KR102343610B1 - 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 - Google Patents

스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102343610B1
KR102343610B1 KR1020150042922A KR20150042922A KR102343610B1 KR 102343610 B1 KR102343610 B1 KR 102343610B1 KR 1020150042922 A KR1020150042922 A KR 1020150042922A KR 20150042922 A KR20150042922 A KR 20150042922A KR 102343610 B1 KR102343610 B1 KR 102343610B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
scribing
substrate
blade
sealing material
scribe
Prior art date
Application number
KR1020150042922A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160018329A (ko
Inventor
아키라 에지마타니
키요시 다카마츠
아키라 모리
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20160018329A publication Critical patent/KR20160018329A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102343610B1 publication Critical patent/KR102343610B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
    • B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
    • B26F3/002—Precutting and tensioning or breaking
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/04—Punching, slitting or perforating
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0065—Manufacturing aspects; Material aspects
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
    • H01L21/76—Making of isolation regions between components
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/04—Punching, slitting or perforating
    • B32B2038/045—Slitting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Forests & Forestry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)

Abstract

(과제) 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공한다.
(해결 수단) 2개의 유리 기판(G1, G2)을 시일재(SL)에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성할 때에, 유리 기판(G1)의 표면의 시일재(SL)에 대향하는 위치에 스크라이빙 휠(301)을 눌러대면서 스크라이빙 휠(301)을 시일재(SL)를 따라 이동시키고, 이에 병행하여, 유리 기판(G2)의 표면의 스크라이빙 휠(301)에서 시일재(SL)를 따르는 방향으로 거리(W1)만큼 변위한 위치에 스크라이빙 휠(401)을 눌러대면서 스크라이빙 휠(401)을 시일재(SL)를 따라 이동시킨다.

Description

스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{SCRIBING METHOD AND SCRIBING APPARATUS}
본 발명은, 기판에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하기 위한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.
종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판(brittle material substrate)의 분단(dividing)은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 날끝이, 기판 표면에 밀어붙여지면서, 소정의 라인을 따라 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.
이하의 특허문헌 1에는, 마더 기판(mother substrate)으로부터 액정 패널을 잘라내기 위한 방법이 기재되어 있다. 이 방법에서는, 박막 트랜지스터(TFT)가 형성된 기판과, 컬러 필터(CF)가 형성된 기판을 시일재를 개재하여 접합시킴으로써, 마더 기판이 형성된다. 이 마더 기판이 분단됨으로써 개개의 액정 패널이 취득된다.
시일재는, 2개의 기판이 접합된 상태에서 액정 주입 영역이 되는 공간이 남도록 배치된다.
상기 구성의 마더 기판을 분단하는 경우에는, 2개의 스크라이브 헤드를 이용하여, 마더 기판의 양면에, 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이 이용될 수 있다(예를 들면, 특허문헌 2 참조). 이 경우, 2개의 스크라이브 헤드가 마더 기판을 사이에 끼우도록 배치된다. 2개의 스크라이빙 휠(scribing wheel)은, 마더 기판을 평면에서 봤을 때에 동일한 위치에 위치된다. 이 상태에서, 2개의 스크라이빙 휠이 동일한 방향으로 동시에 이동되어, 마더 기판의 각 면에 스크라이브 라인이 형성된다.
일본공개특허공보 2006-137641호 일본공개특허공보 2012-240902호
상기 특허문헌 1에도 나타나는 바와 같이, 종전의 마더 기판에는, 서로 이웃하는 액정 주입 영역의 사이에, 시일재가 개재되지 않는 영역이 존재하고 있었다. 따라서, 상기와 같이 2개의 스크라이브 헤드에 의해 마더 기판의 양면에 동시에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에는, 시일재가 개재되지 않는 영역에, 스크라이브 라인을 형성할 수 있었다. 이와 같이 스크라이브 라인을 형성하여 마더 기판을 분단하면, 액정 패널에는, 액정 주입 영역의 주위에 소정 폭의 테두리 영역이 남게 된다.
그러나, 최근, 특히 모바일용의 액정 패널에 있어서, 상기 테두리 영역을 극한까지 좁히는 것이 주류가 되고 있다. 이 요구에 부응하기 위해서는, 마더 기판에 있어서 시일재가 개재되지 않는 영역이 생략되어, 서로 이웃하는 액정 주입 영역은, 시일재에 의해서만 구분되도록 구성될 필요가 있다. 이 경우, 스크라이브 라인은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래에 형성되게 된다.
그런데, 이와 같이 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하면, 2개의 유리 기판에 크랙이 충분히 들어가지 않는 바와 같은 문제가 본원 발명자들에 의해 확인되었다. 이와 같이 크랙이 불충분한 상태에서 브레이크 공정이 실행되면, 브레이크 후의 기판의 단연(端緣)에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판의 강도가 저하될 우려가 있다.
이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본원 발명자들은, 시행 착오 끝에, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 마더 기판의 상면 및 하면의 각 스크라이브 위치를 스크라이브 방향으로 소정 거리만큼 어긋나게 함으로써, 각 기판에 보다 깊은 크랙이 들어가는 것을 발견했다.
본 발명의 제1 실시 형태는, 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법은, 상기 제1 기판의 표면의 상기 시일재에 대향하는 위치에 제1날을 눌러대면서 상기 제1날을 상기 시일재를 따라 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성한다. 또한, 상기 제1날의 이동에 병행하여, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날로부터 상기 시일재를 따르는 방향으로 소정 거리만큼 변위한 위치에 제2날을 눌러대면서 상기 제2날을 상기 시일재를 따라 이동시켜, 상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성한다.
본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법에 의하면, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다.
본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 소정 거리는 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 효과적으로 깊게 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법은, 상기 제1 기판의 표면의 상기 제2날에 대응하는 위치에 제1 롤러를 눌러대면서 상기 제1 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키고, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날에 대응하는 위치에 제2 롤러를 눌러대면서 상기 제2 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키도록 구성하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 깊게 하면서, 크랙의 형성 상황을 안정화시킬 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태는, 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것이다. 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1 스크라이브 헤드와, 상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2 스크라이브 헤드와, 상기 제1 스크라이브 헤드와 상기 제2 스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부를 구비한다. 상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 시일재에 대향하는 위치에 제1날을 눌러댄 상태에서, 상기 제1날이 상기 시일재를 따라 이동하도록 구동되고, 상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제1 스크라이브 헤드의 구동에 병행하여, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날로부터 상기 시일재를 따르는 방향으로 소정 거리만큼 변위한 위치에 제2날을 눌러댄 상태에서, 상기 제2날이 상기 시일재를 따라 이동하도록 구동된다.
본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 의하면, 상기 제1 실시 형태에 따른 스크라이브 방법과 동일하게, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 마더 기판에 형성할 수 있다.
본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 소정 거리는, 0.5㎜ 이상으로 설정되는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 효과적으로 깊게 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 제2날에 대응하는 위치에 제1 롤러를 눌러대면서 상기 제1 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키고, 상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날에 대응하는 위치에 제2 롤러를 눌러대면서 상기 제2 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키도록 구성될 수 있다. 이렇게 하면, 크랙의 깊이를 더욱 깊게 할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1날과 상기 제1 롤러의 양방을 지지(holding)하는 제1 스크라이빙 툴을 구비하고, 상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2날과 상기 제2 롤러의 양방을 지지하는 제2 스크라이빙 툴을 구비하도록 구성될 수 있다. 이렇게 하면, 스크라이빙 툴을 장착하는 것만으로, 날과 롤러를 소망하는 간격으로 위치시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1날과 상기 제2날은, 각각, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 스크라이빙 휠로 구성될 수 있다. 이하에 나타내는 실시 형태에서는, 이런 종류의 날에 의해 실험이 행해져, 크랙이 깊게 들어가는 것이 확인되고 있다.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 시일재의 바로 위 및 바로 아래의 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에, 충분한 깊이의 크랙을 기판에 형성하는 것이 가능한 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다.
단, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은 이하의 실시 형태에 기재된 것에 하등 제한되는 것은 아니다.
도 1은 실시 형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 실시 형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 실시 형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다.
도 5는 실시 형태에 따른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태에 따른 다른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다.
도 7은 실시 형태에 따른 다른 스크라이브 방법에 의한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 8은 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 9는 실시 형태에 따른 스크라이빙 툴의 장착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 10은 변경예에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 11은 변경예에 따른 스크라이빙 툴의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기(附記)되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직 방향이다.
<스크라이브 장치>
도 1(a), 도 1(b)는, 스크라이브 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(a)는, Y축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면, 도 1(b)는, X축 정측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 도면이다.
도 1(a)를 참조하여, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a, 12b)와, 가이드(13a, 13b)와, 가이드(14a, 14b)와, 슬라이딩 유닛(15, 16)과, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.
도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 배치되는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 컨베이어(11) 상에는, 마더 기판(G)이 올려놓여진다. 마더 기판(G)은, 한 쌍의 유리 기판이 서로 접합된 기판 구조를 갖는다. 마더 기판(G)은, 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.
지주(12a, 12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 끼우고 수직으로 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14b)는, 각각, X축 방향에 평행이 되도록, 지주(12a, 12b)의 사이에 걸쳐지게 설치되어 있다. 슬라이딩 유닛(15, 16)은, 각각, 가이드(13a, 13b), 가이드(14a, 14b)에 슬라이딩이 자유롭게 형성되어 있다. 가이드(13a, 13b) 및 가이드(14a, 14b)에는, 각각, 소정의 구동 기구가 형성되어 있고, 이 구동 기구에 의해, 슬라이딩 유닛(15, 16)이 X축 방향으로 이동된다.
슬라이딩 유닛(15, 16)에는, 각각, 스크라이브 헤드(2)가 장착되어 있다. Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)와 Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)에는, 각각, 마더 기판(G)에 대향하도록 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)에 지지된 스크라이빙 휠이 마더 기판(G)의 표면에 밀어붙여진 상태에서 스크라이브 헤드(2)가 X축 방향으로 이동한다. 이에 따라, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인이 형성된다.
<스크라이브 헤드>
도 2는, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 일부 분해 사시도, 도 3은, 스크라이브 헤드(2)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2를 참조하여, 스크라이브 헤드(2)는, 승강 기구(21)와, 스크라이브 라인 형성 기구(22)와, 베이스 플레이트(base plate; 23)와, 톱 플레이트(top plate; 24)와, 보텀 플레이트(bottom plate; 25)와, 고무 틀(26)과, 커버(27)와, 서보 모터(28)를 구비한다.
승강 기구(21)는, 서보 모터(28)의 구동축에 연결된 원통 캠(cam; 21a)과, 승강부(21b)의 상면에 형성된 캠 팔로어(cam follower; 21c)를 구비한다. 승강부(21b)는, 슬라이더(도시하지 않음)를 통하여 베이스 플레이트(23)에 상하 방향으로 이동 가능하게 지지되고, 스프링(21d)에 의해 Z축 정방향으로 탄성지지되어 있다. 스프링(21d)의 탄성지지에 의해, 캠 팔로어(21c)는 원통 캠(21a)의 하면에 밀어붙여지고 있다. 승강부(21b)는 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 연결되어 있다. 서보 모터(28)에 의해 원통 캠(21a)이 회동(回動)하면, 원통 캠(21a)의 캠 작용에 의해 승강부(21b)가 승강하고, 이에 수반하여, 스크라이브 라인 형성 기구(22)가 승강한다. 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에, 스크라이빙 툴(30, 40)이 장착된다.
고무 틀(26)은, 공기를 통하게 하지 않는 탄성 부재이다. 고무 틀(26)은, 베이스 플레이트(23)의 홈(23a), 톱 플레이트(24)의 홈(24a) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(25a)에 끼워넣은 형상을 갖고 있다. 고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 장착된 상태에서, 고무 틀(26)의 표면은, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 측면보다도 근소하게 외측으로 돌출한다.
커버(27)는, 전면부(前面部; 27a), 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 3개의 판부가 절곡된 형상을 갖는다. 전면부(27a)의 상하의 단연에는, 2개의 구멍(27f)이 형성되어 있다.
고무 틀(26)이 홈(23a, 24a, 25a)에 끼워넣어진 상태에서, 커버(27)의 우측면부(27b)와 좌측면부(27c)가 외측으로 휘도록 변형되어, 커버(27)가 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 부착된다. 이 상태에서, 전면부(27a)의 상하의 단연에 형성된 2개의 구멍(27f)을 통하여, 나사가 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)에 나사장착된다. 또한, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)의 홈(23a, 24a, 25a)의 약간 외측에 형성된 나사 구멍에, 나사가 나사장착된다. 이에 따라, 커버(27)가, 베이스 플레이트(23), 톱 플레이트(24) 및 보텀 플레이트(25)와 나사의 머리부에 의해 사이에 끼워져, 우측면부(27b) 및 좌측면부(27c)의 주연부가 고무 틀(26)에 밀어붙여진다. 이렇게 하여, 도 3과 같이 스크라이브 헤드(2)가 조립된다.
도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이브 헤드(2)가 마더 기판(G)의 상하에 각각 배치된다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는 동일한 구성으로 되어 있다. 2개의 스크라이브 헤드(2)에 장착되는 스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이브 방법에 따라서 변경된다. 이하에 나타내는 2개의 스크라이브 방법 중, 스크라이브 방법 1에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)만을 지지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다. 또한, 스크라이브 방법 2에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 스크라이빙 툴(30, 40)이 이용된다.
이하, 이들 2개의 스크라이브 방법에 대해서 설명한다.
<스크라이브 방법 1>
도 4(a)∼도 4(c)는, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 4(c)는 Z축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.
도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 상측(Z축 정측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(301)이, 하측(Z축 부측)의 스크라이브 헤드(2)의 스크라이빙 휠(401)보다도, 스크라이브 방향(X축 정방향)으로 거리(W1)만큼 선행하도록 하여, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)이 이동된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각 축(301a, 401a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 스크라이빙 툴(30, 40)이 부착되어 있다.
도 4(b)를 참조하여, 마더 기판(G)은, 시일재(SL)를 통하고 2개의 유리 기판(G1, G2)을 접합하여 구성되어 있다. 유리 기판(G1)에는 컬러 필터(CF)가 형성되고, 유리 기판(G2)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 시일재(SL)와 2개의 유리 기판(G1, G2)에 의해, 액정 주입 영역(R)이 형성되고, 이 액정 주입 영역(R)에 액정이 주입된다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, Y축 방향으로 서로 어긋나는 일 없이 위치된다. 스크라이빙 휠(301)은, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에 있어서 유리 기판(G1)의 표면에 밀어붙여지고, 스크라이빙 휠(401)은, 시일재(SL)의 바로 아래의 위치에 있어서 유리 기판(G2)의 표면으로 밀어붙여진다.
도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 시일재(SL)는 격자 형상으로 배치되어 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 시일재(SL)를 따라 X축 정방향으로 이동된다. 이에 따라, 도 4(b), 도 4(c)에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(G1, G2)의 표면에, 각각, 스크라이브 라인(L1, L2)이 형성된다.
도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러는 형성되어 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면을 누르는 롤러도 형성되어 있지 않다.
<실험 1>
본원 발명자들은, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.
실험에서는, 두께가 각각 0.2㎜의 유리 기판(G1, G2)을 시일재(SL)를 개재하여 접합한 기판(마더 기판)을 이용했다. 접합 기판(마더 기판)의 사이즈는 118㎜×500㎜이다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤 제조, 마이크로 페네트(Micro Penett)(미츠보시다이아몬드고교 가부시키가이샤의 등록상표)를 이용했다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 원판의 외주에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 구조로 되어 있다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 직경 3㎜, 날끝 각도 110°, 홈 개수 550, 홈 깊이 3㎛이다.
이 구성의 스크라이빙 휠(301, 401)을, 각각, 도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 바와 같이 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙이면서 이동시켜 스크라이브 동작을 행했다.
스크라이브 동작시에 스크라이빙 휠(301, 401)에 부여되는 하중은 6.5N으로 제어했다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다.
이상의 조건하에, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다. 비교예로서, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0인 경우의 크랙의 침투량도 계측했다. 각 측정에서는, 크랙의 침투량의 외에, 리브 마크(rib mark)량도 아울러 계측했다.
도 5(a)∼도 5(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 5(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 5(b)∼도 5(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 거리(W1)가 0.4㎜, 0.6㎜, 0.8㎜, 1.0㎜의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.
도 5(a)를 참조하면, 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 거리(W1)가 0㎜의 경우에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 커지고 있다. 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다.
예를 들면, 비교예(W1＝0㎜)와 같이, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙량이 모두 유리 기판(G1, G2)의 두께(0.2㎜)의 절반 정도이면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크할 필요가 있다. 이와 같이 마더 기판(G)의 양측에서 유리 기판(G1, G2)을 각각 브레이크하는 동작이 행해지면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 파손이 발생하여, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 저하될 우려가 있다.
이에 대하여, 거리(W1)가 0.6㎜∼1.4㎜인 경우에는, 유리 기판(G2)에 있어서의 크랙의 침투량은 작기는 하지만, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 크다. 이와 같이 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 큰 경우, 브레이크 공정에서는, 크랙의 침투량이 작은 유리 기판(G2)을 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 브레이크하는 동작이 행해지면 좋고, 이 브레이크 동작시에, 깊은 크랙이 들어간 유리 기판(G1)도 동시에 크랙을 따라 분단된다. 이와 같이 마더 기판(G)의 한쪽측에서만 유리 기판(G1, G2)을 브레이크하면, 유리 기판(G1, G2)의 단연에 미세한 균열이나 손상이 발생하는 일이 없어, 유리 기판(G1, G2)의 강도가 높게 유지된다.
이상의 이유로부터, 마더 기판(G)의 분단에 있어서는, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가 있는 것이 바람직하다. 본 실험에서는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 0.6㎜를 초과하면, 비교예(W1＝0㎜)에 비해, 유리 기판(G1)의 크랙 침투량이 커지고 있다. 이 점에서, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)는, 0.6㎜ 이상인 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이와 같이 2개의 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)를 설정함으로써, 마더 기판(G)의 브레이크를 적정하게 행할 수 있다.
<스크라이브 방법 2>
도 4(a)∼도 4(c)에 나타내는 스크라이브 방법(스크라이브 방법 1)에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 롤러로 눌려 있지 않고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 롤러로 눌려 있지 않다. 이에 대하여, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면과, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면이, 각각, 롤러에 의해 눌려 있다.
도 6(a), 도 6(b)는, 스크라이브 방법 2를 설명하는 도면이다. 도 6(a)는 Y축 부측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도, 도 6(b)는 X축 정측으로부터 스크라이브 위치 부근을 봤을 때의 개략도이다.
도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 본 스크라이브 방법에서는, 스크라이빙 휠(301)과 반대측(Z축 부측)의 마더 기판(G)의 표면이 2개의 롤러(402)로 눌리고, 또한, 스크라이빙 휠(401)과 반대측(Z축 정측)의 마더 기판(G)의 표면도 2개의 롤러(302)로 눌려 있다. 2개의 롤러(302)는, 스크라이빙 휠(301)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(302a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 또한, 2개의 롤러(402)는, 스크라이빙 휠(401)을 사이에 끼우도록 배치되고, 축(402a)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 되어 있다.
스크라이브 방법 1과 동일하게, 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 스크라이브 방향(X축 방향)으로 거리(W1)만큼 어긋나 있다. 2개의 스크라이빙 휠(301, 401)은, 각각, 유리 기판(G1, G2)에 밀어붙여지면서, 시일재(SL)를 따라 이동한다. 스크라이빙 휠(301)과 2개의 롤러(302)와의 사이에는 Y축 방향의 간극(gap)이 있고, 스크라이빙 휠(401)과 2개의 롤러(402)와의 사이에도 Y축 방향의 간극이 있다. 이 때문에, 롤러(302, 402)는, 스크라이빙 휠(301, 401)에 의해 형성되는 스크라이브 라인(L1, L2)을 걸치도록 하여 X축 정방향으로 이동한다.
<실험 2>
본원 발명자들은, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 스크라이브 방법에 따라 마더 기판(G)에 스크라이브 라인을 형성하는 실험을 행했다. 이하, 이 실험과 실험 결과에 대해서 설명한다.
본 실험에서 이용한 마더 기판(G)과 스크라이빙 휠(301, 401)은, 상기 실험 1과 동일하게 했다. 본 실험에서는, 스크라이빙 휠(301, 401) 간의 거리(W1)가 2.2㎜로 설정되었다. 또한, 스크라이빙 휠(301, 401)의 이동 속도는, 일정(200㎜/sec)하게 했다. 상측의 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(301)의 편심량은 1.0㎜이며, 하측 스크라이브 헤드(2)의 하중 중심에 대한 스크라이빙 휠(401)의 편심량은 3.2㎜였다.
스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치는, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 롤러(302, 402)의 직경은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경과 동일하게 3㎜로 설정했다.
이상의 조건하에, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 변화시키면서, 유리 기판(G1, G2)에 있어서의 크랙의 침투량을 계측했다.
도 7(a)∼도 7(e)에 실험 결과를 나타낸다. 도 7(a)는, 크랙의 침투량과 리브 마크량을 수치로 나타내는 도면, 도 7(b)∼도 7(e)는, 스크라이브 라인상에 있어서의 마더 기판(G)의 단면 사진으로, 각각, 하중이 6N, 7N, 8N, 9N의 경우인 것이다. 도 5(b)∼도 5(e)에 있어서, D1, D3은 리브 마크량, D2, D4는 크랙의 침투량을 나타내고 있다.
도 7(a)를 참조하면, 하중이 5N에서 6N으로 변화하면, 유리 기판(G1)에 있어서의 크랙의 침투량이 급격하게 증가하는 것을 알 수 있다. 또한, 하중이 6N을 초과하면, 유리 기판(G1)의 크랙의 침투량이 유리 기판(G1)의 두께(0.2㎜)의 80％를 초과하고, 유리 기판(G1)에 큰 침투량으로 크랙이 들어간다. 상기와 같이, 유리 기판(G1, G2) 중 어느 한쪽에 큰 침투량으로 크랙이 들어가면, 브레이크 공정에 있어서, 마더 기판(G)을 적정하게 분단할 수 있다. 따라서, 스크라이브 방법 2에 있어서는, 스크라이빙 툴(30, 40)에 부여되는 하중을 6N 이상으로 설정하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.
또한, 본 실험에서는, 상기 실험 1에 비해, 유리 기판(G1)에 대한 크랙의 침투량이 더욱 커져 있다. 따라서, 크랙의 침투량을 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성하려면, 스크라이브 방법 2와 같이, 마더 기판(G)의 스크라이빙 휠(301, 401)과 반대측의 면을 롤러(402, 302)로 누르도록 하는 것이 바람직하다고 할 수 있다.
<스크라이빙 툴>
도 8(a), 도 8(b)는, 각각, 스크라이빙 툴(30, 40)의 구성을 나타내는 사시도이다.
스크라이빙 툴(30, 40)은, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 배열 순서를 제외하고 동일한 구성을 구비하고 있다. 스크라이빙 툴(30, 40)은, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)를 지지하는 홀더(303, 403)를 구비한다. 홀더(303, 403)는, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착되는 홈(303a, 403a)과, 롤러(302, 402)가 장착되는 홈(303b, 403b)과, 경사면(303c, 403c)을 구비한다. 스크라이빙 휠(301, 401)은, 축(301a, 401a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다. 롤러(302, 402)는, 축(302a, 402a)을 홀더(303, 403)의 구멍에 끼워넣음으로써 장착된다.
도 9(a), 도 9(b)는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대한 스크라이빙 툴(30)의 부착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 9(a), 도 9(b)에서는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 내부가 투시된 상태가 나타나 있다.
스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에는, 스크라이빙 툴(30)을 지지하는 지지부(221)가 형성되고, 이 지지부(221)에, 스크라이빙 툴(30)을 삽입 가능한 구멍(222)이 형성되어 있다. 구멍(224)의 바닥에는 자석(224)이 설치되고, 구멍(224)의 중간 위치에 핀(223)이 형성되어 있다. 상기와 같이, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)는 강자성체로 구성되어 있다.
스크라이브 라인 형성 기구(22)에 스크라이빙 툴(30)을 부착하는 경우, 스크라이빙 툴(30)의 홀더(303)가 지지부(221)의 구멍(222)에 삽입된다. 홀더(303)의 상단이 자석(224)에 접근하면 홀더(303)가 자석(224)에 흡착된다. 이때, 홀더(303)의 경사면(303c)이 핀(223)에 맞닿음하여, 홀더(303)가 정규의 위치에 위치결정된다. 이렇게 하여, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 툴(30)이 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다.
스크라이빙 툴(40)도 동일하게 하여 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단에 장착된다. 이렇게 하여, 스크라이빙 툴(30, 40)이, 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착되면, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)에 대응하는 위치에 롤러(402)가 위치되고, 스크라이빙 휠(401)에 대응하는 위치에 롤러(302)가 위치된다. 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하면, 스크라이빙 툴(30, 40)을 각각, 대응하는 스크라이브 헤드(2)의 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 장착하는 것만으로, 스크라이빙 휠(301)과 스크라이빙 휠(401)과의 거리(W1)를 소정의 거리로 유지하면서, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(402, 302)를 서로 마주시킬 수 있다.
또한, 상기 실험 2는, 도 8(a), 도 8(b)에 나타내는 구성의 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다. 또한, 상기 실험 1은, 홀더(303, 403)에서 홈(303b, 403b)이 생략되어, 홈(303a, 403a)만을 갖는 홀더(303, 403)에, 각각, 스크라이빙 휠(301, 401)이 장착된 스크라이빙 툴(30, 40)을 이용하여 행했다.
<실시 형태의 효과>
본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과가 나타난다.
실험 1, 2에서 나타난 바와 같이, 시일재(SL)의 바로 위의 위치에, 깊은 크랙으로 스크라이브 라인(L1)을 형성할 수 있다. 특히, 스크라이브 방법 2와 같이 롤러(302, 402)를 형성함으로써, 크랙의 침투량을 더욱 크게 하면서 안정적으로 크랙을 형성할 수 있다.
<변경예>
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 하등 제한되는 것은 아니며, 또한, 본 발명의 실시 형태도 상기 이외에 여러 가지 변경이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 날끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 홀이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 동일한 효과가 나타나는 것이 상정될 수 있다. 스크라이빙 휠(날끝)의 크기나 형상은, 상기 실시 형태에 기재된 것에 한정되는 것은 아니고, 다른 크기나 형상, 종류의 날끝을 적절하게 이용할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 마더 기판(G)의 상측의 스크라이빙 휠(301)을 하측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켰지만, 마더 기판(G)의 하측의 스크라이빙 휠(301)을 상측의 스크라이빙 휠(401)에 대하여 스크라이브 방향으로 선행시켜도 좋다. 이 경우도, 상기와 동일한 효과가 나타날 수 있다.
또한, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성에서는, 거리(W1)가 작기 때문에, 2개의 롤러(302)가 스크라이빙 휠(301)을 사이에 끼우도록 하여, 2개의 롤러(302)와 스크라이빙 휠(301)이 배치되었다. 그러나, 거리(W1)가 큰 경우에는, 2개의 롤러(302)가 스크라이빙 휠(301)을 사이에 끼우는 일 없이 2개의 롤러(302)와 스크라이빙 휠(301)이 배치된다.
도 10(a), 도 10(b)는, 거리(W1)가 큰 경우의 다른 구성예를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이 구성예에서는, Y축 방향으로 폭이 넓은 1개의 롤러(304, 404)가 이용된다. 롤러(304, 404)는, 축(304a, 404a)의 주위에 회전 가능하게 되어 있다. 롤러(304, 404) 외주에는, Y축 방향의 중앙 위치에, 전체 둘레에 걸쳐 홈(304b, 404b)이 형성되어 있다. 이와 같이 홈(304b, 404b)이 형성됨으로써, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성과 동일하게, 스크라이빙 휠(301, 401)로 형성되는 스크라이브 라인(L1 , L2)을 롤러(304, 404)가 지나가는 것이 회피될 수 있다.
도 10(a), 도 10(b)의 구성에서는, 거리(W1)가 크기 때문에, 도 8(a), 도 8(b)의 구성에 비해, 스크라이빙 툴(30, 40)의 홀더(303, 403)의 하부가 X축 방향으로 폭이 넓어지게 된다. 그러나, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 홀더(303, 403)의 하부는, 스크라이브 라인 형성 기구(22)의 하단으로부터 노출되어 있기 때문에, 홀더(303, 403)의 하부가 X축 방향으로 폭이 넓어져도, 스크라이브 라인 형성 기구(22)에 대하여 스크라이빙 툴(30, 40)을 지장없이 장착할 수 있다.
또한, 도 10(a), 도 10(b)의 구성에 있어서, 홈(304b, 404b)이 깊으면, 홈(304b, 404b) 내에 스크라이빙 휠(301, 401)의 외주부를 파고들어가게 하는 것이 가능해진다. 이 경우, 도 6(a)의 경우와 동일하게, Y축 방향으로 보아, 스크라이빙 휠(301, 401)의 일부가 롤러(304, 404)와 겹친다. 이와 같이, 홈(304b, 404b)을 깊게 하고, 홈(304b, 404b) 내에 스크라이빙 휠(301, 401)의 외주부를 파고들어가게 함으로써, 폭(W1)을 좁힐 수 있다.
또한, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치가, 각각, 롤러(302, 402)의 축(302a, 402a)의 중심 위치와, Z축 방향에 있어서 일치하고, 스크라이빙 휠(301, 401)의 직경이, 각각, 롤러(302, 402)의 직경과 동일하게 되었다. 그러나, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(302, 402)의 관계는, 이에 한정되는 것이 아니며, 이 외에 다양한 변경이 가능하다.
예를 들면, 도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd1만큼 커도 좋고, 혹은, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 직경이 롤러(302)의 직경보다도 Δd2만큼 작아도 좋다. 또한, 도 11(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd3만큼 Z축 부방향으로 어긋나 있어도 좋고, 혹은, 도 11(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(301)의 축(301a)의 중심 위치가 롤러(302)의 축(302a)의 중심 위치보다도 Δd4만큼 Z축 정방향으로 어긋나 있어도 좋다. 스크라이빙 휠(401)과 롤러(402)에 대해서도 동일하게 변경될 수 있다.
또한, 도 11(b), 도 11(d)의 구성예에서는, 롤러(302)의 하단이 스크라이빙 휠(301)의 하단보다도 하측에 있기 때문에, 스크라이브 동작시에, 롤러(302a)가 보다 강하게 유리 기판(G1)에 밀어붙여진다. 이와 같이 롤러(302a)가 강하게 밀어붙여지면, 유리 기판(G1)이 Z축 부방향으로 휘고, 이에 따라, 유리 기판(G1)의 이면(裏面)에 크랙을 벌리는 방향의 인장력이 가해진다. 이 때문에, 롤러(302)가 밀어붙여진 유리 기판(G1)의 부분의 이면에 다른 한쪽의 스크라이빙 휠(401)의 날끝이 밀어붙여지면, 이 인장력에 의해 크랙이 깊게 들어가기 쉬워진다. 따라서, 도 11(b), 도 11(d)의 구성예에서는, 롤러(302a)에 대응하는 이측의 스크라이빙 휠(401)에 의해, 보다 깊은 크랙이 형성된다는 작용이 상정(想定)될 수 있다.
또한, 도 10(a), 도 10(b)의 구성예에 있어서도, 상기와 동일하게, 스크라이빙 휠(301, 401)과 롤러(304, 404)의 직경이 조정되고, 혹은, 스크라이빙 휠(301, 401)의 축(301a, 401a)의 중심 위치와 롤러(304, 404)의 축(302a, 402a)의 중심 위치가 조정되어도 좋다.
또한, 도 6(a), 도 6(b) 및 도 8(a), 도 8(b)의 구성에서는, 스크라이빙 휠(301, 401)의 양측에 한 쌍의 롤러(302, 402)가 배치되었지만, 스크라이빙 휠(301, 401)의 편측에만 1개의 롤러(302, 402)가 배치되는 구성도 상정될 수 있다.
이 외에, 마더 기판(G)의 구성, 두께, 재질 등은, 상기 실시 형태에 나타내는 것에 한정되는 것이 아니라, 다른 구성의 마더 기판(G)의 절단에도, 상기 스크라이브 방법 1, 2 및 스크라이브 장치를 이용할 수 있다.
본 발명의 실시 형태는, 특허 청구의 범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게, 다양한 변경이 가능하다.
1 : 스크라이브 장치
2 : 스크라이브 헤드
30, 40 : 스크라이빙 툴
301, 401 : 스크라이빙 휠
302, 402 : 롤러
G : 마더 기판
G1, G2 : 유리 기판

Claims (8)

  1. 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
    상기 제1 기판의 표면의 상기 시일재에 대향하는 위치에 제1날을 눌러대면서 상기 제1날을 상기 시일재를 따라 이동시켜, 상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하고,
    상기 제1날의 이동에 병행하여, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날로부터 상기 시일재를 따르는 방향으로 0.6mm∼1.4mm 만큼 변위한 위치에 제2날을 눌러대면서 상기 제2날을 상기 시일재를 따라 이동시켜, 상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판의 표면의 상기 제2날에 대응하는 위치에 제1 롤러를 눌러대면서 상기 제1 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키고,
    상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날에 대응하는 위치에 제2 롤러를 눌러대면서 상기 제2 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  4. 제1 기판과 제2 기판을 시일재에 의해 접합하여 이루어지는 마더 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
    상기 제1 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제1 스크라이브 헤드와,
    상기 제2 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 제2 스크라이브 헤드와,
    상기 제1 스크라이브 헤드와 상기 제2 스크라이브 헤드를 상기 마더 기판에 평행하게 이동시키는 구동부를 구비하고,
    상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 시일재에 대향하는 위치에 제1날을 눌러댄 상태에서, 상기 제1날이 상기 시일재를 따라 이동하도록 구동되고,
    상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제1 스크라이브 헤드의 구동에 병행하여, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날로부터 상기 시일재를 따르는 방향으로 0.6mm∼1.4mm 만큼 변위한 위치에 제2날을 눌러댄 상태에서, 상기 제2날이 상기 시일재를 따라 이동하도록 구동되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  5. 삭제
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1 기판의 표면의 상기 제2날에 대응하는 위치에 제1 롤러를 눌러대면서 상기 제1 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키고,
    상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2 기판의 표면의 상기 제1날에 대응하는 위치에 제2 롤러를 눌러대면서 상기 제2 롤러를 상기 시일재를 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 스크라이브 헤드는, 상기 제1날과 상기 제1 롤러의 양방을 지지하는 제1 스크라이빙 툴을 구비하고,
    상기 제2 스크라이브 헤드는, 상기 제2날과 상기 제2 롤러의 양방을 지지하는 제2 스크라이빙 툴을 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 제1날과 상기 제2날은, 각각, 원판의 외주(外周)에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 상기 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 스크라이빙 휠로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.
KR1020150042922A 2014-08-07 2015-03-27 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치 KR102343610B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014161250A JP6439313B2 (ja) 2014-08-07 2014-08-07 スクライブ方法およびスクライブ装置
JPJP-P-2014-161250 2014-08-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160018329A KR20160018329A (ko) 2016-02-17
KR102343610B1 true KR102343610B1 (ko) 2021-12-24

Family

ID=55369638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150042922A KR102343610B1 (ko) 2014-08-07 2015-03-27 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6439313B2 (ko)
KR (1) KR102343610B1 (ko)
CN (1) CN105366928B (ko)
TW (1) TWI650291B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018016038A1 (ja) * 2016-07-20 2018-01-25 堺ディスプレイプロダクト株式会社 切断装置及び切断方法
KR101991266B1 (ko) * 2017-09-27 2019-06-20 주식회사 탑 엔지니어링 스크라이빙 장치
KR20190049441A (ko) * 2017-10-31 2019-05-09 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이브 방법 및 분단방법
JP2020083690A (ja) 2018-11-22 2020-06-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の分断方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012250871A (ja) 2011-06-01 2012-12-20 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 基板分断装置
JP2013170115A (ja) 2012-02-23 2013-09-02 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料基板のスクライブ装置
KR101341383B1 (ko) * 2011-05-24 2013-12-13 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이브 장치
KR101386378B1 (ko) 2012-03-09 2014-04-21 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널의 절단장치 및 그 절단방법

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003255362A (ja) * 2002-03-05 2003-09-10 Citizen Watch Co Ltd セルとその製造方法およびそのセルを用いた液晶光学素子
JP2003313036A (ja) * 2002-04-17 2003-11-06 Sharp Corp ガラス分断方法とその装置
KR20030086727A (ko) * 2002-05-06 2003-11-12 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Ｌｃｄ기판의 절단을 위한 스크라이브/브레이크 장비
TW200408061A (en) * 2002-07-02 2004-05-16 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Substrate slicing system for sealed substrates and the substrate slicing method
JP2006137641A (ja) 2004-11-12 2006-06-01 Sanyo Electric Co Ltd ガラス基板の切断方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101341383B1 (ko) * 2011-05-24 2013-12-13 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 스크라이브 장치
JP2012250871A (ja) 2011-06-01 2012-12-20 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 基板分断装置
JP2013170115A (ja) 2012-02-23 2013-09-02 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 脆性材料基板のスクライブ装置
KR101386378B1 (ko) 2012-03-09 2014-04-21 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널의 절단장치 및 그 절단방법

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016037413A (ja) 2016-03-22
TW201605748A (zh) 2016-02-16
CN105366928B (zh) 2019-09-24
CN105366928A (zh) 2016-03-02
KR20160018329A (ko) 2016-02-17
TWI650291B (zh) 2019-02-11
JP6439313B2 (ja) 2018-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102343610B1 (ko) 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치
TW201144244A (en) Cutter wheel, scribing method and cutting method for fragile material substrate using the cutter wheel, and method of manufacturing cutter wheel
CN105700205B (zh) 基板分断方法以及刻划装置
KR20140136868A (ko) 커터 유닛, 절단 장치, 절단 방법 및 홀더
KR20140117271A (ko) 스크라이빙 휠, 스크라이브 장치 및 스크라이빙 휠의 제조 방법
KR102365099B1 (ko) 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치
TW201339112A (zh) 劃線輪、劃線裝置、劃線方法、顯示用面板之製造方法及顯示用面板
JP2016108167A (ja) スクライビングツールおよびスクライブ装置
JP2016047787A (ja) スクライビングツールおよびスクライブ装置
CN105366932B (zh) 刻划工具
JP2016121037A (ja) スクライブ装置
JP6493512B2 (ja) 分断方法および分断装置
JP2016108169A (ja) スクライビングツールおよびスクライブ装置
WO2018016038A1 (ja) 切断装置及び切断方法
JP2016108168A (ja) スクライビングツールおよびスクライブ装置
TWI672279B (zh) 劃線方法及劃線裝置
KR20210067882A (ko) 분단 방법 및 분단 장치
JP2004117540A (ja) 表示装置および板状部材切断装置
JP2016060684A (ja) 基板分断方法及びスクライブ装置
TW201922645A (zh) 劃線方法和切割方法
KR20190049441A (ko) 스크라이브 방법 및 분단방법
KR20110128170A (ko) 기판 절단 장치 및 이를 이용한 기판 절단 방법
KR20030086727A (ko) Ｌｃｄ기판의 절단을 위한 스크라이브/브레이크 장비
KR20210125896A (ko) 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치
US20140080384A1 (en) Edge-grinding machine for liquid crystal panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant