KR102383744B1 - 기판 분단 방법 및 스크라이브 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 적은 공정으로 원활하게 밀봉재의 위치에서 마더 기판을 분단시키는 것이 가능한 기판 분단 방법 및 그것에 이용하는 스크라이브 장치를 제공한다.
[해결 수단] 마더 기판(G)의 분단은, 유리 기판(G1)의 표면의 밀봉재(SL)에 대향하는 위치에 스크라이빙 휠(301)을 누르면서 스크라이빙 휠(301)을 밀봉재(SL)를 따라서 이동시켜서 유리 기판(G1)의 표면에 스크라이브 라인(L1)을 형성하는 공정과, 적어도 유리 기판(G2)의 측면의 스크라이브 라인(L1)의 형성 위치에 대응하는 위치에 트리거 크랙(TC)을 형성하는 공정과, 유리 기판(G2)의 표면을 브레이크 바(BB)로 압압하고, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력을 마더 기판(G)에 부여해서, 트리거 크랙(TC)을 따라서 마더 기판(G)을 분단시키는 공정을 포함한다.

Description

기판 분단 방법 및 스크라이브 장치{SUBSTRATE DIVIDING METHOD AND SCRIBE APPARATUS}

본 발명은, 스크라이브 라인을 형성해서 접합 기판을 분단시키는 기판 분단 방법 및 그것에 이용하는 스크라이브 장치에 관한 것이다.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 칼 끝이, 기판 표면을 누르면서, 소정의 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.

이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판으로부터 액정 패널을 잘라내기 위한 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 밀봉재를 개재해서 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단되는 것에 의해 각각의 액정 패널이 취득된다. 밀봉재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역이 되는 공간이 남도록 배치된다.

상기 구성의 마더 기판을 분단할 경우에는, 마더 기판의 양면에 스크라이브 라인이 형성된다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 마더 기판의 한쪽 면에 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 마더 기판을 상하 반전시켜, 마더 기판의 다른 쪽 면에 스크라이브 라인을 형성한다. 이와 같이 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인을 형성한 후, 마더 기판의 한쪽 면을 압압해서, 접합된 한쪽 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크하고, 그 후, 마더 기판을 상하 반전시켜, 마찬가지 공정에 의해, 접합된 다른 쪽 기판을 스크라이브 라인을 따라서 브레이크시킨다.

JP 2006-137641 A JP 2003-131185 A

상기 특허문헌 1에도 나타낸 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 이웃하는 액정 주입 영역 사이에, 밀봉재가 개재하지 않는 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기한 바와 같이 마더 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성할 경우에는, 밀봉재가 개재하지 않는 영역에, 스크라이브 라인이 형성되었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성해서 마더 기판을 분단하면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주변에 소정 폭의 프레임 영역이 남는 것으로 된다.

그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 프레임 영역을 극한까지 좁게 하는 것이 주류로 되고 있다. 이 요구에 응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 밀봉재가 개재하지 않는 영역이 생략되고, 이웃하는 액정 주입 영역은, 밀봉재에 의해서만 구획되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 밀봉재를 따라서 형성되게 된다.

이와 같이 밀봉재를 따라서 스크라이브 라인을 형성할 경우에도, 상기한 바와 같이, 각 면에 대해서 개별로 스크라이브 라인을 형성하고, 그 후, 각 면을 개별로 브레이크시키는 방법을 이용할 수 있다. 그렇지만, 이 방법을 이용하면, 마더 기판을 분단시키기 위한 공정이 많아지므로, 마더 기판의 분단에 요하는 시간을 단축화하는 것이 곤란하다.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 적은 공정으로 원활하게 밀봉재의 위치에서 마더 기판을 분단시키는 것이 가능한 기판 분단 방법 및 그것에 이용하는 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판을 분단시키는 기판 분단 방법에 관한 것이다. 본 양상에 따른 기판 분단 방법은, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서 상기 제1 기판의 상기 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 공정과, 적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인의 형성 위치에 대응하는 위치에 크랙을 형성하는 공정과, 상기 스크라이브 라인을 벌어지게 하는 방향의 응력을 상기 마더 기판에 부여함으로써, 상기 크랙을 따라서 상기 마더 기판을 분단시키는 공정을 포함한다.

본 양상에 따른 기판 분단 방법에 따르면, 제1 기판에 형성된 스크라이브 라인을 벌어지게 하는 방향의 응력을 마더 기판에 부여함으로써, 제2 기판의 측면에 형성된 크랙을 기점으로 해서, 제1 기판과 함께 제2 기판이 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다. 따라서, 스크라이브 라인의 형성 시, 마더 기판을 반전시켜서 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 생략할 수 있고, 또한, 브레이크 시에 마더 기판을 반전시켜서 제2 기판을 브레이크하는 공정을 생략할 수 있다. 따라서, 본 양상에 따른 기판 분단 방법에 따르면, 적은 공정으로 원활하게, 마더 기판을 분단시킬 수 있다.

또, 본 양상에 따른 기판 분단 방법에서는, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 행한 후, 상기 크랙을 형성하는 공정을 행하는 것이 바람직하다. 스크라이브 라인의 형성 시에 이미 제2 기판의 측면에 크랙이 형성되어 있으면, 스크라이브 라인 형성 시의 하중에 의해, 크랙을 기점으로 해서 제2 기판에 원치 않는 균열이 생길 것이 염려된다. 이것에 대해서, 스크라이브 라인의 형성보다도 나중에 크랙을 형성하면, 이러한 문제가 회피된다. 따라서, 크랙을 형성하는 공정은, 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 행한 후에 행하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 마더 기판을 분단시키는 공정에서는, 상기 스크라이브 라인이 형성된 위치에 대응하는 상기 제2 기판의 표면을 압압함으로써, 상기 스크라이브 라인을 벌어지게 하는 방향의 응력을 상기 마더 기판에 부여하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 스크라이브 라인에 대응하는 위치에 있어서 제2 기판의 표면이 눌리면서, 스크라이브 라인을 중심으로 해서 마더 기판의 양측에 거의 균등하게 응력이 부여되어서 스크라이브 라인이 벌어지므로, 스크라이브 라인이 형성되지 않은 제2 기판을 보다 원활하게 브레이크시킬 수 있다.

또, 상기 크랙을 형성하는 공정에서는, 상기 제1 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인에 대응하는 위치에도 크랙이 형성되어도 된다. 이렇게 하면, 제1 기판의 측면에 대한 크랙의 형성을 도입 동작으로 해서, 제2 기판의 측면에 원활하게 크랙을 형성할 수 있다.

또한, 제2 기판의 측면에 형성되는 크랙은, 상기 제2 기판의 두께 방향의 전체 길이에 있어서, 상기 제2 기판의 측면에 형성하는 것이 바람직하다. 이렇게, 제2 기판을 브레이크시킬 때에 기점이 되는 크랙을 길게 취함으로써, 제2 기판을 보다 적정하게 브레이크시킬 수 있다.

본 발명의 제2 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서 상기 제1 기판의 상기 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성 수단과, 적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인이 형성되는 위치에 대응하는 위치에 크랙을 형성하는 크랙 형성 수단을 포함한다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치를 사용함으로써, 상기 제1 양상에 따른 기판 분단 방법에 있어서의 스크라이브 라인과 크랙이 마더 기판에 형성될 수 있다. 따라서, 제1 양상에 대해서 기술한 효과가 발휘될 수 있다.

본 발명의 제3 양상은, 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1 헤드와, 적어도 상기 제2 기판의 측면에 크랙을 형성하는 제2 헤드와, 상기 제1 헤드를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키는 제1구동부와, 상기 제2 헤드를 상기 마더 기판의 상부면에 수직인 방향으로 이동시키는 제2구동부를 포함한다. 여기서, 상기 제1 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼이 상기 밀봉재를 따라서 이동되고, 상기 제2 헤드는, 적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인의 형성 위치에 대응하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼이 상기 마더 기판의 상부면에 수직인 방향으로 이동된다.

본 양상에 따른 스크라이브 장치를 사용함으로써, 상기 제1 양상에 따른 기판 분단 방법에 있어서의 스크라이브 라인과 크랙이 마더 기판에 형성될 수 있다. 따라서, 제1 양상에 대해서 기술한 효과가 발휘될 수 있다.

제3 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에 상기 마더 기판이 놓이는 동시에 상기 마더 기판을 하류 측으로 이송 가능한 제1컨베이어와, 상기 제1컨베이어의 하류 측에 설치되어 상기 제1컨베이어에 의해 이송된 상기 마더 기판이 놓이는 제2 컨베이어를 포함하는 구성으로 할 수 있다. 이 구성에서는, 상기 제2 컨베이어에 있어서 상기 마더 기판의 적어도 한쪽 단부가 상기 제2 컨베이어로부터 밀려나오도록, 상기 마더 기판의 이송 방향에 수직인 방향에 있어서, 상기 제2 컨베이어의 폭이 상기 제1컨베이어의 폭보다도 작게 설정되고, 상기 제2 헤드는, 상기 제2 컨베이어로부터 밀려나온 상기 마더 기판의 단부 측에 있어서, 상기 마더 기판에 수직인 방향으로 이동되도록 구성될 수 있다. 이렇게 하면, 제2 헤드에 의해 원활하게 크랙을 형성할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 적은 공정으로 원활하게 밀봉재의 위치에서 마더 기판을 분단시키는 것이 가능한 기판 분단 방법 및 그것에 이용하는 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 또는 의의는, 이하에 나타내는 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타내는 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것은 아니다.

도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 모식적으로 도시한 도면;
도 2는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 분해 사시도;
도 3은 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 사시도;
도 4는 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 나타낸 블록도 및 마더 기판의 분단 공정을 나타낸 순서도;
도 5는 실시형태에 따른 기판 분단 방법의 분단 공정을 설명하는 도면;
도 6은 실시형태에 따른 기판 분단 방법에 의한 실험 결과를 도시한 도면;
도 7은 실시형태에 따른 스크라이브 공정에 있어서의 작용을 모식적으로 도시한 도면;
도 8은 변경예에 따른 트리거 크랙의 형성 방법 및 브레이크 방법을 도시한 도면.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다.

<스크라이브 장치의 구성>

도 1(a), (b), (c)는, 스크라이브 장치(1)의 구성을 모식적으로 도시한 도면이다. 도 1(a)는 Y축의 플러스 측에서 스크라이브 장치(1)를 본 도면이고, 도 1(b)는 X축의 플러스 측에서 스크라이브 장치(1)의 일부를 본 도면, 도 1(c)는 Z축의 플러스 측에서 스크라이브 장치(1)의 일부를 본 도면이다.

도 1(a), (b)를 참조하면, 스크라이브 장치(1)는, 제1 컨베이어(11a)와, 제2 컨베이어(11b)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13)와, 슬라이딩 유닛(14)과, 구동 모터(15)와, 가이드(16)와, 슬라이딩 유닛(17)과, 구동 모터(18)와, 카메라(19a, 19b)와, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 제1 컨베이어(11a) 상에 마더 기판(G)이 놓인다. 마더 기판(G)은 1쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 제1 컨베이어(11a)에 의해 Y축의 마이너스 방향으로 이송되어서, 제2 컨베이어(11b)에 수수된다. 도 1(c)에 나타낸 바와 같이, 제2 컨베이어(11b)의 X축 방향의 폭은, 제1 컨베이어(11a)의 X축 방향의 폭보다도 작다. 즉, 제2 컨베이어(11b)는, X축의 플러스 측의 단부가 제1 컨베이어(11a)에 대하여 X축의 마이너스 방향으로 후퇴하고 있다. 이 때문에, 제2 컨베이어(11b)에 수수된 마더 기판(G)은, X축의 플러스 방향의 단부가 제2 컨베이어(11b)로부터 약간 밀려나온다.

도 1(a)를 참조하면, 지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 제1 컨베이어(11a)를 끼워서 수직으로 설치되어 있다. 가이드(13)는, X축 방향으로 평행이 되도록, 지주(12a, 12b) 사이에 가설되어 있다. 슬라이딩 유닛(14)은, 가이드(13)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 가이드(13)에는, 구동 모터(15)가 설치되고, 이 구동 모터(15)에 의해 슬라이딩 유닛(14)이 X축 방향으로 구동된다.

슬라이딩 유닛(14)에는 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. 이 스크라이브 헤드(2)에는, 마더 기판(G)의 상부면에 대향하도록 스크라이빙 툴이 부착된다. 스크라이빙 툴에 유지된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면에 압압된 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.

도 1(b)를 참조하면, 제2 컨베이어(11b)의 X축의 플러스 측에 가이드(16)가 설치되어 있다. 가이드(16)는, Z축에 평행이 되도록, 스크라이브 장치(1)의 지지 프레임(도시 생략)에 고착되어 있다. 슬라이딩 유닛(17)은 가이드(16)에 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 가이드(16)에는, 구동 모터(18)가 설치되고, 이 구동 모터(18)에 의해 슬라이딩 유닛(17)이 X축 방향으로 구동된다.

슬라이딩 유닛(17)에는 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. 이 스크라이브 헤드(2)에는, 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)과 같은 높이에 있을 때에 마더 기판(G)의 X축의 플러스 측의 측면에 대향하도록 스크라이빙 툴이 부착된다. 스크라이빙 툴에 유지된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 측면에 압압되면서 스크라이브 헤드(2)가 Z축 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 마더 기판(G)의 측면에 후술하는 트리거 크랙(TC)(도 5 참조)이 형성된다. 도 1(c)를 참조해서 설명한 바와 같이, 마더 기판(G)의 X축의 플러스 측의 측면은, 이와 같이 트리거 크랙(TC)을 형성 가능하도록, 상기한 바와 같이 제2 컨베이어(11b)로부터 약간 밀려나오고 있다.

카메라(19a, 19b)는, 가이드(13)의 위쪽에 배치되고, 마더 기판(G)에 표기된 정렬 마크를 검출한다. 카메라(19a, 19b)로부터의 촬상 화상에 의해서, 제1 컨베이어(11a)에 대한 마더 기판(G)의 배치 위치가 검출된다. 마찬가지로, 제2 컨베이어(11b)의 위쪽에도 2개의 카메라(도시 생략)가 배치되어 있다. 이들 카메라로부터의 촬상 화상에 의해서, 제2 컨베이어(11b)에 대한 마더 기판(G)의 배치 위치가 검출된다. 이들 검출 결과에 의거해서, 스크라이브 라인의 형성 위치나 트리거 크랙의 형성 위치가 결정된다.

<스크라이브 헤드>

도 2는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 일부분해 사시도이고, 도 3은 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 사시도이다.

도 2를 참조하면, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 기저 플레이트(23)와, 상부 플레이트(24)와, 하부 플레이트(25)와, 고무 프레임(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 포함한다.

승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동축에 연결된 원통 캠(21a)과, 승강부(21b)의 상부면에 형성된 캠 종동자(21c)를 구비한다. 승강부(21b)는, 슬라이더(slider)(도시 생략)를 개재해서 기저 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동가능하게 지지되고, 용수철(21d)에 의해서 Z축의 플러스 방향으로 가압되어 있다. 용수철(21d)의 가압에 의해, 캠 종동자(21c)는 원통 캠(21a)의 하부면에 압압되어 있다. 승강부(21b)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해서 원통 캠(21a)이 회동하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해서 승강부(21b)가 승강하고, 이것에 따라서, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.

스크라이빙 툴(30)은, 마더 기판(G)의 상부면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것이고, 스크라이빙 툴(40)은, 마더 기판(G)의 측면에 트리거 크랙을 형성하기 위한 것이다. 도 1(a)의 슬라이딩 유닛(14)에 장착된 스크라이브 헤드(2)에는 스크라이빙 툴(30)이 장착되고, 슬라이딩 유닛(17)에 장착된 스크라이브 헤드(2)에는 스크라이빙 툴(30)이 장착된다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이브 라인 및 트리거 크랙을 형성하기 위한 스크라이빙 휠을 회전가능하게 유지하고 있다.

고무 프레임(26)은 공기가 통하지 않는 탄성부재이다. 고무 프레임(26)은, 기저 플레이트(23)의 홈(23a), 상부 플레이트(24)의 홈(24a) 및 하부 플레이트(25)의 홈(25a)에 꼭 맞는 형상을 지니고 있다. 고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 프레임(26)의 표면은, 기저 플레이트(23), 상부 플레이트(24) 및 하부 플레이트(25)의 측면보다도 약간 바깥쪽으로 돌출한다.

커버(27)는, 전면부(前面部)(27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 지닌다. 전면부(27a)의 상하의 가장자리에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.

고무 프레임(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워 넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)와 좌측면부(27c)가 바깥쪽으로 휘도록 변형되어서, 커버(27)가 기저 플레이트(23), 상부 플레이트(24) 및 하부 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 가장자리에 형성된 2개의 구멍(27f)을 개재해서, 나사가 상부 플레이트(24) 및 하부 플레이트(25)에 나사결합된다. 또한, 기저 플레이트(23), 상부 플레이트(24) 및 하부 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 약간 바깥쪽에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사결합된다. 이것에 의해, 커버(27)가 기저 플레이트(23), 상부 플레이트(24) 및 하부 플레이트(25)와 나사의 머리부 사이에 끼워지고, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주변부가 고무 프레임(26)에 압압된다. 이와 같이, 도 3에 나타낸 바와 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.

<블록 구성>

도 4(a)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 나타내는 블록도이다.

스크라이브 장치(1)는, 제어부(101)와 검출부(102)와 구동부(103)와 입력부(104)와 표시부(105)를 구비한다.

제어부(101)는, CPU 등의 프로세서와, ROM이나 RAM 등의 메모리를 구비하고, 메모리에 기억된 제어 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다. 또, 메모리는, 각 부를 제어할 때의 작업 영역으로서도 이용된다. 검출부(102)는, 도 1(a)에 나타낸 카메라(19a, 19b) 외에, 각종 센서를 포함한다. 구동부(103)는, 도 1(a) 내지 (c)에 나타낸 스크라이브 장치(1)의 기구부나 구동 모터(15, 18)를 포함한다. 입력부(104)는 마우스 및 키보드를 구비한다. 입력부(104)는, 스크라이브 라인의 형성 위치나, 스크라이브 라인의 간격 등, 스크라이브 동작에 있어서의 각종 파라미터값의 입력에 이용된다. 표시부(105)는, 모니터를 포함하고, 입력부(104)에 의한 입력 시, 소정의 입력 화면이 표시된다.

<기판 분단 방법>

도 4(b)는 마더 기판(G)의 분단의 흐름을 나타낸 순서도이다.

마더 기판(G)의 분단은, 스크라이브 라인의 형성 공정(S11)과, 트리거 크랙의 형성 공정(S12)과, 마더 기판(G)의 브레이크 공정(S13)에 의해 이루어진다. S11에서는, 밀봉재를 따라서 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다. S12에서는, 마더 기판(G)의 측면의, 스크라이브 라인의 형성 위치에 대응하는 위치에, 트리거 크랙이 형성된다. S13에서는, 마더 기판(G)의 이면의, 스크라이브 라인에 대응하는 위치를, 브레이크 바로 압압해서, 마더 기판(G)이 브레이크된다.

도 5(a) 내지 (e)는, 마더 기판(G)의 분단 과정을 설명하는 도면이다. 도 5(a)는 Y축의 마이너스 측에서부터 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이고, 도 5(b)는 X축의 플러스 측에서부터 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이며, 도 5(c)는 Z축의 플러스 측에서부터 스크라이브 위치 부근을 보았을 때의 모식도이고, 도 5(d)는 X축의 플러스 측에서부터 트리거 크랙(TC)의 형성 위치 부근을 보았을 때의 모식도이며, 도 5(e)는 브레이크 공정에 있어서 X축의 플러스 측에서부터 마더 기판(G)을 보았을 때의 모식도다.

도 5(a) 내지 (c)는, 스크라이브 라인의 형성 공정을 나타내고, 도 5(d)는, 트리거 크랙의 형성 공정을 나타내고, 도 5(e)는, 마더 기판(G)의 브레이크 공정을 나타내고 있다. 도 5(a) 내지 (d)는 스크라이브 장치(1)에 의해 행해지고, 도 5(e)는 브레이크 공정을 실행하는 장치에 의해 행해진다. 도 5(e)의 브레이크 공정은, 기존의 장치를 이용해서 행해지므로, 여기에서는, 브레이크 공정을 행하는 장치의 구성의 상세한 설명은 할애한다.

도 5(a) 내지 (d)에 있어서, 스크라이빙 휠(301)은, 도 1(a)의 슬라이딩 유닛(14)에 의해 구동되는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 툴(30)에 유지되고, 스크라이빙 휠(401)은 도 1(a)의 슬라이딩 유닛(17)에 의해 구동되는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 툴(40)에 유지되어 있다. 스크라이빙 휠(301)은, 마더 기판(G)의 상부면에 스크라이브 라인(L1)을 형성하기 위하여 이용되고, 스크라이빙 휠(401)은 마더 기판(G)의 측면에 트리거 크랙(TC)을 형성하기 위하여 이용된다.

도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인의 형성 공정에서는, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이빙 휠(301)을 누르면서 스크라이빙 휠(301)을 X축의 플러스 방향으로 이동시켜서 스크라이브 라인(L1)이 형성된다.

도 5(b)를 참조하면, 마더 기판(G)은, 밀봉재(SL)를 개재해서 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합시켜서 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 밀봉재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해서, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다.

밀봉재(SL)는, 에폭시 수지 등의 수지 재료로 이루어진 접착제이다. 예를 들면, 밀봉재(SL)가 자외선 경화 수지로 이루어질 경우, 유리 기판(G2)의 표면에 밀봉재(SL)가 도포된 상태에서 유리 기판(G2)의 상부면에 유리 기판(G1)이 중첩되고, 그 후, 자외선이 조사된다. 이것에 의해, 밀봉재(SL)가 경화되고, 유리 기판(G1, G2)이 밀봉재(SL)를 개재해서 접합된다. 그 외에, 밀봉재(SL)는 열경화 수지로 이루어질 경우도 있다. 이 경우, 가열에 의해 밀봉재(SL)가 경화되고, 유리 기판(G1, G2)이 밀봉재(SL)를 개재해서 접합된다. 밀봉재(SL)는, 경화되면, 높은 경도를 가지고 있다.

도 5(b)에 나타낸 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)은, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면에 압압된다. 도 5(c)에 나타낸 바와 같이, 밀봉재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 스크라이빙 휠(301)은, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치에 압압된 상태에서, 밀봉재(SL)를 따라서 X축의 플러스 방향으로 이동된다. 이것에 의해, 도 5(b), (c)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G1)의 표면에 스크라이브 라인(L1)이 형성된다.

또, 상기한 바와 같이, 밀봉재(SL)는, 경화되면 높은 경도를 가진다. 이 때문에, 스크라이브 동작 시에 스크라이빙 휠(301)로부터 유리 기판(G1)에 부여되는 하중은, 밀봉재(SL)를 개재해서, 유리 기판(G2)에도 부여된다. 이 하중에 의해, 유리 기판(G2)의 상부면(Z축의 플러스 측의 면)에는, 밀봉재(SL)를 따라서, 응력집중이 생긴다. 이 응력 집중에 의해, 유리 기판(G2)의 상부면(Z축의 플러스 측의 면)은, 밀봉재(SL)를 따라서 압축된다.

이렇게 해서 스크라이브 라인(L1)이 형성된 후, 도 5(d)에 나타낸 바와 같이, 마더 기판(G)의 X축의 플러스 측의 측면에 트리거 크랙(TC)이 형성된다. 트리거 크랙(TC)은 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에, Z축 방향으로 평행하게 형성된다. 트리거 크랙(TC)은, 유리 기판(G1)의 X축의 플러스 측의 측면의 상단으로부터 유리 기판(G2)의 X축의 플러스 측의 측면의 하단까지, 스크라이빙 휠(401)을 Z축의 마이너스 방향으로 이동시킴으로써, 마더 기판(G)의 두께 방향의 전체 길이에 있어서, 마더 기판(G)의 측면에 형성된다. 이때, 스크라이빙 휠(401)은, 유리 기판(G1, G2)의 측면에 소정의 하중으로 압압된다.

또, 마더 기판(G)에 대한 스크라이빙 휠(301, 401)의 위치 제어는, 상기한 바와 같이, 마더 기판(G)의 상부면의 정렬 마크를, 제1 컨베이어(11a)의 위쪽에 배치된 카메라(19a, 19b)와, 제1 컨베이어(11a)의 위쪽에 배치된 카메라(도시 생략)에 의해서 촬상함으로써 행해진다. 즉, 도 4 (a)의 제어부(101)는, 정렬 마크의 촬상 화상에 의거해서, 제1 컨베이어(11a) 및 제2 컨베이어(11b)에 있어서의 마더 기판(G)의 위치를 검출한다. 그리고, 이 검출 결과에 의거해서, 제어부(101)는, 스크라이빙 휠(301, 401)이 마더 기판(G)의 밀봉재(SL)에 대응하는 위치에 위치 부여되도록, 제1 컨베이어(11a) 및 제2 컨베이어(11b)를 제어한다.

이와 같이, 모든 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에 트리거 크랙(TC)이 형성된 후, 마더 기판(G)이 스크라이브 장치(1)로부터 분리된다. 그리고, 마더 기판(G)은, 앞뒤 반전된 상태로, 브레이크 공정을 행하는 장치에 세트된다.

도 5(e)에 나타낸 바와 같이, 브레이크 공정에서는, 스크라이브 라인(L1)이 형성된 위치에 대응하는 유리 기판(G2)의 표면이 브레이크 바(BB)로 압압된다. 이것에 의해, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력이 마더 기판(G)에 부여되어, 유리 기판(G1)이 스크라이브 라인(L1)을 따라서 브레이크된다. 이때, 브레이크 바(BB)에 의해 부여되는 벌어지게 하는 방향의 응력이, 유리 기판(G2)에도 부여된다. 이것에 의해, 유리 기판(G2)의 측면에 형성된 트리거 크랙(TC)을 기점으로 해서, 유리 기판(G1)과 함께 유리 기판(G2)이 브레이크된다. 이렇게 해서, 마더 기판(G)이 스크라이브 라인(L1)을 따라서 분단된다.

<실험>

본 발명자들은, 도 5(a) 내지 (e)에 나타낸 기판 분단 방법에 따라서 마더 기판(G)을 분단하는 실험을 행하였다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.

실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜의 유리 기판(G1, G2)을 밀봉재(SL)를 개재해서 접합시킨 기판(마더 기판)을 이용하였다. 접합 기판(마더 기판(G))의 크기는 110mm×550mm이다. 이 마더 기판(G)의 상부면에, 단변 방향으로 평행하게 스크라이브 라인(L1)을 형성하고, 또한, 한쪽 측면에 트리거 크랙(TC)을 형성해서, 브레이크 공정을 행하였다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 제품인 마이크로페네트(マイクロぺネット)(미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤의 등록상표)를 이용하였다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 칼 끝이 형성되는 동시에 칼 끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 가진 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경은 모두 3㎜였다.

이 구성의 스크라이빙 휠(301)을, 도 5(a) 내지 (c)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(G1)에 누르면서 이동시켜서 스크라이브 동작을 행하였다. 스크라이브 동작 시 스크라이빙 휠(301)에 부여되는 하중은 30N으로 제어하였다. 또한, 스크라이빙 휠(401)에 의해, 마더 기판(G)의 측면의 상단으로부터 하단까지, 트리거 크랙(TC)을 형성하였다.

또 실험에서는, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향으로 손으로 응력을 가함으로써 브레이크 공정을 행하였다. 즉, 스크라이브 라인(L1)이 형성된 면과 반대쪽 면의 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에 손가락을 누르면서, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향으로 양손으로 응력을 가해서, 마더 기판(G)을 브레이크시켰다. 또한, 스크라이브 라인(L1)은, 유리 기판(G1)의 상부면의 가장자리 부분까지 도달하고 있지 않고, 유리 기판(G1)의 상부면의 가장자리 부분으로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치가 스크라이브 라인(L1)의 시점 및 종점이 되도록 스크라이브 라인(L1)을 형성하였다.

도 6(a) 내지 (c)에 실험 결과를 나타낸다. 도 6(a) 내지 (c)는, 스크라이브 라인(L1) 위에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진이다. 도 6(a)는, 마더 기판(G)의 우측(X축 마이너스 측) 단부 부근의 단면 사진, 도 6(b)는, 마더 기판(G)의 중앙 부근의 단면 사진, 도 6(c)는, 마더 기판(G)의 좌측(X축의 플러스 측) 단부 부근의 단면 사진이다.

도 6(b)에 있어서, (D1), (D2)는, 각각, 유리 기판(G1, G2)의 두께, (D3)은 리브(rib) 마크량, (D4)는 스크라이브 라인(L1)에 있어서의 크랙 침투량이다. 또한, 도 6(c)에 있어서, (D5)는 트리거 크랙(TC)의 침투량, (D6)은 트리거 크랙(TC)과 스크라이브 라인(L1)의 끝점과의 사이의 거리이다. 도 6(a) 내지 (c)에 있어서, 흰 영역은 스크라이브 라인(L1)의 중심선을 포함하는 연직면과 일치하는 영역이고, 검은 영역은 이 연직면으로부터 벗어난 영역이다.

도 6(a) 내지 (c)를 참조하면, 스크라이브 라인(L1)이 형성되어 있지 않은 유리 기판(G2)에 대해서도, 대체로, 스크라이브 라인(L1)의 중심선을 포함하는 연직면을 따라서 절단되어 있는 것을 알 수 있다. 또, 유리 기판(G2)에 있어서, 단면 사진의 검은 영역에 있어서의 연직면으로부터의 이탈량은, 0 내지 30㎛까지의 범위에 들어가 있고, 절단면에 큰 거스러미나 생채기는 생기지 않았다. 따라서, 도 5(a) 내지 (e)의 기판 분단 방법에 의해서도, 충분히 실용을 견디어낼 수 있는 액정 패널을 잘라낼 수 있다. 또한, 연직면에 대한 이탈량은, 트리거 크랙(TC)의 형성 상태나 브레이크 공정에 있어서의 응력의 부여 방법을 조정함으로써, 더욱 억제할 수 있는 것으로 여겨진다.

또, 도 6(a) 내지 (c)를 참조하면, 크랙의 진전은 위쪽의 유리 기판(G1)의 도중에 머무르고 있고, 크랙은 아래쪽의 유리 기판(G2)에는 진전되고 있지 않다. 그러나, 도 6(a) 내지 (c)의 단면 사진을 상세히 참조하면, 아래쪽의 유리 기판(G2)의 단면 상부 부근에, 수 마이크론 정도의 단차 형상의 도려낸 부분이 생기고 있는 것을 알 수 있었다. 이 도려낸 부분은, 유리 기판(G1)에 대한 스크라이브 동작 시, 스크라이빙 휠(301)에 의해 부여된 하중이 밀봉재(SL)를 개재해서 유리 기판(G2)의 상부면에 부여된 것에 의해 생긴 것으로 여겨진다.

도 7은, 상기 실험에 의해 고찰될 수 있는 스크라이브 공정에서의 작용을 모식적으로 도시한 도면이다.

스크라이브 라인 형성 공정에 있어서, 유리 기판(G1)의 상부면에 스크라이빙 휠(301)을 누르면서, 스크라이빙 휠(301)을 이동시키면, 상기한 바와 같이, 유리 기판(G1)의 상부면에 스크라이브 라인(L1)이 형성된다. 이때, 스크라이빙 휠(301)은, 소정의 하중(F0)으로 유리 기판(G1)의 상부면에 압압되면서, 밀봉재(SL)의 바로 위의 위치를 이동한다. 여기에서, 밀봉재(SL)는 경도가 높기 때문에, 밀봉재(SL)를 개재해서, 스크라이빙 휠(301)의 하중(F0)이 유리 기판(G2)의 상부면에 부여된다. 이 하중을 (Fa)라고 하면, 유리 기판(G2)의 상부면에는, 스크라이빙 휠(301)의 이동에 따라서, 하중(Fa)이 밀봉재(SL)를 따라서 계속해서 부여되게 된다. 이렇게 해서, 유리 기판(G2)의 상부면에는, 하중(Fa)에 의한 응력집중의 라인(LS)이 설정된다. 유리 기판(G2)의 상부면 부근에는, 라인(LS)의 위치에 있어서, 하중(Fa)의 압력에 의해, 상기한 바와 같이 내부에 도려낸 부분이 생긴 것으로 여겨진다. 따라서, 더욱, 유리 기판(G2)의 측면의 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에 트리거 크랙(TC)을 형성하고, 브레이크 공정에 있어서 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향으로 응력을 부여함으로써, 유리 기판(G1)이 스크라이브 라인(L1)을 따라서 브레이크되는 동시에, 트리거 크랙(TC)과 함께 라인(LS)이 기점이 되어서, 유리 기판(G2)이 브레이크된다. 이것에 의해, 상기 실험과 같이, 유리 기판(G2)이 원활하게 브레이크된 것으로 여겨진다.

또, 스크라이빙 휠(301)의 하중(F0)은, 상기 실험에서는 30N이었지만, 본 발명자들은, 더 한층의 실험에 의해, 하중(F0)이, 20N에서도 10N에서도, 위쪽의 유리 기판(G1)의 표면에 스크라이브 라인(크랙)을 형성할 수 있으면, 상기 분단 방법에 의해, 마더 기판(G)을 스크라이브 라인(L1)을 따라서 분단시킬 수 있는 것을 확인하였다. 이것으로부터, 위쪽의 유리 기판(G1)의 표면에 스크라이브 라인(크랙)을 형성할 수 있는 정도의 하중을 스크라이빙 휠(301)에 부여함으로써, 밀봉재(SL)를 개재해서 유리 기판(G2)의 상부면 부근에 도려낸 부분이 발생하여, 상기 분단 방법에 의해 원활하게 마더 기판(G)을 원활하게 분단할 수 있다.

<실시형태의 효과>

본 실시형태에 따르면, 이하의 효과가 발휘된다.

유리 기판(G1)에 형성된 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력을 마더 기판(G)에 부여함으로써, 유리 기판(G2)의 측면에 형성된 트리거 크랙(TC)을 기점으로 해서, 유리 기판(G1)과 함께 유리 기판(G2)이 브레이크된다. 따라서, 스크라이브 라인 형성 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 반전시켜서 유리 기판(G2)의 표면에 또 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 생략할 수 있고, 또한, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 반전시켜서 유리 기판(G2)을 브레이크시키는 공정을 생략할 수 있다. 따라서, 본실시형태에 따르면, 적은 공정으로 원활하게, 마더 기판(G)을 밀봉재(SL)를 따라서 분단시킬 수 있다.

본 실시형태에서는, 유리 기판(G1)의 상부면에 스크라이브 라인(L1)을 형성한 후, 트리거 크랙(TC)이 형성된다. 이것에 대해서, 먼저 트리거 크랙(TC)을 형성하고, 그 후, 스크라이브 라인(L1)을 형성하는 것도 가능하다. 그렇지만, 스크라이브 라인(L1)의 형성 시에 이미 유리 기판(G2)의 측면에 트리거 크랙(TC)이 형성되어 있으면, 스크라이브 라인 형성 시의 하중에 의해, 트리거 크랙(TC)을 기점으로 해서 유리 기판(G2)에 원치 않는 균열이 생기는 것이 염려된다. 이것에 대하여, 본실시형태와 같이, 스크라이브 라인(L1)의 형성 후에 트리거 크랙(TC)을 형성하면, 이러한 문제가 생길 일이 없다. 따라서, 본 실시형태에 따르면, 유리 기판(G1)에 대한 스크라이브 라인(L1)의 형성 공정에 있어서 유리 기판(G2)에 원치 않는 균열이 생기는 것을 확실히 회피할 수 있다.

본 실시형태에서는, 마더 기판(G)을 분단시키는 공정에 있어서, 도 5(e)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(L1)이 형성된 위치에 대응하는 유리 기판(G2)의 표면을 브레이크 바(BB)로 압압함으로써, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력이 마더 기판(G)에 부여된다. 이 때문에, 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면이 압압되면서, 스크라이브 라인(L1)을 중심으로 해서 마더 기판(G)의 양측에 거의 균등하게 응력이 부여되어서 스크라이브 라인(L1)이 벌어지므로, 스크라이브 라인이 형성되지 않은 유리 기판(G2)을 원활하게 브레이크시킬 수 있다.

본 실시형태에서는, 트리거 크랙(TC)의 형성 공정에 있어서, 유리 기판(G2)의 측면뿐만 아니라, 유리 기판(G1)의 측면의 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치에도 트리거 크랙(TC)이 형성되어 있다. 이 때문에, 유리 기판(G1)의 측면에 대한 트리거 크랙(TC)의 형성을 도입 동작으로 하여, 유리 기판(G2)의 측면에 원활하게 트리거 크랙(TC)을 형성할 수 있다.

본 실시형태에서는, 도 5(d)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G2)의 두께 방향의 전체 길이에 있어서, 유리 기판(G2)의 측면에 트리거 크랙(TC)이 형성되어 있다. 이와 같이, 유리 기판(G2)을 브레이크시킬 때에 기점이 되는 트리거 크랙(TC)을 길게 취함으로써, 유리 기판(G2)을 보다 적절하게 브레이크시킬 수 있다.

<변경예>

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 유리 기판(G1)의 상부면으로부터 유리 기판(G2)의 하부면까지 트리거 크랙(TC)이 형성되었지만, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G2)의 측면에만 트리거 크랙(TC)이 형성되어도 된다. 트리거 크랙(TC)은, 유리 기판(G2)을 브레이크시킬 때의 기점이 되는 것이기 때문에, 적어도 유리 기판(G2)의 측면에 형성되어 있으면 된다고 생각된다.

또, 트리거 크랙(TC)은, 반드시, 유리 기판(G2)의 두께 방향의 전체 길이에 있어서 형성되지 않아도 되고, 예를 들면, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G2)의 상부면으로부터 소정의 길이만큼 트리거 크랙(TC)이 형성되어도 된다. 또한, 트리거 크랙(TC)은, 유리 기판(G1)에 대한 브레이크가 유리 기판(G2)의 상부면으로 진전될 때의 기점이 되는 것이기 때문에, 적어도 유리 기판(G2)의 상부면에 이어져 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시형태에서는, 스크라이브 라인(L1)이 유리 기판(G1)의 표면(상부면)에 형성되었지만, 도 8(c)에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인(L2)이 유리 기판(G2)의 표면(하부면)에 형성되어도 된다. 이 경우, 트리거 크랙(TC)은, 적어도 유리 기판(G1)의 측면에 형성되고, 브레이크 공정은, 유리 기판(G1)의 표면을 압압하여 스크라이브 라인(L2)을 벌어지게 하는 방향으로 응력을 부여함으로써 행해진다.

또, 상기 실시형태에서는, 유리 기판(G2)의 스크라이브 라인(L1)에 대응하는 위치를 브레이크 바(BB)로 압압함으로써, 마더 기판(G)에 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력을 부여했지만, 예를 들면, 도 8(d)에 나타낸 바와 같이, 마더 기판(G1)의 상부면과 하부면을 유지 도구(B1, B2) 사이에 끼운 상태에서, 유리 기판(G1)의 상부면을 아래쪽으로 누름으로써, 스크라이브 라인(L1)을 벌어지게 하는 방향의 응력을 마더 기판(G)에 부여하는 것도 가능하다. 단, 이 경우에는, 스크라이브 라인(L1)을 중심으로 해서 마더 기판(G)의 양쪽에 응력이 균등하게 부여되기 어렵기 때문에, 상기 실시형태에 비해서, 유리 기판(G2)의 브레이크 정밀도가 저하될 것이 염려된다.

또한, 상기 실시형태에서는, 트리거 크랙(TC)이 스크라이빙 휠(401)에 의해서 형성되었지만, 트리거 크랙(TC)은 반드시 스크라이빙 휠(401)로 형성되지 않아도 되고, 예를 들면, 칼 끝이 회전하지 않는 타입의 유리 커터에 의해서 트리거 크랙(TC)이 형성되어도 된다. 또한, 스크라이브 라인(L1)을 형성하는 스크라이빙 휠(301)도, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠 등, 다른 칼 끝을 이용하는 것도 가능하다.

또, 상기 실시형태에서는, 스크라이브 라인(L1)을 형성하는 스크라이브 헤드(2)와는 달리 트리거 크랙(TC)을 형성하기 위한 스크라이브 헤드(2)를 설치했지만, 스크라이브 라인(L1)을 형성하는 스크라이브 헤드(2)가 또한 트리거 크랙(TC)도 형성하도록, 스크라이브 장치(1)를 구성하는 것도 가능하다. 이 경우, 스크라이브 헤드(2)는, 예를 들면, 스크라이빙 휠(301)이, 도 1(a)의 X축의 플러스 방향의 가장자리 부분까지 마더 기판(G)의 상부면을 이동해서 스크라이브 라인(L1)을 형성한 후, Z축의 마이너스 방향으로 이동하여, 마더 기판(G)의 X축의 플러스 측의 측면에 트리거 크랙(TC)을 형성하도록 제어된다. 이 구성에서는, 마더 기판(G)의 X축의 플러스 측의 단부가 제1 컨베이어(11a)로부터 밀려나오도록, 제1 컨베이어(11a)의 X축 방향의 폭이 설정된다.

이밖에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시형태에 나타낸 것으로 한정되는 것은 아니고, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 상기 기판 분단 방법 및 스크라이브 장치를 이용할 수 있다.

본 발명의 실시형태는, 특허청구의 범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게, 각종 변경이 가능하다.

1: 스크라이브 장치
2: 스크라이브 헤드(제1 헤드, 제2 헤드)
11a: 제1컨베이어 1lb: 제2 컨베이어
13: 가이드(제1구동부) 14: 슬라이딩 유닛(제1구동부)
15: 구동 모터(제1구동부) 16: 가이드(제2구동부)
17: 슬라이딩 유닛(제2구동부) 18: 구동 모터(제2구동부)
301, 401: 스크라이빙 휠(칼) G: 마더 기판
G1: 유리 기판(제1 기판) G2: 유리 기판(제2 기판)
SL: 밀봉재 L1, L2: 스크라이브 라인
TC: 트리거 크랙(크랙)

Claims (8)

1. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판을 분단시키는 기판 분단 방법으로서,
   상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서 상기 제1 기판의 상기 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 공정과,
   적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인의 형성 위치에 대응하는 위치에 크랙을 형성하는 공정과,
   상기 스크라이브 라인을 벌어지게 하는 방향의 응력을 상기 마더 기판에 부여함으로써, 상기 크랙을 따라서 상기 마더 기판을 분단시키는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 행한 후, 상기 크랙을 형성하는 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 마더 기판을 분단시키는 공정에서는, 상기 스크라이브 라인이 형성된 위치에 대응하는 상기 제2 기판의 표면을 압압함으로써, 상기 스크라이브 라인을 벌어지게 하는 방향의 응력이 상기 마더 기판에 부여되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 크랙을 형성하는 공정에서는, 상기 제1 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인에 대응하는 위치에도 크랙이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 크랙은, 상기 제2 기판의 두께 방향의 전체 길이에 있어서, 상기 제2 기판의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 분단 방법.
6. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
   상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼을 상기 밀봉재를 따라서 이동시켜서 상기 제1 기판의 상기 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 라인 형성 수단과,
   적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인이 형성되는 위치에 대응하는 위치에 크랙을 형성하는 크랙 형성 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
7. 제1 기판과 제2 기판을 밀봉재에 의해 접합시켜서 이루어진 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
   상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1 헤드와,
   적어도 상기 제2 기판의 측면에 크랙을 형성하는 제2 헤드와,
   상기 제1 헤드를 상기 밀봉재를 따라서 이동시키는 제1구동부와,
   상기 제2 헤드를 상기 마더 기판의 상부면에 수직인 방향으로 이동시키는 제2구동부를 포함하되,
   상기 제1 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 밀봉재에 대향하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼이 상기 밀봉재를 따라서 이동되고,
   상기 제2 헤드는, 적어도 상기 제2 기판의 측면의 상기 스크라이브 라인의 형성 위치에 대응하는 위치에 칼을 누르면서 상기 칼이 상기 마더 기판의 상부면에 수직인 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성할 때에 상기 마더 기판이 놓이는 동시에 상기 마더 기판을 하류 측으로 이송 가능한 제1컨베이어와,
   상기 제1컨베이어의 하류 측에 설치되어 상기 제1컨베이어에 의해 이송된 상기 마더 기판이 놓이는 제2 컨베이어를 포함하되,
   상기 제2 컨베이어에 있어서 상기 마더 기판의 적어도 한쪽 단부가 상기 제2 컨베이어로부터 밀려나오도록, 상기 마더 기판의 이송 방향에 수직인 방향에 있어서, 상기 제2 컨베이어의 폭이 상기 제1컨베이어의 폭보다도 작게 설정되고,
   상기 제2 헤드는, 상기 제2 컨베이어로부터 밀려나온 상기 마더 기판의 단부 측에 있어서, 상기 마더 기판에 수직인 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.

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