odcinającego 1, filtra gazowego 2, drugiego zaworu odcinającego 3, przetwornika sygnału przepływu masowego 5 próbki gazów odlotowych, zaworu kalibracyjnego 6 i trzeciego zaworu odcinającego 7, przy czym pomiędzy zawór odcinający 1 a filtr gazowy 2 jest włączone wyjście zaworu referencyjnego 4, poprzez który doprowadza się z zewnątrz przeznaczone do kalibracji układu gazy referencyjne.
Ustalenie referencyjnego przepływu objętościowego w układzie dokonuje się drogą gazową, w odniesieniu do wartości ustalonego przepływu masowego znanego gazu kalibracyjnego, np. azotu, helu lub powietrza, poprzez zawór referencyjny 4, przetwornik sygnału przepływu masowego 5, zawór kalibracyjny 6 oraz zawór odcinający 7.
W odmianie na fig. 2, obwód bocznikowy, zawierający w szeregowym połączeniu pierwszy zawór odcinający 1, filtr gazowy 2, drugi zawór odcinający 3, wspomagającą pompę próżniową 11, reduktor 12 do stabilizacji ciśnienia, przetwornik sygnału przepływu masowego 5, zawór kalibracyjny 6 oraz trzeci zawór odcinający 7, jest włączony pomiędzy wejście zestawu pomp próżniowych 8 a wyjście technologicznego zaworu odcinającego 9 pieca próżniowego 10, przy czym pomiędzy wyjście wspomagającej pompy próżniowej 11 a reduktor 12 jest włączone wyjście zaworu referencyjnego 4.
W trakcie procesu realizowanego w trójskładnikowej mieszaninie nawęglającej zawierającej etylen, acetylen i wodór, w zakresie ciśnień od 0,1 do 10 kPa oraz w zakresie temperatur od 800 do 1100°C, droga przez boczny bocznik pomiarowy zostaje otwarta w przedziale czasowym od 30-tej do 300-tnej sekundy trwania pierwszej fazy nasycania węglem, zaś sygnały elektryczne zebrane w tym okresie przekazywane zostają do systemu ekspertowego w celu porównania z charakterystykami wzorcowymi wyznaczonymi doświadczalnie w funkcji aktywnej powierzchni wsadu oraz dokonania obliczenia poprawki korekcyjnej dla przyjętej w systemie oszacowanej powierzchni wsadu. W wyniku tak przeprowadzanej korekty w trakcie procesu, uzyskuje się dobrze wykształcone i równomierne nawęglone warstwy o założonym profilu stężenia węgla i unika się przy tym tworzenia produktów ubocznych, takich jak smoła lub sadza.
P r z y k ł a d 1
W komorze uniwersalnego pieca próżniowego 10, o wymiarach komory roboczej 400 x 400 x 600 mm, umieszczono elementy wykonane ze stali 16CrMn5, których powierzchnię wstępnie oszacowano na 2,1 m2, a następnie uzyskaną z szacunku wartość wprowadzono do systemu symulacyjnosterującego pieca, łącznie z pozostałymi parametrami warstwy, a mianowicie: stężeniem powierzchniowym węgla - 0,75% wag., umowną grubością warstwy nawęglonej 0,6 mm przy stężeniu granicznym 0,4% wag. C oraz parametrami procesu - temperaturą 950°C i ciśnieniem dozowania gazów węglonośnych w fazach nasycania boost z pulsacją w przedziale od 0,5 do 0,8 kPa. Za pośrednictwem systemu symulacyjnego system symulacyjny, po zaprogramowaniu organizacji procesu nawęglania wg następującej sekwencji faz:
• nagrzewanie konwekcyjne w azocie do temperatury 700°C, • nagrzewanie w próżni do temperatury 950°C, • nasycanie węglem boost - 5 min 41 s,
PL 210 958 B1 • dyfuzja diffusion - 11 min 22 s, • nasycanie węglem boost - 3 min 24 s, • dyfuzja diffusion - 18 min 53 s, • nasycanie węglem boost - 3 min 24 s, • dyfuzja diffusion - 37 min, • nasycanie węglem boost - 3 min 24 s, • dyfuzja diffusion - 23 min 33 s, • schłodzenie do temperatury hartowania 840°C z szybkością 5°C/min, • hartowanie w azocie pod ciśnieniem 103 kPa, dobrał optymalne wielkości dozowania mieszaniny nawęglającej o składzie etylen 26%, acetylen 26% oraz wodór 46%. Po upływie 30-tu sekund od rozpoczęcia pierwszej fazy nasycania węglem, system otworzył zwrotny obwód bocznikowy pompy próżniowej 8 wywołując przepływ próbki gazów odlotowych przez przetwornik sygnału przepływu masowego 5, po czym zamknął tę drogę po upływie kolejnych 270-ciu sekund. Na podstawie otrzymanych w tym czasie sygnałów system wyznaczył średnią gęstość gazów odlotowych 0,156 g/dm i porównując ją z charakterystyką wzorcową skorygował aktywną powierzchnię wsadu w górę, do wartości 2,6 m. W kolejnych fazach nasycania węglem system przyjął skorygowane wielkości dozowania mieszaniny nawęglającej. W wyniku procesu uzyskano dobrze wykształcone i równomierne warstwy nawęglone o założonym profilu stężenia węgla (CR 0,75% C, AHT 0,59 mm), a przy tym uniknięto powstawania produktów ubocznych, takich jak smoła lub sadza.
P r z y k ł a d 2
W komorze uniwersalnego pieca próżniowego 10, o wymiarach komory roboczej 400 x 400 x 600 mm, umieszczono elementy wykonane ze stali 16CrMn5. Po wstępnym oszacowaniu powierzchni na 2,3 m2 wartość tę wprowadzono do systemu symulacyjno-sterującego pieca łącznie z pozostałymi parametrami warstwy: stężeniem powierzchniowym węgla granicznym 0,4% wag. C oraz parametrami procesu: temperaturą 1000°C, ciśnieniem dozowania gazów węglonośnych w fazach nasycania boost z pulsacją w przedziale od 0,5 do 0,8 kPa. W celu ograniczenia rozrostu ziarna austenitu zastosowano opcję wstępnego nasycenia warstwy wierzchniej azotem ang. prenitriding. System symulacyjny, po zaprogramowaniu organizacji procesu nawęglania wg następującej sekwencji faz:
• nagrzewanie konwekcyjne w azocie do temperatury 400°C, • nagrzewanie od temperatury 400°C do 700°C pod ciśnieniem 0,25 kPa przy dozowaniu do komory amoniaku, • nagrzewanie w próżni do temperatury 1000°C, • nasycanie węglem boost - 6 min 12 s, • dyfuzja diffusion - 29 min 33 s, • nasycanie węglem boost - 4 min 47 s, • dyfuzja diffusion - 17 min 7 s, • hartowanie w azocie pod ciśnieniem 103 Pa, dobrał optymalne wielkości dozowania mieszaniny nawęglającej o składzie etylen 26%, acetylen 26% oraz wodór 46%. Po upływie 60 sekund od rozpoczęciu pierwszej fazy nasycania węglem, system otworzył zwrotny obwód bocznikowy pompy próżniowej 8 wywołując przepływ próbki gazów odlotowych przez przetwornik sygnału przepływu masowego 5 i zamknął tę drogę po upływie kolejnych 180 sekund. Na podstawie otrzymanych w tym czasie sygnałów system wyznaczył średnią gęstość gazów odlotowych 0,125 g/dm3 i porównując ją z charakterystyką wzorcową zdecydował, że wartość ta mieści się w granicach tolerancji, a następnie zaakceptował przyjętą powierzchnię wsadu do realizacji drugiej fazy nasycania węglem. W wyniku procesu uzyskano dobrze wykształcone i równomierne warstwy nawęglone o założonym profilu stężenia węgla CR 0,74% C, AHT 0,66 mm, a także i w tym przypadku uniknięto tworzenia się produktów ubocznych, takich jak smoła lub sadza.

Claims (4)

Zastrzeżenia patentowe
1. Sposób kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu, w zakresie ciśnień od 0,1 do 10 kPa oraz w zakresie temperatur od 800 do 1100°C, znamienny tym, że sygnały odzwierciedlające przepływ masowy próbki gazów odlotowych, zebrane w przedziale czasowym pomiędzy 30-tą a 300-tną sekundą trwania pierwszej fazy nasycania węglem, przekazuje się do systemu ekspertowego celem porównania z wyznaczonymi doświadczalnie w funkcji aktywnej poPL 210 958 B1 wierzchni wsadu z charakterystykami wzorcowymi dla ich wskazań oraz dokonania obliczenia poprawki korekcyjnej dla przyjętej w systemie, oszacowanej powierzchni wsadu.
2. Układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciś nieniu, w zakresie ciś nień od 0,1 do 10 kPa oraz w zakresie temperatur od 800 do 1100°C, znamienny tym, że stanowi przyłączony do zespołu technologicznego pompy lub zestawu pomp próżniowych (8) i pieca próżniowego (10) zwrotny obwód bocznikowy z przetwornikiem sygnału przepływu masowego (5) próbki gazów odlotowych i zaworem kalibracyjnym (6), połączony za pośrednictwem zaworu referencyjnego (4) z systemem doprowadzającym przeznaczone do kalibracji układu gazy referencyjne.
3. Układ według zastrz. 2, znamienny tym, że obwód bocznikowy, zawierający w połączeniu szeregowym pierwszy zawór odcinający (1), filtr gazowy (2), drugi zawór odcinający (3), przetwornik sygnału przepływu masowego (5), zawór kalibracyjny (6) oraz trzeci zawór odcinający (7), jest włączony pomiędzy wyjście i wejście zestawu pomp próżniowych (8), przy czym pomiędzy zawór odcinający (1) a filtr gazowy (2) jest włączone wyjście zaworu referencyjnego (4).
4. Układ według zastrz. 2, znamienny tym, że obwód bocznikowy, zawierający w szeregowym połączeniu pierwszy zawór odcinający (1), filtr gazowy (2), drugi zawór odcinający (3), wspomagającą pompę próżniową (11), reduktor (12) do stabilizacji ciśnienia, przetwornik sygnału przepływu masowego (5), zawór kalibracyjny (6) oraz trzeci zawór odcinający (7), jest włączony pomiędzy wejście zestawu pomp próżniowych (8) a wyjście technologicznego zaworu odcinającego (9) pieca próżniowego (10), przy czym pomiędzy wyjście wspomagającej pompy próżniowej (11) a reduktor (12) jest włączone wyjście zaworu referencyjnego (4).
PL382118A 2007-04-02 2007-04-02 Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu PL210958B1 (pl)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL382118A PL210958B1 (pl) 2007-04-02 2007-04-02 Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu
US12/078,442 US7967920B2 (en) 2007-04-02 2008-03-31 Method and measurement system for the control of an active charge surface in the low pressure carburizing process
ES08006673T ES2392595T3 (es) 2007-04-02 2008-04-01 Método y medición para el control de una superficie de carga activa en el procedimiento de cementación a baja presión
EP08006673A EP1980641B8 (en) 2007-04-02 2008-04-01 Method and measurement system for the control of an active charge surface in the low pressure carburizing process

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL382118A PL210958B1 (pl) 2007-04-02 2007-04-02 Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL382118A1 PL382118A1 (pl) 2008-10-13
PL210958B1 true PL210958B1 (pl) 2012-03-30

Family

ID=39642957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL382118A PL210958B1 (pl) 2007-04-02 2007-04-02 Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7967920B2 (pl)
EP (1) EP1980641B8 (pl)
ES (1) ES2392595T3 (pl)
PL (1) PL210958B1 (pl)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3054019A1 (en) 2015-02-04 2016-08-10 Seco/Warwick S.A. Multi-chamber furnace for vacuum carburizing and quenching of gears, shafts, rings and similar workpieces

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DK2462253T3 (da) 2009-08-07 2021-05-31 Swagelok Co Opkulning ved lav temperatur under lavt vakuum
CN102191451B (zh) * 2011-04-19 2013-06-19 哈尔滨意锋稀土材料开发有限公司 一种双炉膛式连续稀土渗碳工艺
US8479581B2 (en) 2011-05-03 2013-07-09 General Electric Company Device and method for measuring pressure on wind turbine components
DK2804965T3 (da) 2012-01-20 2020-12-14 Swagelok Co Samtidigt flow af aktiveringsgas ved lavtemperatur-karburering
CN102828010B (zh) * 2012-09-27 2013-11-06 鞍钢股份有限公司 一种安全释放罩式炉焦油的方法
MX2017000565A (es) * 2017-01-13 2018-07-12 Thyssenkrupp Presta De Mexico S A De C V Proceso de carburizado a baja presión.
PL422596A1 (pl) * 2017-08-21 2019-02-25 Seco/Warwick Spółka Akcyjna Sposób nawęglania podciśnieniowego (LPC) elementów wykonanych ze stopów żelaza i innych metali
JP6853230B2 (ja) * 2018-11-12 2021-03-31 中外炉工業株式会社 アセチレンガス濃度推定装置、アセチレンガス適量推定装置および該装置を備える真空浸炭装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4410758A (en) * 1979-03-29 1983-10-18 Solar Voltaic, Inc. Photovoltaic products and processes
US4719073A (en) * 1986-01-06 1988-01-12 Langan John D Method of monitoring an article in sintering furnace
JP2002173759A (ja) 2000-12-05 2002-06-21 Toho Gas Co Ltd 真空浸炭雰囲気ガス制御システム及びそのシステムに用いられる真空浸炭処理装置
JP3531736B2 (ja) * 2001-01-19 2004-05-31 オリエンタルエンヂニアリング株式会社 浸炭方法及び浸炭装置
DE10242616A1 (de) * 2002-09-13 2004-03-25 Linde Ag Verfahren und Vorrichtung zum Unterdruckaufkohlen
PL204202B1 (pl) 2002-10-21 2009-12-31 Politechnika & Lstrok Odzka Mieszanina węglowodorowa do nawęglania stali w podciśnieniu
DE10359554B4 (de) 2003-12-17 2008-04-17 Ald Vacuum Technologies Ag Verfahren zur Aufkohlung metallischer Werkstücke in einem Vakuumofen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3054019A1 (en) 2015-02-04 2016-08-10 Seco/Warwick S.A. Multi-chamber furnace for vacuum carburizing and quenching of gears, shafts, rings and similar workpieces

Also Published As

Publication number Publication date
EP1980641A2 (en) 2008-10-15
US20080277029A1 (en) 2008-11-13
EP1980641A3 (en) 2011-08-10
ES2392595T3 (es) 2012-12-12
PL382118A1 (pl) 2008-10-13
US7967920B2 (en) 2011-06-28
EP1980641B1 (en) 2012-09-19
EP1980641B8 (en) 2012-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
PL210958B1 (pl) Sposób i układ kontrolno-pomiarowy do kontroli aktywnej powierzchni wsadu w procesie nawęglania w podciśnieniu
TWI259342B (en) Mass flow ratio system and method
JP5755958B2 (ja) 半導体製造装置の原料ガス供給装置
JP5538119B2 (ja) ガス供給装置用流量制御器の校正方法及び流量計測方法
KR100579148B1 (ko) 성막 장치 및 이것을 사용하는 원료 공급 장치, 가스 농도검출 방법
US8151814B2 (en) Method for controlling flow and concentration of liquid precursor
CN103797563B (zh) 具备原料浓度检测结构的原料气化供给装置
US8293167B2 (en) Surface treatment of metallic articles in an atmospheric furnace
KR101154757B1 (ko) 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 제어 방법 및 기억 매체
US7485189B2 (en) Thin film deposition device using an FTIR gas analyzer for mixed gas supply
CN107043927B (zh) 原料气体供给装置和原料气体供给方法
TW200710264A (en) Methods for verifying gas flow rates from a gas supply system into a plasma processing chamber
US20080073002A1 (en) Carburization treatment method and carburization treatment apparatus
KR20120123450A (ko) 펄스형 가스 운반 제어 및 방법
JP2003077842A (ja) 半導体装置の製造装置および製造方法ならびに半導体製造装置のクリーニング方法
US6024893A (en) Method for controlling a nitriding furnace
US7276204B2 (en) Carburization treatment method and carburization treatment apparatus
JP6979936B2 (ja) 雰囲気制御方法及び雰囲気制御装置
EP1264914A2 (en) A carburising method and an apparatus therefor
Maslar et al. Characterization of vapor draw vessel performance for low-volatility solid precursor delivery
JP5455406B2 (ja) 焼成炉の露点制御方法
JP2003166066A (ja) 成膜制御装置、成膜装置、成膜方法、膜厚流量係数算出方法、およびプログラム
JP7017084B2 (ja) 成膜装置および半導体装置の製造方法
Nagase et al. Precise control of gas concentration ratio in process chamber
Krumdieck et al. Design investigation for three-dimensional uniformity of the mass transport field